JPH02163677A - プローブカード装置 - Google Patents
プローブカード装置Info
- Publication number
- JPH02163677A JPH02163677A JP1242410A JP24241089A JPH02163677A JP H02163677 A JPH02163677 A JP H02163677A JP 1242410 A JP1242410 A JP 1242410A JP 24241089 A JP24241089 A JP 24241089A JP H02163677 A JPH02163677 A JP H02163677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- lead screw
- plate
- carriage
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 204
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract 1
- 210000002414 leg Anatomy 0.000 description 11
- 210000003813 thumb Anatomy 0.000 description 8
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 5
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 241001661918 Bartonia Species 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 210000001364 upper extremity Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は回路と接触する試験プローブを動かすための装
置をに関する。
置をに関する。
発明の背景
最新のマイクロ回路を試験するための一般的な方法は、
回路の選定した試験位置に試験プローブを動かして接触
させることを含む。
回路の選定した試験位置に試験プローブを動かして接触
させることを含む。
プローブは回路の性能を解析するために試験器に結合さ
れる。試験中、一定の回路構成素子を変更することがで
きる。例え プローブを回路の適所に置いて、レーザ
トリミング技術を使用して回路のフィルム抵抗器素子の
形状を変化させることができる。
れる。試験中、一定の回路構成素子を変更することがで
きる。例え プローブを回路の適所に置いて、レーザ
トリミング技術を使用して回路のフィルム抵抗器素子の
形状を変化させることができる。
一般には、プローブ先端部がその中に突出しているいる
中央開口を有する剛性プローブカードにプローブを取り
付ける。プローブカードは装置により保持されてる。回
路を装置の近接部に搬送し、プローブ先端部が回路試験
箇所に接触するまで、装置によりプローブカードを回路
の方に動かす。
中央開口を有する剛性プローブカードにプローブを取り
付ける。プローブカードは装置により保持されてる。回
路を装置の近接部に搬送し、プローブ先端部が回路試験
箇所に接触するまで、装置によりプローブカードを回路
の方に動かす。
回路を試験した後、プローブカードを動かして回路から
離す。次いで、試験済回路を他の試験すべき回路と交換
する。
離す。次いで、試験済回路を他の試験すべき回路と交換
する。
従来技術には、試験装置近傍に位置した回路に対し行き
来するプローブの動きを機械化した機構を使用する試験
装置がある。これらの機構は、米国特許第3.996.
517号(ファーガソン等)と第3、787.768号
(クボタ等)に記載の通り、一般にプローブを動かして
回路と接触させる機能を果たす。しかし、今までに存在
する機構は、回路試験の高い処理量をこなすに必要とさ
れる速度、正確さ、および多様性を欠いている。
来するプローブの動きを機械化した機構を使用する試験
装置がある。これらの機構は、米国特許第3.996.
517号(ファーガソン等)と第3、787.768号
(クボタ等)に記載の通り、一般にプローブを動かして
回路と接触させる機能を果たす。しかし、今までに存在
する機構は、回路試験の高い処理量をこなすに必要とさ
れる速度、正確さ、および多様性を欠いている。
発明の概要
本発明は、プローブカードを回路に向かって及び回路か
ら 離して動かす装置を措向している。
ら 離して動かす装置を措向している。
装置は従来の機構より速い速度、高い正確さ、及び広い
多様性で操作される。
多様性で操作される。
本発明に係る装置は、試験のだめの回路が位置を変え得
る剛性フレームを備えてる。キャリッジの各隅部は親ね
じナツトに結合されていて、そのナツトは親ねじにねじ
込まれている。プローブカードはキャリッジに取り付け
てある。
る剛性フレームを備えてる。キャリッジの各隅部は親ね
じナツトに結合されていて、そのナツトは親ねじにねじ
込まれている。プローブカードはキャリッジに取り付け
てある。
親ねじは剛性の連続的駆動リンク機構を介して相互に結
合されている。駆動リンク機構は偏心継ぎ手を介して客
観ねじにかつ同様な継ぎ手を介してモーフシャフトに連
結されている。結果として、モータンヤフトの回転は、
駆動リンク機構の往復運動により親ねじに伝達される。
合されている。駆動リンク機構は偏心継ぎ手を介して客
観ねじにかつ同様な継ぎ手を介してモーフシャフトに連
結されている。結果として、モータンヤフトの回転は、
駆動リンク機構の往復運動により親ねじに伝達される。
その結果化じる親ねじの同時的回転は、親ねじの回転方
向に応じて、先導ナツトを親ねじに沿って上下に動かす
。
向に応じて、先導ナツトを親ねじに沿って上下に動かす
。
従って、キャリッジ(それに取り付けてあるプローブカ
ードを含めて)は、下方に動いて回路に向かい、又はそ
こから引き込まれて回路から離れる。
ードを含めて)は、下方に動いて回路に向かい、又はそ
こから引き込まれて回路から離れる。
キャリッジを回路に向かって下方に動かすとき、プロー
ブカードに保持されているプローブの先端部は回路の試
験箇所に接触する。
ブカードに保持されているプローブの先端部は回路の試
験箇所に接触する。
はぼ振動を起こさずにプローブカードは回路に向かって
又は回路から離して急速に動く。振動が生じると、プロ
ーブ先端部の振動が消滅するまでに要する遅れ又は″セ
トリングタイム″′を試験操作に加える必要があるので
、処理量が減少する。
又は回路から離して急速に動く。振動が生じると、プロ
ーブ先端部の振動が消滅するまでに要する遅れ又は″セ
トリングタイム″′を試験操作に加える必要があるので
、処理量が減少する。
本発明に係る他の態様として、剛性駆動リンク機構は親
ねじの確実駆動を行う。その結果、非常に正確なキャリ
ッジ位置の変更が可能である。
ねじの確実駆動を行う。その結果、非常に正確なキャリ
ッジ位置の変更が可能である。
本発明に係る他の態様として、駆動リンク機構と親ねじ
とが結合されている継ぎ手は親ねじ回転を動的に釣り合
うカウンターウェイトを有していて、剛性駆動リンク機
構が動いても装置の中で振動は発生しない。
とが結合されている継ぎ手は親ねじ回転を動的に釣り合
うカウンターウェイトを有していて、剛性駆動リンク機
構が動いても装置の中で振動は発生しない。
本発明に係る他の態様として、キャリッジは、親ねじナ
ツトに剛に取り付けてある坦体プレートと、坦体プレー
トに可動に取り付けてあるプローブカードプレートで構
成されている。プローブカードプレートはプローブカー
ドを保持する。従って、プローブカード位置を調整する
ことができ、試験すべき回路に対して正確にプローブを
方位付けることができる。この点に関して、プローブカ
ードの回転位置を微細に変化させる手段が備えである。
ツトに剛に取り付けてある坦体プレートと、坦体プレー
トに可動に取り付けてあるプローブカードプレートで構
成されている。プローブカードプレートはプローブカー
ドを保持する。従って、プローブカード位置を調整する
ことができ、試験すべき回路に対して正確にプローブを
方位付けることができる。この点に関して、プローブカ
ードの回転位置を微細に変化させる手段が備えである。
本発明に係る他の態様として、クランプ組立体がプロー
ブカードを曲げることなくプローブカードプレートにプ
ローブカードを固定するためにクランプ組立体がプロー
ブカードプレートに取り付けてある。プローブカードプ
レートが解放されるとき、プローブカードプレートを落
下させないこと確実にする機構がクランプ組立体に含ま
れている。
ブカードを曲げることなくプローブカードプレートにプ
ローブカードを固定するためにクランプ組立体がプロー
ブカードプレートに取り付けてある。プローブカードプ
レートが解放されるとき、プローブカードプレートを落
下させないこと確実にする機構がクランプ組立体に含ま
れている。
本発明に係る他の態様として、装置の速度、正確さ、及
び精密さが、プログラマブルな制御装置により与えられ
る。更に、このような装置は、例えば試験すべき特定の
回路構成素子の高さの点に関し、プログラマブルである
。この装置をプログラムで操作すると、各試験済回路を
未試験回路と交換するとき、プローブの旅程を最小限に
することができる。このような旅程制御は処理量を増大
する。
び精密さが、プログラマブルな制御装置により与えられ
る。更に、このような装置は、例えば試験すべき特定の
回路構成素子の高さの点に関し、プログラマブルである
。この装置をプログラムで操作すると、各試験済回路を
未試験回路と交換するとき、プローブの旅程を最小限に
することができる。このような旅程制御は処理量を増大
する。
実施例の詳説
第1図と第2図に示すように、本発明に係るプローブカ
ード装置20は作業面22に支持されている。
ード装置20は作業面22に支持されている。
プローブカード装置20は、試験位置と負荷/無負荷位
置との間を操縦具24が往復動じて動く空間を作るよう
に構成されている。操縦具24の頂部は回路基体28を
固定する真空チャックを有する。試験すべき回路30の
構成素子は基体28の上面に保持されている。数種の回
路を基体保持することができる。
置との間を操縦具24が往復動じて動く空間を作るよう
に構成されている。操縦具24の頂部は回路基体28を
固定する真空チャックを有する。試験すべき回路30の
構成素子は基体28の上面に保持されている。数種の回
路を基体保持することができる。
操縦具24は、回路30がテストプローブ32の先端3
1に接近できる試験位置に図面では描かれている。
1に接近できる試験位置に図面では描かれている。
回路試験後、操縦具24は負荷/無負荷位置(作業面2
2では位置Xとして示しである)に回路を動かす。その
位置はプローブカード装!20から離れている。負荷/
無負荷位置では、試験済回路30は試験されてない回路
と交換され、操縦具24は試験位置に戻る。
2では位置Xとして示しである)に回路を動かす。その
位置はプローブカード装!20から離れている。負荷/
無負荷位置では、試験済回路30は試験されてない回路
と交換され、操縦具24は試験位置に戻る。
試験位置に、又はから回路を搬送る適当な手段を本発明
に係るプローブカード装置20と共に使用することもで
きる。好適には、オレゴン州ビーバートンのエレクトロ
・サイエンティフィク・インダストリーズにより製作さ
れたモデル400(l レーザ トリミング 装置と共
に人手できるような操縦具24を使用するのが望ましい
。
に係るプローブカード装置20と共に使用することもで
きる。好適には、オレゴン州ビーバートンのエレクトロ
・サイエンティフィク・インダストリーズにより製作さ
れたモデル400(l レーザ トリミング 装置と共
に人手できるような操縦具24を使用するのが望ましい
。
プローブカード装置20は剛性の金属フレーム34を有
している。金属フレーム34は2個の前部脚38と1個
の後部壁39とにより支持され、水平に配置間 されているベースプレート36を備えている。ベースプ
レート36は作業面22の上に充分な距離離れて支持さ
れていて、操縦具が負荷/無負荷位置と試験位置との間
を動くとき、操縦具24のための空間を与えている。参
考のため、装置20の前面は図面で矢印35で示される
側である。
している。金属フレーム34は2個の前部脚38と1個
の後部壁39とにより支持され、水平に配置間 されているベースプレート36を備えている。ベースプ
レート36は作業面22の上に充分な距離離れて支持さ
れていて、操縦具が負荷/無負荷位置と試験位置との間
を動くとき、操縦具24のための空間を与えている。参
考のため、装置20の前面は図面で矢印35で示される
側である。
ベースプレート36は中央長方形開口37を備えている
