JPH02181445A - Conveyor for substrate - Google Patents
Conveyor for substrateInfo
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- JPH02181445A JPH02181445A JP77289A JP77289A JPH02181445A JP H02181445 A JPH02181445 A JP H02181445A JP 77289 A JP77289 A JP 77289A JP 77289 A JP77289 A JP 77289A JP H02181445 A JPH02181445 A JP H02181445A
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- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は、基板に所定作業を行なうため搬送治具を用い
て該基板を搬送する基板搬送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (A) Field of Industrial Application The present invention relates to a substrate transfer device that uses a transfer jig to transfer a substrate in order to perform a predetermined operation on the substrate.
（ロ）従来の技術
この種基板搬送装置が、実開昭６２−９６８５０号公報
に開示されている。(b) Prior Art This type of substrate transfer device is disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-96850.
これによると基板を搬送する搬送治具は、基板をセット
した状態で供給マガジンに収納され、該収納マガジンよ
り１枚ずつ取り出され搬送諮れる。前記基板に所定作業
が行なわれた後、さらに搬送され収納マガジンに収納さ
れる構成である。According to this, a conveyance jig for conveying substrates is stored in a supply magazine with the substrates set therein, and the substrates are taken out one by one from the storage magazine and conveyed. After a predetermined operation is performed on the board, the board is further transported and stored in a storage magazine.
（ハ）発明が解決しようとする課題
しかし、前記従来技術では供給マガジンが空になると、
作業者が新しいマガジンに交換しなければならず又収納
マガジンが満杯になると、空のマガジンに交換しなけれ
ばならずロスタイツ、が発生し又治具も多数必要となる
という欠点がある。又前段取として作業者が基板を治具
にセットし、更に治具を供給マガジンにセットしなけれ
ばならず、作業者の負担が大きいという欠点がある。(C) Problems to be Solved by the Invention However, in the prior art, when the supply magazine becomes empty,
There are disadvantages in that the operator must replace the magazine with a new one, and when the stored magazine is full, the magazine must be replaced with an empty one, resulting in loss of tightness and that a large number of jigs are required. In addition, as a preliminary setup, the operator must set the board on the jig and then set the jig on the supply magazine, which has the disadvantage of placing a heavy burden on the operator.
そこで本発明は、ロスタイムを無くシ、使用する治具の
数量を低減し、作業者の負担を軽減することを目的とす
る。Therefore, an object of the present invention is to eliminate loss time, reduce the number of jigs used, and reduce the burden on the operator.
（ニ）課題を解決するための手段
このため本発明は、基板に所定作業を行なうため搬送治
具を用いて該基板を搬送する基板搬送装置に於いて、上
流で基板供給手段によって基板が納置された複数の搬送
治具を載置して第１の駆動手段により駆動される送り爪
によって夫々間欠送りすると共に該基板への所定作業後
その間欠送り途中で該基板が基板収納手段によりピック
アップされる治具送り手段と、該治具送り手段から前記
搬送治具を受け継ぎ第２の駆動手段により搬送する第１
の移載手段と、該第１の移載手段から前記搬送治具を受
け継ぎ第３の駆動手段により搬送するコンベアと、該コ
ンベアにより搬送されて来た前記搬送治具を１個ずつ分
離する分離手段と、該分離手段より前記搬送治具を受け
継ぎ第４の駆動手段により該搬送治具を前記治具送り手
段まで搬送する第２の移載手段とを設けたものである。(d) Means for Solving the Problems Therefore, the present invention provides a substrate transport device that transports a board using a transport jig in order to carry out a predetermined operation on the board. A plurality of conveying jigs are placed on the substrate and are each intermittently fed by a feed claw driven by the first driving means, and after a predetermined operation on the substrate is performed, the substrate is picked up by the substrate storage means during the intermittently feeding. a first jig conveying means that receives the conveying jig from the jig conveying means and conveys the jig by a second driving means;
a transfer means, a conveyor that receives the conveyance jig from the first transfer means and conveys it by a third drive means, and a separation that separates the conveyance jig conveyed by the conveyor one by one. and a second transfer means that receives the transport jig from the separating means and transports the transport jig to the jig sending means by a fourth driving means.
また本発明は、前記第２の移載手段から前記治具送り手
段への前記搬送治具の受渡し動作状態か否かを検出する
第１の検出手段と、前記第２の移載手段の搬送動作の途
中に設けられ該移載手段の通過を検出する第２の検出手
段と、前記第１の検出手段が搬送治具の受渡、し動作を
検出しているときに前記第２の検出手段が第２の移載手
段の通過を検出したとき前記第４の駆動手段の駆動を停
止する制御手段とを設けたものである。The present invention also provides a first detection means for detecting whether or not the transfer jig is in a transfer operation state from the second transfer means to the jig feeding means; a second detection means provided in the middle of the operation to detect passage of the transfer means; and a second detection means provided when the first detection means is detecting the transfer or transfer operation of the transport jig. and control means for stopping the driving of the fourth driving means when the passage of the second transfer means is detected.
