JPH02198409A - Light beam scanning controller for laser plate making machine - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To eliminate the possibility of generation of an uneven scan, etc., and also, to correct the surface inclination, as well by executing a series of operations at every one scan and moving a turn-back mirror of comparatively light weight by a desired distance each. CONSTITUTION:A photodetector 40 on which a light beam is made incident outputs, for instance, two position signals having a value corresponding to a light receiving position to a control part 50. The control part 50 calculates the error of a light receiving reference position and the actual light receiving position of the photodetector 40, based on each inputted position signal, and outputs a control signal to a turn-back mirror moving means 20 so as to move a turn-back mirror 10 by a distance corresponding to this error. The folding mirror moving means 20 to which the control signal is inputted moves the folding mirror 10 by a prescribed distance, based on the control signal. When this control is executed at every one scan, a light beam which transmits through an image forming lens and made incident on the folding mirror 10 executes not only a main scan but also a sub-scan on the surface of an object to be scanned. In such a manner, the unevenness of scan can be prevented, and the surface inclination by an optical deflector can be corrected without using an expensive lens system.

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、被走査対象物である製版板上において各種情
報に基づく光ビームを二次元的に走査させるレーザ製版
機の光ビーム走査制御装置に関するものである。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a light beam scanning control device for a laser plate making machine that two-dimensionally scans a light beam based on various information on a plate making plate which is an object to be scanned. It is related to.

（従来の技術） 第２図は、従来のレーザ製版機の光ビーム走査系を示す
簡略構成図である。第２図において、１は例えば半導体
レーザからなる光源、２はコリメタレンズ、３は所定の
回転数で回転する光偏向器としてのポリゴンミラー　４
はポリゴンミラ３で反射偏向された光ビームを結像する
結像レンズとしてのｆθレンズ、５は反射面がｆθレン
ズ４を透過した光ビームの光路上に配置され、かっこの
反射面がｆθレンズ４の光軸に垂直な平面に対して所定
角度をもって傾斜して固定された折り返しミラー　６，
７は製版板Ｍの送り用ローラである。(Prior Art) FIG. 2 is a simplified configuration diagram showing a light beam scanning system of a conventional laser plate making machine. In FIG. 2, 1 is a light source made of, for example, a semiconductor laser, 2 is a collimator lens, 3 is a polygon mirror as an optical deflector that rotates at a predetermined number of rotations 4
5 is an fθ lens as an imaging lens that forms an image of the light beam reflected and deflected by the polygon mirror 3, and 5 is a reflective surface placed on the optical path of the light beam transmitted through the fθ lens 4, and the reflective surface in parentheses is an fθ lens. a folding mirror fixed at a predetermined angle with respect to a plane perpendicular to the optical axis of 4;
7 is a roller for feeding the plate making plate M.

上記構成においては、光源１から出射された光ビームＢ
Ｍは、コリメータレンズ２を介してポリゴンミラー３に
入射する。光ビームＢＭは、ポリゴンミラー３によって
反射偏向されて等連日運動で主走査方向に走査され、ｆ
θレンズ４に入射する。このｆθレンズ４において光ビ
ームＢＭは、結像、即ち等連日運動走査から等遠回線運
動走査に変換されて、折り返しミラー５の反射面５ａに
入射する。ここで、光ビームＢＭは入射方向に対して所
定角度をもって反射されて、図示しないストッカから繰
り出され、ローラ６及び７によって挟持された製版板Ｍ
上を、図中、実線矢印Ａで示す方向に主走査する。さら
に、この主走査を受けながら、製版板Ｍは、ローラ６及
び７によって、図示しない現像部に送られる。即ち、製
版板Ｍは図中、実線矢印Ｂで示す方向に搬送され、これ
により、主走査方向と直交する方向に副走査を受けるこ
とになる。In the above configuration, the light beam B emitted from the light source 1
M enters the polygon mirror 3 via the collimator lens 2. The light beam BM is reflected and deflected by the polygon mirror 3, and is scanned in the main scanning direction with an equal daily movement.
The light enters the θ lens 4. In this f.theta. lens 4, the light beam BM is imaged, that is, converted from equidaily motion scanning to equidistant circuit motion scanning, and is incident on the reflecting surface 5a of the folding mirror 5. Here, the light beam BM is reflected at a predetermined angle with respect to the incident direction, is fed out from a stocker (not shown), and is delivered to a plate-making plate M held between rollers 6 and 7.
Main scanning is performed on the top in the direction indicated by solid arrow A in the figure. Further, while being subjected to this main scanning, the plate making plate M is sent to a developing section (not shown) by rollers 6 and 7. That is, the plate-making plate M is conveyed in the direction shown by the solid arrow B in the figure, and is thereby subjected to sub-scanning in a direction orthogonal to the main-scanning direction.

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の光ビーム走査系によれば、副
走査を被走査対象物である製版板Ｍを主走査方向と直交
する方向に移動させながら行なっているために、製版板
Ｍの重量あるいは駆動系の変動等に起因して副走査ムラ
が生じてしまうという問題点があった。(Problem to be Solved by the Invention) However, according to the above-mentioned conventional light beam scanning system, sub-scanning is performed while moving the printing plate M, which is the object to be scanned, in a direction perpendicular to the main-scanning direction. Another problem is that sub-scanning unevenness occurs due to variations in the weight of the plate-making plate M or the drive system.

