JPH02181124A - 光ビームスキャン装置 - Google Patents
光ビームスキャン装置Info
- Publication number
- JPH02181124A JPH02181124A JP15689A JP15689A JPH02181124A JP H02181124 A JPH02181124 A JP H02181124A JP 15689 A JP15689 A JP 15689A JP 15689 A JP15689 A JP 15689A JP H02181124 A JPH02181124 A JP H02181124A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- scanning device
- diffraction grating
- grooves
- beam scanning
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
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- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光ビームを目的物の表面上を所定方向にスキャ
ンさせる光ビームスキャン装置に関する。
ンさせる光ビームスキャン装置に関する。
［従来の技術］
この種の光ビームスキャン装置は、例えば、レザプリン
タに用いられる。レーザプリンタは、半導体レーザを使
用して文字、図形等を高速で紙面に記録する情報記録装
置である。
タに用いられる。レーザプリンタは、半導体レーザを使
用して文字、図形等を高速で紙面に記録する情報記録装
置である。
近年、ファックス、コピー機などの高速情報記録装置と
してのレーザ・プリンタか実用化され、ＯＡ機器として
広く使用されるようになってきている。
してのレーザ・プリンタか実用化され、ＯＡ機器として
広く使用されるようになってきている。
［発明が解決しようとする課題］
このようなレーザ・プリンタにおける従来の光ビームス
キャン装置では、半導体レーザやＨｅＮｅレーザなどの
光ビームをポリゴンミラーなどを用いて水平走査すると
ともに、記録紙の駆動による垂直走査による文字、図形
等を印字記録している。
キャン装置では、半導体レーザやＨｅＮｅレーザなどの
光ビームをポリゴンミラーなどを用いて水平走査すると
ともに、記録紙の駆動による垂直走査による文字、図形
等を印字記録している。
しかしながら、このような光ビームスキャン装置におい
ては、光偏向用の光学系として、ポリコン・ミラーを機
械的に高速回転させ使用している為、高価でかつ空間的
占有面積か大きくなる。
ては、光偏向用の光学系として、ポリコン・ミラーを機
械的に高速回転させ使用している為、高価でかつ空間的
占有面積か大きくなる。
本発明の課題は、」二連の欠点を除去し、安価でコンパ
クトな光ビームスキャン装置を提供することにある。
クトな光ビームスキャン装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、光ビームを目的物の表面上を所定方向
にスキャンさせる装置において、主表面に互いに平行な
多数の溝を有し、該多数の溝間のピッチが、該多数の溝
のうちの最も外側に位置する二つの最外側溝に一方から
他方に向かうにつれ、広くなっている回折格子を備え、
前記光ビームを前記回折格子の前記最外側溝の前記一方
から前記他方にスキャンさせ、その結果得られる反射ビ
ムを前記目的物の前記表面上を前記所定方向にスキャン
させることを特徴とする光ビームスキャン装置が得られ
る。
にスキャンさせる装置において、主表面に互いに平行な
多数の溝を有し、該多数の溝間のピッチが、該多数の溝
のうちの最も外側に位置する二つの最外側溝に一方から
他方に向かうにつれ、広くなっている回折格子を備え、
前記光ビームを前記回折格子の前記最外側溝の前記一方
から前記他方にスキャンさせ、その結果得られる反射ビ
ムを前記目的物の前記表面上を前記所定方向にスキャン
させることを特徴とする光ビームスキャン装置が得られ
る。
［実施例］
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図を参照すると、本発明の一実施例による光ビーム
スキャン装置は、光ビーム１２を目的物２４に表面上を
所定方向ＤＩにスキャンさせる装置である。前記光ビー
ムスキャン装置は、主表向に互いに平行な多数の溝１４
を有し、多数の溝１４間のピッチが、多数の溝１４のう
ちの最も外側に位置する二つの最外側溝の一方１４１か
ら他方］４２に向かうにつれ、広くなっている回折格子
］１を備えている。前記光ビームスキャン装置は、前記
光ビーム１２を回折格子１］の前記最外側溝の前記一方
１４１から前記他方１４２にスキャンさせ、その結果得
られる反射ビーム］３を目的物２４の前記表面上を前記
所定方向にスキャンさせるものである。
スキャン装置は、光ビーム１２を目的物２４に表面上を
所定方向ＤＩにスキャンさせる装置である。前記光ビー
ムスキャン装置は、主表向に互いに平行な多数の溝１４
を有し、多数の溝１４間のピッチが、多数の溝１４のう
ちの最も外側に位置する二つの最外側溝の一方１４１か
ら他方］４２に向かうにつれ、広くなっている回折格子
］１を備えている。前記光ビームスキャン装置は、前記
光ビーム１２を回折格子１］の前記最外側溝の前記一方
１４１から前記他方１４２にスキャンさせ、その結果得
られる反射ビーム］３を目的物２４の前記表面上を前記
所定方向にスキャンさせるものである。
次に第２図を参照して、回折格子］］の作用を説明する
。
。
入射光１２と回折光］３とのなす角θは回折格子のピッ
チをｄとすると 可視光半導体レーザを光源として使い、光分散特性を有
する回折格子の溝ピッチをｍ＝１で形成した時、ｄ ＝
０．６７μｍで偏向角θは９０°となり、また、ｄ＝
［ｉ、７μｍのとき、θ−５．７°となり、約８４°の
光偏向角が得られる。この回折格子の作り方は、ホトリ
ソグラフィ技術、またはプラスチック金型成形で量産化
可能である。
チをｄとすると 可視光半導体レーザを光源として使い、光分散特性を有
する回折格子の溝ピッチをｍ＝１で形成した時、ｄ ＝
０．６７μｍで偏向角θは９０°となり、また、ｄ＝
［ｉ、７μｍのとき、θ−５．７°となり、約８４°の
光偏向角が得られる。この回折格子の作り方は、ホトリ
ソグラフィ技術、またはプラスチック金型成形で量産化
可能である。
再び、第１図を参照して、この光ビームスキャン装置は
、レーザプリンタ用のものである。このため、可視光子
導体レーザ２１と、超音波光変調器２２とを、さらに、
有している。可視光半導体レーザ２１からのレーザ光２
５か超音波光変調器２２に入射すると、超音波光変調器
２２の結晶内に超音波により形成される位相格子により
、約数度の光偏向を発生ずる。このビーム角を上に述べ
た回折格子２３で偏向拡大することにより感光ドラム上
に光ビームを形成できる。
、レーザプリンタ用のものである。このため、可視光子
導体レーザ２１と、超音波光変調器２２とを、さらに、
有している。可視光半導体レーザ２１からのレーザ光２
５か超音波光変調器２２に入射すると、超音波光変調器