（＊）作用
特許請求の範囲第１項の構成によれば、治具送り手段は
、第１の駆動手段により駆動される送り爪により載置し
ている複数の搬送治具を間欠送りし、この間に基板は搬
送治具に基板供給手段によって納置され、所定作業後基
板収納手段によりピックアップされる。第１の移載手段
は該搬送治具を受け継ぐと、第２の駆動手段に駆動され
コンベアまで搬送する。第３の駆動手段により駆動され
ているコンベアは受け取った搬送治具を直ちに搬送する
０分離手段はコンベアが搬送してきた搬送治具を１個ず
つ分離し第２の移載手段に供給する。第２の移載手段は
、第４の駆動手段により駆動され、分離手段より供給さ
れた前記搬送治具を治具送り手段まで搬送する。(*) Effect According to the structure of claim 1, the jig feeding means intermittently feeds the plurality of conveying jigs placed thereon by the feeding claws driven by the first driving means, During this time, the substrate is placed on the transport jig by the substrate supply means, and after a predetermined operation is picked up by the substrate storage means. When the first transfer means takes over the conveyance jig, it is driven by the second drive means and conveys it to the conveyor. The conveyor driven by the third drive means immediately transports the received transport jigs.The separation means separates the transport jigs transported by the conveyor one by one and supplies them to the second transfer means. The second transfer means is driven by the fourth drive means and transports the conveying jig supplied from the separation means to the jig feeding means.
特許請求の範囲第２項の構成によれば、第２の移載手段
が搬送動作をして第２の検出手段が通過の検出を行なっ
たとき、第１の検出手段が受渡し動作状態の検出を行な
っていると、制御手段は第４の駆動手段の駆動を停止し
第２の移載手段の搬送動作を停止させる。第１の検出手
段が受渡し動作状態で無いことを検出すると第２の移載
手段は搬送動作を再び開始する。According to the configuration set forth in claim 2, when the second transfer means performs a conveyance operation and the second detection means detects passage, the first detection means detects the transfer operation state. While performing this, the control means stops driving the fourth drive means and stops the conveyance operation of the second transfer means. When the first detection means detects that the transfer operation is not in progress, the second transfer means restarts the conveyance operation.
（へ）実施例 以下本発明の一実施例を図に基づき説明する。(f) Example An embodiment of the present invention will be described below based on the drawings.
第１図に於いて、（１）はコンベア（１５）から受け渡
された治具（９）を治具送り部（２）に移載する供給リ
フタ一部であり、（２）は治具（９）を間欠送りする治
具送り部である。In Fig. 1, (1) is a part of the supply lifter that transfers the jig (9) delivered from the conveyor (15) to the jig feeding section (2), and (2) is the part of the supply lifter that transfers the jig (9) delivered from the conveyor (15) to the jig feeding section (2). (9) This is a jig feeding section that feeds intermittently.
（３）は治具送り部（２）上を間欠送りされている治具
（９）に基板（１０）を供給する基板供給部であり、基
板（１０）をストックするパーツフィーダー（４）と該
パーツフィーダー（４）より前記治具（９）に基板（１
０）を移載する基板供給アーム（１１）とにより構成さ
れている。（５）は治具（９）の開口部内に載置され該
治具（９）と共に間欠送りされている基板（１０）に対
しペレットのボンディング作業を行なう作業ユニットで
ある。基板（１０）は主に金属基板である。(3) is a substrate supply section that supplies substrates (10) to a jig (9) that is intermittently fed on a jig feeding section (2), and a parts feeder (4) that stocks substrates (10); The substrate (1) is transferred from the parts feeder (4) to the jig (9).
0) and a substrate supply arm (11). (5) is a work unit that performs a pellet bonding operation on a substrate (10) placed in the opening of the jig (9) and being intermittently fed together with the jig (9). The substrate (10) is mainly a metal substrate.
（６）は治具送り部（２）上の治具（９）よりボンディ
ング作業が行なわれた基板（１０）を回収する基板回収
部であり、基板回収アーム（１２〉が基板（１０）の移
載を行なう。（７）は治具送り部（２）より受け渡され
た治具（９）をコンベア（１５）に移載する収納リフタ
一部である。(6) is a board collecting unit that collects the board (10) that has been bonded from the jig (9) on the jig feeding unit (2), and the board collecting arm (12) is used to pick up the board (10). Transfer is carried out. (7) is a part of the storage lifter that transfers the jig (9) delivered from the jig sending section (2) to the conveyor (15).
第２図及び第３図に於いて、（８）は上下動可能で治具
（９）をこの上面に載置させるリフターシュートであり
、供給リフタ一部（１）の一部である。In FIGS. 2 and 3, (8) is a lifter chute which is movable up and down and on which the jig (9) is placed, and is part of the supply lifter part (1).
（１３）は上下動可能で治具（９）を載置させるリフタ
ーシュートであり、収納リフタ一部（７）の一部である
。（１４）は図示しない駆動源により駆動される送り爪
であり、治具送り部（２）にて第８図のごとく治具に設
けられた送り用穴（９Ａ）に係合し一ピッチ送ったあと
１励し、−ピッチ分戻り、下降して次の送り用穴（９Ａ
〉に係合する第２図の矢印で示された動作を繰返ずこと
によリーピッチずつ治具（９）を間欠送りする。(13) is a lifter chute that can be moved up and down and on which the jig (9) is placed, and is a part of the storage lifter part (7). (14) is a feed claw driven by a drive source (not shown), which engages with a feed hole (9A) provided in the jig at the jig feed portion (2) as shown in Fig. 8, and feeds the jig by one pitch. After 1 excitation, return by -pitch, descend and go to the next feed hole (9A
By repeating the operation shown by the arrow in FIG.
