JPH02194319A - Optical encoder - Google Patents
Optical encoderInfo
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- JPH02194319A JPH02194319A JP1452589A JP1452589A JPH02194319A JP H02194319 A JPH02194319 A JP H02194319A JP 1452589 A JP1452589 A JP 1452589A JP 1452589 A JP1452589 A JP 1452589A JP H02194319 A JPH02194319 A JP H02194319A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は機械的な回転量や直線移動量を電気信号に変換
する光学式のエンコーダに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of the Invention] The present invention relates to an optical encoder that converts the amount of mechanical rotation or linear movement into an electrical signal.
従来光学式のエンコーダは第５図に示すように、ケース
１内に設けられた投光素子２と受光素子３との間に固定
スリット板４と回転軸５に連動して回転し、その円周」
−に多数のスリットが設けられた移動スリット板６を有
している。そしてこのロータリーエンコーダでは回転軸
５を回転させることによって投光素子２より固定スリッ
ト板４及び移動スリット板６を介して第６図に実線Ａで
示すような疑似正弦波信号が得られる。従ってこの信号
を所定闇値で弁別して方形波信号に変換したり、又その
微分信号に基づいて回転軸５の回転速度信号を得るよう
にしている。As shown in FIG. 5, the conventional optical encoder rotates in conjunction with a fixed slit plate 4 and a rotating shaft 5 between a light emitting element 2 and a light receiving element 3 provided in a case 1, and the circular "Zhou"
- has a movable slit plate 6 provided with a large number of slits. In this rotary encoder, by rotating the rotating shaft 5, a pseudo sine wave signal as shown by the solid line A in FIG. 6 is obtained from the light projecting element 2 via the fixed slit plate 4 and the movable slit plate 6. Therefore, this signal is discriminated by a predetermined darkness value and converted into a square wave signal, and the rotational speed signal of the rotating shaft 5 is obtained based on the differential signal.
しかるにこのような従来の光学式エンコーダでは受光素
子より得られる受光信号レー・ルを犬きくするためにス
リット間隔を狭くする必要があり、固定スリット板と移
動スリ７１〜板の間隔を例えばスリットピッチとほぼ同
じ距離に保つことによって一定振幅の疑似正弦波信号を
得るようにしている。この間隔が変動ずれば第６図の曲
線■３又はＣに示すように、受光素子３に得られる疑似
正弦波信号のピーク値が変動する。特に移動スリット板
６がエンコーダ本体とは分離された分離型のエンコーダ
においてはスリット間隔を一定に保つことが困難であり
、移動スリット板と固定スリット板の間隔を狭くすれば
両者が接触し易く、又スリン］・間隔のわずかな変化に
よっても出力信号の振幅が大きく変化する。従ってこの
疑似正弦波信号を微分し速度信号を得る場合、振幅変化
が直接速度信号の誤差として現れてしまうという問題点
があった。However, in such a conventional optical encoder, it is necessary to narrow the slit interval in order to sharpen the light receiving signal rail obtained from the light receiving element. By keeping the distance approximately the same as that of , a pseudo sine wave signal of constant amplitude is obtained. If this interval fluctuates, the peak value of the pseudo sine wave signal obtained by the light receiving element 3 will fluctuate, as shown by curve 3 or C in FIG. Particularly in a separate encoder where the movable slit plate 6 is separated from the encoder body, it is difficult to maintain a constant slit interval.If the interval between the movable slit plate and the fixed slit plate is narrowed, it is easier for them to come into contact with each other. Also, the amplitude of the output signal changes greatly even with a slight change in the interval. Therefore, when a speed signal is obtained by differentiating this pseudo sine wave signal, there is a problem in that the amplitude change directly appears as an error in the speed signal.