また、高速で回転するポリゴンミラー３の表面の研磨加
工精度や取り付は精度、あるいは表面のぶれによる、い
わゆる面倒れを補正するための、例えばシリンドカルレ
ンズ等の高価なレンズ系をｆθレンズ４の光ビーム透過
側に配置する必要があり、装置の大型化並びにコスト高
を招くという問題点があった。In addition, in order to correct the polishing accuracy of the surface of the polygon mirror 3, which rotates at high speed, the mounting accuracy, or the so-called surface tilt due to surface blur, an expensive lens system such as a cylindrical lens is used as an fθ lens. 4, it is necessary to arrange it on the light beam transmission side of No. 4, which poses a problem of increasing the size and cost of the device.

本発明の目的は、上記問題点に鑑み、被走査対象物を静
止させた状態で主走査のみならず副走査をも行なえ、走
査ムラ等の発生する恐れがなく、しかも面倒れをも補正
できるレーザ製版機の光ビーム走査制御装置を提供する
ことにある。In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to be able to perform not only main scanning but also sub-scanning while the object to be scanned remains stationary, eliminate the possibility of occurrence of scanning unevenness, etc., and also correct surface tilt. An object of the present invention is to provide a light beam scanning control device for a laser plate making machine.

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明では、被走査対象物面
上に光源による各種情報に基づいた光ビムを、主走査方
向並びに該主走査方向とほぼ直交する副走査方向に走査
させるレーザ製版機の光ビーム走査制御装置において、
前記光源による光ビームを前記主走査方向に所定の範囲
をもって偏向する光偏向器と、該光偏向器により偏向さ
れた光ビームを結像する結像レンズと、該結像レンズを
透過した光ビームを前記被走査対象物面上に反射する折
り返しミラーと、制御信号に基づいて、前記折り返しミ
ラーを前記結像レンズの光軸に対して平行に移動させる
折り返しミラー移動手段と、前記結像レンズの光ビーム
透過側の主走査方向の一の走査端に、前記光偏向器にお
ける基準面で偏向された光ビームを予め設定した基準位
置で受光するように配置され、光ビームの受光により少
なくとも二つの位置信号を出力する受光素子と、前記各
位置信号に基づいて、前記基準位置と光ビムの受光位置
との誤差を算出し、この誤差に応じた距離だけ前記折り
返しミラーを移動させる制御信号を一走査毎に前記折り
返しミラー移動手段に出力する制御部とを備え、前記折
り返しミラーの移動に伴なう前記被走査対象物への光路
長が全て等しくなるように、当該被走査対象物を前記結
像レンズの光軸に平行な平面に対して所定角度をもって
配置した。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, in the present invention, a light beam based on various information from a light source is directed onto the surface of an object to be scanned in the main scanning direction and approximately perpendicular to the main scanning direction. In a light beam scanning control device for a laser plate making machine that scans in the sub-scanning direction,
an optical deflector that deflects the light beam from the light source within a predetermined range in the main scanning direction; an imaging lens that forms an image of the light beam deflected by the optical deflector; and a light beam that passes through the imaging lens. a folding mirror that reflects the mirror on the surface of the object to be scanned; a folding mirror moving means that moves the folding mirror parallel to the optical axis of the imaging lens based on a control signal; It is arranged at one scanning end in the main scanning direction on the light beam transmission side to receive the light beam deflected by the reference plane of the optical deflector at a preset reference position, and the light beam is A light receiving element that outputs a position signal, and a control signal that calculates an error between the reference position and the light receiving position of the light beam based on each of the position signals, and moves the folding mirror by a distance corresponding to this error. a control unit that outputs an output to the turning mirror moving means for each scan, and moving the object to be scanned to the point where the object to be scanned is set so that the optical path lengths to the object to be scanned are all equal as the turning mirror moves. The image lens was arranged at a predetermined angle with respect to a plane parallel to the optical axis.

（作用） 本発明によれば、光源から出射した各種情報に基づいた
光ビームは、光偏向器に入射して所定の範囲をもって偏
向され、主走査方向に走査される。(Function) According to the present invention, a light beam based on various information emitted from a light source enters the optical deflector, is deflected within a predetermined range, and is scanned in the main scanning direction.

次いて、偏向された光ビームは、結像レンズに入射して
結像される。結像レンズを透過した光ビームのうち、一
の走査端の光ビームは受光素子に入射し、他の偏向され
結像された光ビームは折り返しミラーに入射し、ここで
反射されて被走査対象物面上を走査する。The deflected light beam then enters an imaging lens and is imaged. Of the light beams that have passed through the imaging lens, the light beam at one scanning end is incident on the light receiving element, and the other deflected and imaged light beam is incident on the folding mirror, where it is reflected and directed toward the scanned object. Scan the object surface.

一方、光ビームが入射された受光素子は、受光位置に対
応した値を有する、例えば二つの位置信号を制御部に出
力する。制御部は、入力した各位置信号に基づいて、受
光素子の受光基準位置と実際の受光位置との誤差を算出
して、この誤差に応じた距離だけ折り返しミラーを移動
するように、折り返しミラー移動手段に制御信号を出力
する。On the other hand, the light-receiving element into which the light beam is incident outputs, for example, two position signals having values corresponding to the light-receiving position to the control unit. The control unit calculates the error between the reference light receiving position of the light receiving element and the actual light receiving position based on each input position signal, and moves the folding mirror by a distance corresponding to this error. outputting a control signal to the means;

制御信号を入力した折り返しミラー移動手段は、制御信
号に基づいて折り返しミラーを所定距離だけ移動させる
。なお、この移動によって、被走査対象物までの光路長
は変わることはない。The turning mirror moving means, which receives the control signal, moves the turning mirror by a predetermined distance based on the control signal. Note that this movement does not change the optical path length to the object to be scanned.