尚第８図のごとく、治具（９）には基板（１０）と同形
状に打抜かれ、該基板（１０）がその中に載置される開
口部（９Ｂ）が８箇所送り爪（１４）の−ピッチと同じ
間隔で設けられており、送り用穴（９Ａ）は該開口部（
９Ｂ）毎に送り爪（１４）のピッチと同じ間隔で設けら
れている。 （１５）は収納リフタ一部（７）より治具
分離部（１６）を介して供給リフタ一部（１）にモータ
（１９）により治具（９）を搬送する連続運転するコン
ベアであり、治具分離部（１６）は該コンベア（１５）
により搬送されて来た治具（９）をリフターシュート（
８）の上下動−回につき一枚該リフターシュート（８）
上に受け渡すよう治具（９〉の分離を行なう。As shown in FIG. 8, the jig (9) is punched out in the same shape as the substrate (10), and has eight openings (9B) into which the substrate (10) is placed. ), and the feed holes (9A) are provided at the same intervals as the - pitch of the openings (
9B) at the same interval as the pitch of the feed claws (14). (15) is a continuously operating conveyor that conveys the jig (9) from the storage lifter part (7) to the supply lifter part (1) via the jig separation part (16) by a motor (19); The jig separation section (16) is connected to the conveyor (15).
The jig (9) transported by the lifter chute (
8) Vertical movement - one piece per turn of the lifter chute (8)
Separate the jig (9) so that it can be transferred to the top.
（３０）は光電検出器１で、リフターシュート（８）上
から治具（９）が完全に治具送り部（２）に移載された
かどうかを検出する。 （３１）は光電検出器２で、治
具送り部（２）からりフタ−シュート（１３）上に治具
（９）が完全に移載されたかどうかを検出する。(30) is a photoelectric detector 1 which detects whether the jig (9) has been completely transferred to the jig feeding section (2) from above the lifter chute (8). (31) is a photoelectric detector 2 which detects whether the jig (9) has been completely transferred from the jig feeding section (2) onto the lid chute (13).
（３２）は光電検出器３であり、前記検出器２（３１）
と同じ機能を有するが、光電検出器２（３１）のみでは
シュート上に治具（９）が無い場合でも移載したと検出
してしまうため設けられている。（３３）は光電検出器
４で、リフターシュート（１３）から治具（９）が完全
にコンベア（１５）に移載されたかどうかを検出する。(32) is the photoelectric detector 3, and the detector 2 (31)
However, it is provided because the photoelectric detector 2 (31) alone would detect that the jig (9) has been transferred even if there is no jig (9) on the chute. (33) is a photoelectric detector 4, which detects whether the jig (9) has been completely transferred from the lifter chute (13) to the conveyor (15).
（３４）は光電検出器５で、治具（９）が完全にリフタ
ーシュート（８）上に移載されたか検出する。(34) is a photoelectric detector 5 that detects whether the jig (9) has been completely transferred onto the lifter chute (8).
（３５）は光電検出器６で、治具（９）がその検出範囲
内に有る時ＯＮとなり、該治具（９）がリフターシュー
ト（８）上に完全に移載されたかを検出する。(35) is a photoelectric detector 6 which is turned ON when the jig (9) is within its detection range, and detects whether the jig (9) has been completely transferred onto the lifter chute (8).
（３６）はりフタ−シュート（８）の、上下動の中間に
位置する光電検出器７で、リフターシュート（，８）の
通過を検出し、光電検出器１（３０）により治具（９）
が完全に治具送り部（２）に移載されたことを検出して
いなければ、リフターシュート（８）が上昇して来たと
き、ここで停止させるためのものである。(36) The photoelectric detector 7 located in the middle of the vertical movement of the beam lifter chute (8) detects the passage of the lifter chute (,8), and the photoelectric detector 1 (30) detects the jig (9).
This is to stop the lifter chute (8) when it rises unless it is detected that the jig has been completely transferred to the jig feeding section (2).
（４０）はリミットスイッチ１で、リフターシュート（
８）の下降の下限をコンベア（１５）からりフタ−シュ
ート（８）にスムーズに移載できる位置に決定している
。（４１）はリミットスイッチ２で、リフターシュート
（８）から治具送り部（２）にスムーズに治具（９）を
移載できるよう上昇の上限の位置を決定する。 （４２
）はリミットスイッチ３で、リフターシュート（１３）
の下降の下限をリフターシュート（８）と同様に決定し
ている。（４３）はリミットスイッチ４で、リフターシ
ュート（１３）の上昇の上限をリフターシュート（８）
と同様に決定する。(40) is limit switch 1, lifter chute (
The lower limit of the descent of step 8) is determined at a position that allows smooth transfer from the conveyor (15) to the lid chute (8). (41) is a limit switch 2 that determines the upper limit position of the lift so that the jig (9) can be smoothly transferred from the lifter chute (8) to the jig feeding section (2). (42
) is limit switch 3, lifter chute (13)
The lower limit of the descent of is determined in the same way as the lifter chute (8). (43) is the limit switch 4, which sets the upper limit of the rise of the lifter chute (13) to the lifter chute (8).
