JPH0213810A - リニアエンコーダ - Google Patents
リニアエンコーダInfo
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- JPH0213810A JPH0213810A JP63164144A JP16414488A JPH0213810A JP H0213810 A JPH0213810 A JP H0213810A JP 63164144 A JP63164144 A JP 63164144A JP 16414488 A JP16414488 A JP 16414488A JP H0213810 A JPH0213810 A JP H0213810A
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- JP
- Japan
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- scale
- mark
- moving
- linear
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
- G01D5/24442—Error prevention by mechanical means by mounting means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24471—Error correction
- G01D5/24476—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は工作機械やロボット等において被測定物の直線
移動状態を検出するりニアエンコーダに関し、特に被測
定物の移動方向と該被測定物に関して設けたスケールと
の方向を容易に一致させ高精度の検出を可能としたリニ
アエンコーダに関するものである。
移動状態を検出するりニアエンコーダに関し、特に被測
定物の移動方向と該被測定物に関して設けたスケールと
の方向を容易に一致させ高精度の検出を可能としたリニ
アエンコーダに関するものである。
（従来の技術）
従来よりＸ−Ｙステージ等の被測定物の直線方向の位置
検出や移動量検出等にはリニアエンコーダが多く用いら
れている。特に光学式のリニアエンコーダは比較的高精
度な検出が出来る為各分野で用いられている。
検出や移動量検出等にはリニアエンコーダが多く用いら
れている。特に光学式のリニアエンコーダは比較的高精
度な検出が出来る為各分野で用いられている。
第６図は従来の光学式のリニアエンコーダの概略構成図
である。同図において６エはスケールであり目盛り６１
ａを直線方向に設けている。６８は検出手段であり、発
光素子と目盛り６１ａを読み取る為のセンサとを内部に
備えている。６９は被測定物で矢印の如く一方向に移動
する移動ステージより成っている。スケール６１は移動
ステージ６９に取り付けられ、又検出手段６８は不図示
の基板に固定されている。
である。同図において６エはスケールであり目盛り６１
ａを直線方向に設けている。６８は検出手段であり、発
光素子と目盛り６１ａを読み取る為のセンサとを内部に
備えている。６９は被測定物で矢印の如く一方向に移動
する移動ステージより成っている。スケール６１は移動
ステージ６９に取り付けられ、又検出手段６８は不図示
の基板に固定されている。
同図に示すリニアエンコーダは移動ステージ６９の移動
に伴うスケール６１上の目盛り６１ａの変位量を検出手
段６８により検出することにより該移動ステージ６９の
変位状態を検出している。
に伴うスケール６１上の目盛り６１ａの変位量を検出手
段６８により検出することにより該移動ステージ６９の
変位状態を検出している。
このときスケール６１の目盛り６１ａが設けられている
方向と移動ステージ６９の移動方向とが一致していない
と移動量の検出精度が低下してくる。
方向と移動ステージ６９の移動方向とが一致していない
と移動量の検出精度が低下してくる。
第４図はこのときの移動ステージ６９の移動方向とスケ
ール６１の目盛り６１ａの並び方向とが一致せず傾いて
いるときの説明図であり、又第５図は第４図の一部分の
移動ステージ６９とスケール６１の目盛り６１ａとの関
係を拡大した説明図である。
ール６１の目盛り６１ａの並び方向とが一致せず傾いて
いるときの説明図であり、又第５図は第４図の一部分の
移動ステージ６９とスケール６１の目盛り６１ａとの関