本発明はこのような従来の光学式エンコーダの問題点に
鑑みてなされたものであって、固定スリット板と移動ス
リソｌ〜板の間隔を比較的広くとることができ、しかも
その間隔が変動しても疑似正弦波信号の振幅変化を小さ
く押さえることができるようにすることを技術的課題と
する。The present invention has been made in view of the problems of conventional optical encoders, and allows for a relatively wide interval between the fixed slit plate and the movable slit plate, and also allows the interval to fluctuate. The technical problem is to be able to suppress the amplitude change of a pseudo sine wave signal to a small value even when
本発明は機械的な回転量や直線移動量を電気信号に変換
する光学式エンコーダであって、一定波長λの複数の光
ビームを発光する投光部と、各ミラーに対向して配置さ
れ夫々の光を受光する受光素子と、各受光素子に対応し
で固定され、一定のスリットピッチＰを隅でて複数のス
リ・ノドが形成された複数の固定スリット板と、各固定
スリ・ノド板に対し相対的に移動し、各固定スリｙ ｌ
・板と同一のスリットピッチＰを隔てて複数のスリ・ノ
ドが形成された移動スリット板と、各受光素子より得ら
れる出力の最大値を検出する最大値検出回路と、を具備
し、移動スリット板及び各固定スリ・ノド板の間隔を夫
々ｎＰ２／λの近傍の相異なる距離に設定したことを特
徴とするものである。The present invention is an optical encoder that converts the amount of mechanical rotation or linear movement into an electrical signal, and includes a light projector that emits a plurality of light beams with a constant wavelength λ, and a light beam that is arranged opposite to each mirror. a light-receiving element that receives light, a plurality of fixed slit plates fixed corresponding to each light-receiving element, and each fixed slit plate having a plurality of grooves formed at corners with a constant slit pitch P; move relative to each stationary pickpocket
・Equipped with a movable slit plate in which a plurality of slots are formed with the same slit pitch P as the plate, and a maximum value detection circuit that detects the maximum value of the output obtained from each light receiving element, the movable slit plate It is characterized in that the intervals between the plates and each fixed slot/groove plate are set at different distances in the vicinity of nP2/λ.
このような特徴を有する本発明によれば、投光部より一
定の波長を有する複数の光ビーＪ、を受光部側に照射し
ており、人々の光ビームに対応して固定スリット板及び
受光素子を設けている。そして移動スリット板と各固定
スリット板との間隔を夫々ｎＰ２／λの近傍の相異なる
距離に設定するようにしている。従って各スリット板を
介して受光素子に得られる疑似正弦波信号の振幅値は、
固定スリット板と移動スリット板を密着させたときとほ
ぼ同一の大きいレヘルとなる。そしてそれらの信号の最
大値が最大値検出回路により選択されてエンコーダの出
力となる。According to the present invention having such characteristics, a plurality of light beams J having a certain wavelength are irradiated from the light projecting part to the light receiving part side, and the fixed slit plate and the light receiving part are arranged in correspondence with the light beams of people. element is provided. The distances between the movable slit plate and each fixed slit plate are set to different distances in the vicinity of nP2/λ. Therefore, the amplitude value of the pseudo sine wave signal obtained at the light receiving element via each slit plate is
The level is almost the same as when the fixed slit plate and the movable slit plate are brought into close contact with each other. The maximum value of these signals is then selected by the maximum value detection circuit and becomes the output of the encoder.
そのため本発明によれば、組立時にはスリット板の間隔
を特定の関係を満たず任意の間隔に保つことができる。Therefore, according to the present invention, during assembly, the intervals between the slit plates can be maintained at an arbitrary interval without satisfying a specific relationship.
従ってスリノｌ−板の間隔を従来の光学式エンコーダの
ように極めて狭く設定する必要がなく、スリット板同士
の接触の可能性をなくすることができるという効果が得
られる。又移動スリン（・板の移動時には、受光素子よ
り２つのスリット板を密着させたとぎとほぼ同一レベル
の出力信号が得られ、その振幅値が大きくなるため信号
処理が容易となる。そして本発明では複数の受光素子か
ら得られる出力の最大値を検出するようにしているため
、スリット板の間隔が所定値かられずかに変動しても出
力信号の振幅に与える影響を極めて小さくすることがで
き、正確な位置信号。Therefore, it is not necessary to set the interval between the slit plates to be extremely narrow as in the conventional optical encoder, and it is possible to eliminate the possibility of contact between the slit plates. Furthermore, when the moving slit plates are moved, an output signal from the light-receiving element is obtained that is approximately the same level as when two slit plates are brought into close contact with each other, and the signal processing becomes easier because the amplitude value becomes larger. Because the system detects the maximum value of the output obtained from multiple light receiving elements, even if the spacing between the slit plates varies slightly from a predetermined value, the effect on the amplitude of the output signal can be minimized. , precise position signal.