Determine in the same way.
次に供給リフタ一部（１）について説明する。第４図に
於いて、（４５）はりフタ−シュート（８）の上下動の
駆動源となるモータであり、（４６）は軸部に水平方向
に平行溝が刻設されていて内蔵されている歯車が前記モ
ータ（４５）によりこの軸部を上下動させるラックアン
ドピニオンの構造を持つリニアヘッドであり軸部の上端
に取付けられたりフタ−シュート（８）を昇降させる。Next, the supply lifter part (1) will be explained. In Fig. 4, (45) is a motor that is the driving source for vertical movement of the beam lid chute (8), and (46) is a built-in motor with parallel grooves carved in the horizontal direction on the shaft. The gear is a linear head having a rack and pinion structure that moves the shaft up and down by the motor (45), and is attached to the upper end of the shaft and raises and lowers the lid chute (8).
（４８）はりフタ−シュート（８）に取付けられた一
対のボールブツシュ（４７）を貫通している一対の専用
軸であり、該リフターシュート（８）の昇降をガイドし
ている。(48) A pair of dedicated shafts passing through a pair of ball bushes (47) attached to the lifter chute (8) and guiding the lifter chute (8) up and down.
尚収納リフタ一部（７）も供給リフタ一部（１）と同様
な構造である６次に治具分離部（１６）について説明す
る。第５図に於いて、ゲート１ （１７）は図示しない
ソレノイドにより突出吸引され、突出したときに治具（
９）の先端に係止して停止させ、吸引されたとき係止を
解く、ゲート２ （１８）はゲート１（１７）が吸引さ
れたときに突出し治具（９）をガイド（２０）に押圧す
ることにより停止させ、ゲート１ （１７）が突出した
ときは吸引されて治具に対する抑圧を解く。The storage lifter part (7) also has the same structure as the supply lifter part (1), and the sixth-order jig separation part (16) will be explained. In FIG. 5, gate 1 (17) is protruded and suctioned by a solenoid (not shown), and when it protrudes, a jig (
Gate 2 (18) is locked and stopped at the tip of Gate 1 (18) when it is sucked, and the jig (9) is moved to the guide (20). It is stopped by pressing it, and when the gate 1 (17) protrudes, it is sucked and releases the pressure on the jig.
第２図、第６図に於いて、（２２）は治具（９）が治具
送り部（２）にて間欠送りされる際治具（９）を案内す
るシュートである。In FIGS. 2 and 6, (22) is a chute that guides the jig (9) when the jig (9) is intermittently fed by the jig feeding section (2).
（２３）はヒータブロック（２４）を加熱するヒータで
あり、ヒータブロック（２４）は治具（９）と共に間欠
送りされている基板（１０）をその滑り面としての上面
に載置し該基板（１０）を加熱しているが、昇降可能で
その上面には第１１図で示されるように基板（１０）の
流れ方向に溝が刻設されているが、直接基板（１０）に
接触する各頂部つまり溝以外の部分は同一なほぼ平面で
ある面上にある。この溝は第１２図のような三角形状、
第１３図のような半円形状、第１４図のような矩形状等
の形状に加工され得る。(23) is a heater that heats a heater block (24), and the heater block (24) places the substrate (10), which is being fed intermittently together with the jig (9), on its upper surface as a sliding surface. (10) is heated and can be raised and lowered, and as shown in FIG. The portions other than the tops or grooves lie on the same substantially flat surface. This groove has a triangular shape as shown in Figure 12.
It can be processed into a semicircular shape as shown in FIG. 13, a rectangular shape as shown in FIG. 14, or the like.
又ヒータブロック（２４）の上面を上から見た溝の形状
は、第１１図ではほぼ基板（１０）の流れ方向に平行で
あるが、例えば第１６図のように必ずしも平行でなくて
もよい。Furthermore, the shape of the groove when the top surface of the heater block (24) is viewed from above is approximately parallel to the flow direction of the substrate (10) in FIG. 11, but it does not necessarily have to be parallel as shown in FIG. 16, for example. .
又本実施例では、該ヒータブロック（２４）の材↑１は
５ＵＳ３０４を使用しており、搬送面はハードクロムメ
ツキで４００℃の温度に耐えるようになっている。Further, in this embodiment, the material ↑1 of the heater block (24) is 5US304, and the conveying surface is hard chrome plated to withstand a temperature of 400°C.
ヒータブロック（２４）は、常に高温となっているため
酸化を防ぐため還元ガスの雰囲気中にある。Since the heater block (24) is always at a high temperature, it is placed in a reducing gas atmosphere to prevent oxidation.
基板（１０）が載置しである下の面も溝が刻設しである
ため、該溝内にも還元ガスが進入し常に酸化を防いでい
る。Since the lower surface on which the substrate (10) is placed is also grooved, reducing gas enters into the grooves to constantly prevent oxidation.
（２５）は作業ユニット（５）のボンディング作業のた
めの開口部を有する上面カバーで、この下面はボンディ
ング作業の際ピークブロック（２４）が上昇し、基板（
１０）上面が当接しボンディング作業の基準面となる。(25) is an upper surface cover having an opening for the bonding operation of the work unit (5), and the lower surface of this cover is such that the peak block (24) rises during the bonding operation and the substrate (
10) The upper surface comes into contact and serves as a reference surface for bonding work.