係を拡大した説明図である。
第４．第５図に示すように移動ステージ６９とスケール
６１の目盛り６１ａの並び方向が一致していないと検出
手段からの出力信号は次のようになる。
６１の目盛り６１ａの並び方向が一致していないと検出
手段からの出力信号は次のようになる。
即ち、移動ステージ６９をある距離だけ移動させたとき
のスケール６１の読み値をＬｌ、実際の移動ステージ６
９の移動量をＬ２とし、それらの差分をεとすると ε ＝Ｌ２ − ＬＩ Ｌ１＝Ｌ２ｃｏｓθ ε ＝Ｌ２ （１−ｃｏｓθ） となる。
のスケール６１の読み値をＬｌ、実際の移動ステージ６
９の移動量をＬ２とし、それらの差分をεとすると ε ＝Ｌ２ − ＬＩ Ｌ１＝Ｌ２ｃｏｓθ ε ＝Ｌ２ （１−ｃｏｓθ） となる。
今、仮にＬ２＝１００ｍｍとし誤差量εを０．１μｍ以
下とする為には角度θを０．０８度以下にする必要があ
る。
下とする為には角度θを０．０８度以下にする必要があ
る。
従来のリニアエンコーダにおいては、こうしたリニアス
ケールの傾きを調整するための手段としては単にスケー
ルの外形を基準面として他の基準面に取り付けて行って
いた。
ケールの傾きを調整するための手段としては単にスケー
ルの外形を基準面として他の基準面に取り付けて行って
いた。
しかしながら一般にこのような手段では高精度にスケー
ルの位置を合わせることは困難であった。
ルの位置を合わせることは困難であった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は移動ステージとスケール上の目盛りの並び方向
とを容易に一致させることができ、被測定物の移動量等
の移動状態を高精度に検出することができるリニアエン
コーダの提供を目的とする。
とを容易に一致させることができ、被測定物の移動量等
の移動状態を高精度に検出することができるリニアエン
コーダの提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
被測定物に関して一方向に目盛りを設けたスケールと該
スケール上の目盛りを読み取る検出手段とを有し、該検
出手段からの出力信号を利用して該被測定物の変位状態
を検出するリニアエンコーダにおいて、該スケール上の
少なくとも一領域に調整用のマークを設け、該マークを
用いて該スケールの目盛りの並び方向と該被測定物の移
動方向とのずれを検出し補正することである。
スケール上の目盛りを読み取る検出手段とを有し、該検
出手段からの出力信号を利用して該被測定物の変位状態
を検出するリニアエンコーダにおいて、該スケール上の
少なくとも一領域に調整用のマークを設け、該マークを
用いて該スケールの目盛りの並び方向と該被測定物の移
動方向とのずれを検出し補正することである。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例の要部概略図である。同図に
おいて１はスケールであり不図示の被測定物である移動
ステージに取り付けられている。１ａは目盛りでありス
ケール１上に等間隔に直線状に設けられいてる。１ｂは
直線状のマークでスケール１上の目盛り１ａの並び方向
に平行に設けられている。該マーク１ｂは例えばスケー
ル１面上に反射膜を施して形成し、光が通過しないよう
にして構成されている。２は発光素子、３は集光用レン
ズであり発光素子２からの光束を集光してマーク１ｂ面
上に導光している。４は受光素子であり発光素子２から
の光束のうちマーク１ｂの上側若しくは下側の外周部を
通過した光束を受光している。
おいて１はスケールであり不図示の被測定物である移動
ステージに取り付けられている。１ａは目盛りでありス
ケール１上に等間隔に直線状に設けられいてる。１ｂは
直線状のマークでスケール１上の目盛り１ａの並び方向
に平行に設けられている。該マーク１ｂは例えばスケー
ル１面上に反射膜を施して形成し、光が通過しないよう
にして構成されている。２は発光素子、３は集光用レン
ズであり発光素子２からの光束を集光してマーク１ｂ面
上に導光している。４は受光素子であり発光素子２から
の光束のうちマーク１ｂの上側若しくは下側の外周部を
通過した光束を受光している。
発光素子２、集光用レンズ３、そして受光素子４は一体
化された不図示のケース内に収納されている。
化された不図示のケース内に収納されている。
本実施例においては発光素子２からの光束を集光用レン
ズ３によりスケール１上のマーク１ｂに入射させている
。そしてマーク１ｂの外周部を通過した光束を受光素子