。フレーム34の一方の側に、ベースプレート36は開
口37から外方に突出していて、以下に説明するように
駆動モータが取り付けてある突起部40が設けである。
。フレーム34の一方の側に、ベースプレート36は開
口37から外方に突出していて、以下に説明するように
駆動モータが取り付けてある突起部40が設けである。
ベースプレート36は平板のプローブカード44が取り
付けてある可動キャリッジ42を支持している。
付けてある可動キャリッジ42を支持している。
プローブカード44はプローブ32と回路試験機(図示
してない)との間に信号を引き渡すために適当な導体パ
ターンとコネクタとを有している。プローブ32はプロ
ーブカード44に取り付けてあって、プローブ32の先
端31はプローブカード44の切り抜き48を貫通して
延びている。キャリッジ42は、プローブ先端3工が試
験位置に存在する回路30の試験位置に接触するまで、
下方に動く。
してない)との間に信号を引き渡すために適当な導体パ
ターンとコネクタとを有している。プローブ32はプロ
ーブカード44に取り付けてあって、プローブ32の先
端31はプローブカード44の切り抜き48を貫通して
延びている。キャリッジ42は、プローブ先端3工が試
験位置に存在する回路30の試験位置に接触するまで、
下方に動く。
第1図から第4図に示すように、キヤ’11 yジ42
は坦体プレート50とプローブカードプレート76を備
ええている。プローブカードプレート76は坦体プレー
ト50の下に取り付けてある。坦体プレート50は一般
に長方形の平面で、中央長方形開口52を有している。
は坦体プレート50とプローブカードプレート76を備
ええている。プローブカードプレート76は坦体プレー
ト50の下に取り付けてある。坦体プレート50は一般
に長方形の平面で、中央長方形開口52を有している。
坦体プレート50はその後部両隅部56に後方に突出し
ている突出片54を有している。親ねじブラケット60
は各突出片54の頂部面に固定しである。親ねじブラケ
ット60は、開口37の各隅の近傍にあるフレームベー
スプレート36の下面に取り付けてある親ねじ組立体6
2に坦体プレート50の関連後部隅を固定するために使
用されている。親ねじ組立体は以下に充分に説明する。
ている突出片54を有している。親ねじブラケット60
は各突出片54の頂部面に固定しである。親ねじブラケ
ット60は、開口37の各隅の近傍にあるフレームベー
スプレート36の下面に取り付けてある親ねじ組立体6
2に坦体プレート50の関連後部隅を固定するために使
用されている。親ねじ組立体は以下に充分に説明する。
親ねじブラケット60は平坦でかつ長方形端部64(平
面で見て)と対向する環状端部66とを有している。親
ねじブラケット60の環状端部66は中央ねじ山付き孔
67を有している。客観ねじブラケット60の長方形端
部64は、坦体プレート50の各突出片54に形成され
た4個のねじ山付き孔と整列している4個の対となる孔
を有している。ねじ山付き固定具70は坦体プレートの
突出片54の頂部面に親ねじブラケット60の長方形端
部64を固定するために使用されていて、8親ねじブラ
ケット60の環状端部66は坦体プレート50の側から
外方に突出している。親ねじブラケット60の環状端部
66は親ねじ組立体62に係合している。
面で見て)と対向する環状端部66とを有している。親
ねじブラケット60の環状端部66は中央ねじ山付き孔
67を有している。客観ねじブラケット60の長方形端
部64は、坦体プレート50の各突出片54に形成され
た4個のねじ山付き孔と整列している4個の対となる孔
を有している。ねじ山付き固定具70は坦体プレートの
突出片54の頂部面に親ねじブラケット60の長方形端
部64を固定するために使用されていて、8親ねじブラ
ケット60の環状端部66は坦体プレート50の側から
外方に突出している。親ねじブラケット60の環状端部
66は親ねじ組立体62に係合している。
坦体プレート50の各前面隅72は、後部隅56につい
て述べたのと同じように取り付けてある親ねじブラケッ
ト60を有している。即ち、8親ねじブラケット60の
長方形端部64は固定具で取り付けてあって、環状端部
66は坦体プレート50から外方に突出していて、親ね
じ組立体62と係合している。
て述べたのと同じように取り付けてある親ねじブラケッ
ト60を有している。即ち、8親ねじブラケット60の
長方形端部64は固定具で取り付けてあって、環状端部
66は坦体プレート50から外方に突出していて、親ね
じ組立体62と係合している。
親ねじ組立体62に親ねじブラケット60を介して取り
付けてある坦体プレート50の4個の隅全部で、親ねじ
組立体62は駆動されて、坦体プレート50を」1方又
は下方に動かす。親ねじ組立体62と関連の駆動手段の
特長は後に述べる。
付けてある坦体プレート50の4個の隅全部で、親ねじ
組立体62は駆動されて、坦体プレート50を」1方又
は下方に動かす。親ねじ組立体62と関連の駆動手段の
特長は後に述べる。
プローブカードプレート76は、角を落とした隅部(平
面で)とそこに形成された長方形中央間ロア9とを有す
る剛性の長方形プレートである。プローブカードプレー
ト76は坦体プレート50の下面に取り付けてある。ク
ランプ組立体78はプローブカードプレート76により
保持されて、プローブカード44をプローブカードプレ
ート76に固定している。
面で)とそこに形成された長方形中央間ロア9とを有す
る剛性の長方形プレートである。プローブカードプレー
ト76は坦体プレート50の下面に取り付けてある。ク
ランプ組立体78はプローブカードプレート76により
保持されて、プローブカード44をプローブカードプレ
ート76に固定している。
プローブカードプレート76は調節自在に坦体プレート
50に取り付けてあって、プローブカードプレート76
の方位(従って、プローブカード44とプローブ32の
方位)は調節されて、プローブカード44の下に位置す
る回路30の試験位置の方位に一致することができる。
50に取り付けてあって、プローブカードプレート76
の方位(従って、プローブカード44とプローブ32の
方位)は調節されて、プローブカード44の下に位置す
る回路30の試験位置の方位に一致することができる。
この点に関して、最新式写真率ばん製作技術により、回
路のある任意のバッチが、例えば基体の中心に対しであ
る任意の方位を有する構成素子で製作される。しかし、
方位を第2バツチの同一の回路の方位に正確に合致させ
ることはできない。従って、本発明に係るプローブカー
ドプレート76はプローブカード44の方位を変えるこ
とが可能であるように調整自在に取り付けてあって、プ
ローブ32は各バッチの回路の試験位置に正確に接触す
る。
路のある任意のバッチが、例えば基体の中心に対しであ
る任意の方位を有する構成素子で製作される。しかし、
方位を第2バツチの同一の回路の方位に正確に合致させ
ることはできない。従って、本発明に係るプローブカー
ドプレート76はプローブカード44の方位を変えるこ
とが可能であるように調整自在に取り付けてあって、プ
ローブ32は各バッチの回路の試験位置に正確に接触す
る。
前述のことを図示するために、第2図で想像線B、は任
意のバッチの回路の特性軸を示している。
意のバッチの回路の特性軸を示している。
バッチの各回路は装置のキャリッジ42の下の試験位置
に操縦具24により連続的に送出される。線B。
に操縦具24により連続的に送出される。線B。
は、例えば、基体に回路構成素子を装備ために使用され
るマスクの中心軸に一致する線である。従って、その回
路の全ての構成素子の位置はその軸B、に対して固定さ
れる。
るマスクの中心軸に一致する線である。従って、その回
路の全ての構成素子の位置はその軸B、に対して固定さ
れる。
想像線B2は、第1バツチにほぼ同一である第2バ7チ
の回路の特性軸を示している(即ち、線B2に対する第
2バッチ回路の構成素子の位置は、線B、に対する第1
バッチ回路構成素子の位置に合致する)。回路製作工程
における変動のために、特性軸B2は、第1バツチの回
路特性軸B、に対しての不整列となる。即ち、軸B2は
小さな角77だけ軸B、からオフセットするく第2図に
では便宜上誇張しである。)。
の回路の特性軸を示している(即ち、線B2に対する第
2バッチ回路の構成素子の位置は、線B、に対する第1
バッチ回路構成素子の位置に合致する)。回路製作工程
における変動のために、特性軸B2は、第1バツチの回
路特性軸B、に対しての不整列となる。即ち、軸B2は
小さな角77だけ軸B、からオフセットするく第2図に
では便宜上誇張しである。)。
プローブ32の方位を調整し、それによりバッチの軸下
整列を補正するために、装置のオペレータは、B1から
82への方向に角77だけその中心の回りにプローブカ
ードプレート76(従って、プローブカード44)を僅
かに回転させる。操縦具24を既知の方法で制御してプ
ローブカードプレート76の下の回路を位置決めして、
プローブカードプレート76の方位を調整する前に回路
の中心をプローブカード44の回転軸と整列する。
整列を補正するために、装置のオペレータは、B1から
82への方向に角77だけその中心の回りにプローブカ
ードプレート76(従って、プローブカード44)を僅
かに回転させる。操縦具24を既知の方法で制御してプ
ローブカードプレート76の下の回路を位置決めして、
プローブカードプレート76の方位を調整する前に回路
の中心をプローブカード44の回転軸と整列する。
第2図、第4図、及び第5図に示すように、プローブカ
ードプレート76を坦体プレート50に調整自在に取り
付けてプローブカードプレート76の回転調整を可能と
する機構は、つまみナラ)80と植え込みボルト81を
有している。つまみナツトとボルトは結合して、プロー
ブカードプレート76の隅部を坦体プレート50の隅部
に解除自在に取り付ける。キャリッジ42の後部を先ず
見ると、ねじ山付き孔84はプローブカードプレート7
6の各後部隅部82に形成されいる。ベアリング案内孔
86(以後ベアリング案内86と呼称する。)はプロー
ブカードプレート76の孔84の上の坦体プレート50
を貫通して形成されている。ベアリング案内86は平面
で見るとほぼ楕円形で、リングベアリング88を受容す
る。リングベアリング88はベアリング案内8Gの幅よ
り僅かに小さい直径を有する。
ードプレート76を坦体プレート50に調整自在に取り
付けてプローブカードプレート76の回転調整を可能と
する機構は、つまみナラ)80と植え込みボルト81を
有している。つまみナツトとボルトは結合して、プロー
ブカードプレート76の隅部を坦体プレート50の隅部
に解除自在に取り付ける。キャリッジ42の後部を先ず
見ると、ねじ山付き孔84はプローブカードプレート7
6の各後部隅部82に形成されいる。ベアリング案内孔
86(以後ベアリング案内86と呼称する。)はプロー
ブカードプレート76の孔84の上の坦体プレート50
を貫通して形成されている。ベアリング案内86は平面
で見るとほぼ楕円形で、リングベアリング88を受容す
る。リングベアリング88はベアリング案内8Gの幅よ
り僅かに小さい直径を有する。
ねじ山付き下部端部94を有する植え込みボルト81は
リングベアリング88の中心を貫通し6て延びている。
リングベアリング88の中心を貫通し6て延びている。
植え込みボルト81の下部端部94はプローブカードプ
レート76の孔84の中に永久的にねじ込まれている。
レート76の孔84の中に永久的にねじ込まれている。
中間部95はリングベアリング88の中心部に存在する
。植え込みボッtト81の上部ねじ山付き端部96はリ
ングベアリング88の中心部より大きい直径を有してい
る。ボルト81は締めつけられて、上部端部96の親ね
じはリングベアリング8Bの内側レースに当たって、プ
ローブカードプレート76に対してベアリングの位置を
固定する。植え込みボルト81の上部端部96の残部は
坦体プレート50の上面97の上に突出して、つまみナ
ツト80に係合している。
。植え込みボッtト81の上部ねじ山付き端部96はリ
ングベアリング88の中心部より大きい直径を有してい
る。ボルト81は締めつけられて、上部端部96の親ね
じはリングベアリング8Bの内側レースに当たって、プ
ローブカードプレート76に対してベアリングの位置を
固定する。植え込みボルト81の上部端部96の残部は
坦体プレート50の上面97の上に突出して、つまみナ
ツト80に係合している。
つまみナツト80は取り付けてある痛撃ノブ100を備
える肩部98を有している。肩198はベアリング案内
86の幅より大きい直径を有している。更に、リングベ
アリング88は坦体プレート50より薄い。
える肩部98を有している。肩198はベアリング案内
86の幅より大きい直径を有している。更に、リングベ
