JPH02134854A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型半導体装置

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JPH02134854A
JPH02134854A JP63287691A JP28769188A JPH02134854A JP H02134854 A JPH02134854 A JP H02134854A JP 63287691 A JP63287691 A JP 63287691A JP 28769188 A JP28769188 A JP 28769188A JP H02134854 A JPH02134854 A JP H02134854A
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Akihiro Yaguchi
昭弘 矢口
Asao Nishimura
西村 朝雄
Makoto Kitano
誠 北野
Hideo Miura
英生 三浦
Sueo Kawai
末男 河合
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Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は樹脂封止型半導体装置に係り、特に樹脂クラン
クの発生防止に好適で、半導体素子の大型化に対して好
適な樹脂封止型半導体装置に関するものである。
〔従来の技術〕
近年、半導体素子は高集積化にともなって素子寸法が大
型化される傾向にあり、これに対して半導体装置の外形
寸法は、他製品との互換性あるいは実装の高密度化への
要求によって自由に拡大することができない状況にある
従来、樹脂封止型半導体装置においては、第11図にそ
の断面を示すように、半導体素子1をタブ2上に固定す
ると共にタブ2の周囲にリード3を配設し、半導体索子
1上の電極9とリード3を金属胴84により電気的に接
続し、その周囲を封止樹脂5で封止してパッケージを構
成する構造のものが特開昭57−64942号公報など
により知られている。
また、特開昭57−114261号公報に開示されてい
るように、タブを廃してリードをパッケージ中央部付近
まで延長し、その上に直接あるいは絶縁フィルムなどを
介して半導体素子を搭載する形式のものがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、前記特開昭57−64942号に示す構造にお
いて、装置の外形寸法を変えずに半導体素子1を大型化
していくと1次に示すようにリード3と封止樹脂5の接
着界面8には半導体素子1と封止樹脂5との線膨張係数
差によって発生する高い熱応力が作用する。
すなわち第12図は、標準的な16ピントのデュアルイ
ンライン型パッケージに1種々の寸法(半導体素子幅3
.5〜5.5am)の半導体素子を搭載したときの封止
樹脂側面における最大主応力の分布を解析によって求め
たものである。この解析においては、リードの影響は省
略し、半導体素子及びタブのみが封止樹脂に応力を発生
させるものとした。第12図から明らかにように、封止
樹脂側面の応力は、半導体素子の大型化によって急速に
増大し、またその分布は、半導体素子の存在する高さ付
近で急激に大きくなっている。したがってリード3と封
止樹脂5の接着界面8が半導体素子1の近傍に存在して
いる従来の半導体装11哩では、半導体素子の大型化に
よって接着界面8に作用する熱応力が増大し、この結果
、接着はく離や隣接するリード間に樹脂クラックが発生
して、封止効果が得られなくなる。
また、第11図において、半導体素子1を大型化してい
くと、リード3を封止樹脂5で固定している部分の長さ
6が不足して、外力に対するり一ド3の十分な固定強度
が得れなくなり、さらには金属細線4とリード3との接
続部7を十分に確保することも困難になる。
一方、特開昭57−114261号公報に示す構造によ
れば、リードの固定強度を確保することは可能となる。
しかしながら、上記従来技術は、半導体素子下面〜リー
ド上面間の全面すなわち索子下面の全面に封止樹脂とは
線膨張係数が異なる絶縁部材を設けており、さらにリー
ドと封止樹脂の接着界面が半導体素子の近傍に存在して
いる。このため、半導体索子周囲のリードと封止樹脂の
接着界面は。
