JPH02190618A - 液冷式ころがり軸受 - Google Patents

液冷式ころがり軸受

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Publication number
JPH02190618A
JPH02190618A JP1011422A JP1142289A JPH02190618A JP H02190618 A JPH02190618 A JP H02190618A JP 1011422 A JP1011422 A JP 1011422A JP 1142289 A JP1142289 A JP 1142289A JP H02190618 A JPH02190618 A JP H02190618A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rolling bearing
rolling
ultra
high temperature
liquid cooling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1011422A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuaki Ono
充昭 小野
Yoichi Higuchi
洋一 樋口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1011422A priority Critical patent/JPH02190618A/ja
Publication of JPH02190618A publication Critical patent/JPH02190618A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C37/00—Cooling of bearings
    • F16C37/007—Cooling of bearings of rolling bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
    • F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
    • F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
    • F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
    • F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
    • F16C2300/54—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions high-temperature
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
    • F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
    • F16C33/30—Parts of ball or roller bearings
    • F16C33/58—Raceways; Race rings
    • F16C33/60—Raceways; Race rings divided or split, e.g. comprising two juxtaposed rings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Rolling Contact Bearings (AREA)
  • Mounting Of Bearings Or Others (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 真空、且つ高温度雰囲気内で使用されるころがり軸受に
関し、 円滑な回転と長期間の使用が可能となるころがり軸受を
提供することを目的とし、 外輪と、内輪と、該外輪と該内輪間で転勤する転動体と
、該転動体を保持する保持器よりなるころがり軸受にお
いて、前記外輪内に少なくとも１個の流入口と少なくと
も１個の流出口を有する冷却媒体の流路を設けて構成す
る。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空、且つ高温度雰囲気内で使用されるころ
がり軸受に関する。
最近の半導体装置等の高性能化、微細化を実現するため
には、超高真空、且つ高温度雰囲気内での半導体ウェー
ハ等の処理作業が不可欠となっている。
従って、上記のような処理作業を可能とする真空技術、
真空装置等に対しての要請も一段と厳しくなってきてい
る。
特に、上記真空装置の真空槽内で使用される回転機構の
重要な構成部品であるころがり軸受も、超高真空、且つ
高温度雰囲気内で使用されても脱ガスが少な（、然も長
期間の使用に耐えることが強く要請されている。
〔従来の技術〕
従って、超高真空内で使用する従来のころがり軸受は　
ころがり軸受の転がり面と転動体（ＪＩＳＢ　１５１２
参照）表面に、潤滑油の代わりに二硫化モリブデン等の
固体潤滑剤を塗布したり、または転動体表面に金（Ａｕ
）等の軟粘性の金属を薄くコーティングしたりして高温
度でも脱ガスが少なくなるようにしていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
第３図は真空装置の真空槽内の回転機構に用いられた一
前記した従来の記ころがり軸受の一使用例の要部側断面
図を示すものである。
尚、全図をとうして同一部材には同一記号を付しである
。
ヒータ７により加熱された基板ホルダ６からの輻射熱は
、水冷管５を配設した熱遮蔽板４により遮蔽されて、ハ
ウジング３に装着されて回転軸２を回動自在に軸着して
いるころがり軸受１には到達しないが、回転軸２からの
熱伝導による熱はカットすることはできない。
従って、超高真空内においては対流による熱放散がない
ために、前記ころがり軸受１は高温度になることが避け
られなかった。
上記のように、ころがり軸受が加熱されて高温度になる
と、ころがり軸受１の内輪、外輪、転動体が熱膨張によ
る熱変形を起こして、ころがり軸受１の転動体の転勤が
円滑性を欠いたり、耐久性が低下するなどの問題があっ
た。
本発明は、前記問題を解決するためになされたもので、
その目的は、真空、且つ高温度雰囲気内で円滑な回転と
長期間の使用が可能となるころがり軸受を提供するにあ
る。
〔課題を解決するための手段〕
前記課題は、第１図に示すように外輪１１と、内輪１２
と、該外輪１１と該内輪１２間で転動する転動体１３と
、該転動体１３を保持する保持器１４よりなるころがり
軸受において、 前記外輪１１内に少なくとも１個の流入口１１ａと、少
なくとも１個の流出口１１ｂを有する冷却媒体の流路１
５を設けたことを特徴とする液冷式ころがり軸受により
解決される。
〔作　用〕
前記のように構成した液冷式ころがり軸受は、流入口１
１ａから連続的に流入させた冷却媒体、例えば冷却水は
冷却媒体の流路１５を流れて流出口１１ｂから連続的に
流出する為に温度上昇は起きない。
従って、ころがり軸受は高温度雰囲気内で円滑な回転と
長期間の使用が可能となる。
Ａ線断面図（内輪１２、転動体１３、及び保持器１４は
図示省略）である。
図において、本発明の液冷式ころがり軸受は外輪１６．
内輪１２．転動体１３．保持器１４よりなり、外輪１６
は、該外輪１６の外周面を周方向に穿設して設けた溝１
６ｂの外周に流入口１６ｃと流出口１６ｄを具備したリ
ング状蓋１６ａを同着して形成した流路１５を内部に備
えている。
以上のようにして形成した本発明の液冷式ころがり軸受
は、外輪１６の内部に冷却媒体の流路１５が形成されて
いるために、冷却効率が良いために第３図のような使用
においても、加熱による温度上昇はない。
〔実　施　例〕
第２図を参照して本発明による液冷式ころがり軸受の一
実施例について説明する。
第２図は本発明の一実施例の液冷式ころがり軸受を示す
図で、同図（ａ）は本発明の一実施例の液冷式ころがり
軸受の断面を示す図、同図（ｂ）はＡ〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明によれば、熱輻射や熱伝導
のある超高真空内で使用されても、円滑な回転と長期間
の使用が可能となる軸受を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の液冷式ころがり軸受の原理説明用側断
面図、 第２図は本発明の一実施例の液冷式ころがり軸受を示す
図、 第３図は従来のころがり軸受の一使用例の要部側断面図
である。 図において、 １はころがり軸受、 ２は回転軸、 ３はハウジング、 ４は熱遮蔽板、 ５は水冷管、 ６は基板ホルダ、 ７はヒータ、 １１と１６は外輪、 １１ａと１６ｃは流入口、 １１ｂと１６ｄは流出口、 １２は内輪、 １３は転動体、 １４は保持器、 １５は流路、 １６ａはリング状蓋、 ６ｂ は溝を示す （Ｑ）　　１ｍ”ｒ　　働 ｈ−発”Ａ　’）’ｔＴ＆；９’？５．：　Ｓ’ｈ−Ｊ
　　’Ｍｌ’ｉ’）Ｊ４”ｒ”ｌＥｉ！　Ｅ’Ｊ’！　
”）％　　４１１　＠？１ｎ）Ｗｌ　回 （ｂ） ＡＡ１％ｖｒ＊＠ 、木４トリう一霊）自Ｓ多°１０ミ殻；↑配こ３隼り拍
（７ｖｔｎ算λ庖