アリング88は坦体プレート50より薄い。
従って、つまみナツト97が締約つけられるき、肩89
8は坦体プレート50の上面97に当たり、プローブカ
ードプレート76を坦体プレート50に対して締めつけ
る1、 坦体プレート50のベアリング案内86ハ、プローブカ
ードプレー1・76の孔84の十に位置して、リンク゛
べ了リンク8)1がべ了リング案内86の最内側縁部8
7に当たる1、史に、ベアリング案内86の最内側縁部
87は湾曲t、てし)で、1;ンクベアリング88の中
心部は、プローブカードプレート7Gが坦体プレート5
0に対して回転するき、坦体プレート50の開口52の
中心点112から一定の1q子で動く。好適には、ベア
リンク案内86の寸法は、リングベ”rリング88の中
心部が中心点92に対して4°の角度で横断できる寸法
とする。
8は坦体プレート50の上面97に当たり、プローブカ
ードプレート76を坦体プレート50に対して締めつけ
る1、 坦体プレート50のベアリング案内86ハ、プローブカ
ードプレー1・76の孔84の十に位置して、リンク゛
べ了リンク8)1がべ了リング案内86の最内側縁部8
7に当たる1、史に、ベアリング案内86の最内側縁部
87は湾曲t、てし)で、1;ンクベアリング88の中
心部は、プローブカードプレート7Gが坦体プレート5
0に対して回転するき、坦体プレート50の開口52の
中心点112から一定の1q子で動く。好適には、ベア
リンク案内86の寸法は、リングベ”rリング88の中
心部が中心点92に対して4°の角度で横断できる寸法
とする。
坦体プレート50の前部隅部72とプローブカードプレ
ート76の対応する前部隅部104について述べる。坦
体プレート50の前部隅172と関連している、つまみ
ナツト80と、植え込みボルト81と、ベアリング案内
8Gと、リングベアリング88とは、坦体プレート50
の後部隅部56について述べたのとほぼ同じように形状
され、配置されている。しかし、プローブカードプレー
ト76の前部隅部104は後部隅部82の孔84と似て
いない孔108を有している。特定して言えば、前部隅
部孔108は、全部で4個のリングベアリング88を備
えるキャリッジ42の組立体が、坦体プレート50の関
連のベアリング案内86の最も内側の面87で確実に支
えられることが可能であるような形状に特にされている
。そのため、坦体プレート50の中心点92とプローブ
カードプレート76の中心部は、プローブカードプレー
ト76の如何なる回転位置調整にもかかわらず坦体プレ
ート50に直交する軸に沿って正確に整列した状態で残
る。
ート76の対応する前部隅部104について述べる。坦
体プレート50の前部隅172と関連している、つまみ
ナツト80と、植え込みボルト81と、ベアリング案内
8Gと、リングベアリング88とは、坦体プレート50
の後部隅部56について述べたのとほぼ同じように形状
され、配置されている。しかし、プローブカードプレー
ト76の前部隅部104は後部隅部82の孔84と似て
いない孔108を有している。特定して言えば、前部隅
部孔108は、全部で4個のリングベアリング88を備
えるキャリッジ42の組立体が、坦体プレート50の関
連のベアリング案内86の最も内側の面87で確実に支
えられることが可能であるような形状に特にされている
。そのため、坦体プレート50の中心点92とプローブ
カードプレート76の中心部は、プローブカードプレー
ト76の如何なる回転位置調整にもかかわらず坦体プレ
ート50に直交する軸に沿って正確に整列した状態で残
る。
この点に関して、坦体プレート50の前部隅部72にあ
るベアリング案内86の下にある、プローブカードプレ
ート76の前面の孔108は、対となるほぼ楕円形の形
状に構成されている。前部孔108は直線状側縁部と主
軸110を有している。主軸110は、第2図において
プローブカードプレート76の隅部を貫通している。座
金112は孔108の対の部分の中に嵌め込まれている
(第5図)。植え込みボルト81の下部ねし山付き端部
94は座金112を貫通して延びていて、プローブカー
ドプレート76の下面の別の座金114 とナツト11
6に係合している。
るベアリング案内86の下にある、プローブカードプレ
ート76の前面の孔108は、対となるほぼ楕円形の形
状に構成されている。前部孔108は直線状側縁部と主
軸110を有している。主軸110は、第2図において
プローブカードプレート76の隅部を貫通している。座
金112は孔108の対の部分の中に嵌め込まれている
(第5図)。植え込みボルト81の下部ねし山付き端部
94は座金112を貫通して延びていて、プローブカー
ドプレート76の下面の別の座金114 とナツト11
6に係合している。
キャリッジ42を組み立てて、全部で4個のリングベア
リング88が関連のベアリング案内86の最内側縁部8
7に当たるようにするために、植え込みボルト81を介
してプローブカードプレート76に固定されている後部
隅部56のリングベアリング88を備える坦体プレート
50の下にプローブカードプレート7Gを位置する。全
てのつまみボルト80をルーズに締める。坦体プレート
後部隅部5Gのベアリング案内86のリングベアリング
8Bがこれらのベアリング案内86の最内側縁部87に
確実に当たるまでプローブカードプレート76の後部隅
部82を坦体プレート50の中心の方に押す。今述べた
ように、縁部87に対してこれらのリングベアリング8
8により、前部リングベアリング88がベアリング案内
86の最内側縁部87に確実に当たるまで、坦体プレー
ト50の=21 〜22 前部隅部72で植え込みボルト81.!ニー、リングベ
アリング88と、つまみボルト80(九−ズ)とは7°
D−ブカードプレート7Gの前部孔■o8の軸線110
に沿って?W動する。次いで、ナラ)116を締めて、
植え込みポル)81を前部孔1()8の中に固定する。
リング88が関連のベアリング案内86の最内側縁部8
7に当たるようにするために、植え込みボルト81を介
してプローブカードプレート76に固定されている後部
隅部56のリングベアリング88を備える坦体プレート
50の下にプローブカードプレート7Gを位置する。全
てのつまみボルト80をルーズに締める。坦体プレート
後部隅部5Gのベアリング案内86のリングベアリング
8Bがこれらのベアリング案内86の最内側縁部87に
確実に当たるまでプローブカードプレート76の後部隅
部82を坦体プレート50の中心の方に押す。今述べた
ように、縁部87に対してこれらのリングベアリング8
8により、前部リングベアリング88がベアリング案内
86の最内側縁部87に確実に当たるまで、坦体プレー
ト50の=21 〜22 前部隅部72で植え込みボルト81.!ニー、リングベ
アリング88と、つまみボルト80(九−ズ)とは7°
D−ブカードプレート7Gの前部孔■o8の軸線110
に沿って?W動する。次いで、ナラ)116を締めて、
植え込みポル)81を前部孔1()8の中に固定する。
前述の構成で、4個のつまみナラ)80を緩める時は常
に、プローブカードプレー1・76は坦体プl、・−ト
50に対して僅かに回転し、=−・方坦体ブレ・−トの
中心点92とプローブカードプレート中心部は軸方向に
整列した状態のままである、。
に、プローブカードプレー1・76は坦体プl、・−ト
50に対して僅かに回転し、=−・方坦体ブレ・−トの
中心点92とプローブカードプレート中心部は軸方向に
整列した状態のままである、。
好適には、全てのつまみナラ)80を不注意に植え込み
ボルト81から取り外すことがあるときに、プローブカ
ードプレート76が坦体プレート5oがら落下しないこ
とを確実にする機構を使用する。これらの安全機構は4
個の肩部ねじ組立体119を備える。肩部ねじ組立体1
19は坦体プレート50の中間部にある長方形開口52
の各側に沿って位置している。
ボルト81から取り外すことがあるときに、プローブカ
ードプレート76が坦体プレート5oがら落下しないこ
とを確実にする機構を使用する。これらの安全機構は4
個の肩部ねじ組立体119を備える。肩部ねじ組立体1
19は坦体プレート50の中間部にある長方形開口52
の各側に沿って位置している。
肩部ねじ組立体119は肩部ねじ120を有している。
肩部ねじ120のねじ山付き端部はプローブカドプレー
ト7Gのねし山付き孔121 に係合している。ねじ1
2Gの肩部はプローブカードプレート76の頂部面11
7に当たっている。肩部ねじ120の中間部122は間
隙スロット123の中に存在する。尚、間隙スロット1
23は、プローブカードプレー1・76が坦体プレート
50に対して回転したとき、肩部ねじ120がプローブ
カードプレー1・76と共に動くことができるように形
状されている。
ト7Gのねし山付き孔121 に係合している。ねじ1
2Gの肩部はプローブカードプレート76の頂部面11
7に当たっている。肩部ねじ120の中間部122は間
隙スロット123の中に存在する。尚、間隙スロット1
23は、プローブカードプレー1・76が坦体プレート
50に対して回転したとき、肩部ねじ120がプローブ
カードプレー1・76と共に動くことができるように形
状されている。
肩部ねじ120は坦体プレート50の上面97の上に延
びていて、商標テフロンの名の下に製造されている摩擦
係数の低い材料で構成された座金124に取り囲まれて
いる。低摩擦座金124はスロット123を横切って延
びていて坦体プレート50の上面97に位置している。
びていて、商標テフロンの名の下に製造されている摩擦
係数の低い材料で構成された座金124に取り囲まれて
いる。低摩擦座金124はスロット123を横切って延
びていて坦体プレート50の上面97に位置している。
金属座金125は低摩擦座金124の上に載っていて、
ばね座金126の下に位置している。ばね座金126の
内側縁部は肩部ねじ120のフランジの付いた上端部1
27の下に嵌め合っている。肩部ねじ120の寸法は、
肩部ねじ120をプローブカードプレート76に対し締
めつけたとき、ばね座金126が=23 坦体プレート50の上面97に対し低摩擦座金124を
押圧するように曲がり、一方ブローブカードプレート7
6を坦体プレート50に対し動かす時は常に肩部ねじ1
20が前記上面97に沿って摺動することができるよう
な寸法である。
ばね座金126の下に位置している。ばね座金126の
内側縁部は肩部ねじ120のフランジの付いた上端部1
27の下に嵌め合っている。肩部ねじ120の寸法は、
肩部ねじ120をプローブカードプレート76に対し締
めつけたとき、ばね座金126が=23 坦体プレート50の上面97に対し低摩擦座金124を
押圧するように曲がり、一方ブローブカードプレート7
6を坦体プレート50に対し動かす時は常に肩部ねじ1
20が前記上面97に沿って摺動することができるよう
な寸法である。
坦体プレート50に対しプローブカードプレート76の
位置を調整するために必要とされる回転量は通常非常に
小さい。従って、プローブカードプレート76の回転位
置の微細調整の機構が本発明において設けである。特定
して述べれば、1対のピン128が坦体プレート50の
中にに押し嵌めされて、上面97から上方に延びている
。3個の同じ様なピン130がプローブカードプレート
76の中に押し嵌めされて、坦体プレート50の1対の
ピン128の近傍の坦体プレート50の切り抜き132
を貫通して上方に延びている。プローブカードプレート
76のピン130は坦体プレート50の1対のピン]2
8と坦体ブレー)50の中心点92とのの間に位置して
いる。
位置を調整するために必要とされる回転量は通常非常に
小さい。従って、プローブカードプレート76の回転位
置の微細調整の機構が本発明において設けである。特定
して述べれば、1対のピン128が坦体プレート50の
中にに押し嵌めされて、上面97から上方に延びている
。3個の同じ様なピン130がプローブカードプレート
76の中に押し嵌めされて、坦体プレート50の1対の
ピン128の近傍の坦体プレート50の切り抜き132
を貫通して上方に延びている。プローブカードプレート
76のピン130は坦体プレート50の1対のピン]2
8と坦体ブレー)50の中心点92とのの間に位置して
いる。
坦体プレート50に対しプローブカードプレート76を
動かすために、レバー134がピン128の対の間に延
びていて3個のピン130の1個に当たっている。ピン
128は支点として機能して、4個のつまみナツト80
が全て緩められた時、レバー134が揺れ動いて、プロ
ーブカードプレート76を摺動させて中心点92の回り
で回転させる。坦体プレートビン128 とプローブカ
ードプレートピン130 は、これらのピンと坦体プレ
ート50の中心点92との距離に比較して近接した距離
で位置している。従って、レバー134を手で制御して
、非常に小さい角増加儀でプローブカードプレー1・7
6を回転させることができる。プローブカードプレート