速度信号を得ることができる。従ってスリ・ノド板の取
付間隔のばらつきに対する許容度が極めて大きくなり、
固定スリット板の取付けを容易にすることができるだけ
でなく、移動スリット板の回転や移動に伴ってスリンｌ
−間隔が変動する場合にも、出力変化に大きな影響を与
えることがないという効果も得られる。You can get the speed signal. Therefore, the tolerance for variations in the mounting interval of the pick-up and throat plates is extremely large.
Not only does it make it easier to install the fixed slit plate, but it also makes it easier to install the fixed slit plate.
- Even when the interval changes, it is possible to obtain the effect that it does not have a large effect on the output change.
第１図は本発明の一実施例による分離型のリニアエンコ
ーダの一例を示す構成図である。本実施例ではリニアエ
ンコーダ本体は開示しないケース内に投光部１１．及び
受光部１２が一定間隔を隔てて固定されている。投受光
部１１．１２の間には移動スリット板１３が左右に自在
に移動するように構成されている。移動スリ、ノド板１
３は一定のスリットピッチＰ毎に多数のスリットが平行
して設りられたものであって、リニアエンコーダ本体と
は一定の間隔を隅でて分離されており、その移ｆｉｌＪ
呈がり１アエンコーダより位置信号として得られる。さ
てエンコーダ本体の投光部１１には、図示のように−・
定の波長λ、例えば波長７８０＋ｖを有する点光源型の
投光素子、例えばレーザダイオード１４が設けられる。FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a separate linear encoder according to an embodiment of the present invention. In this embodiment, the light projecting section 11. and a light receiving section 12 are fixed at regular intervals. A movable slit plate 13 is arranged between the light emitting and receiving parts 11 and 12 so as to be freely movable left and right. Mobile pickpocket, throat board 1
3 has a large number of slits arranged in parallel at a constant slit pitch P, and is separated from the linear encoder main body by a corner with a constant interval, and the transfer filJ
It is obtained as a position signal from an encoder. Now, as shown in the figure, the light projecting section 11 of the encoder body has -.
A point light source type light projecting element, for example a laser diode 14, having a certain wavelength λ, for example a wavelength of 780+v, is provided.
そしてレーザビーＪ、の光軸には図示のように透過率が
５０％のハーフミラ−１５及びミラー１６が所定角度傾
けて取イ」けられている。ミラー１５．１６はレーザダ
イオード１４のし・−ザ光を受光部方向に反射させるも
のであって、夫々レーザビートの光径を平行に拡大する
コリメートレンズ１．７．１８が設けられζいる。As shown in the figure, a half mirror 15 and a mirror 16 having a transmittance of 50% are installed on the optical axis of the laser beam J, tilted at a predetermined angle. The mirrors 15, 16 reflect the laser light from the laser diode 14 toward the light receiving section, and are each provided with collimating lenses 1, 7, and 18 for enlarging the optical diameter of the laser beat in parallel.
レーザダイオードＩ４より出射されたレーザビームはハ
ーフミラ−１５を介して−・部が反日イされ、コリメー
トレンズ１７を介して平行光が受光部１２に与えられる
。又ハーフミラ−１５を透過したレーザビームはミラー
１６によって全て反射されてコリメートレンズ１８を介
して受光部１２側に与えられる。受光部１２にはコリメ
ートレンズ１７、】８に対向する位置に固定スリット板
１９゜２０が設けられる。固定スリット板１９．２０ば
微小なスリットが所定のスＩＪソトビソチＰ毎に多数形
成されており、夫々の背後には受光素子、例えばフォト
ダイオード２１．２２が設けられる。The laser beam emitted from the laser diode I4 is reflected by a half mirror 15, and parallel light is applied to the light receiving section 12 via a collimating lens 17. The laser beam that has passed through the half mirror 15 is completely reflected by the mirror 16 and is applied to the light receiving section 12 via the collimating lens 18. Fixed slit plates 19 and 20 are provided in the light receiving section 12 at positions facing the collimating lenses 17 and ]8. A large number of minute slits are formed in the fixed slit plate 19, 20 at each predetermined slot IJ, and a light receiving element, for example, a photodiode 21, 22, is provided behind each of the fixed slit plates 19, 20.
ここで移動スリット板１３と固定スリット板１９２００
間隅を夫々異なる値Ｌｌ、１．．２に設定する。Here, the moving slit plate 13 and the fixed slit plate 19200
The intermediate corners are set to different values Ll, 1. ．． Set to 2.
