JPH02135141U - - Google Patents

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JPH02135141U
JPH02135141U JP4469689U JP4469689U JPH02135141U JP H02135141 U JPH02135141 U JP H02135141U JP 4469689 U JP4469689 U JP 4469689U JP 4469689 U JP4469689 U JP 4469689U JP H02135141 U JPH02135141 U JP H02135141U
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electrostatic
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chuck
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案に係る静電チヤツク
の断面図、第３図Ａ及びＢは従来の静電チヤツク
の断面図である。 尚、図面中１……セラミツク基板、１ａ……セ
ラミツク層、２……上部内部電極、３……下部内
部電極、４……固定台、６……冷却水通路、Ｗ…
…ウエハーである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固定台上に取付けられる静電チヤツクにお
    いて、前記固定台は導電性材料から構成され、ま
    た静電チヤツクの基板内の上部には半導体ウエハ
    ー等の試料を静電力によつて吸着するための上部
    内部電極を設け、静電チヤツクの基板内の下部に
    は基板自体を固定台に静電力によつて吸着させる
    下部内部電極を設けたことを特徴とする静電チヤ
    ツク。 (2) 前記固定台は内部に冷媒通路が形成されて
    いることを特徴とする請求項１に記載の静電チヤ
    ツク。
JP4469689U 1989-04-17 1989-04-17 静電チャック Expired - Lifetime JPH0746437Y2 (ja)

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Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04300138A (ja) * 1991-03-28 1992-10-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 静電チャック
JPH05198663A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Hitachi Ltd 試料搬送ホルダ
JPH09162272A (ja) * 1995-12-04 1997-06-20 Sony Corp 静電チャック、薄板保持装置及び半導体製造装置並びに搬送方法
JPH11111829A (ja) * 1997-10-06 1999-04-23 Ulvac Corp 静電吸着ホットプレート、真空処理装置、及び真空処理方法
JP2000288868A (ja) * 1999-04-02 2000-10-17 Honda Motor Co Ltd 冷却機構を備えたワーク固定装置
JP2001144167A (ja) * 1999-11-12 2001-05-25 Ngk Insulators Ltd 半導体保持装置
JP2001189378A (ja) * 1990-12-25 2001-07-10 Ngk Insulators Ltd ウエハー吸着加熱装置
JP2003100856A (ja) * 2001-09-26 2003-04-04 Kyocera Corp ウェハ支持部材
JP2003347396A (ja) * 1990-12-25 2003-12-05 Ngk Insulators Ltd ウエハー吸着加熱装置及びウエハー吸着装置
JP2006344955A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Ngk Insulators Ltd 静電チャック
WO2011001978A1 (ja) * 2009-07-02 2011-01-06 株式会社クリエイティブ テクノロジー 静電吸着構造体及びその製造方法
WO2015111616A1 (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 株式会社アルバック プラズマ処理装置、及びウェハ搬送用トレイ
JP2016136552A (ja) * 2015-01-23 2016-07-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ プラズマ処理装置
JP2018518844A (ja) * 2015-06-11 2018-07-12 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ 基板を基板キャリアに静電結合するためのフィルムを有する装置
JP2018206804A (ja) * 2017-05-30 2018-12-27 東京エレクトロン株式会社 静電チャック及びプラズマ処理装置
JP2018206803A (ja) * 2017-05-30 2018-12-27 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置の静電チャックを運用する方法
WO2024004039A1 (ja) * 2022-06-28 2024-01-04 日本碍子株式会社 ウエハ載置台

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001189378A (ja) * 1990-12-25 2001-07-10 Ngk Insulators Ltd ウエハー吸着加熱装置
JP2003347396A (ja) * 1990-12-25 2003-12-05 Ngk Insulators Ltd ウエハー吸着加熱装置及びウエハー吸着装置
JPH04300138A (ja) * 1991-03-28 1992-10-23 Shin Etsu Chem Co Ltd 静電チャック
JPH05198663A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Hitachi Ltd 試料搬送ホルダ
JPH09162272A (ja) * 1995-12-04 1997-06-20 Sony Corp 静電チャック、薄板保持装置及び半導体製造装置並びに搬送方法
JPH11111829A (ja) * 1997-10-06 1999-04-23 Ulvac Corp 静電吸着ホットプレート、真空処理装置、及び真空処理方法
JP2000288868A (ja) * 1999-04-02 2000-10-17 Honda Motor Co Ltd 冷却機構を備えたワーク固定装置
JP2001144167A (ja) * 1999-11-12 2001-05-25 Ngk Insulators Ltd 半導体保持装置
JP4698097B2 (ja) * 2001-09-26 2011-06-08 京セラ株式会社 ウェハ支持部材
JP2003100856A (ja) * 2001-09-26 2003-04-04 Kyocera Corp ウェハ支持部材
JP2006344955A (ja) * 2005-06-09 2006-12-21 Ngk Insulators Ltd 静電チャック
WO2011001978A1 (ja) * 2009-07-02 2011-01-06 株式会社クリエイティブ テクノロジー 静電吸着構造体及びその製造方法
WO2015111616A1 (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 株式会社アルバック プラズマ処理装置、及びウェハ搬送用トレイ
JP6088670B2 (ja) * 2014-01-22 2017-03-01 株式会社アルバック プラズマ処理装置、及びウェハ搬送用トレイ
JPWO2015111616A1 (ja) * 2014-01-22 2017-03-23 株式会社アルバック プラズマ処理装置、及びウェハ搬送用トレイ
JP2016136552A (ja) * 2015-01-23 2016-07-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ プラズマ処理装置
JP2018518844A (ja) * 2015-06-11 2018-07-12 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー．ファオ 基板を基板キャリアに静電結合するためのフィルムを有する装置
US10304714B2 (en) 2015-06-11 2019-05-28 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Device comprising film for electrostatic coupling of a substrate to a substrate carrier
JP2018206804A (ja) * 2017-05-30 2018-12-27 東京エレクトロン株式会社 静電チャック及びプラズマ処理装置
JP2018206803A (ja) * 2017-05-30 2018-12-27 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置の静電チャックを運用する方法
WO2024004039A1 (ja) * 2022-06-28 2024-01-04 日本碍子株式会社 ウエハ載置台

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