76の回転位置を調整した後、つまみナラ)80の全て
を締めると、プローブカード44の方位はあるバッチの
回路用に固定される。
動かすために、レバー134がピン128の対の間に延
びていて3個のピン130の1個に当たっている。ピン
128は支点として機能して、4個のつまみナツト80
が全て緩められた時、レバー134が揺れ動いて、プロ
ーブカードプレート76を摺動させて中心点92の回り
で回転させる。坦体プレートビン128 とプローブカ
ードプレートピン130 は、これらのピンと坦体プレ
ート50の中心点92との距離に比較して近接した距離
で位置している。従って、レバー134を手で制御して
、非常に小さい角増加儀でプローブカードプレー1・7
6を回転させることができる。プローブカードプレート
76の回転位置を調整した後、つまみナラ)80の全て
を締めると、プローブカード44の方位はあるバッチの
回路用に固定される。
プローブカード44がプローブカードプレート76の下
面118にクランプされる手段を、第3図、第4図及び
第6図を参照して説明する。クランプ組立体78はプロ
ーブカードプレート76の下面118に取りつけである
。1個のクランプ組立体78は前部から後部にプローブ
カードプレート76の一方の側に沿って延び、他方のク
ランプ組立体78はプローブカードプレート76の他方
の側に沿って延びている。プローブカード44はクラン
プ(締めつけられて)されてクランプ組立体78の間の
空間に位置する。クランプ組立体78の説明は、他方の
クランプ組立体78は同一であると言う理解で一方のク
ランプ組立体78についてのみする。
面118にクランプされる手段を、第3図、第4図及び
第6図を参照して説明する。クランプ組立体78はプロ
ーブカードプレート76の下面118に取りつけである
。1個のクランプ組立体78は前部から後部にプローブ
カードプレート76の一方の側に沿って延び、他方のク
ランプ組立体78はプローブカードプレート76の他方
の側に沿って延びている。プローブカード44はクラン
プ(締めつけられて)されてクランプ組立体78の間の
空間に位置する。クランプ組立体78の説明は、他方の
クランプ組立体78は同一であると言う理解で一方のク
ランプ組立体78についてのみする。
クランプ組立体78はプローブカードプレート76の角
が落としである前部隅部と後部隅部との間を延びている
細長い固定されたクランプ部材140を有している。固
定されたクランプ部材140は断面がU字形の形状をし
ていて、プローブカードプレート76に固定されていて
る台板142と、ブローフカ−ドブレート76の側縁部
138に近接して位置している下方に延びている外側脚
144と、外側脚144から内側に離隔している(即ち
、プローブカードプレート76の中心に向かって)下方
に延びる内側脚146を有している。
が落としである前部隅部と後部隅部との間を延びている
細長い固定されたクランプ部材140を有している。固
定されたクランプ部材140は断面がU字形の形状をし
ていて、プローブカードプレート76に固定されていて
る台板142と、ブローフカ−ドブレート76の側縁部
138に近接して位置している下方に延びている外側脚
144と、外側脚144から内側に離隔している(即ち
、プローブカードプレート76の中心に向かって)下方
に延びる内側脚146を有している。
固定されたクランプ部材140の台板142は6個の離
隔した固定具148 によりプローブカードプレート7
6に固定しである。尚、固定具148は台板142の孔
を貫通して、プローブカードプレート76のねし山付き
孔にねじ込まれている。固定具148の頭部150は台
板142の下部面152に当たっている。
隔した固定具148 によりプローブカードプレート7
6に固定しである。尚、固定具148は台板142の孔
を貫通して、プローブカードプレート76のねし山付き
孔にねじ込まれている。固定具148の頭部150は台
板142の下部面152に当たっている。
1対の同じ細長い可動クランプ部材154は固定された
クランプ部材140の中に取り付けてある。
クランプ部材140の中に取り付けてある。
各可動クランプ部材154は本体156と内側に突出し
ている下部脚158とを有している。本体156は、内
側脚146と外側脚144との間で固定されたクランプ
部材140の中を上下に摺動するような形状の断面であ
る。本体156の頂部面160はそれに形成された6個
の凹部162を有していて、可動クランプ部材154が
下方に引っ張られて固定されたクランプ部材140に中
に入るときはいつでも、固定具148の頭部150のた
めの空間となる。
ている下部脚158とを有している。本体156は、内
側脚146と外側脚144との間で固定されたクランプ
部材140の中を上下に摺動するような形状の断面であ
る。本体156の頂部面160はそれに形成された6個
の凹部162を有していて、可動クランプ部材154が
下方に引っ張られて固定されたクランプ部材140に中
に入るときはいつでも、固定具148の頭部150のた
めの空間となる。
プローブカード44に面する可動クランプ部材本体15
6の側は、可動クランプ部材154の長さだけの凹部1
64を有している。凹部164は、以下に述べるように
組立体78によりクランプされているプアー 0−ブカード44の縁部166を受容するための空間を
提供する。
6の側は、可動クランプ部材154の長さだけの凹部1
64を有している。凹部164は、以下に述べるように
組立体78によりクランプされているプアー 0−ブカード44の縁部166を受容するための空間を
提供する。
可動クランプ部材154の脚158は本体156の下部
内側隅部から内側に突出している。脚18の最外端部は
、脚の残部より比較的厚い(第4図の縦線に沿って測っ
て)先端部170を有している。先端部170は上部ク
ランプ面172を有している。上部クランプ面172は
固定されたクランプ部材140の内側脚146の端部に
形成された水平支持面174の下にある。上部クランプ
面172と支持面174は一緒に引っ張られてプローブ
カード44の縁部166をその間にクランプする。
内側隅部から内側に突出している。脚18の最外端部は
、脚の残部より比較的厚い(第4図の縦線に沿って測っ
て)先端部170を有している。先端部170は上部ク
ランプ面172を有している。上部クランプ面172は
固定されたクランプ部材140の内側脚146の端部に
形成された水平支持面174の下にある。上部クランプ
面172と支持面174は一緒に引っ張られてプローブ
カード44の縁部166をその間にクランプする。
プローブカード44をクランプする手段は、各端部近傍
の可動クランプ部材154の本体156に形成された孔
にねじ込む、1対の固定具、例えばボルト176を有し
ている。固定具176の頭部180はプローブカードプ
レート76の頂部面117に当たり、シャフトはプロー
ブカードプレート76と固定されたクランプ部材140
の台板142にある同心孔184、186をそれぞれ貫
通する。ポル目76の頭部180へは坦体プレート50
に形成された接近孔188により接近することができる
。注意すべきは、坦体プレート50の接近孔188の寸
法は、プローブカードプレート76の方位を上述のよう
に坦体プレート50の方位に対し調整するときはいつで
も、ボルト頭部180の横方向動きを邪魔しない寸法と
なっている。
の可動クランプ部材154の本体156に形成された孔
にねじ込む、1対の固定具、例えばボルト176を有し
ている。固定具176の頭部180はプローブカードプ
レート76の頂部面117に当たり、シャフトはプロー
ブカードプレート76と固定されたクランプ部材140
の台板142にある同心孔184、186をそれぞれ貫
通する。ポル目76の頭部180へは坦体プレート50
に形成された接近孔188により接近することができる
。注意すべきは、坦体プレート50の接近孔188の寸
法は、プローブカードプレート76の方位を上述のよう
に坦体プレート50の方位に対し調整するときはいつで
も、ボルト頭部180の横方向動きを邪魔しない寸法と
なっている。
プローブカード44をプローブカードプレート76にク
ランプするために、プローブカード44の縁部166は
、先ず支持面174と対向するクランプ組立体78のク
ランプ面172との間の空間に摺動して入る。固定具1
76を回転して、プローブカード44の縁部166が支
持面174 とクランプ面72との間でクランプされ固
定されるまで、可動クランプ部材154を固定されたク
ランプ部材140の方に上方に引っ張る。
ランプするために、プローブカード44の縁部166は
、先ず支持面174と対向するクランプ組立体78のク
ランプ面172との間の空間に摺動して入る。固定具1
76を回転して、プローブカード44の縁部166が支
持面174 とクランプ面72との間でクランプされ固
定されるまで、可動クランプ部材154を固定されたク
ランプ部材140の方に上方に引っ張る。
各先端部170のクランプ面172と各固定されたクラ
ンプ部材140の支持面174 は、プローブカード4
4をその間にクランプするとき、プローブカード44を
曲げるのを避けるような形状となっており、かつそのよ
うように配置されている。第4図に示すように、固定具
176を締めるとき、クランプ力は可動クランプ部材1
54のクランプ面172に沿ってプローブカード44に
加えられる。
ンプ部材140の支持面174 は、プローブカード4
4をその間にクランプするとき、プローブカード44を
曲げるのを避けるような形状となっており、かつそのよ
うように配置されている。第4図に示すように、固定具
176を締めるとき、クランプ力は可動クランプ部材1
54のクランプ面172に沿ってプローブカード44に
加えられる。
その反作用の力が、固定されたクランプ部材140の支
持面174に生じる。クランプ面172により加えられ
た力の合力が支持面174の外側(即ち、第4図の左側
、又は右側)に集中されると、プローブカードを曲げる
原因となる曲げモーメントがプローブカード縁部166
に生じることを認識すべきである。このような曲げモー
メントは、例えば(1)クランプ面172が支持面17
4より幅が広い場合、及び(2)クランプ組立体78が
正確に加工されてなくて、クランプ面172と支持面1
74が平行な面に留まることができない場合に起きる。
持面174に生じる。クランプ面172により加えられ
た力の合力が支持面174の外側(即ち、第4図の左側
、又は右側)に集中されると、プローブカードを曲げる
原因となる曲げモーメントがプローブカード縁部166
に生じることを認識すべきである。このような曲げモー
メントは、例えば(1)クランプ面172が支持面17
4より幅が広い場合、及び(2)クランプ組立体78が
正確に加工されてなくて、クランプ面172と支持面1
74が平行な面に留まることができない場合に起きる。
本発明では、先端部170のクランプ面172は支持面
174より比較的狭い。結果として、可動クランプ部材
154がプローブカード44の縁部166に上方に引っ
張られた時は常に、クランプ面172によい加えられた
クランプ力の合力は支持面174を貫通し、クランプ面
172と支持面174 とを平行面に維持するためにを
クランプ組立体78を正確に加工する必要はない。
174より比較的狭い。結果として、可動クランプ部材
154がプローブカード44の縁部166に上方に引っ
張られた時は常に、クランプ面172によい加えられた
クランプ力の合力は支持面174を貫通し、クランプ面
172と支持面174 とを平行面に維持するためにを
クランプ組立体78を正確に加工する必要はない。
クランプ組立体78にはばねが設けてあって、固定具1
76が緩められたときは常に、可動クランプ部材154
が固定されたクランプ部材140から動いて離れること
が保証されている。特定すれば、円筒形チャンバー19
4が各可動クランプ部材154の端部近傍に形成されて
いる。各円筒形チャンツク−194の軸方向に整列した
延長部196は固定されたクランプ部材140の台板1
42を貫通して形成されている。圧縮ばね198は円筒
形チャンバー194に収容されていて、固定されたクラ
ンプ部材140と可動クランプ部材154 とを離ずよ
うに押圧する。
76が緩められたときは常に、可動クランプ部材154
が固定されたクランプ部材140から動いて離れること
が保証されている。特定すれば、円筒形チャンバー19
4が各可動クランプ部材154の端部近傍に形成されて
いる。各円筒形チャンツク−194の軸方向に整列した
延長部196は固定されたクランプ部材140の台板1
42を貫通して形成されている。圧縮ばね198は円筒
形チャンバー194に収容されていて、固定されたクラ
ンプ部材140と可動クランプ部材154 とを離ずよ
うに押圧する。
万一、固定具176が可動クランプ部材154から不注