尚各検出器（３０）〜（３６）及びリミットスイッチ（
４０）〜（４３）の各検出信号を受けて、各駆動源（１
９）（４５）等を制御するのはマイクロコンピュータ等
で行なう。In addition, each detector (30) to (36) and limit switch (
40) to (43), each drive source (1
9) (45) etc. are controlled by a microcomputer or the like.
以上のような構成により、以下動作について説明する。The operation of the above configuration will be described below.
先ず供給リフタ一部（１）の動作を第９図に示されるタ
イミング表に基づき説明する。First, the operation of the supply lifter part (1) will be explained based on the timing table shown in FIG.
治具（９）を＊ｅしたりフタ−シュート（８）が上限に
位置して該治具（９）が送り爪（１４）により４ピッチ
分治具送り部（１）に送られると、モータ（４５）が回
転し、リフターシュート（８）はリニアヘッド（４６）
を介してポールブツシュ（４７）を貫通する一対の専用
軸にガイドされ下降する。When the jig (9) is *e or the lid chute (8) is located at the upper limit and the jig (9) is sent to the jig feeding part (1) by four pitches by the feeding claw (14), The motor (45) rotates, and the lifter chute (8) is connected to the linear head (46).
It is guided by a pair of dedicated shafts passing through the pole bush (47) through the pole bush (47).
リフターシュート（８）が下降を開始すると、リミット
スイッチ２ （４１＞はＯＦＦとなる。リフターシュー
ト（８）が下限まで下降してリミットスイッチ１ （４
０）がＯＮとなると、モータ（４５）は回転を停止しり
フタ−シュート（８）は停止する。すると治具分離部（
１６）のゲート１ （１７）が停止を解き、治具（９）
がコンベア（１５）によりガイド（２０）に案内されな
がらリフターシュート（８）上に搬送される。完全に治
具（９）がリフターシュート（８）上に送り込まれると
、光電検出器６ （３５）がこれを検出しＯＮとなり、
モータ（４５）が逆方向に回転しりフタ−シュート（８
）は上昇を開始する。するとリミットスイッチ１ （４
０）はＯＦＦとなり、続いて光電検出器６（３５）もＯ
ＦＦとなる。リフターシュート（８）が光電検出器７（
３６）に検出される位置（この位置を中間停止位置とい
う。）まで上昇した時、送り爪（１４）によって供給リ
フタ一部（１）から治具送り部（２〉に間欠送りされて
いる治具（９）がまだ供給リフタ一部（２）の領域内に
あれば、つまり光電検出器１（３０）がＯＦＦならば、
リフターシュート（８）は該中間停止位置で停止する。When the lifter chute (8) starts descending, limit switch 2 (41> is turned OFF. When the lifter chute (8) descends to the lower limit, limit switch 1 (41) is turned OFF.
0) is turned ON, the motor (45) stops rotating and the lid chute (8) stops. Then, the jig separation part (
Gate 1 (17) of 16) releases the stop and the jig (9)
is conveyed onto the lifter chute (8) by the conveyor (15) while being guided by the guide (20). When the jig (9) is completely fed onto the lifter chute (8), the photoelectric detector 6 (35) detects this and turns ON.
When the motor (45) rotates in the opposite direction, the lid chute (8)
) begins to rise. Then limit switch 1 (4
0) becomes OFF, and then photoelectric detector 6 (35) also becomes OFF.
Becomes FF. The lifter chute (8) is connected to the photoelectric detector 7 (
36) (this position is referred to as an intermediate stop position), the jig being intermittently fed from the supply lifter part (1) to the jig feed part (2>) by the feed claw (14). If the tool (9) is still in the area of the supply lifter part (2), i.e. if the photoelectric detector 1 (30) is OFF;
The lifter chute (8) stops at the intermediate stop position.
治具（９）が治具送り部（２）に完全に移ったことが光
電検出器１（３０）がＯＮになることで検出されると、
リフターシュート（８）は再度上昇し始め、リミットス
イッチ２ （４１）がＯＮとなる上限で停止する。When it is detected that the jig (9) has completely moved to the jig feeding section (2) by turning on the photoelectric detector 1 (30),
The lifter chute (8) begins to rise again and stops at the upper limit when limit switch 2 (41) is turned on.
上限に位置したりフタ−シュート（８）上の治具（９）
は送り爪（１４）によリーピッチずつ治具送り部（２）
のシュート（２２）上に取りこまれる。治具送り部（２
）内で、先ず最初に所定の位置に治具（９）が送られて
くると、基板供給部（３）より基板（１０）が所定位置
の治具（９）の開口部（９Ｂ）内に載置される。Jig (9) located at the upper limit or above the lid chute (8)
The jig feed part (2) is adjusted by pitch by the feed claw (14).
is taken onto the chute (22). Jig feeding section (2
), when the jig (9) is first sent to a predetermined position, the board (10) is delivered from the board supply section (3) into the opening (9B) of the jig (9) at the predetermined position. will be placed on.