半導体素子および絶縁部材などによって発生する熱応力
を強く受け、この場合にも接着はく離や樹脂クラックが
発生する。
本発明は樹脂クラックの発生を防止し、さらに限られた
外形寸法のもとで可能な限り大型の半導体素子を搭載し
うる樹脂封止型半導体装置を提供することを目的とする
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、半導体素子の絶縁部材ある
いはタブに搭載される面に凸部を設けて。
該凸部と前記絶縁部材あるいは前記タブとを間接に接合
することによって達成される。
本願第1の請求項に記載の発明は、上記目的を達成する
ために、電極群を有する半導体素子と、該半導体素子を
支持する位置に延長配置した複数本のリードと咳各リー
ドとこれに対応する前記各電極とを電気的に接続する金
属細線と、前記各す−ドと前記半導体素子とを電気的に
絶縁する部材と、上記各部品をモールドする封止樹脂部
とを備えてなる樹脂封止型半導体装置において、前記半
導体素子の前記絶縁部材を介して前記リードによって支
持される面に凸部を設け、該凸部と該絶縁部材とを接合
材を介して間接に接合していることを特徴とする。
本願節2の請求項に記載の発明は、上記目的を達成する
ために、第1の請求項に記載の発明と同様に前提におい
て、前記絶縁部材の大きさを前記凸部より大きく、前記
半導体素子よりも小さくして、該凸部と該絶縁部材とを
間接に接合していることを特徴どする。
本願節3の請求項に記載の発明は、上記[1的を達成す
るために、第1の請求項に記載の発明と同様の前提にお
いて、前記凸部を前記半導体素子とは別の部材により構
成したことを特徴とする。
本願節4の請求項に記載の発明は、上記目的を達成する
ために、電極群を有する半導体素子と該半導体素子を搭
載するタブと該タブに連らなるタブ吊りリードを含むリ
ード群と該各リードに対応する前記各電極とを電気的に
接続する金属細線と、上記各部品をモールドする封止樹
脂部とを備えてなる樹脂封止型半導体装置において、前
記半導体素子の前記タブ搭載側の面に凸部を設け、前記
タブの大きさを前記凸部より大きく、前記半導体素子よ
りも小さくして、該凸部と該タブとを間接に接合する一
方、前記凸部を除く前記半導体素子の下面に、前記複数
のリードを配設したことを特徴とする。
〔作用〕
本発明の構成によれば、リードと封止樹脂の接着界面を
、熱応力が増大する半導体素子の存在する高さ位置から
離すことによって、接着はく離やリード間に発生する樹
脂クラックを防止することができ、大型の半導体素子を
搭載しても、高信頼性の樹脂封止型半導体装置が得られ
る。
【実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図および第2図によって
説明する。
第1図は1本発明の一実施例である樹脂封止型半導体装
置の断面図、第2図は、第1図の内部構造を示すために
、リード3から上部の封止樹脂を取り除いた状態での平
面図である。
図において、半導体索子1はその長手方向の両端部に電
極9を具備している。この半導体素子1は、第11図に
示したリード固定傾城6.金属細線4とリード3の接続
部7の部分までカバーしており、封止樹脂5で成形され
た部分のパッケージの大きさが許容しつる大きさの範囲
に半導体素子1を大型化したものである。リード3は、
パッケージ外側の両側面に複数配列され、封止樹脂5の
内部では、半導体素子1の下側で、半導体素子lを支持
する位置に配設され、L字状に曲折した形状で延びてお
り、シート状の絶縁部材11はり一ド3上に接着されて
いる。半導体素子1の絶縁部材11に搭載される面1a
の中央部には凸部12が設けられており、半導体素子1
は、絶縁部材11の上に凸部12と絶縁部材11を接合
材13を介して接合することによって搭載されている。
これによって、半導体素子1はリード3より高い位置に
配置されることになり、リード3は第12図に示す応力
分布が小さくなる位置に配設されている。リード3の延
長部の先端部は、半導体素子1の電極9の近傍に位置す
るように各リード3ごとに異った長さに形成されている
。この封止樹脂5内部のり−ド3の先端部は、半導体素
子1の電極9と金属細線4によって電気的に接続される
また、半導体素子1上の電極9は、各リード3の先端部
との接続が最短距離となるように配置されている。半導
体素子1と絶縁部材11の間の非接合部分には、封止樹
脂5が両者に直接接するように介在している。