意で引き出された場合、可動クランプ部材154が固定
されたクランプ部材140から落下すると、プローブカ
ード44に費用の係る損傷が生じる。
意で引き出された場合、可動クランプ部材154が固定
されたクランプ部材140から落下すると、プローブカ
ード44に費用の係る損傷が生じる。
本発明は、固定具176を引き出しても、可動クランプ
部材154とプローブカード44が固定されたりランプ
部材140から落下しないことを保証する機構を提供し
ている。特定すれば、2個の離隔した捕捉ビン200が
可動クランプ部材154の本体156の孔に延びている
。ピン200は、可動クランプ部材154の底部に設け
である孔205にねじ込まれている止めねじ203によ
り本体156に保持されている。クランプピン200の
突出端部202は固定されたクランプ部材140の内側
脚145と外側脚144に形成された孔204に存在す
る。孔204の寸法は、可動クランプ部材154が固定
されたクランプ部材140の中で自由に移動してプロー
ブカード44をクランプしかつ解除できる寸法である。
部材154とプローブカード44が固定されたりランプ
部材140から落下しないことを保証する機構を提供し
ている。特定すれば、2個の離隔した捕捉ビン200が
可動クランプ部材154の本体156の孔に延びている
。ピン200は、可動クランプ部材154の底部に設け
である孔205にねじ込まれている止めねじ203によ
り本体156に保持されている。クランプピン200の
突出端部202は固定されたクランプ部材140の内側
脚145と外側脚144に形成された孔204に存在す
る。孔204の寸法は、可動クランプ部材154が固定
されたクランプ部材140の中で自由に移動してプロー
ブカード44をクランプしかつ解除できる寸法である。
しかし、ピン端部202は、固定具176が引き出され
たとき、可動クランプ部材154が固定されたクランプ
部材140か下方に予め選定された距離動いた後、孔2
04の下部縁部で捕捉される。クランプ組立体78の中
での、プローブカード44の設置を容易にするた約に、
本発明はプローブカートノーンドル210を提供する(
第3図参照)。ハンドル210は、把手212を備える
ほぼ平坦な部材で、かつその中心と両側から延びる取付
けブラケッl−214が一体的に形成されている。ハン
ドル210はプローブカード44の前部の頂部面に固定
具216により取り付けてある。ハンドル210の側の
取付けブラケット214は、プローブカード44が摺動
してプローブカードプレート76に対し正確な位置に来
た時は常に、固定されたクランプ部材140の内側脚1
46の前部に当接するような形状にされている。プロー
ブカード44が摺動して適所に来た時、プローブカード
は上述のようにクランプされる。
たとき、可動クランプ部材154が固定されたクランプ
部材140か下方に予め選定された距離動いた後、孔2
04の下部縁部で捕捉される。クランプ組立体78の中
での、プローブカード44の設置を容易にするた約に、
本発明はプローブカートノーンドル210を提供する(
第3図参照)。ハンドル210は、把手212を備える
ほぼ平坦な部材で、かつその中心と両側から延びる取付
けブラケッl−214が一体的に形成されている。ハン
ドル210はプローブカード44の前部の頂部面に固定
具216により取り付けてある。ハンドル210の側の
取付けブラケット214は、プローブカード44が摺動
してプローブカードプレート76に対し正確な位置に来
た時は常に、固定されたクランプ部材140の内側脚1
46の前部に当接するような形状にされている。プロー
ブカード44が摺動して適所に来た時、プローブカード
は上述のようにクランプされる。
典型的親ねし組立体62を示す第4図を参照して、前述
の親ねし組立体62を装置20に取り付ける手段の特長
について説明する。既に述べたように、4個の親ねじ組
立体62が存在する。1個づつキャリッジ42の各隅部
の近傍に位置している。しかし、単一の親ねし組立体6
2をキャリッジ42に使い、適当な摺動案内で動きを振
動に対して安定化させることもできる。 典型的親ねじ
組立体62はフレームベースプレート36の下面224
に固定されている中空円筒形ハウジング222を有して
いる。ハウジング222はハウジング222の開放上部
端部から半径方向外方に延びるフランジ226を有して
いる。
の親ねし組立体62を装置20に取り付ける手段の特長
について説明する。既に述べたように、4個の親ねじ組
立体62が存在する。1個づつキャリッジ42の各隅部
の近傍に位置している。しかし、単一の親ねし組立体6
2をキャリッジ42に使い、適当な摺動案内で動きを振
動に対して安定化させることもできる。 典型的親ねじ
組立体62はフレームベースプレート36の下面224
に固定されている中空円筒形ハウジング222を有して
いる。ハウジング222はハウジング222の開放上部
端部から半径方向外方に延びるフランジ226を有して
いる。
フランジ226 は、ベースプレート36の下面224
に形成された対応する形状の凹部の中に着座する。
に形成された対応する形状の凹部の中に着座する。
4個の離隔した固定具228はフランジ226の対応札
230を貫通して上方に延び、かつベースプレート36
にねじ込まれていてハウジング222をそこに固定する
。
230を貫通して上方に延び、かつベースプレート36
にねじ込まれていてハウジング222をそこに固定する
。
親ねじブラケット60に最も近いハウジング壁の部分は
親ねじブラケット60がそれを貫通して延びているウィ
ンドウ232ををしている。ウィンドウ232の寸法は
、装置20の操作中キャリッジ42により移動される最
大距離だけブラケットがハウジング222の中で上下に
動くことができるような寸法である。
親ねじブラケット60がそれを貫通して延びているウィ
ンドウ232ををしている。ウィンドウ232の寸法は
、装置20の操作中キャリッジ42により移動される最
大距離だけブラケットがハウジング222の中で上下に
動くことができるような寸法である。
円筒形ベロウチャンパー234はハウジング222の直
上のベースプレート36の下面224に形成されている
。ベロウチャンパー234 はハウジング222の内部
より直径で僅かに大きい。
上のベースプレート36の下面224に形成されている
。ベロウチャンパー234 はハウジング222の内部
より直径で僅かに大きい。
親ねじ組立体62は親ねじ237 と親ねじナツト23
9を有している。親ねじ237の下端部は、単一フラン
ジ付ベアリング238を介してハウジング222の底部
に回転自在に取り付けてある。親ねじ237の下端部は
固定具と座金組立体241によりベアリング238の内
側レースに永久的に固定しである。親ねじ237の上端
部は、別の単一フランジ付ベアリング244を介してベ
ロウチャンパー234の中心の直上にあるベースプレー
ト36の部分に回転自在に取り付けてある。親ねじ23
7の上端部は、駆動機構との結合のためベースプレート
36の頂部面から上方突出している、ねじ山付きでない
ステム24Gを有している。尚、駆動機構については以
下に説明する。
9を有している。親ねじ237の下端部は、単一フラン
ジ付ベアリング238を介してハウジング222の底部
に回転自在に取り付けてある。親ねじ237の下端部は
固定具と座金組立体241によりベアリング238の内
側レースに永久的に固定しである。親ねじ237の上端
部は、別の単一フランジ付ベアリング244を介してベ
ロウチャンパー234の中心の直上にあるベースプレー
ト36の部分に回転自在に取り付けてある。親ねじ23
7の上端部は、駆動機構との結合のためベースプレート
36の頂部面から上方突出している、ねじ山付きでない
ステム24Gを有している。尚、駆動機構については以
下に説明する。
ベアリング238.244の間で、親ねじ237が親ね
じナツト239にねじ込んである。親ねじナツト239
は上部セクション250 と連続する下部セクション
252とを有している。下部セクション252の外面は
ねじ山付きであって、親ねじブラケット60の環状端部
66のねじ山付き孔にねじ込んである。
じナツト239にねじ込んである。親ねじナツト239
は上部セクション250 と連続する下部セクション
252とを有している。下部セクション252の外面は
ねじ山付きであって、親ねじブラケット60の環状端部
66のねじ山付き孔にねじ込んである。
親ねじナツト239の上部セクション250 は下部セ
クシヨン252の外径より大きい外径を有している。
クシヨン252の外径より大きい外径を有している。
親ねじナツト239 は親ねじブラケット60にねじ込
んであって、上部セクション250は親ねじブラケット
60の頂部面に対し固定されている。
んであって、上部セクション250は親ねじブラケット
60の頂部面に対し固定されている。
好適には、親ねじ237のねじ山を埃又は他の異物から
保護するべきである。従って、親ねじ237の露出した
ねじ山は可とう性ベロウ254.256の中に閉囲され
ている。特に、はぼ平坦な環状ベロウキヤソプ258
はベロウチャンパー234の頂部面260に取り付けて
ある。親ねじ237の上部端部242はキャップ258
の中心を貫通して延びている。
保護するべきである。従って、親ねじ237の露出した
ねじ山は可とう性ベロウ254.256の中に閉囲され
ている。特に、はぼ平坦な環状ベロウキヤソプ258
はベロウチャンパー234の頂部面260に取り付けて
ある。親ねじ237の上部端部242はキャップ258
の中心を貫通して延びている。
ベロウキャップ258には4個の離隔したピムナットが
取り付けてあって、そのピムナットは、ベロウチャンパ
ー234の上のベースプレート36に形成されている孔
24に嵌め合っている。各ピムナット262はねじ山付
き内部孔を有している。その内部孔はピムナット262
が嵌め合っている孔264の上部対応部に存在する円い
頭部のねじ265のシャフトを受容する。
取り付けてあって、そのピムナットは、ベロウチャンパ
ー234の上のベースプレート36に形成されている孔
24に嵌め合っている。各ピムナット262はねじ山付
き内部孔を有している。その内部孔はピムナット262
が嵌め合っている孔264の上部対応部に存在する円い
頭部のねじ265のシャフトを受容する。
第2平坦環状ベロウキヤツプ266は親ねじナツト23
9の頂部に固定されている。第2ベロウキャップ266
取り付けられた円筒形スリーブ270を有している。ス
リーブは親ねじナツト239の上部セクション250の
上に嵌め合いかつ完全にそれを覆っている。第2ベロウ
キヤツプはスリーブ270の壁にねじ込まれている止め
ねじ272によりスリーブ270に保持されている。フ
レキシブルベロウ254の外側端部はベロウキャップ2
5B 、266に接着されている。ベロウ254 は親
ねじ237の長さに沿って親ねじす7)239の動きに
連れて伸張し、かつ収縮する。
9の頂部に固定されている。第2ベロウキャップ266
取り付けられた円筒形スリーブ270を有している。ス
リーブは親ねじナツト239の上部セクション250の
上に嵌め合いかつ完全にそれを覆っている。第2ベロウ
キヤツプはスリーブ270の壁にねじ込まれている止め
ねじ272によりスリーブ270に保持されている。フ
レキシブルベロウ254の外側端部はベロウキャップ2
5B 、266に接着されている。ベロウ254 は親
ねじ237の長さに沿って親ねじす7)239の動きに
連れて伸張し、かつ収縮する。
最初に記載したベロウキャップ258 とほぼ同一な第
3のベロウキャンプ276は親ねじブラケ・ント60の
下側に取り付けてある。4個の離隔したピムナット27
8は親ねじブラケット60の環状部66に形成された孔
280の中に嵌め合い、これらの孔280の上部対応部
に保持されている頭部の円いねじ282により保持され
ている。
3のベロウキャンプ276は親ねじブラケ・ント60の
下側に取り付けてある。4個の離隔したピムナット27
8は親ねじブラケット60の環状部66に形成された孔
280の中に嵌め合い、これらの孔280の上部対応部
に保持されている頭部の円いねじ282により保持され
ている。
第1及び第3ベロウキヤツプ258.276にほぼ同一
である第4のベロウキャップ284はノ\ウジング22
2に形成された孔288に嵌め合う4個の離隔したピム
ナット286でハウジング222の底部240に固定し
である。ピムナット286 は孔288の底部を貫通す
る頭が円いねじ290のねじ山付き部を受容する。
である第4のベロウキャップ284はノ\ウジング22
2に形成された孔288に嵌め合う4個の離隔したピム
ナット286でハウジング222の底部240に固定し
である。ピムナット286 は孔288の底部を貫通す
る頭が円いねじ290のねじ山付き部を受容する。