フォトダイオード２１．２２の出力は最大値検出回路２
３にり、えられる。最大値検出回路２３は２つの受光素
子の出力のうちより大きい信号を出力するものであって
、その出力は通常のリニアエンコーダと同様に信号処理
部２４に与えられて増幅され疑似正弦波信号として出力
される。又その出力を更に方形波に変換することによっ
て位置信号を得るよ・うにしている。The output of photodiodes 21 and 22 is the maximum value detection circuit 2.
3rd year, I can get it. The maximum value detection circuit 23 outputs the larger signal of the outputs of the two light receiving elements, and the output is given to the signal processing section 24 and amplified as a pseudo sine wave signal in the same way as a normal linear encoder. Output. Moreover, the position signal is obtained by further converting the output into a square wave.
さて移動スリット板工３と固定スリット板１９２０との
間隔ＬＬ、Ｌ２は、レーザダイオード１４の波長をλ、
スリソ］・ピッチをＰとすると、次式で定められる距離
の近傍の相異なる距離となるように設定する。Now, the distances LL and L2 between the movable slit plate 3 and the fixed slit plate 1920 correspond to the wavelength of the laser diode 14, λ,
When the pitch is P, the distances are set to be different distances in the vicinity of the distance determined by the following equation.
ここでスリット板間隔りに対してフォトダイオード２１
に得られる疑（以正弦波信号の振幅値は第２図に示すよ
・うな関係を有している。本図より明らかなよ・）に移
動スリット板１３と固定スリット板１．９．２０のスリ
ット間隔■７が零、即ち両打が密着している場合には得
られる出力信号は最大ピーク値を有するものであり、ｍ
［）２／２λ＋ （ｍは奇数）の位置では極めて小さ
（、ｎ、 ｐ ２ ／λの位置では振幅値は最大となり
、それらの間は正弦波状に変化する曲線となる。これは
スリットのパターンからの回折の結果得られるフーリエ
イメージによって起こる現象であり、本発明ではこの現
象を利用している。即ち本発明では点光源の投光素子を
用いてその光をコリメールレンズ１７．１８によって平
行な光ビームとして受光素子側に与えるようにしている
。さてＬｌ、Ｌ２は第２図においてｎＰ２／λの近傍、
即ち図示のように夫々相異なる距離Ｌ １及びＬ２に設
定するものとする。例えば第２図に示したようにＬ１＝
Ｐ２／λ＋５０（μｍ）、Ｌ２＝２Ｐ２／λ−５０（μ
ｍ）とする。例えばスリットピッチＰ−４０μｍ、波長
λを７８０ｎｍとすればスリット間隔Ｌｂ、、Ｌ２は夫
々２１００μｍ、 １．２は４０５０μｍとなる。従
って移動スリット板】３の移動に伴いスリット間隔Ｌ１
．Ｌ２がΔβ変化しても、フォトダイオード２１．２２
の出力のうちより大きいレベルの信号を最大値検出回路
２３から出力することによってその変動を少なくするこ
とができる。即ち移動スリット板１３と固定スリット板
１．９．２０との距離が変化し間隔Ｌｌ、Ｉ。Here, the photodiode 21 is
(hereinafter, the amplitude values of the sine wave signals have a relationship as shown in Figure 2. It is clear from this figure) that the moving slit plate 13 and the fixed slit plate 1.9.20 When the slit interval ■7 is zero, that is, when both strokes are in close contact, the output signal obtained has the maximum peak value, and m
At the position of [)2/2λ+ (m is an odd number), the amplitude value is extremely small (, n, at the position of p 2 /λ, the amplitude value is maximum, and between them there is a curve that changes like a sine wave. This is the pattern of the slit. This is a phenomenon caused by a Fourier image obtained as a result of diffraction from a light source, and the present invention utilizes this phenomenon.That is, in the present invention, a point light source is used and the light is collimated by collimator lenses 17 and 18. In Fig. 2, Ll and L2 are in the vicinity of nP2/λ,
That is, as shown in the figure, the distances L1 and L2 are set to be different from each other. For example, as shown in Figure 2, L1=
P2/λ+50(μm), L2=2P2/λ-50(μm
m). For example, if the slit pitch P-40 .mu.m and the wavelength .lamda. Therefore, as the moving slit plate】3 moves, the slit interval L1
．． Even if L2 changes by Δβ, the photodiode 21.22
By outputting a signal with a higher level among the outputs from the maximum value detection circuit 23, the fluctuation can be reduced. That is, the distance between the movable slit plate 13 and the fixed slit plate 1.9.20 changes to the interval Ll, I.