本実施例によれば、半導体素子1が大型化しても、リー
ド3と封止樹脂5の接着界面の応力を低減することがで
きるので、樹脂接着界面のはく離や、はく離の結果隣接
するリード間に発生する樹脂クラックを防止することが
でき、これとともに十分なリード3の固定長さと、金属
細線4.リード接続領域を確保することができる。
なお、この半導体装置の組立に当たっては、まず、リー
ド3の上に接着されている絶縁部材11に半導体素子1
を搭載し、この際、半導体素子1に設けられている凸部
12と絶縁部材11とを接合材を介して接合する。次い
で、半導体素子1上の電極9と各リード3とを金属細線
4にて電気的に接続し、しかる後にこれらを封止樹脂5
で封止して半導体装置を得る。
半導体素子1に設けられる凸部12の形状は、本実施例
に図示したような形状に限定されるものではなく、第3
図に例示するように、半導体素子1の長手方向に沿って
長くした形状、または短手方向に長くした形状、あるい
は十字形、丸形のような形であっても良い。また、凸部
12は、本実施例に図示したように1箇所に設けるだけ
でなく、2箇所以上設けても良い。さらに凸部12を設
ける場所は、半導体素子1の中央部に限定されるもので
はなく、任意の場所に設けても何ら差し支えない。
リード3を封止樹脂5の外部に引き出す方向は、第1図
に示したように2方向に限定するものではなく、1方向
あるいは3方向以上であっても何ら差し支えない。さら
に図では、リード3を封止樹脂5の外部で下方に折り曲
げるデュアル・イン・ライン型を例にとって示しである
が、封止樹脂5外部でのリード3は任意の方向・形状に
折り曲げても良いし、また折り曲げなくとも良い。
第4図及び第5図は、本発明の他の実施例であり、第4
図は本発明の樹脂封止型半導体装置の断面図、第5図は
第4図の内部構造を示すために、リード3から上部の封
止樹脂を取り除いた状態での平面図である6図において
、半導体素子1の絶縁部材11を介してリード3によっ
て支持される面1aの中央部には凸部12が設けられて
おり、半導体素子1は、凸部12よりも大きく、半導体
素子1よりも小さい絶縁部材11と凸部12とを接合材
13を介して接続することによって絶縁部材11の上に
搭載されている。これによって、半導体索子1はリード
3より高い位1直に配置されることになり、リード3は
第12図に示す応力分布が小さくなる位置に配設されて
いる。また、封止樹脂5の最大応力が発生するパッケー
ジの中央部分5a、5bには応力集中が生じるような絶
縁部材11が存在していない。本実施例においても、半
導体索子1が大型化しても、リード3と封止樹脂5の接
着界面の応力を低減することができるので、樹脂接着界
面のはく離や、樹脂クラックを防止することができる。
半導体素子1に設ける凸部12は、半導体素子1と別の
部材で構成されていても良い。第6図において、半導体
素子1の絶縁部材11を介してリード3によって支持さ
れる面1aの中央部に、凸部12が間接に接合されてい
る。凸部12の材質は半導体素子1と同一でも良く、ま
た異なる材質のものであっても良い。
第7図及び第8図は、本発明のさらに他の実施例であり
、第7図は本発明による樹脂封止型半導体装置の断面図
、第8図は第7図の内部構造を示すために、リード3か
ら上部の封止樹脂を取り除いた状態での平面図である。
図において、半導体素子1はその長手方向の両端部に電
極9を具備している。この半導体素子1は、第11図に
示したリード固定領域6.金属細線4とリード3の接続
部7の部分までカバーしており、封止樹脂5で成形され
た部分のパッケージの大きさが許容しうる大きさの範囲
に半導体素子1を大型化したものである。封止樹脂5の
内部では、半導体素子1の下側で、タブ吊りリード10
に支持されたタブ2が半導体素子1を搭載する位置に配
設されて、リード3は、パッケージ外側の両側面に複数
配列され、タブ2の周囲にL字状に曲折した形状で延び
ている。半導体素子1のタブ2に搭載される面1aの中
央部には凸部12が設けられており、半導体素子1は、
凸部12よりも大きく半導体索子1よりも小さくタブ2
と凸部12とを接合材13を介して接合することによっ
て、タブ2の上に搭載されている。これによって。
半導体素子1はリード3より高い位置に配置されること
になり、リード3は第12図に示す応力分布が小さくな
る位置に配設されている。リード3の延長部の先端部は