４で受光している。このときスケール１を移動ステージ
等に取り付は端から端まで動かしたとき、移動ステージ
の移動方向とスケール１ｂの目盛りの並び方向とが一致
したときは少なくともその両端で受光素子４に入射する
光量が等しくなるようにスケール１上に設けたマーク１
ｂの形状を特定している。
ズ３によりスケール１上のマーク１ｂに入射させている
。そしてマーク１ｂの外周部を通過した光束を受光素子
４で受光している。このときスケール１を移動ステージ
等に取り付は端から端まで動かしたとき、移動ステージ
の移動方向とスケール１ｂの目盛りの並び方向とが一致
したときは少なくともその両端で受光素子４に入射する
光量が等しくなるようにスケール１上に設けたマーク１
ｂの形状を特定している。
即ち、スケール１の移動方向とスケール１上のマーク１
ｂとの並び方向が不一致のときは受光素子４で受光され
る光量がスケール１の移動に伴って変化するように構成
している。
ｂとの並び方向が不一致のときは受光素子４で受光され
る光量がスケール１の移動に伴って変化するように構成
している。
本実施例では被測定物としての移動ステージの変位状態
を検出する前に予めスケール１上のマーク１ｂの外周部
を通過する光束がスケール１の移動に伴って変化しない
ように調整して、これにより移動ステージの移動方向と
スケール１の目盛りｌａの並び方向とが一致するように
している。
を検出する前に予めスケール１上のマーク１ｂの外周部
を通過する光束がスケール１の移動に伴って変化しない
ように調整して、これにより移動ステージの移動方向と
スケール１の目盛りｌａの並び方向とが一致するように
している。
尚、本実施例においてスケール！上の目盛り１ａを検出
する際に、受光素子４からの出力信号を利用して不図示
の演算手段等によりスケール１と目盛り１ａの並び方向
との傾きを求め、移動スケールの変位状態を求める際に
補正するようにしても良い。
する際に、受光素子４からの出力信号を利用して不図示
の演算手段等によりスケール１と目盛り１ａの並び方向
との傾きを求め、移動スケールの変位状態を求める際に
補正するようにしても良い。
第７図にその実施例を示す。ここで前記手段によりスケ
ールの目盛り方向とステージの移動方向との角度差θが
既知であるとすれば、検出手段６８から得られる読み取
り移動量Ｌ１を演算手段７１によって変換すれば容易に
真の移動量Ｌ２を得ることができ、第７図に示す例のよ
うに後段に設けた表示器７２に真の移動量を表示するこ
とが可能である。
ールの目盛り方向とステージの移動方向との角度差θが
既知であるとすれば、検出手段６８から得られる読み取
り移動量Ｌ１を演算手段７１によって変換すれば容易に
真の移動量Ｌ２を得ることができ、第７図に示す例のよ
うに後段に設けた表示器７２に真の移動量を表示するこ
とが可能である。
尚、ここで演算手段７１においてＬ２＝Ｌ１／ｃｏｓθ
なる変換を施すものとする。
なる変換を施すものとする。
第２図は第１図に示す実施例のスケール１上に設けたマ
ーク１ｂの一変形例の説明図でる。同図においてｌｂｌ
はマークであり、第１図に示す実施例のようにスケール
１上の゛目盛り１ａの全範囲に設ける代わりにスケール
１の両端部に各々設けている。そして第１図に示す実施
例と同様に両端のマークｌｂｌの外周部を通過し受光素
子４に入射する光量が等しくなるように調整し、これに
ζり移動ステージの移動方向と目盛り１ａの並び方向と
が一致するようにしている。
ーク１ｂの一変形例の説明図でる。同図においてｌｂｌ
はマークであり、第１図に示す実施例のようにスケール
１上の゛目盛り１ａの全範囲に設ける代わりにスケール
１の両端部に各々設けている。そして第１図に示す実施
例と同様に両端のマークｌｂｌの外周部を通過し受光素
子４に入射する光量が等しくなるように調整し、これに
ζり移動ステージの移動方向と目盛り１ａの並び方向と
が一致するようにしている。
第３図は本発明の他の一実施例の概略図である。同図に
おいてＩＣは幅の狭いスリットより成るマークでありス
ケールｉ上の目盛り１ａの両端部に設けられており、光
を反射するように構成されている。又２つのマークＩＣ
を結ぶ線分がスケール１上の目盛り１ａの並び方向と平
行となるようにしている。５は受光部であり２つの分割
されたセンサー５ａ、５ｂより成っている。２つのセン
サー５ａ、５ｂはスケール１の目盛り１ａの並び方向に
対して直角方向に配置されている。そして集光レンズ３