２が同時に小さくなった場合には、図中のＩ〕の範囲内
でフォトダイオード２１に得られる出力が最大値に近づ
く。又間隔Ｌｌ、Ｌ２が同時に大きくなれば図中のＥの
範囲内でフォトダイオード２２に得られる出力が最大値
に近づく。従って最大値検出回路２３からより大きいレ
ベルの信号を出力することによって移動スリン１−板と
固定スリソト板との距離の許容幅を大きくすることがで
きる。2 becomes small at the same time, the output obtained from the photodiode 21 approaches the maximum value within the range I] in the figure. Furthermore, if the distances Ll and L2 increase at the same time, the output obtained from the photodiode 22 approaches the maximum value within the range E in the figure. Therefore, by outputting a signal of a higher level from the maximum value detection circuit 23, the allowable width of the distance between the movable sling plate 1 and the fixed sling plate can be increased.
例えば第２図に示したよ・うにり、 Ｂの範囲では±
１００ｎＩｎの変化で出力変化が約２％となっている。For example, in the range B shown in Figure 2, ±
A change of 100 nIn results in an output change of approximately 2%.
−力筒３図は従来の光学式エンコーダにおいて２つのス
リット板の間隔りと受光索子Ｇこ得られる疑似正弦波信
号の振幅値の変化を示す図である。Figure 3 is a diagram showing changes in the amplitude value of the pseudo sine wave signal obtained by the light receiving probe G and the distance between two slit plates in a conventional optical encoder.
従来の光学式エンコーダでは第３図に示されるように２
つのスリット板の間隔をできるだけ狭く、例えば■、３
に設定することによっζ大きな振幅値を得るようにして
いる。この場合にはスリ７］・ピッチＰを４０μｍ、ス
リット間隔り、 ３を１１００Ｉｒとずれば、スリット
の変位Δβが例えば±５０μｍに対して振幅が３０％と
大幅に変化することとなる。In the conventional optical encoder, as shown in Figure 3,
Make the interval between the two slit plates as narrow as possible, for example ■, 3
By setting ζ, a large amplitude value is obtained. In this case, if the slit pitch P is set to 40 μm and the slit interval is set to 1100 Ir, the amplitude of the slit displacement Δβ will change significantly by 30% for example, with respect to ±50 μm.
尚本実施例ば単一波長で点光源型の１つのレーザダイオ
ードを用いてミラー１５．１６によりレーザビームを分
離しているが、同一波長の複数のレーザダイオードを用
いるようにしてもよいことばいうまでもない。又光源と
して発光領域が極めて小さい点光源型の発光ダイオード
を投光素子として用いることも可能である。第４図はこ
の点光源型発光ダイオードを投光素子として用い、スリ
７Ｉ・ピッチＰを４０．＋Ｊｍ、波長λを９５７ｎｔｎ
としたときの受光素子に得られる出力電圧の振幅値とス
リット間ギヤノブの関係を示すグラフである。本図に示
すように波長に一定の広がりを有事る発光グイオートを
用いてもほぼ第２図と同一のフーリエイメージを持つ振
幅変化を得ることができる。従って単一波長の発光ダイ
オードを投光素子として用い、スリンＩ・間隔を前述し
たよう乙こ式（１１の近傍の値に設定することによって
スリット板同士を接触させることなく正確な位置信号を
得ることが可能である。In this example, a single wavelength point light source type laser diode is used and the laser beams are separated by mirrors 15 and 16, but it is also possible to use a plurality of laser diodes with the same wavelength. Not even. Furthermore, it is also possible to use a point light source type light emitting diode, which has an extremely small light emitting area, as a light projecting element. In FIG. 4, this point light source type light emitting diode is used as a light emitting element, and the pick-up 7I and pitch P are 40. +Jm, wavelength λ is 957ntn
It is a graph showing the relationship between the amplitude value of the output voltage obtained at the light receiving element and the gear knob between the slits when the following conditions are met. As shown in this figure, even if a light emitting group having a certain spread in wavelength is used, it is possible to obtain an amplitude change having almost the same Fourier image as that in FIG. 2. Therefore, by using a single-wavelength light emitting diode as a light emitting element and setting the slit I/interval to a value close to 11 as described above, an accurate position signal can be obtained without making the slit plates contact each other. Is possible.