以上の制御が一走査毎に行なわれることにより、結像レ
ンズを透過して折り返しミラーに入射した光ビームは、
被走査対象物面上を主走査のみならず副走査をもするこ
とになり、かつ、これらの走査光は、面倒れも補正され
ている。By performing the above control for each scan, the light beam that passes through the imaging lens and enters the folding mirror is
Not only main scanning but also sub-scanning is performed on the surface of the object to be scanned, and the surface tilt of these scanning lights is also corrected.

（実施例） 第１図は、本発明によるレーザ製版機の光ビム走査制御
装置の一実施例を示す構成図であって、従来例を示す第
２図と同一構成部分は同一符号をもって表す。即ち、１
は半導体レーザからなる光源、２はコリメータレンズ、
３は所定の回転数で回転する光偏向器としてのポリゴン
ミラー　４はポリゴンミラー３で反射偏向された光ビー
ムを結像するための結像レンズとしてのｆθレンズ、Ｍ
は被走査対象物である製版板で、この製版板Ｍは光ビー
ム走査を受けるとき、図示しない保持手段により、静止
状態に保持され、かつ、後記するように、折り返しミラ
ー１０が移動されても、当該製版板Ｍへの光路長が変化
しないように、ｆθレンズ４の光軸に平行な平面に対し
て所定角度θをもって保持される。(Embodiment) FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a light beam scanning control device for a laser plate making machine according to the present invention, and the same components as those in FIG. 2 showing a conventional example are denoted by the same reference numerals. That is, 1
is a light source consisting of a semiconductor laser, 2 is a collimator lens,
3 is a polygon mirror as an optical deflector that rotates at a predetermined rotation speed; 4 is an fθ lens as an imaging lens for imaging the light beam reflected and deflected by the polygon mirror 3;
is a plate-making plate which is an object to be scanned, and when this plate-making plate M is scanned by a light beam, it is held stationary by a holding means (not shown), and even if the folding mirror 10 is moved, as will be described later. , is held at a predetermined angle θ with respect to a plane parallel to the optical axis of the fθ lens 4 so that the optical path length to the plate making plate M does not change.

１０は折り返しミラーで、主走査方向に長い反射面１０
ａがｆθレンズ４を透過した光ビーム光路上に配置され
、がっ、長手方向両端側がミラ保持部１１．１２に保持
されている。また、Ｎ１図中、実線矢Ｃで示す方向、即
ち、ｆθレンズ４の光軸に対して平行に移動できるよう
に、ミラ保持部１１．１２には、後記するボールネジ２
゜３及び案内棒２０４が挿通されており、ｆθレンズ４
を透過した光ビームを静止した製版板Ｍ上に二次元的に
反射する。また、図面では、わかり易いように、当該折
り返しミラー１ｏを拡大して図示しである。10 is a folding mirror, and the reflecting surface 10 is long in the main scanning direction.
A is disposed on the optical path of the light beam transmitted through the fθ lens 4, and both ends in the longitudinal direction are held by mirror holding parts 11 and 12. In addition, a ball screw 2 (described later) is attached to the mirror holding portion 11.12 so that it can move in the direction shown by the solid arrow C in the N1 diagram, that is, parallel to the optical axis of the fθ lens 4.
3 and the guide rod 204 are inserted, and the fθ lens 4
The light beam that has passed through is reflected two-dimensionally onto a stationary plate making plate M. Further, in the drawings, the folding mirror 1o is shown enlarged for easy understanding.

２０は折り返しミラー移動手段で、ステッピングモータ
２０１と、後記する制御信号ＣＴＬの入力により、この
制御信号ＣＴＬが含むパルス数に応じてステッピングモ
ータ２０１を所定回転数だけ回転させるステッピングモ
ータ駆動回路２０２と、ステッピングモータ２０１の回
転数を１／１ｏにギアダウンし、ミラー保持部１１に挿
通されたボールネジ２０３並びにミラー保持部１２に挿
通された案内棒２０４を介して前記折り返しミラ１０を
、ｆθレンズ４の光軸に対して平行に移動させる回転数
変換部２０５とから構成されている。Reference numeral 20 denotes a folding mirror moving means, which includes a stepping motor 201, and a stepping motor drive circuit 202 that rotates the stepping motor 201 by a predetermined number of rotations according to the number of pulses included in the control signal CTL upon input of a control signal CTL, which will be described later. The rotational speed of the stepping motor 201 is geared down to 1/1o, and the folding mirror 10 is connected to the light of the fθ lens 4 through the ball screw 203 inserted into the mirror holding part 11 and the guide rod 204 passed through the mirror holding part 12. It is composed of a rotation speed conversion section 205 that moves parallel to the axis.

３０はトリガミラーで、ｆθレンズ４の光ビーム透過側
で、かつ、主走査方向の一の走査端部に配置され、ｆθ
レンズ４を透過してきた光ビームを、当該光ビームの入
射方向に対して所定角度をもって反射し、後記する半導
体装置検出素子４０の受光面に入射させる。A trigger mirror 30 is arranged on the light beam transmission side of the fθ lens 4 and at one scanning end in the main scanning direction.
The light beam that has passed through the lens 4 is reflected at a predetermined angle with respect to the direction of incidence of the light beam, and is made incident on the light receiving surface of a semiconductor device detection element 40, which will be described later.