ベロウ256の外側端部は第3と第4のベロウキャップ
276.284に接着されていて、ベロウ256は親ね
じ237の長さにわたり親ねじナツト239の動きに連
れ伸張し、収縮する。
276.284に接着されていて、ベロウ256は親ね
じ237の長さにわたり親ねじナツト239の動きに連
れ伸張し、収縮する。
親ねじ237を駆動する機構について説明する。
8親ねじ237の上方に延びているステム246は偏心
継ぎ手302によりステムに結合されている剛性駆動リ
ンク機構300により駆動される。継ぎ手302は親ね
じ237のステム246を受容するための孔304を有
している。座金306 は継ぎ手302 と親ねじ23
7の上端部のフランジ付きベアリング244の内側レー
スとの間に位置している。ステム246に係合するため
に、継ぎ手302は、継ぎ手302 にねじ込まれてい
る3個のM隔した止めねじ308によりステムに固定さ
れている。好適には、親ねじ237は、止めねじ308
を締めたときベアリング238.244 との間で事前
負荷がかけられて、親ねじ237は軸方向に移動しない
。
継ぎ手302によりステムに結合されている剛性駆動リ
ンク機構300により駆動される。継ぎ手302は親ね
じ237のステム246を受容するための孔304を有
している。座金306 は継ぎ手302 と親ねじ23
7の上端部のフランジ付きベアリング244の内側レー
スとの間に位置している。ステム246に係合するため
に、継ぎ手302は、継ぎ手302 にねじ込まれてい
る3個のM隔した止めねじ308によりステムに固定さ
れている。好適には、親ねじ237は、止めねじ308
を締めたときベアリング238.244 との間で事前
負荷がかけられて、親ねじ237は軸方向に移動しない
。
各継ぎ手302は、それと一体的に形成されているほぼ
円筒形の柱310を有して、継ぎ手302は上面から突
出している。柱310の台部には周辺リム314が形成
してあり、その台部に単一フランジ付きベアリング31
6(フランジが下)が載っている。
円筒形の柱310を有して、継ぎ手302は上面から突
出している。柱310の台部には周辺リム314が形成
してあり、その台部に単一フランジ付きベアリング31
6(フランジが下)が載っている。
ベアリング316の内側レースは、ねじ固定具と座金の
糾合せ318により継ぎ半柱310の回りに固定しであ
る。ベアリング316の外側レースは剛性駆動リンク機
構300の孔320に押し嵌めされていて、それに接合
されている。
糾合せ318により継ぎ半柱310の回りに固定しであ
る。ベアリング316の外側レースは剛性駆動リンク機
構300の孔320に押し嵌めされていて、それに接合
されている。
各継ぎ手302は、親ねじステム246の回転軸324
から外方に突出しているカウンターウェイト322が一
体的に形成されて有している。カウンターウェイト32
2の重要性は以下に述べる。第2図に示すとおり、駆動
リンク機構300は平坦な剛性連続フレームに似た部材
である。駆動リンク機構300 ハヘースプレート36
の長方形開口370回りに4〇− 延びていて、かつ 駆動リンク機構300を全部で4個
の親ねじ組立体62の継ぎ手302に取りつけるため各
隅部に上述の円形孔320を有している。更に、駆動r
ノンク機構3(10はほぼ三角形の突起部324を有し
ている。この突起部はベースプレート3Gの突起部40
の中心の上に延びていて、駆動リンク機構300と駆動
モータ330のシャフト338に取り付けてある駆動モ
ータ継ぎ手32Gとの間を結合している。尚、駆動モー
タ330については以下に述べる。
から外方に突出しているカウンターウェイト322が一
体的に形成されて有している。カウンターウェイト32
2の重要性は以下に述べる。第2図に示すとおり、駆動
リンク機構300は平坦な剛性連続フレームに似た部材
である。駆動リンク機構300 ハヘースプレート36
の長方形開口370回りに4〇− 延びていて、かつ 駆動リンク機構300を全部で4個
の親ねじ組立体62の継ぎ手302に取りつけるため各
隅部に上述の円形孔320を有している。更に、駆動r
ノンク機構3(10はほぼ三角形の突起部324を有し
ている。この突起部はベースプレート3Gの突起部40
の中心の上に延びていて、駆動リンク機構300と駆動
モータ330のシャフト338に取り付けてある駆動モ
ータ継ぎ手32Gとの間を結合している。尚、駆動モー
タ330については以下に述べる。
駆動リンク機構300の形状は図示の例の他に数種の形
状がある。しかし、駆動リンク機構300は剛性があっ
てかつ軽量であるべきである。この目的のため、複数の
孔328が駆動リンク機構300に形成されていて、駆
動リンク機構300に駆動力が伝達される方向に駆動リ
ンク機構の剛性を実質的に減少させることなく駆動リン
ク機構300の重量を最小限にする。尚、方向は第2図
の平面の方向である。
状がある。しかし、駆動リンク機構300は剛性があっ
てかつ軽量であるべきである。この目的のため、複数の
孔328が駆動リンク機構300に形成されていて、駆
動リンク機構300に駆動力が伝達される方向に駆動リ
ンク機構の剛性を実質的に減少させることなく駆動リン
ク機構300の重量を最小限にする。尚、方向は第2図
の平面の方向である。
第7図に示すように、駆動モータ330は4個の固定具
322を介してベースプレート36の突起部4゜の下側
の空洞334の中に取り付けてある。好適には、駆動モ
ータ330は米国、カルホルニア州、ロス アンジエル
スのヤスカワ電気アメリカ、インコーホレーテッド製の
低慣性モータ、モデルJO3がよい。他のモータを使用
することもできる。第7図に示すように、モータ取付け
空洞334は1形式のモータ以外のモータを収容する寸
法にすることができる。
322を介してベースプレート36の突起部4゜の下側
の空洞334の中に取り付けてある。好適には、駆動モ
ータ330は米国、カルホルニア州、ロス アンジエル
スのヤスカワ電気アメリカ、インコーホレーテッド製の
低慣性モータ、モデルJO3がよい。他のモータを使用
することもできる。第7図に示すように、モータ取付け
空洞334は1形式のモータ以外のモータを収容する寸
法にすることができる。
ベースプレート36の上に突出している駆動モータシャ
フト338の部分は、駆動モータ継ぎ手326による駆
動リンク機構300に連結されている。駆動モータ継ぎ
手326 とそれに駆動リンク機構300を固定する手
段は前の方で説明した継ぎ手302とほぼ同じである。
フト338の部分は、駆動モータ継ぎ手326による駆
動リンク機構300に連結されている。駆動モータ継ぎ
手326 とそれに駆動リンク機構300を固定する手
段は前の方で説明した継ぎ手302とほぼ同じである。
従って、継ぎ手326は前述の継ぎ手302の参照番号
と合致する番号が必要に応じ付しである。駆動モータ3
30を駆動して駆動シャフト338を回転させる時は常
に、モータの駆動力は、取り付けてある偏心継ぎ手32
6により駆動リンク機構300に伝達され、更に駆動リ
ンク機構300の往復動を介して、客観ねじステム24
6の継ぎ手302に伝達される。従って、駆動シャフト
338の回転は親ねじ237の全ての回転に伝達される
。親ねじ237の回転方向に依存して、親ねじナツト2
39は、親ねじが上述のように結合されているキャリッ
ジ42を保持する関連の親ねじ237に支えられて上方
又は下方に動く。
と合致する番号が必要に応じ付しである。駆動モータ3
30を駆動して駆動シャフト338を回転させる時は常
に、モータの駆動力は、取り付けてある偏心継ぎ手32
6により駆動リンク機構300に伝達され、更に駆動リ
ンク機構300の往復動を介して、客観ねじステム24
6の継ぎ手302に伝達される。従って、駆動シャフト
338の回転は親ねじ237の全ての回転に伝達される
。親ねじ237の回転方向に依存して、親ねじナツト2
39は、親ねじが上述のように結合されているキャリッ
ジ42を保持する関連の親ねじ237に支えられて上方
又は下方に動く。
客観ねじステム246近傍の駆動リンク機構300の部
分は関連の親ねじステム246の回転軸3240回りで
釣り合っていない。この釣り合っていない系に生じる振
動を排除するために、上述のカウンターウェイト322
が使用されている。更に詳しく言えば、各継ぎ手31)
2.326のカウンターウェイト322は、その重量が
ステム246の回転軸3240回りの駆動リンク機a3
00の隣接部の重量と釣り合うような形状とかつ配置と
なっている。どんな形状のカウンターウェイトを使用す
ることもできる。しかし、図示の円形形状のもの(平面
で)を使用するのが好適である。更に、当初継ぎ手には
必要以上の重量のカウンターウェイトが形成されていて
、その重量を正確な寸法で孔340を穿つことにより必
要量まで減少する。
分は関連の親ねじステム246の回転軸3240回りで
釣り合っていない。この釣り合っていない系に生じる振
動を排除するために、上述のカウンターウェイト322
が使用されている。更に詳しく言えば、各継ぎ手31)
2.326のカウンターウェイト322は、その重量が
ステム246の回転軸3240回りの駆動リンク機a3
00の隣接部の重量と釣り合うような形状とかつ配置と
なっている。どんな形状のカウンターウェイトを使用す
ることもできる。しかし、図示の円形形状のもの(平面
で)を使用するのが好適である。更に、当初継ぎ手には
必要以上の重量のカウンターウェイトが形成されていて
、その重量を正確な寸法で孔340を穿つことにより必
要量まで減少する。
プローブカードを固定しかつ動かす上述の機構は、実質
的に振動を発生しないで、キャリッジ42の非常に速い
位置変更を操作できる装置20を提供するために結合す
る。従って、はぼ振動のないキャリッジの動きは、各回
路の試験測定をプローブの振動が消滅する時間遅らせる
必要を排除するので、処理量(即ち、単位時間当たりに
試験した回路の数)が増大する。′″セ) IJング時
間″′と呼称される、このような遅れは処理量を大幅に
減少する。上述のキャリッジ駆動機構く駆動モータ33
0、駆動リンク機構300、親ねじ組立体62等)は非
常に正確で、敏速で微小の増加量による位置変化を行う
ことができる。それ故、好適には、装置の速度と正確さ
とを充分に引き出す自動的制御装置によりこれらの駆動
機構を制御すべきである。
的に振動を発生しないで、キャリッジ42の非常に速い
位置変更を操作できる装置20を提供するために結合す
る。従って、はぼ振動のないキャリッジの動きは、各回
路の試験測定をプローブの振動が消滅する時間遅らせる
必要を排除するので、処理量(即ち、単位時間当たりに
試験した回路の数)が増大する。′″セ) IJング時
間″′と呼称される、このような遅れは処理量を大幅に
減少する。上述のキャリッジ駆動機構く駆動モータ33
0、駆動リンク機構300、親ねじ組立体62等)は非
常に正確で、敏速で微小の増加量による位置変化を行う
ことができる。それ故、好適には、装置の速度と正確さ
とを充分に引き出す自動的制御装置によりこれらの駆動
機構を制御すべきである。
第8図に示すように、制a装置はプログラマブル制御器
350を備えている。制御器350は2個のソース、即
ちリミットスイッチ352とエンコーダ=43 354から発出された位置データを受容する適当なイン
ターフェース装置を有する。リミットスイッチ352は
定常位置を表示する信号を出す適当なスイッチであれば
よい。定常位置とは、親ねじ組立体62が駆動してキャ
リッジ42を充分に引込み回路から離したときは(例え
ば、試験操作が完了して)、常にキャリッジ42(従っ
て、プローブカード44)が占める位置を言う。好適に
は、リミットスイッチ352は光センサ−356と平坦
な指標部材358を有している。
350を備えている。制御器350は2個のソース、即
ちリミットスイッチ352とエンコーダ=43 354から発出された位置データを受容する適当なイン
ターフェース装置を有する。リミットスイッチ352は
定常位置を表示する信号を出す適当なスイッチであれば
よい。定常位置とは、親ねじ組立体62が駆動してキャ
リッジ42を充分に引込み回路から離したときは(例え
ば、試験操作が完了して)、常にキャリッジ42(従っ
て、プローブカード44)が占める位置を言う。好適に
は、リミットスイッチ352は光センサ−356と平坦
な指標部材358を有している。
例えば米国、テキサス州、キャロルトンのTRXにより
製作されたOF282157等のセンサー356は、固
定ベースプレート36の下側336に取り付けてある。
製作されたOF282157等のセンサー356は、固
定ベースプレート36の下側336に取り付けてある。
センサー356は上方に突出している指標部材358を
受容し、その部材358は坦体プレート50の上面97
の取り付けてある。指標部材358は、キャリッジ42