又本実施例は分離型のリニアエンコーダについて説明し
ているが、本発明は通常のリニアエンコーダやロータリ
ーエンコーダ等光学式の全てのエンコーダに適用するこ
とが可能である。Further, although this embodiment describes a separate linear encoder, the present invention can be applied to all optical encoders such as ordinary linear encoders and rotary encoders.
第１図は本発明の一実施例によるリニアエンコーダの主
要部の構成を示す図、第２図は本実施例のスリット間隔
と受光素子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第
３図は従来の光学式エンコーダのスリット間隔と受光素
子に得られる出力振幅の関係を示すグラフ、第４図は光
源として発光ダイオードを用いたときのスリ７（・間隔
と出力電圧の変化を示すグラフ、第５図は従来の光学式
［１−タリーエンコーダの一例を示す断面図、第６図は
その出力電圧の変化を示すグラフである。
１０−一ケース １１− 投光部 １２受光部
１３− 移動スリット板 １４レーザダイオード
１５−−−ハーフミラ−Ｉ６−ミラー １７．１８
−コリメートレンス １９．２０・−固定スリット
板 ２１２２−−−フォトダイオード ２３− 最
大値検出回路 ２４ ・・信号処理部
特許出願人 立石電機株式会社
代理人 弁理士 岡本宜喜（他１名）FIG. 1 is a diagram showing the configuration of the main parts of a linear encoder according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a graph showing the relationship between the slit interval and the output amplitude obtained from the light receiving element in this embodiment, and FIG. Figure 4 is a graph showing the relationship between the slit spacing of a conventional optical encoder and the output amplitude obtained from the light receiving element. Fig. 5 is a cross-sectional view showing an example of a conventional optical type [1-tally encoder], and Fig. 6 is a graph showing changes in its output voltage. 10-1 case 11- Light emitter 12 Light receiver
13- Moving slit plate 14 Laser diode
15---Half mirror-I6-mirror 17.18
- Collimating lens 19.20 - Fixed slit plate 2122 - Photodiode 23 - Maximum value detection circuit 24 ... Signal processing unit Patent applicant Tateishi Electric Co., Ltd. agent Patent attorney Yoshiki Okamoto (1 other person)
Claims (1)
、 前記各ミラーに対向して配置され夫々の光を受光する受
光素子と、 前記各受光素子に対応して固定され、一定のスリットピ
ッチＰを隔てて複数のスリットが形成された複数の固定
スリット板と、 前記各固定スリット板に対し相対的に移動し、前記各固
定スリット板と同一のスリットピッチＰを隔てて複数の
スリットが形成された移動スリット板と、 前記各受光素子より得られる出力の最大値を検出する最
大値検出回路と、を具備し、 前記移動スリット板及び前記各固定スリット板の間隔を
夫々ｎＰ＾２／λの近傍の相異なる距離に設定したこと
を特徴とする光学式エンコーダ。(1) a light projecting unit that emits a plurality of light beams with a constant wavelength λ; a light receiving element that is disposed opposite to each of the mirrors and receives the respective light; and a light receiving element that is fixed corresponding to each of the light receiving elements and has a constant wavelength. a plurality of fixed slit plates in which a plurality of slits are formed with a slit pitch P between them; It comprises a movable slit plate in which slits are formed, and a maximum value detection circuit that detects the maximum value of the output obtained from each of the light receiving elements, and the distance between the movable slit plate and each of the fixed slit plates is set to nP^, respectively. An optical encoder characterized in that the optical encoder is set at different distances in the vicinity of 2/λ.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1452589A JPH02194319A (en) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | Optical encoder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1452589A JPH02194319A (en) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | Optical encoder |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194319A true JPH02194319A (en) | 1990-07-31 |
Family
ID=11863536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1452589A Pending JPH02194319A (en) | 1989-01-23 | 1989-01-23 | Optical encoder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02194319A (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323613B2 (en) * | 1982-11-19 | 1988-05-17 | Nippon Hoso Kyokai | |
| JPS63215916A (en) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Mitsutoyo Corp | Optical type displacement detector |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP1452589A patent/JPH02194319A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6323613B2 (en) * | 1982-11-19 | 1988-05-17 | Nippon Hoso Kyokai | |
| JPS63215916A (en) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Mitsutoyo Corp | Optical type displacement detector |
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