４０は半導体装置検出素子（受光素子）で、ポリゴンミ
ラー３の面倒れがない状態で反射された光ビームを、ト
リガミラー３０を介して受光面の中心位置（基準位置）
で受光されるように配置され、トリガミラー３０で反射
された光ビームを受光すると、その受光位置に応じた値
を有する第１及び第２の位置信号（光電流）Ｘｉ　、Ｘ
２を出力する。Reference numeral 40 denotes a semiconductor device detection element (light receiving element), which detects the light beam reflected by the polygon mirror 3 without tilting its surface through the trigger mirror 30 to the center position (reference position) of the light receiving surface.
When the light beam reflected by the trigger mirror 30 is received, first and second position signals (photocurrents) Xi, X having values corresponding to the light receiving position are generated.
Outputs 2.

第３図は、半導体装置検出素子４０を説明するための図
で、同図の（ａ）はこの半導体装置検出素子４０の概要
を示している。即ち、半導体装置検出素子４０は、長平
方向に長さ２Ｌを有する受光面４０１と、受光面４０１
の両端に設けられ、第１、第２の位置信号Ｘｉ、Ｘ２を
出力する電極４０２，４０３とから構成されている。FIG. 3 is a diagram for explaining the semiconductor device detection element 40, and (a) of the figure shows an outline of the semiconductor device detection element 40. That is, the semiconductor device detection element 40 includes a light receiving surface 401 having a length of 2L in the longitudinal direction;
It is comprised of electrodes 402 and 403 provided at both ends of and outputs first and second position signals Xi and X2.

また、第３図の（ａ）において、受光面４０１の中心位
置Ｏから受光位置ＳＰまでの距離をＸとすると、下記（
１）式に示す関係を満足する。In addition, in (a) of FIG. 3, if the distance from the center position O of the light receiving surface 401 to the light receiving position SP is set to X, then the following (
1) Satisfies the relationship shown in the formula.

この（１）式に基づいて、縦軸にＸｉし、横軸にＸをと
ると、第３図の（ｂ）に示すように、中心位置０から受
光位置ＳＰまでの距離Ｘ１即ち、基準位置に対する実際
の受光位置との誤差は（面倒れに相当）　ＸｉＬ　（＝
Ｘ２−Ｘｉ　／Ｘｉ　＋ｘ２　）に比例していることが
わかる。Based on this equation (1), if we take Xi on the vertical axis and X on the horizontal axis, we get the distance X1 from the center position 0 to the light receiving position SP, that is, the reference position The error from the actual light receiving position is (corresponding to surface tilt) XiL (=
It can be seen that it is proportional to (X2-Xi/Xi +x2).

５０は制御部で、半導体装置検出素子４０の出力信号で
ある第１及び第２の位置信号Ｘ１及びＸ２の入力により
、上記（１）式の（Ｘ２−Ｘｉ　）／　（Ｘｉ　＋Ｘ２
　）を算出し、この算出結果に応じて、折り返しミラー
１０を所定距離だけ移動させるための制御信号ＣＴＬを
ステッピングモータ駆動回路２０２に出力する。Reference numeral 50 denotes a control unit which inputs first and second position signals X1 and X2, which are output signals of the semiconductor device detection element 40, to calculate (X2-Xi)/(Xi +X2) in the above equation (1).
) and outputs a control signal CTL for moving the folding mirror 10 by a predetermined distance to the stepping motor drive circuit 202 according to the calculation result.

第４図は、この制御部５０の回路図であって、この第４
図に基づいて制御部５０の構成をさらに詳細に説明する
。FIG. 4 is a circuit diagram of this control section 50.
The configuration of the control unit 50 will be explained in more detail based on the drawings.

第４図において、５０１は第１の増幅器で、半導体装置
検出素子４０による第１の位置信号Ｘ１を増幅した信号
ａを出力する。５０２は第２の増幅器で、半導体装置検
出素子４０による第２の位置信号Ｘ２を増幅した信号す
を出力する。In FIG. 4, a first amplifier 501 outputs a signal a obtained by amplifying the first position signal X1 from the semiconductor device detection element 40. A second amplifier 502 outputs a signal obtained by amplifying the second position signal X2 from the semiconductor device detection element 40.

５０３は減算器で、第２の増幅器５０２の出力信号すの
値から第１の増幅器５０１の出力信号ａの値を減算した
値を有する減算信号（ｂ−ａ）を出力する。５０４は加
算器で、第１及び第２の増幅器５０１，５０２の出力信
号ａとｂの値を加算した値を有する加算信号（−（ａ＋
ｂ月を出力する。A subtracter 503 outputs a subtraction signal (ba) having a value obtained by subtracting the value of the output signal a of the first amplifier 501 from the value of the output signal a of the second amplifier 502. Reference numeral 504 denotes an adder, which generates an addition signal (-(a+
Output month b.

５０５は除算器で、減算器５０３による減算信号（ｂ−
ａ）の値を加算器５０４による加算信号１−（ａ＋ｂ）
ｌの値で除算した除算信号（−（ｂ−ａ）／　（ａ＋ｂ
）１を出力する。５０６は比較器で、加算器５０４によ
る加算信号（−（ａ＋ｂ）ｌの値と予め設定された基準
電圧値ｖＴＨとを比較し、加算信号＋−（ａ＋ｂ）ｌの
値が基準電圧値ＶＴＲ以下になると、信号ＢＤを出力す
る。505 is a divider, which receives the subtraction signal (b-
The value of a) is added by the adder 504 as a signal 1-(a+b)
The divided signal divided by the value of l (-(ba-a)/(a+b
) outputs 1. A comparator 506 compares the value of the addition signal (-(a+b)l) from the adder 504 with a preset reference voltage value vTH, and determines whether the value of the addition signal +-(a+b)l is less than or equal to the reference voltage value VTR. When this happens, the signal BD is output.