が引っ込められた時は常に、センサー356により検出
される。指標部材356がセンサー354に存在するこ
とは、導体360を介して制御器350に即時に提供さ
れる。
受容し、その部材358は坦体プレート50の上面97
の取り付けてある。指標部材358は、キャリッジ42
が引っ込められた時は常に、センサー356により検出
される。指標部材356がセンサー354に存在するこ
とは、導体360を介して制御器350に即時に提供さ
れる。
他の位置データは、駆動モータ330の底部に取り付け
てあってモータシャフト338により駆動される従来型
のエンコーダ354により発出される。
てあってモータシャフト338により駆動される従来型
のエンコーダ354により発出される。
適当ナエンコータトシて、レンフ、モデルR−802が
ある。エンコーダ354の出力はモータシャフト338
の位置(従って、キャリッジ42の位置に)に相関し、
かつ導体362を介して制御器350に伝達される。
ある。エンコーダ354の出力はモータシャフト338
の位置(従って、キャリッジ42の位置に)に相関し、
かつ導体362を介して制御器350に伝達される。
制御器354をプログラム化してプローブ32の下の試
験位置にある基体により保持された回路30の形状に応
じてキャリッジの動きを制御することができる。この点
に関して、制御器350は正又負の電圧出力信号を発出
する(電圧信号の極性は駆動モータ330が回転する方
向に依存している)。出力信号は導体364を介して動
力増幅器366に送られ、動力増幅器の出力は駆動モー
タ330を駆動する。
験位置にある基体により保持された回路30の形状に応
じてキャリッジの動きを制御することができる。この点
に関して、制御器350は正又負の電圧出力信号を発出
する(電圧信号の極性は駆動モータ330が回転する方
向に依存している)。出力信号は導体364を介して動
力増幅器366に送られ、動力増幅器の出力は駆動モー
タ330を駆動する。
好適には、制御器350を駆動するプログラムはホスト
コンピュータによって供給され、ホストコンピュータは
種々の回路形状に対応する複数のブログラムをメモリー
に記憶している。この点に関して、任意の回路30に対
し、試験済回路として損傷を回避するため、プローブ3
2が試験後引き込められねばならない距離は、基体によ
り保持された回路構成素子の最大高さに依存している。
コンピュータによって供給され、ホストコンピュータは
種々の回路形状に対応する複数のブログラムをメモリー
に記憶している。この点に関して、任意の回路30に対
し、試験済回路として損傷を回避するため、プローブ3
2が試験後引き込められねばならない距離は、基体によ
り保持された回路構成素子の最大高さに依存している。
従って、本発明に係る装置により操作される回路の各バ
ッチに対し、制御プログラムを考案して、試験済回路を
未試験回路と交換したとき、プローブが回路構成素子と
接触して損傷を与えるの避けるために必要な、キャリッ
ジの旅程を最小にすることができる。キャリッジの旅程
を最小にすると、試験済回路の処理量を増加できる。
ッチに対し、制御プログラムを考案して、試験済回路を
未試験回路と交換したとき、プローブが回路構成素子と
接触して損傷を与えるの避けるために必要な、キャリッ
ジの旅程を最小にすることができる。キャリッジの旅程
を最小にすると、試験済回路の処理量を増加できる。
以上、本発明に係る好適実施例を図示し説明したが、当
業者には種々の改変が可能である。特許請求の範囲に含
まれる改変例は本発明の範囲である。
業者には種々の改変が可能である。特許請求の範囲に含
まれる改変例は本発明の範囲である。
第1図は本発明に係る装置の斜視図;
第2図は装置の平面図;
第3図は装置の底面図
第4図は装置に親ねじ組立体とプローブカードを取り付
けるための機構とを示す第2図の線4−4に沿った断面
図; 第5図はプローブカード位置を調整するためのキャリッ
ジの部分を示す第2図の線5−5に沿った側断面図; 第6図は装置のキャリッジにプローブカードを固定する
ために使用するクランプ組立体を示す第4図の線6−6
に沿った断面図 第7図は装置の基板に取り付けた駆動モータを示す第2
図の線7−7に沿った断面図;第8図は装置のキャリッ
ジの動作を制御するためのシステムを示すダイヤグラム
である。 20・・・プローブカード装置 24・・・操縦具、 28・・・回路基体30
・・・回路、 32・・・プローブ34・・
フレーム 36・・台板、 42・・・キャリッジ44
・・・プローブカード 50・・・坦体プレート =47− 60・・・親ねじブラケット 62・・・親ねじ組立体 76・・・プローブカードプレート 78・・・クランプ組立体 92・・・坦体プレートの中心 140・・・クランプ部材 154・・・可動クランプ部材 210・・・ハンドル 222・・・ハウジング 237・・・親ねじ、 239・・・親ねじナ
ツト300・・・駆動リンク機構 302・・・偏心継ぎ手 310・・・柱、 322 ・・・カウン
ターウェイト330・・・駆動モータ 350・・・プログラマブル制御器 352 ・・・リミットスイッチ 354・・・エンコーダ 平成元年12月19日
けるための機構とを示す第2図の線4−4に沿った断面
図; 第5図はプローブカード位置を調整するためのキャリッ
ジの部分を示す第2図の線5−5に沿った側断面図; 第6図は装置のキャリッジにプローブカードを固定する
ために使用するクランプ組立体を示す第4図の線6−6
に沿った断面図 第7図は装置の基板に取り付けた駆動モータを示す第2
図の線7−7に沿った断面図;第8図は装置のキャリッ
ジの動作を制御するためのシステムを示すダイヤグラム
である。 20・・・プローブカード装置 24・・・操縦具、 28・・・回路基体30
・・・回路、 32・・・プローブ34・・
フレーム 36・・台板、 42・・・キャリッジ44
・・・プローブカード 50・・・坦体プレート =47− 60・・・親ねじブラケット 62・・・親ねじ組立体 76・・・プローブカードプレート 78・・・クランプ組立体 92・・・坦体プレートの中心 140・・・クランプ部材 154・・・可動クランプ部材 210・・・ハンドル 222・・・ハウジング 237・・・親ねじ、 239・・・親ねじナ
ツト300・・・駆動リンク機構 302・・・偏心継ぎ手 310・・・柱、 322 ・・・カウン
ターウェイト330・・・駆動モータ 350・・・プログラマブル制御器 352 ・・・リミットスイッチ 354・・・エンコーダ 平成元年12月19日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、プローブカードを動かして回路に向かわせ及び前記
プローブカードを動かして回路から離すためのプローブ
カード装置であって、 (a)フレームと、 (b)前記プローブカードを保持するため のキャリッジと、 (c)親ねじと、 (d)駆動手段とを、 備え、前記親ねじは、前記親ねじの回転がこの親ねじの
回転方向に応じて2個の対向する方向のいずれかに前記
キャリッジを動かすように前記フレームに取り付けてあ
り、かつ前記キャリッジに結合されていて、更に、前記
駆動手段は対向する方向のいずれかに前記親ねじを回転
するのを制御できる、ことを特徴とするプローブカード
装置。 2、2個以上の親ねじが前記キャリッジを動かすために
前記フレームに取り付けてあり、 かつ前記キャリッジに結合されていて、並びに前記駆動
手段はモータと剛性駆動リンク機構を有し、前記モータ
の回転運動を前記親ねじに伝達するために前記駆動リン
ク機構は前記親ねじと前記モータとを相互に連結してい
る、ことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード
装置。 3、各親ねじを前記駆動リンク機構に連結するための継
ぎ手を有し、この継ぎ手は前記親ねじに加えられた回転
力に釣り合うように形成されかつ配置されたカウンター
ウェイトを有している、ことを特徴とする請求項2に記
載のプローブカード装置。 4、各継ぎ手は柱部材を有し、前記駆動リンク機構は前
記親ねじの回転軸に対し偏心している軸の回りに回転自
在であるように前記柱部材に取り付けてある、ことを特
徴とする請求項3に記載のプローブカード装置。 5、前記駆動手段に接続されたプログラマブル制御手段
を有して、前記親ねじの回転の回転量と方向とを制御し
、親ねじ回転の前記回転量と方向は回路構成素子の構成
に一致している、ことを特徴とする請求項1に記載のプ
ローブカード装置。 6、前記駆動手段はモータと剛性駆動リンク機構とを有
し、前記モータの回転運動を前記 親ねじに伝達するために、前記駆動リンク機構は前記親
ねじと前記モータとを相互に結合している、ことを特徴
とする請求項1に記載のプローブカード装置。 7、プローブカードに隣接して位置している回路に対し
、プローブカードを動かすプローブカード装置であって
、前記回路は特性軸を有し、更に装置は、 (a)フレームと (b)前記フレームに取り付けてあって、 プローブカードを保持するためのキ ャリッジと、 (c)前記キャリッジとプローブカードを 動かして前記回路に向かわせ及び離 す往復動をさせるためのキャリッジ 駆動手段とを備え、 前記キャリッジは、前記キャリッジに対し前記回路の前
記特性軸の方位に一致するように前記プローブカードの
位置を変化させる調整手段を有する、ことを特徴とする
プローブカード装置。 8、前記キャリッジはほぼ平坦な坦体プレートとほぼ平
坦なプローブカードプレートとを有し、更に前記プロー
ブカードプレートは前記坦体プレートに可動であるよう
に取り付けてあり、かつ前記プローブカードプレートに
前記プローブカードを取り外し自在に取り付けるための
クランプ手段を有している、ことを特徴とする請求項7
に記載のプローブカード装置。 9、前記坦体プレートは中心を有し、並びに前記プロー
ブカードプレートは中心を有し、更に前記キャリッジは
前記坦体プレートに前記プローブカードプレートを取り
付けるための取付け手段を有して、前記坦体プレートと
前記プローブカードプレートの前記中心は軸に整列し、
前記プローブカードプレートがその軸の回りに選択的に
回転自在であるように前記取付け手段は形成されている
、ことを特徴とする請求項8に記載のプローブカード装
置。 10、前記プローブカードプレートの回転が可能である
ようにして、前記プローブカードプレートを前記坦体プ
レートに固定する固定手段を有する、ことを特徴とする
請求項9に記載のプローブカード装置。 11、前記クランプ手段は固定面と可動面とを有して、
その間にプローブカードの縁部を締めつけ、前記可動面
は締めつけ力を前記プローブカードに加え、前記力の合
力が前記固定面を貫通する方向を向いているように、前
記クランプ手段は構成されている、ことを特徴とする請
求項8に記載のプローブカード装置。 12、プローブカードが前記クランプ手段により形成さ
れた締めつけ空間の中に位置するときは常に、前記プロ
ーブカードを前記キャリッジに固定するために、前記キ
ャリッジに取り付けてあるクランプ手段を有し、前記ク
ランプ手段は前記プローブカードが前記締めつけ空間か
ら落下するのを防止する捕捉手段を有する、ことを特徴
とする請求項7に記載のプローブカード装置。 13、プローブカードに取り付け自在に取りつけてあっ
て、かつ前記プローブカードが前記締めつけ空間の中の
特定の位置に位置するときは常に、前記クランプ組立体
に当たって接するように構成されているハンドルを有し
ている、ことを特徴とする請求項12に記載のプローブ
カード装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US247088 | 1988-09-20 | ||
US07/247,088 US4935694A (en) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | Probe card fixture |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02163677A true JPH02163677A (ja) | 1990-06-22 |
Family
ID=22933497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1242410A Pending JPH02163677A (ja) | 1988-09-20 | 1989-09-20 | プローブカード装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4935694A (ja) |
JP (1) | JPH02163677A (ja) |