すなわちパーツフィーダー（４）より供給される基板（
１０）を基板供給アーム（１１〉がパーツフィーダー（
４）の所定箇所で吸着し、前記開口部（９Ｂ）まで回動
し載置する。基板（１０）が載置された治具（９）は、
さらに送られ基板（１０）がヒータブロック（２４）上
に載置されるようになる。基板（１０）は還元ガスの雰
囲気中にてヒータブロック（２４）に加熱されながらそ
の上面上を抵抗なく治具（９）と共に送り爪（１４）に
より間欠送りされ、所定位置にて作業ユニット（５）に
よりペレットのボンディング作業が行なわれる。このと
き第６図の状態から第７図の状態のごとく、ヒータブロ
ック（２４）は基板（１０）が上面カバー（２５）に当
接するまで上昇し、又治具（９）はシュート（２２〉の
滑り面より離れヒータブロック（２４）の滑り面上に載
置されボンディング作業が行なわれる。ボンディング作
業が完了すると、ヒータブロック（２４）は下降し、送
り爪（１４）は基板（１０）と共に治具（９）を−ピッ
チ送る。こうして間欠送りされた治Ａ（９）は基板回収
部（６）の所定の位置に達する。In other words, the substrate (
10) and the board supply arm (11> is the parts feeder (
4) is adsorbed at the predetermined location, rotated to the opening (9B), and placed. The jig (9) on which the substrate (10) is placed is
The substrate (10) is further fed and placed on the heater block (24). The substrate (10) is heated by the heater block (24) in a reducing gas atmosphere and is intermittently fed along with the jig (9) over its upper surface without resistance by the feed claw (14), and at a predetermined position is moved to the work unit ( 5) The pellet bonding operation is performed. At this time, from the state shown in FIG. 6 to the state shown in FIG. The bonding operation is performed by placing the heater block (24) on the sliding surface away from the sliding surface of the heater block (24).When the bonding operation is completed, the heater block (24) is lowered and the feed claw (14) is moved together with the substrate (10). The jig (9) is fed by -pitch.The jig A (9) thus intermittently fed reaches a predetermined position in the substrate collecting section (6).
すると基板回収アーム（１２）が、ボンディングされた
基板（１０）を別の収納場所に移載を行なう、こうして
間欠送り一ピツチごとに基板（１０）を取り去られた治
具（９）が収納リフタ一部（７〉に受け渡されていく。Then, the board collecting arm (12) transfers the bonded board (10) to another storage location.In this way, the jig (9) from which the board (10) has been removed every pitch of intermittent feeding is stored. It is handed over to a part of the lifter (7).
以下第１０図に基づき収納リフタ一部の動作を説明する
。The operation of a part of the storage lifter will be explained below based on FIG.
治具（９）は、治具送り部（２）より収納リフタ一部（
７）のリミットスイッチ４ （４３）に決定される上限
に位置しているリブターシュート（１３）に移載されて
いく。The jig (9) is moved from the jig feeding part (2) to a part of the storage lifter (
7) is transferred to the libter chute (13) located at the upper limit determined by the limit switch 4 (43).
光電検出器２（３１）が治具（９）が治具送り部（２）
上より無くなったことを検出しＯＮとなり、光電検出器
３ （３２）が、治具（９）がリフターシュート（１３
）上に完全に移載されたことを検出しＯＮとなると、リ
フターシュート（１３）は下降を開始する。下降を開始
すると、光電検出器３ （３２）とリミットスイッチ４
（４３）はＯＦＦとなる。The photoelectric detector 2 (31) is the jig (9) and the jig feeding part (2)
It detects that it is missing from the top and turns on, and the photoelectric detector 3 (32) and the jig (9) detect the lifter chute (13).
) When it is detected that the lifter chute (13) has been completely transferred and turned ON, the lifter chute (13) starts to descend. When the descent starts, photoelectric detector 3 (32) and limit switch 4
(43) is turned OFF.
リフターシュート（１３）が下降してリミットスイッチ
３ （４２）がＯＮとなると、該シュート（１３）は停
止する。これが下限の位置である。この下限の位置では
、治具（９）はコンベア（１５）上に載置される。する
と、コンベア（１５）はコンベア駆動モータ（１９）に
より駆動され、常に連続搬送動作をしているので、治具
（９）は収納リフタ一部（７）より排出される。When the lifter chute (13) descends and the limit switch 3 (42) is turned on, the chute (13) stops. This is the lower limit position. At this lower limit position, the jig (9) is placed on the conveyor (15). Then, since the conveyor (15) is driven by the conveyor drive motor (19) and constantly performs continuous conveyance operation, the jig (9) is discharged from the storage lifter part (7).
光電検出器４（３３）により治具（９）の排出の完了が
検出されると、リブターシュート（１３）は上昇を開始
する。このときリミットスイッチ３ （４２）はＯＦＦ
となる。リフターシュート（１３）は上昇して行きリミ
ットスイッチ４ （４３）がＯＮとなる上限にて停止し
、治具（９）の移載のため待機する。When the completion of ejection of the jig (9) is detected by the photoelectric detector 4 (33), the libter chute (13) starts to rise. At this time, limit switch 3 (42) is OFF.
becomes. The lifter chute (13) ascends and stops at the upper limit where the limit switch 4 (43) is turned on, and waits for the transfer of the jig (9).
次に治具分離部（１６）の動作について説明する。Next, the operation of the jig separating section (16) will be explained.