２２の結晶内に超音波により形成される位相格子により
、約数度の光偏向を発生ずる。このビーム角を上に述べ
た回折格子２３で偏向拡大することにより感光ドラム上
に光ビームを形成できる。
なお、第１図において、Ｄ２は感光ドラム２４を移動さ
せる副走査方向を示している。
せる副走査方向を示している。
以」二のように、本実施例によれば、偏向ビームを制御
する系として、超音波光変調器２２と、光分散特性を何
する回折格子１］を有し、かつ回折格子］１をプラステ
ィク金型成形等で量産化できるため、非常に安価で、コ
ンパクトなレーザ・プリンタを提供できる効果がある。
する系として、超音波光変調器２２と、光分散特性を何
する回折格子１］を有し、かつ回折格子］１をプラステ
ィク金型成形等で量産化できるため、非常に安価で、コ
ンパクトなレーザ・プリンタを提供できる効果がある。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、多数の溝間ピッ
チが最外側溝の一方から他方に向かうにつれ、広くなっ
ている回折格子を用いることによって、光ビームを小さ
い角度たけふらせることによって大きなスキャン角度を
得ることができ、安価でコンパクトな光ビームスキャン
装置か得られる。
チが最外側溝の一方から他方に向かうにつれ、広くなっ
ている回折格子を用いることによって、光ビームを小さ
い角度たけふらせることによって大きなスキャン角度を
得ることができ、安価でコンパクトな光ビームスキャン
装置か得られる。
第１図は本発明の一実施例による光ビームスキャン装置
の構成図、第２図は第１図の回折格子の作用を説明する
ための図である。 ］］・・・回折格子、］２・・・入射光（光ビーム）、
］３・・回折光（反射ビーム）、］４・・・溝、２１・
・・半導体レーザ、 ２・・・超音波光変調器、 ２４ ・ 感 光ドラム （目的物） ・・レ サ光。 第１図 第２図
の構成図、第２図は第１図の回折格子の作用を説明する
ための図である。 ］］・・・回折格子、］２・・・入射光（光ビーム）、
］３・・回折光（反射ビーム）、］４・・・溝、２１・
・・半導体レーザ、 ２・・・超音波光変調器、 ２４ ・ 感 光ドラム （目的物） ・・レ サ光。 第１図 第２図
Claims (1)
- １．光ビームを目的物の表面上を所定方向にスキャンさ
せる装置において、主表面に互いに平行な多数の溝を有
し、該多数の溝間のピッチが、該多数の溝のうちの最も
外側に位置する二つの最外側溝の一方から他方に向かう
につれ、広くなっている回折格子を備え、前記光ビーム
を前記回折格子の前記最外側溝の前記一方から前記他方
にスキャンさせ、その結果得られる反射ビームを前記目
的物の前記表面上を前記所定方向にスキャンさせること
を特徴とする光ビームスキャン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15689A JPH02181124A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 光ビームスキャン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15689A JPH02181124A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 光ビームスキャン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02181124A true JPH02181124A (ja) | 1990-07-13 |
Family
ID=11466180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15689A Pending JPH02181124A (ja) | 1989-01-05 | 1989-01-05 | 光ビームスキャン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02181124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019189675A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 富士フイルム株式会社 | 光偏向装置および光学装置 |
| WO2019187777A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光デバイスおよび光検出システム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62250410A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
| JPS63314525A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Victor Co Of Japan Ltd | レ−ザビ−ム掃引方法 |
-
1989
- 1989-01-05 JP JP15689A patent/JPH02181124A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62250410A (ja) * | 1986-04-23 | 1987-10-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光走査装置 |
| JPS63314525A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Victor Co Of Japan Ltd | レ−ザビ−ム掃引方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2019187777A1 (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-03 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 光デバイスおよび光検出システム |
| CN110537143A (zh) * | 2018-03-27 | 2019-12-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 光设备及光检测*** |
| WO2019189675A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2019-10-03 | 富士フイルム株式会社 | 光偏向装置および光学装置 |
| JPWO2019189675A1 (ja) * | 2018-03-29 | 2021-02-25 | 富士フイルム株式会社 | 光偏向装置および光学装置 |
| US11609476B2 (en) | 2018-03-29 | 2023-03-21 | Fujifilm Corporation | Light deflection device and optical device |
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