DE (1) | DE3931305C2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102547242B1 (ko) * | 2022-12-28 | 2023-07-12 | 한전케이피에스 주식회사 | 프로브 장치 및 조절 가능한 확장식 프로브 장치 거치대 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020053734A1 (en) | 1993-11-16 | 2002-05-09 | Formfactor, Inc. | Probe card assembly and kit, and methods of making same |
US8033838B2 (en) | 1996-02-21 | 2011-10-11 | Formfactor, Inc. | Microelectronic contact structure |
US5659483A (en) * | 1996-07-12 | 1997-08-19 | National Center For Manufacturing Sciences | System and method for analyzing conductor formation processes |
US7667159B2 (en) * | 2004-09-13 | 2010-02-23 | Electro Scientific Industries, Inc. | Resolving thermoelectric potentials during laser trimming of resistors |
JP2014025737A (ja) * | 2012-07-25 | 2014-02-06 | Nidec-Read Corp | 検査用治具及び接触子 |
CN114089042B (zh) * | 2021-11-17 | 2024-03-12 | 佛山中科灿光微电子设备有限公司 | 探卡快速更换机构及包含该机构的测阻仪 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3787768A (en) * | 1970-12-25 | 1974-01-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Inspection apparatus for printed circuit boards |
US3939414A (en) * | 1974-01-28 | 1976-02-17 | Electroglas, Inc. | Micro-circuit test apparatus |
US4156387A (en) * | 1974-09-03 | 1979-05-29 | Bruderer Ag | Apparatus for mass compensation at a machine driven by a crank drive |
US3963986A (en) * | 1975-02-10 | 1976-06-15 | International Business Machines Corporation | Programmable interface contactor structure |
US3996517A (en) * | 1975-12-29 | 1976-12-07 | Monsanto Company | Apparatus for wafer probing having surface level sensing |
US4063172A (en) * | 1976-06-01 | 1977-12-13 | International Business Machines Corporation | Multiple site, differential displacement, surface contacting assembly |
JPS56148063A (en) * | 1980-04-21 | 1981-11-17 | Nippon Denshi Zairyo Kk | Multipin type probe station |
US4357575A (en) * | 1980-06-17 | 1982-11-02 | Dit-Mco International Corporation | Apparatus for use in testing printed circuit process boards having means for positioning such boards in proper juxtaposition with electrical contacting assemblies |
US4406373A (en) * | 1981-08-03 | 1983-09-27 | Palomar Systems & Machines, Inc. | Means and method for testing and sorting miniature electronic units |
JPS5929151B2 (ja) * | 1981-08-03 | 1984-07-18 | 日本電子材料株式会社 | 半導体ウエハ−試験装置 |
DE3136898C2 (de) * | 1981-09-17 | 1986-05-07 | Riba-Prüftechnik GmbH, 7801 Schallstadt | Prüfeinrichtung zum Überprüfen von Leiterplatten |
US4510445A (en) * | 1981-11-02 | 1985-04-09 | Joseph Kvaternik | Miniature circuit processing devices and matrix test heads for use therein |
US4471298A (en) * | 1981-12-11 | 1984-09-11 | Cirdyne, Inc. | Apparatus for automatically electrically testing printed circuit boards |
US4527119A (en) * | 1982-05-17 | 1985-07-02 | Testamatic, Incorporated | High speed, low mass, movable probe and/or instrument positioner, tool and like items suitable for use in a controlled environment chamber |
SU1228010A1 (ru) * | 1984-07-18 | 1986-04-30 | Предприятие П/Я М-5841 | Устройство дл контрол изделий сложной формы |
US4694245A (en) * | 1984-09-07 | 1987-09-15 | Precision Drilling, Inc. | Vacuum-actuated top access test probe fixture |
DE3511821C1 (de) * | 1985-03-30 | 1986-06-19 | Rohde & Schwarz GmbH & Co KG, 8000 München | Adapter zur Aufnahme von beidseitig zu prüfenden Leiterplatten |
DE3628104A1 (de) * | 1986-08-19 | 1988-02-25 | Feinmetall Gmbh | Kontaktelement fuer pruefkarten |
US4751457A (en) * | 1986-09-08 | 1988-06-14 | Tektronix, Inc. | Integrated circuit probe parallelism establishing method and apparatus |
-
1988
- 1988-09-20 US US07/247,088 patent/US4935694A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1242410A patent/JPH02163677A/ja active Pending
- 1989-09-20 DE DE3931305A patent/DE3931305C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102547242B1 (ko) * | 2022-12-28 | 2023-07-12 | 한전케이피에스 주식회사 | 프로브 장치 및 조절 가능한 확장식 프로브 장치 거치대 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3931305A1 (de) | 1990-03-29 |
US4935694A (en) | 1990-06-19 |
DE3931305C2 (de) | 1995-06-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0699913B1 (en) | Interface apparatus for automatic test equipment | |
CN1107231C (zh) | 使一测试头与一装置运送器自动对接的方法及设备 | |
US7235964B2 (en) | Test head positioning system and method | |
US9482605B2 (en) | Bond testing machine and cartridge for a bond testing machine comprising a plurality of test tools | |
US7036810B2 (en) | Modular tooling apparatus with tapered locater system | |
JPH05126903A (ja) | 電子試験ヘツドと電子装置ハンドラとの取付け取外し装置 | |
JPH11503564A (ja) | 自動検査機器のためのインターフェース装置 | |
US11313777B2 (en) | Reduction of error in testing friction and wear with the use of high-speed reciprocating motion | |
JPS6352777B2 (ja) | ||
JPH03103728A (ja) | 分光計の可動ミラーの傾斜調節機構 | |
KR100986640B1 (ko) | 프로브 유닛 및 검사장치 | |
JP4420679B2 (ja) | 簡単に交換できるインターフェースユニットを備えた半導体試験システム | |
JPH02163677A (ja) | プローブカード装置 | |
US20020003997A1 (en) | Manipulator/end effector head for robotic assembly | |
US20050194985A1 (en) | Compliance module, particularly for a manipulator for positioning a test head, and one such manipulator | |
CN110227193A (zh) | 霍尔信号标定平台 | |
CA1195530A (en) | Clamping nosepiece for hardness tester | |
KR101470425B1 (ko) | 카메라용 엑츄에이터 모듈의 검사 장치 및 방법 | |
EP3361233B1 (en) | Bond test apparatus and bond test cartridge with integrated illumination system | |
JPH07147306A (ja) | 被検査体のテスト装置 | |
CN110561540A (zh) | 一种用于光学定心仪的调整装置 | |
KR20210055708A (ko) | 테스트 기판, 프로브들 및 검사 유닛을 서로 상대적으로 위치 설정하기 위한 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 테스터 | |
CN114485759B (zh) | 一种传感器标定装置及其标定方法 | |
CN210323270U (zh) | 一种基于示波器的测试装置 | |
JP2570151Y2 (ja) | 半導体素子検査装置 |