によりスケール１上のマーク１ｃが、２つのセンサー５
ａ、５ｂの略境界面上に、マークの長手方向が境界線に
沿ワて結像されるように設定している。６はハーフミラ
−である。
おいてＩＣは幅の狭いスリットより成るマークでありス
ケールｉ上の目盛り１ａの両端部に設けられており、光
を反射するように構成されている。又２つのマークＩＣ
を結ぶ線分がスケール１上の目盛り１ａの並び方向と平
行となるようにしている。５は受光部であり２つの分割
されたセンサー５ａ、５ｂより成っている。２つのセン
サー５ａ、５ｂはスケール１の目盛り１ａの並び方向に
対して直角方向に配置されている。そして集光レンズ３
によりスケール１上のマーク１ｃが、２つのセンサー５
ａ、５ｂの略境界面上に、マークの長手方向が境界線に
沿ワて結像されるように設定している。６はハーフミラ
−である。
発光素子２、受光部５、ハーフミラ−６、そして集光レ
ンズ３は一体化されて不図示のケース内に収納し、不図
示の基板上に固設している。
ンズ３は一体化されて不図示のケース内に収納し、不図
示の基板上に固設している。
本実施例では発光素子２からの光束の一部をハーフミラ
−６で反射させた後、集光レンズ３によりスケール１面
上のマーク１０面上に導光している。そしてマークＩＣ
からの反射光束を集光レンズ３で集光しハーフミラ−６
を通過させた後、受光部５に入射させている。
−６で反射させた後、集光レンズ３によりスケール１面
上のマーク１０面上に導光している。そしてマークＩＣ
からの反射光束を集光レンズ３で集光しハーフミラ−６
を通過させた後、受光部５に入射させている。
このときスケール１の両端の２つのマークＩＣからの反
射光束を２つのセンサー５ａ、５ｂで受光し、両端にお
いて２つのセンサーＳａ、５ｂからの出力信号が等しく
なるようにスケール１の傾きを調整し、これによりスケ
ール１の目盛り１ａの並び方向と移動ステージの移動方
向とを一致させている。
射光束を２つのセンサー５ａ、５ｂで受光し、両端にお
いて２つのセンサーＳａ、５ｂからの出力信号が等しく
なるようにスケール１の傾きを調整し、これによりスケ
ール１の目盛り１ａの並び方向と移動ステージの移動方
向とを一致させている。
尚、以上の各実施例においてスケール１面上に設けたマ
ークを反射部の代わりに透過部より構成しても良い。又
、マークを光学的な部材の代わりに例えば磁気的な部材
より構成し、磁気的な手段によりマークを読み取るよう
にしても良い。
ークを反射部の代わりに透過部より構成しても良い。又
、マークを光学的な部材の代わりに例えば磁気的な部材
より構成し、磁気的な手段によりマークを読み取るよう
にしても良い。
（発明の効果）
本発明によればスケール上の一領域に所定形状のマーク
を設け、該マークの外周部若しくは該マークを通過若し
くは反射する光束を受光することにより、移動ステージ
の移動方向とスケール上の目盛りの並び方向とを容易に
しかも高精度に一致させた常に高精度な検出が可能なリ
ニアエンコーダを達成することができる。
を設け、該マークの外周部若しくは該マークを通過若し
くは反射する光束を受光することにより、移動ステージ
の移動方向とスケール上の目盛りの並び方向とを容易に
しかも高精度に一致させた常に高精度な検出が可能なリ
ニアエンコーダを達成することができる。
第１図は本発明の一実施例の要部概略図、第２図は第１
図の一部分を変形したときの説明図、第３図は本発明の
他の一実施例の要部概略図、第４図、第５図は各々従来
のりニアエンコーダの移動ステージとスケール上の目盛
りの並び方向が不一致のときの説明図、第６図は従来の
リニアエンコーダの概略図、第７図は本発明の他の一実
施例の概略図である。 図中、１，６１はスケール、ｌａ、６１ａは目盛り、ｌ
ｂ、ｌｂｌ、ｌｃはマーク、２は発光素子、３は集光レ
ンズ、４は受光素子、５は受光部、６はハーフミラ−１
６９は移動ステージである。 第 １ 口 第 ２ 回 亮 ３ 図 Ｃ ］Ｃ 兜 ４ 固 兜 ５ 図 ＼ 第 ６ 硼
図の一部分を変形したときの説明図、第３図は本発明の
他の一実施例の要部概略図、第４図、第５図は各々従来
のりニアエンコーダの移動ステージとスケール上の目盛
りの並び方向が不一致のときの説明図、第６図は従来の
リニアエンコーダの概略図、第７図は本発明の他の一実
施例の概略図である。 図中、１，６１はスケール、ｌａ、６１ａは目盛り、ｌ
ｂ、ｌｂｌ、ｌｃはマーク、２は発光素子、３は集光レ
ンズ、４は受光素子、５は受光部、６はハーフミラ−１