５０７はタイマで、比較器５０６の出力信号ＢＤを入力
すると信号ＴＭを除算信号（−（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）
ｌがピーク値に達するまで出力する。５０８はＲ−８型
フリツプフロツプ（Ｆ−Ｆ）で、入力Ｓに比較器５０６
の出力信号ＢＤを入力すると、出力Ｑからセット信号Ｓ
ＥＴを出力し、後記するリセット信号ＲＳＴを入力百に
入力すると出力心からクリア信号ＣＬを出力する。５０
９はクロックパルス発生回路で、一定周期のクロッパル
ス信号ＣＬＫを出力する。507 is a timer which, when inputting the output signal BD of the comparator 506, divides the signal TM by a signal (-(b-a)/(a+b)).
Output until l reaches the peak value. 508 is an R-8 type flip-flop (F-F), and a comparator 506 is connected to the input S.
When the output signal BD is input, the set signal S is output from the output Q.
When ET is output and a reset signal RST (described later) is input to the input terminal, a clear signal CL is output from the output terminal. 50
9 is a clock pulse generation circuit which outputs a clock pulse signal CLK of a constant period.

５１０はアンドゲートで、クロックパルス信号ＣＬＫ及
びセット信号ＳＥＴを入力し、がっタイマ５０７の出力
信号ＴＭが入力されなければ、クロックパルス信号ＣＬ
Ｋのパルス数が制御された制御信号ＣＴＬを出力する。510 is an AND gate which inputs the clock pulse signal CLK and the set signal SET, and if the output signal TM of the timer 507 is not input, the clock pulse signal CL is input.
A control signal CTL in which the number of K pulses is controlled is output.

なお、この制御信号ＣＴＬは、前記ステッピングモータ
駆動回路２゜２に送出される。Note that this control signal CTL is sent to the stepping motor drive circuit 2.2.

５１１はサンプルホールド回路（Ｓ／Ｈ）で、除算器５
０５による除算信号（（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）ｌをサン
プリングし、かつ、入力ＳＡＭＰＬにタイマ５０７の出
力信号ＴＭが入力されなくなるタイミングにおいて、除
算信号１−（ｂ−ａ）／　（ａ＋ｂ）ｌを次に信号ＴＭ
が入力されるまで保持し信号ＳＨとして出力する。511 is a sample hold circuit (S/H), and the divider 5
When sampling the division signal ((b-a)/(a+b)l by 05 and at the timing when the output signal TM of the timer 507 is no longer input to the input SAMPL, the division signal 1-(b-a)/(a+b) l then signal TM
It is held until it is input and output as signal SH.

５１２はアナログディジタル変換器（ＡＤＣ）で、サン
プルホールド回路５１１の出力信号ＳＨを入力して、出
力Ｑ　　、Ｑ　　、Ｑ　　、Ｑ、から信ＢＣ 号ＳＨの値に応じた値（０〜１５）のディジタル信号Ｄ
ＧＴ（Ｄ　　、Ｄ　　、Ｄ　　、ＤＤ）を出力すＡＤＣ る。512 is an analog-to-digital converter (ADC) which inputs the output signal SH of the sample-and-hold circuit 511 and converts the output signals Q, Q, Q, Q, to the signal BC of a value (0 to 15) according to the value of the signal SH. digital signal D
An ADC that outputs GT (D, D, D, DD).

５１３はプリセットカウンタで、タイマ５０７の出力信
号ＴＭが入力ＬＯＡＤに入力されていなければ、アナロ
グディジタル変換器５１２によるディジタル信号ＤＧＴ
を入力Ｄ　　、Ｄ　　、Ｄ　　、Ｄ。513 is a preset counter, and if the output signal TM of the timer 507 is not input to the input LOAD, the digital signal DGT from the analog-to-digital converter 512 is output.
Input D, D, D, D.

ＡＤＣ から入力してその値をプリセットし、がっ、入力ＣＫに
制御信号ＣＴＬを入力し、この制御信号ＣＴＬのパルス
数をプリセット値に加算して、所定の値（本実施例では
１０進数でｒ１５Ｊ）に達したならば、出力Ｑ、よりリ
セット信号Ｒ８Ｔを出力する。５１４はインバータで、
リセット信号Ｒ３Ｔのレベルを反転させたリセット信号
Ｒ８Ｔをフリップフロップ５０８の入力Ｒに出力する。Input from the ADC and preset the value, then input the control signal CTL to the input CK, add the number of pulses of this control signal CTL to the preset value, and set the predetermined value (in this example, in decimal notation). r15J), output Q outputs a reset signal R8T. 514 is an inverter,
A reset signal R8T, which is the level of the reset signal R3T inverted, is output to the input R of the flip-flop 508.

次に、上記構成による動作を説明する。また、制御部５
０の制御動作については、第５図のタイミングチャート
に基づいて説明する。Next, the operation of the above configuration will be explained. In addition, the control unit 5
The control operation of 0 will be explained based on the timing chart of FIG.