収納リフタ一部（７）よりコンベア（１５）により搬送
された治具（９）は、治具分離部（１６）に至る。The jig (9) conveyed from the storage lifter part (7) by the conveyor (15) reaches the jig separation section (16).
治具分離部（１６〉では、ゲート（１７）が図示しない
ソレノイドがＯＦＦである状態で、突出して最前位置の
治具（９）の先端に係止して停止させ、リフターシュー
ト（８）が下限に位置するとゲート１（１７）は吸引さ
れ治具（９）の係止を解くが、それと同時にゲート２
（１８）が突出し最前位置から二番目に位置する治具（
９）をガイド（２０）に押圧することにより停止させる
。こうして最前位置の治具（９）のみが、待機している
リブターシュート（８〉上にコンベア（１５）により搬
送移載される。In the jig separation part (16>), the gate (17) protrudes and locks onto the tip of the jig (9) at the frontmost position with the solenoid (not shown) turned OFF, and stops the lifter chute (8). When located at the lower limit, gate 1 (17) is attracted and releases the lock of jig (9), but at the same time gate 2
(18) is protruding and the jig located second from the frontmost position (
9) is stopped by pressing it against the guide (20). In this way, only the jig (9) at the forefront position is transferred and transferred onto the waiting libter chute (8>) by the conveyor (15).
光電検出器５ （３４）が治具が完全にリフターシュー
ト（８）上に移載されたことを検知しＯＮとなると、ゲ
ート１ （１７）は突出しゲート２ （１８）は吸引き
れ二番目以後の治具（９）はコンベア（１５）により搬
送されゲート１ （１７）により停止する。When the photoelectric detector 5 (34) detects that the jig has been completely transferred onto the lifter chute (8) and turns ON, the gate 1 (17) will protrude and the gate 2 (18) will be opened after the suction is completed. The jig (9) is conveyed by the conveyor (15) and stopped by the gate 1 (17).
尚ヒータブロック（２４）は第１５図で示されるごとく
、シュート（２７）とヒータブロック（２８）が分離で
きる構造にすることができる。こうすると基板滑り面が
摩耗した時等の交換が容易となる。The heater block (24) can be structured so that the chute (27) and the heater block (28) can be separated, as shown in FIG. This makes it easier to replace the board sliding surface when it becomes worn.
（ト）発明の効果
以上のようにしたため本発明は、作業に於けるロスタイ
ムを無くし、使用する治具の数量を低減し、作業者の負
担を軽減させることができる。(G) Effects of the Invention As described above, the present invention can eliminate lost time in work, reduce the number of jigs used, and reduce the burden on the operator.
第１図は本発明基板搬送装置の要部平面図、第２図は本
発明基板搬送装置の要部正面図、第３図は供給リフタ一
部のりフタ−シュートの平面図、第４図は供給リフタ一
部の駆動機構を示す側面図、第５図は第２図に於けるｘ
−ｘ’矢視図、第６図は第２図に於けるＹ−Ｙ’断面図
で基板搬送時のもの、第７図は第２図に於けるＹ−Ｙ’
断面図で作業ユニットの作業時のもの、第８図は搬送治
具の平面図、第９図は供給リフタ一部のタイミング表、
第１０図は収納リフタ一部のタイミング表、第１１図は
ヒータブロック上に基板が載置された状態での平面図、
第１２図はヒータブロックの三角形状の溝部の断面図、
第１３図はヒータブロックの半円形状の溝部の断面図、
第１４図はヒータブロックの矩形状の溝部の断面図、第
１５図は別部品となったシュートとヒータブロックの側
面図、第１６図はヒータブロック上面の溝形状を示す平
面図である。
（１）・・・供給リフタ一部、 （２）・・・治具送り
部、（３）・・・基板供給部、 （５）・・・作業ユニ
ット、 （６）・・・基板回収部、 （７）・・・収納
リフタ一部、 （９）・・・治具、 （１０）・・・基
板、 （１４）・・・送り爪、 （１５）・・・コンベ
ア、（１６）・・・治具分離Ｌ （１９）・・・コン
ベア駆動モータ、 （３０）・・・光電検出器１、 （
３１）・・・光電検出器２、 （３２）・・・光電検出
器３、 （３３）・・・光電検出器４、 （３４）・・
・光電検出器５、 （３５）・・・光電検出器６、 （
３６）・・・光電検出器７、 （４５）・・・モータ。FIG. 1 is a plan view of the main parts of the substrate transfer apparatus of the present invention, FIG. 2 is a front view of the main parts of the substrate transfer apparatus of the invention, FIG. 3 is a plan view of a part of the supply lifter, and FIG. A side view showing the drive mechanism of a part of the supply lifter.
-x' arrow view, Fig. 6 is a Y-Y' cross-sectional view in Fig. 2 during substrate transfer, and Fig. 7 is a Y-Y' in Fig. 2.