６９は移動ステージである。 第 １ 口 第 ２ 回 亮 ３ 図 Ｃ ］Ｃ 兜 ４ 固 兜 ５ 図 ＼ 第 ６ 硼
Claims (3)
- （１）被測定物に関して一方向に目盛りを設けたスケー
ルと該スケール上の目盛りを読み取る検出手段とを有し
、該検出手段からの出力信号を利用して該被測定物の変
位状態を検出するリニアエンコーダにおいて、該スケー
ル上の少なくとも一領域に調整用のマークを設け、該マ
ークを用いて該スケールの目盛りの並び方向と該被測定
物の移動方向とのずれを検出し補正することを特徴とす
るエンコーダ。 - （２）前記調整用マークを、前記目盛りの両端若しくは
該目盛りに沿った領域に、該目盛りの並び方向と平行に
配設した直線状マークとしたことを特徴とする請求項１
記載のリニアエンコーダ。 - （３）被測定物体の移動状態を検出する為に、該被測定
物体に取付けられるリニアスケールにおいて、前記移動
状態検出用の目盛りと、該目盛りの配列方向と前記被測
定物体の移動方向とのずれを検出する為の調整マークと
を有することを特徴とするリニアスケール。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164144A JP2625917B2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | リニアエンコーダ |
| US07/369,862 US5038491A (en) | 1988-07-01 | 1989-06-22 | Scale for use for measurement of the displacement of an object to be examined, and displacement measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63164144A JP2625917B2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | リニアエンコーダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0213810A true JPH0213810A (ja) | 1990-01-18 |
| JP2625917B2 JP2625917B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=15787584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63164144A Expired - Fee Related JP2625917B2 (ja) | 1988-07-01 | 1988-07-01 | リニアエンコーダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5038491A (ja) |
| JP (1) | JP2625917B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018185281A (ja) * | 2017-04-27 | 2018-11-22 | オークマ株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP2019100959A (ja) * | 2017-12-07 | 2019-06-24 | キヤノンプレシジョン株式会社 | エンコーダおよびそれを備えた装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0473808A1 (de) * | 1990-09-03 | 1992-03-11 | Hottinger Baldwin Messtechnik Gmbh | Messeinrichtung zur Ermittlung eines Weges oder einer Position |
| DE4104602C1 (ja) * | 1991-02-12 | 1992-06-04 | E.M.S. Technik Gmbh, 2950 Leer, De | |
| JP3005131B2 (ja) * | 1992-12-28 | 2000-01-31 | キヤノン株式会社 | 変位検出装置 |
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