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 外輪（１１）と、内輪（１２）と、該外輪（１１）と該
    内輪（１２）間で転動する転動体（１３）と、該転動体
    （１３）を保持する保持器（１４）よりなるころがり軸
    受において、 前記外輪（１１）内に少なくとも１個の流入口（１１ａ
    ）と、少なくとも１個の流出口（１１ｂ）を有する冷却
    媒体の流路（１５）を設けたことを特徴とする液冷式こ
    ろがり軸受。
JP1011422A 1989-01-19 1989-01-19 液冷式ころがり軸受 Pending JPH02190618A (ja)

Priority Applications (1)

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JP1011422A JPH02190618A (ja) 1989-01-19 1989-01-19 液冷式ころがり軸受

Applications Claiming Priority (1)

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JP1011422A JPH02190618A (ja) 1989-01-19 1989-01-19 液冷式ころがり軸受

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JPH02190618A true JPH02190618A (ja) 1990-07-26

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ID=11777622

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JP1011422A Pending JPH02190618A (ja) 1989-01-19 1989-01-19 液冷式ころがり軸受

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JP (1) JPH02190618A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009243662A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Thk Co Ltd 回転ベアリング、回転テーブル装置
JP2015183697A (ja) * 2014-03-20 2015-10-22 三菱重工業株式会社 軸受冷却装置
US10287912B2 (en) * 2014-08-18 2019-05-14 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Bearing ring and layer by layer method for manufacturing a bearing ring

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