まず、光源１から出射した光ビームＢＭは、コリメータ
レンズ２を介して、ポリゴンミラー３に入射する。光ビ
ームＢＭは、ポリゴンミラー３によって反射偏向され、
等速用運動で主走査方向に走査されｆθレンズ４に入射
する。このｆθレンズ４において光ビームは、結像、即
ち、等遠回運動走査から等速直線運動走査に変換される
。この等速直線運動走査に変換されｆθレンズ４を透過
した光ビームのうち、走査端の光ビームはトリガミラー
３０で反射されて、半導体装置検出素子４０の受光面４
０１に入射する。一方、ｆθレンズ４を透過した光ビー
ムは、折り返しミラー１０の反射面１０ａに入射し、こ
こで反射されて、所定角度θをもって傾けられて静止さ
れた製版板Ｍ上を走査する。First, a light beam BM emitted from a light source 1 enters a polygon mirror 3 via a collimator lens 2. The light beam BM is reflected and deflected by the polygon mirror 3,
The light is scanned in the main scanning direction with uniform motion and enters the fθ lens 4. In this fθ lens 4, the light beam is imaged, that is, converted from equicircular motion scanning to uniform linear motion scanning. Among the light beams converted into uniform linear motion scanning and transmitted through the fθ lens 4, the light beam at the scanning end is reflected by the trigger mirror 30, and is reflected by the light receiving surface 4 of the semiconductor device detection element 40.
01. On the other hand, the light beam transmitted through the f.theta. lens 4 enters the reflection surface 10a of the folding mirror 10, is reflected there, and scans over the plate-making plate M which is tilted at a predetermined angle .theta. and held still.

一方、トリガミラー３０で反射された光ビームを受光し
た半導体装置検出素子４０は、その受光位置に応じた値
を有する第１及び第２の位置信号Ｘ１及びＸ２を制御部
５０に出力する。制御部５０に入力した第１及び第２の
位置信号Ｘ１及びＸ２のうち、第１の位置信号Ｘ１は第
１の増幅器５０１で増幅され信号ａとして、第２の位置
信号Ｘ２は、第２の増幅器５０２で増幅され信号すとし
て減算器５０３及び加算器５０４に出力される。On the other hand, the semiconductor device detection element 40 that has received the light beam reflected by the trigger mirror 30 outputs first and second position signals X1 and X2 having values corresponding to the light receiving position to the control unit 50. Of the first and second position signals X1 and X2 input to the control unit 50, the first position signal X1 is amplified by the first amplifier 501 as a signal a, and the second position signal The signal is amplified by an amplifier 502 and output as a signal to a subtracter 503 and an adder 504.

減算器５０３は、信号すの値から信号ａの値を減算した
値を有する減算信号（ｂ−ａ）を除算器５０５に出力し
、加算器５０４は信号ａの値と信号すの値とを加算した
値を有する加算信号ｆ−（ａ＋ｂ）ｌを除算器５０５及
び比較器５０６に出力する。除算器５０５は、減算信号
（ｂ−ａ）の値を加算信号ｆ−（ａ＋ｂＮＯ値で除算し
、除算信号１−（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）ｌをサンプルホ
ールド回路５１１に出力する。The subtracter 503 outputs a subtraction signal (ba) having a value obtained by subtracting the value of the signal a from the value of the signal S to the divider 505, and the adder 504 subtracts the value of the signal a and the value of the signal S. An addition signal f-(a+b)l having the added value is output to the divider 505 and the comparator 506. The divider 505 divides the value of the subtraction signal (ba) by the value of the addition signal f-(a+bNO), and outputs the division signal 1-(ba)/(a+b)l to the sample and hold circuit 511.

また、比較器５０６は、入力した加算信号ｆ−（ａ＋ｂ
月の値と予め設定しである基準電圧値ＶＴＲとを比較し
、例えば第５図中、■で示すように加算信号１−（ａ＋
ｂ月の値が基準電圧値ＶＴＲ以下になったならば、信号
ＢＤをタイマ５０７及びフリップフロップ５０８に出力
する。Further, the comparator 506 receives the input addition signal f-(a+b
The monthly value is compared with a preset reference voltage value VTR, and the addition signal 1-(a+
When the value of month b becomes equal to or less than the reference voltage value VTR, the signal BD is output to the timer 507 and the flip-flop 508.

タイマ５０７は、第５図に示すように、信号ＢＤが入力
されてがら除算信号（−（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）１の値
かピーク値に達るまで、信号ＴＭをサンプルホールド回
路５１１の入力ＳＡＭＰＬ　、プリセットカウンタ５１
３の入力ＬＯＡＤ及びアンドゲート５１０に出力する。As shown in FIG. 5, the timer 507 samples and holds the signal TM until the signal BD reaches the value of the division signal (-(ba)/(a+b)1) or the peak value while being input. input SAMPL, preset counter 51
3 input LOAD and output to AND gate 510.

この間、サンプルホールド回路５１１はサンプルリング
状態となる。ここで、第５図に示すように、除算信号ｆ
−（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）ｌがピク値に達し、タイマ５
０７がら信号ＴＭが出力されなくなるタイミングで、サ
ンプルホールド回路５１１はホールド状態となり、除算
信号ｆ−（ｂ−ａ）／（ａ＋ｂ）ｌ　のピーク値をホー
ルドし、信号ＳＨとして、アナログディジタル変換器５
１２に出力する。During this time, the sample hold circuit 511 is in a sampling state. Here, as shown in FIG. 5, the division signal f
-(b-a)/(a+b)l reaches the pix value and timer 5
At the timing when the signal TM is no longer output from 07, the sample and hold circuit 511 enters the hold state, holds the peak value of the divided signal f-(b-a)/(a+b)l, and outputs it to the analog-digital converter 5 as the signal SH.
Output to 12.