A cross-sectional view of the work unit during operation, Fig. 8 is a plan view of the conveyance jig, Fig. 9 is a timing chart of a part of the supply lifter,
Fig. 10 is a timing chart of a part of the storage lifter, Fig. 11 is a plan view with the board placed on the heater block,
FIG. 12 is a cross-sectional view of the triangular groove of the heater block;
Figure 13 is a cross-sectional view of the semicircular groove of the heater block;
FIG. 14 is a sectional view of the rectangular groove of the heater block, FIG. 15 is a side view of the chute and heater block, which are separate parts, and FIG. 16 is a plan view showing the shape of the groove on the top surface of the heater block. (1)... Part of the supply lifter, (2)... Jig feeding section, (3)... Board supply section, (5)... Work unit, (6)... Board collecting section , (7)...part of storage lifter, (9)...jig, (10)...board, (14)...feeding claw, (15)...conveyor, (16)... ...Jig separation L (19)...Conveyor drive motor, (30)...Photoelectric detector 1, (
31)...Photoelectric detector 2, (32)...Photoelectric detector 3, (33)...Photoelectric detector 4, (34)...
・Photoelectric detector 5, (35)...Photoelectric detector 6, (
36)...Photoelectric detector 7, (45)...Motor.
Claims (2)
基板を搬送する基板搬送装置に於いて、上流で基板供給
手段によって基板が納置された複数の搬送治具を載置し
て第１の駆動手段により駆動される送り爪によって夫々
間欠送りすると共に該基板への所定作業後その間欠送り
途中で該基板が基板収納手段によりピックアップされる
治具送り手段と、該治具送り手段から前記搬送治具を受
け継ぎ第２の駆動手段により搬送する第１の移載手段と
、該第１の移載手段から前記搬送治具を受け継ぎ第３の
駆動手段により搬送するコンベアと、該コンベアにより
搬送されて来た前記搬送治具を１個ずつ分離する分離手
段と、該分離手段より前記搬送治具を受け継ぎ第４の駆
動手段により該搬送治具を前記治具送り手段まで搬送す
る第２の移載手段とから成る基板搬送装置。(1) In a substrate transfer device that uses transfer jigs to transfer substrates in order to perform a predetermined operation on the substrate, a plurality of transfer jigs on which substrates are placed are placed by a substrate supply means upstream. A jig feeding means that feeds the substrate intermittently by feeding claws driven by a first driving means, and picks up the substrate by the substrate storage means during the intermittently feeding after a predetermined operation on the substrate; and the jig feeding means. a first transfer means that takes over the conveyance jig from the first transfer means and conveys it by a second drive means; a conveyor that takes over the conveyance jig from the first transfer means and conveys it by a third drive means; a separating means for separating the conveying jigs one by one conveyed by the separating means; and a fourth driving means for taking over the conveying jigs from the separating means and conveying the conveying jigs to the jig feeding means. 2. A substrate transfer device comprising a transfer means.
記搬送治具の受渡し動作状態か否かを検出する第１の検
出手段と、前記第２の移載手段の搬送動作の途中に設け
られ該移載手段の通過を検出する第２の検出手段と、前
記第１の検出手段が搬送治具の受渡し動作を検出してい
るときに前記第２の検出手段が第２の移載手段の通過を
検出したとき前記第４の駆動手段の駆動を停止する制御
手段とを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の基板搬送装置。(2) a first detection means for detecting whether or not the transfer jig is in a transfer operation state from the second transfer means to the jig feeding means; a second detection means provided on the way to detect the passage of the transfer means; and a second detection means provided on the way to detect the passing of the transfer means; 2. The substrate transport apparatus according to claim 1, further comprising a control means for stopping driving of the fourth drive means when passage of the transfer means is detected.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP77289A JPH02181445A (en) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | Conveyor for substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP77289A JPH02181445A (en) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | Conveyor for substrate |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02181445A true JPH02181445A (en) | 1990-07-16 |
Family
ID=11482990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP77289A Pending JPH02181445A (en) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | Conveyor for substrate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02181445A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003529509A (en) * | 2000-04-04 | 2003-10-07 | テトラ ラバル ホールディングス アンド ファイナンス エス エイ | Transport device with package carrier |
| CN109533927A (en) * | 2018-10-26 | 2019-03-29 | 张家港市通达电梯装璜有限公司 | Hollow cage guide foam filling equipment and fill method |
| CN110950006A (en) * | 2019-10-18 | 2020-04-03 | 安徽强旺调味食品有限公司 | Automatic barrel feeding device and elevator with same |
| CN111038983A (en) * | 2019-11-28 | 2020-04-21 | 铜陵富仕三佳机器有限公司 | Automatic resin arraying loader |
-
1989
- 1989-01-05 JP JP77289A patent/JPH02181445A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003529509A (en) * | 2000-04-04 | 2003-10-07 | テトラ ラバル ホールディングス アンド ファイナンス エス エイ | Transport device with package carrier |
| CN109533927A (en) * | 2018-10-26 | 2019-03-29 | 张家港市通达电梯装璜有限公司 | Hollow cage guide foam filling equipment and fill method |
| CN110950006A (en) * | 2019-10-18 | 2020-04-03 | 安徽强旺调味食品有限公司 | Automatic barrel feeding device and elevator with same |
| CN110950006B (en) * | 2019-10-18 | 2021-04-23 | 安徽强旺调味食品有限公司 | Automatic barrel feeding device and elevator with same |
| CN111038983A (en) * | 2019-11-28 | 2020-04-21 | 铜陵富仕三佳机器有限公司 | Automatic resin arraying loader |
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