アナログディジタル変換器５１２は、入力した信号ＳＨ
の値に応じたディジタル信号ＤＧＴをプリセットカウン
タ５１３に出力する。このとき、プリセットカウンタ５
１３の入力ＬＯＡＤには、タイマ５０７の出力信号ＴＭ
が入力されておらず、ディジタル信号ＤＧＴが入力され
て、その値がプリセットされる（第５図においては「５
」）。一方、比較器５０６の出力信号ＢＤを入力したフ
リップフロップ５０８は、セットされて出力Ｑよりセッ
ト信号ＳＥＴをアンドゲート５１０に出力する。The analog-to-digital converter 512 converts the input signal SH
A digital signal DGT corresponding to the value of is output to the preset counter 513. At this time, preset counter 5
The output signal TM of the timer 507 is input to the input LOAD of 13.
is not input, the digital signal DGT is input, and its value is preset (in Fig. 5, "5" is input).
”). On the other hand, the flip-flop 508 which receives the output signal BD of the comparator 506 is set and outputs the set signal SET from the output Q to the AND gate 510.

ここで、上記のように、タイマ５０７から信号ＴＭの出
力が停止されると、アンドゲート５１０からクロックパ
ルス発生回路５０９によるクロックパルス信号ＣＬＫが
、制御信号ＣＴＬとして、プリセットカウンタ５１３の
入力ＣＫ及びステッピングモータ駆動回路２０２に出力
される。Here, as described above, when the output of the signal TM from the timer 507 is stopped, the clock pulse signal CLK from the clock pulse generation circuit 509 is output from the AND gate 510 as the control signal CTL to the input CK of the preset counter 513 and the stepping signal. It is output to the motor drive circuit 202.

プリセットカウンタ５１３は、入力した制御信号ＣＴＬ
のパルス数を前記プリセット値「５」に加算し、パルス
数を「１０」加算しカランＩ・値が「１５」になったな
らば、出力ＱＤよりリセット信号Ｒ８Ｔを出力する。こ
のリセット信号ＲＳＴはインバータ５１４によってレベ
ルが反転されてフリップフロップ５０８の入力Ｒに入力
される。The preset counter 513 receives the input control signal CTL.
The number of pulses is added to the preset value "5", and when the number of pulses is added by "10" and the Curran I value becomes "15", the reset signal R8T is output from the output QD. The level of this reset signal RST is inverted by an inverter 514 and input to the input R of the flip-flop 508.

これにより、フリップフロップ５０８はリセットされて
、セット信号ＳＥＴの出力は停止され、出力でよりクリ
ア信号ＣＬがプリセットカウンタ５１３の入力ＣＬＲに
出力される。これにより、アンドゲート５１０からの制
御信号ＣＴＬの出力が停止、即ち、制御信号ＣＴＬのパ
ルス数が制御されるとともにプリセットカウンタ５１３
のカウント値がゼロクリアされる。As a result, the flip-flop 508 is reset, the output of the set signal SET is stopped, and the clear signal CL is outputted to the input CLR of the preset counter 513. As a result, the output of the control signal CTL from the AND gate 510 is stopped, that is, the number of pulses of the control signal CTL is controlled, and the preset counter 513
The count value of is cleared to zero.

このように、パルス数が制御された制御信号ＣＴＬを入
力したステッピングモータ駆動回路２０２は、パルス数
に応じて所定回転数ステッピングモータ２０１を回転さ
せ、さらに回転数変換部２０５によって１１１０にギア
ダウンされて、折り返しミラー１０が、ｆθレンズ４の
光軸に対して平行に移動される。In this way, the stepping motor drive circuit 202 inputted with the control signal CTL having a controlled number of pulses rotates the stepping motor 201 at a predetermined rotation speed according to the number of pulses, and is further geared down to 1110 by the rotation speed converter 205. , the folding mirror 10 is moved parallel to the optical axis of the fθ lens 4.

本実施例によれば、以上の一連の動作が一走査毎に行な
われ、比較的軽量な折り返しミラー１０を所望の距離ず
つ移動することによって、静止した製版板Ｍ上において
、主走査のみならず副走査をも行なうことができ、かつ
、ポリゴンミラー３の、いわゆる面倒れをも補正するこ
とができる。According to this embodiment, the above series of operations are performed for each scan, and by moving the relatively lightweight folding mirror 10 by a desired distance, not only main scanning but also Sub-scanning can also be performed, and the so-called surface tilt of the polygon mirror 3 can also be corrected.

従って走査ムラ等が発生する恐れもなく、しかも、高価
なレンズ系を用いることもなく面倒れ補正を行なえるの
で、精度の良いレーザ製版機の低価格化を実現できる。Therefore, there is no risk of uneven scanning or the like, and since the surface tilt can be corrected without using an expensive lens system, it is possible to realize a highly accurate laser plate making machine at a low price.

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、被走査対象物を
移動させることなく、静止させた状態で主走査のみなら
ず副走査も行なうことができ、走査ムラを防止すること
ができる。また、光偏向器による面倒れを、高価なレン
ズ系を用いることなく補正することができ、高精度なレ
ーザ製版機を実現でき、しかもレーザ製版機の小型化並
びに低価格化を図れる利点がある。(Effects of the Invention) As explained above, according to the present invention, not only main scanning but also sub-scanning can be performed while the object to be scanned remains stationary without moving, thereby preventing scanning unevenness. be able to. In addition, it is possible to correct the surface tilt caused by the optical deflector without using an expensive lens system, and it is possible to realize a highly accurate laser plate making machine, which also has the advantage of making the laser plate making machine smaller and cheaper. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明によるレーザ製版機の光ビーム走査制御
装置の一実施例を示す構成図、第２図は従来の光ビーム
走査系の簡略構成図、第３図は本発明に係る半導体装置
検出素子の説明図、第４図は本発明に係る制御部の回路
図、第５図は本発明に係る制御部の動作を説明するため
のタイミングチャートである。 図中、１・・・光源、２・・・コリメータレンズ、３・
・・ポリゴンミラー（光偏向器）、４・・・　ｆθレン
ズ（結像レンズ）、１０・・・折り返しミラー　１１゜
１２・・・ミラー保持部、２０・・・折り返しミラー移
動手段、２０１・・・ステッピングモータ、２０２・・
・ステッピングモータ駆動回路、２０３・・・ボールネ
ジ、２０４・・・案内棒、２０５・・・回転数変換部、
３０・・・トリガミラー、４０・・・半導体装置検出素
子（受光素子）、４０１・・・受光面、４０２，４０３
・・・電極、５０・・・制御部、５０１・・・第１の増
幅器、５０２・・・第２の増幅器、５０３・・・減算器
、５０４・・・加算器、５０５・・・除算器、５０６・
・・比較器、５０７・・・タイマ、５０８・・・フリッ
プフロップ、５０９・・・クロックパルス発生回路、５
１０・・・アンドゲート、５１１・・・サンプルホール
ド回路、５１２・・・アナログディジタル変換器、５１
３・・・プリセットカウンタ、５１４・・・インバータ
、Ｘｌ・・・第１の位置信号、Ｘ２・・・第２の位置信
号、ＣＴＬ・・・制御信号、Ｍ・・・製版板（被走査対
象物）。 特許出願人　　コパル電子株式会社FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a light beam scanning control device for a laser plate making machine according to the present invention, FIG. 2 is a simplified block diagram of a conventional light beam scanning system, and FIG. 3 is a semiconductor device according to the present invention. FIG. 4 is a circuit diagram of a control section according to the present invention, and FIG. 5 is a timing chart for explaining the operation of the control section according to the present invention. In the figure, 1... light source, 2... collimator lens, 3...
... polygon mirror (light deflector), 4... fθ lens (imaging lens), 10... folding mirror 11° 12... mirror holding part, 20... folding mirror moving means, 201...・Stepping motor, 202...
・Stepping motor drive circuit, 203... Ball screw, 204... Guide rod, 205... Rotation speed converter,
30... Trigger mirror, 40... Semiconductor device detection element (light receiving element), 401... Light receiving surface, 402, 403
... Electrode, 50 ... Control unit, 501 ... First amplifier, 502 ... Second amplifier, 503 ... Subtractor, 504 ... Adder, 505 ... Divider , 506・
... Comparator, 507 ... Timer, 508 ... Flip-flop, 509 ... Clock pulse generation circuit, 5
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... AND gate, 511... Sample hold circuit, 512... Analog-digital converter, 51
3... Preset counter, 514... Inverter, Xl... First position signal, X2... Second position signal, CTL... Control signal, M... Plate making plate (target to be scanned) thing). Patent applicant Copal Electronics Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被走査対象物面上に光源による各種情報に基づいた光ビ
ームを、主走査方向並びに該主走査方向とほぼ直交する
副走査方向に走査させるレーザ製版機の光ビーム走査制
御装置において、 前記光源による光ビームを前記主走査方向に所定の範囲
をもって偏向する光偏向器と、 該光偏向器により偏向された光ビームを結像する結像レ
ンズと、 該結像レンズを透過した光ビームを前記被走査対象物面
上に反射する折り返しミラーと、制御信号に基づいて、
前記折り返しミラーを前記結像レンズの光軸に対して平
行に移動させる折り返しミラー移動手段と、 前記結像レンズの光ビーム透過側の主走査方向の一の走
査端に、前記光偏向器における基準面で偏向された光ビ
ームを予め設定した基準位置で受光するように配置され
、光ビームの受光により少なくとも二つの位置信号を出
力する受光素子と、前記各位置信号に基づいて、前記基
準位置と光ビームの受光位置との誤差を算出し、この誤
差に応じた距離だけ前記折り返しミラーを移動させる制
御信号を一走査毎に前記折り返しミラー移動手段に出力
する制御部とを備え、 前記折り返しミラーの移動に伴なう前記被走査対象物へ
の光路長が全て等しくなるように、当該被走査対象物を
前記結像レンズの光軸に平行な平面に対して所定角度を
もって配置した ことを特徴とするレーザ製版機の光ビーム走査制御装置
。[Claims] Light beam scanning control of a laser plate making machine that scans a light beam based on various information from a light source on the surface of an object to be scanned in a main scanning direction and a sub-scanning direction substantially orthogonal to the main scanning direction. The apparatus includes: an optical deflector that deflects the light beam from the light source within a predetermined range in the main scanning direction; an imaging lens that forms an image of the light beam deflected by the optical deflector; and a light beam that passes through the imaging lens. a folding mirror that reflects the light beam onto the surface of the object to be scanned, and based on a control signal,
a folding mirror moving means for moving the folding mirror parallel to the optical axis of the imaging lens; a light receiving element arranged to receive the light beam deflected by the surface at a preset reference position and outputting at least two position signals upon reception of the light beam; a control unit that calculates an error with the light receiving position of the light beam and outputs a control signal for moving the folding mirror by a distance corresponding to the error to the folding mirror moving means for each scan; The object to be scanned is arranged at a predetermined angle with respect to a plane parallel to the optical axis of the imaging lens so that the optical path lengths to the object to be scanned as it moves are all equal. A light beam scanning control device for a laser plate making machine.