、半導体索子1の電極9の近傍に位置するように各リー
ド3ごとに異った長さに形成されている。この封止樹脂
5内部のり−ド3の先端部は、半導体素子1の電極9と
金属細線4によって電気的に接続される。また、半導体
素子1上の電極9は、各リード3の先端部との接続が最
短距離となるように配置されている。
半導体素子1を搭載するタブ2は、リード3と同一平面
に配置するだけでなく、第9図に示すように、図示され
ていないタブ吊りリード10部分で上方に折り曲げて、
リード3よりも高い位置に配設したものでも良く、また
第10図に示すようにリード3より低い位置に配設した
ものでも良い。
本実施例によれば、半導体素子1が大型化しても、リー
ド3と封止樹脂5の接着界面の応力を低減することがで
きるので、樹脂接着界面のはく離や、はく離の結果隣接
するリード間に発生する樹脂クラックを防止することが
でき、これとともに十分なり−ド3の固定長さと、金属
細線4、リード接続領域を確保することができる。さら
に本実施例によれば、絶縁部材を使用せずに半導体装置
を構成することができるので、コストの低減を図れる効
果もある。
なお、本実施例においても、半導体素子1に設けられる
凸部12の形状、設置する数及び場所は。
本実施例に示したものに限定されるものではない。
また、凸部12は半導体素子1とは別の部材で構成され
たものであっても何ら差し支えない。
〔発明の効果〕
本発明によれば、リード、封止樹脂間の接着はく離やリ
ード間の樹脂クラックなどを防止できるため、良好な封
止効果が得られ、限られた外形寸法のもとで、大型の半
導体素子を搭載可能な樹脂封止型半導体装置を得ること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の樹脂封止型半導体装置の一実施例を示
す断面図、第2図は第1図においてリードから上面の封
止樹脂を取り除いた状態での平面図、第3図は凸部の形
状の例を示す半導体素子の平面図、第4図は本発明の他
の実施例を示す断面図、第5図は第4図においてリード
から上面の封止樹脂を取り除いた状態での平面図、第6
図は本発明のさらに他の実施例を示す断面図、第7図は
本発明のさらに他の実施例を示す断面図、第8図は第7
図においてリードから上面の封止樹脂を取り除いた状態
での平面図、第9図および第10図は夫々他の実施例装
置の断面図、第11図は従来の樹脂対IE型半導体装置
を示す断面図、第12図は半導体装置の樹脂側面におけ
る最大主応力分布図である。 1・・・半導体素子、2・・・タブ、3・・・リード、
4・・・金属細線、5・・・封止樹脂、9・・・電極、
11・・・絶縁部材、12・・・凸部、13・・・接合
材。 冨 図 爾2図 /Z・−凸仰 ■ 図 爾 乙 図 /−−一 半喜イ≧ト→1≦j− 夏 図 13特妨 ■ 図 5ま 第 図 第 図 冨 図 猶 lρ 口 ■ I 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、電極群を有する半導体素子と、該半導体素子を支持
    する位置に延長配置した複数本のリードと、該各リード
    とこれに対応する前記各電極とを電気的に接続する金属
    細線と、該各リードと前記半導体素子とを電気的に絶縁
    する部材と、上記各部品をモールドする封止樹脂部とを
    備えてなる樹脂封止型半導体装置において、前記半導体
    素子の前記絶縁部材を介して前記リードによつて支持さ
    れる面に少なくとも一つの凸部を設けて、該凸部と該絶
    縁部材とを間接に接合する一方、前記凸部以外の部分は
    、前記絶縁部材上に直接あるいは間接もしくは間隙部を
    介して搭載したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置
    。 2、前記絶縁部材の大きさを、前記半導体素子の該絶縁
    部材を介して前記リードによつて支持される面に少なく
    とも一つ設けた凸部より大きく、かつ該半導体素子より
    も小さくしたことを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の樹脂封止型半導体装置。 3、前記凸部が前記半導体素子と別の部材からなること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の樹脂封止型半
    導体装置。 4、電極群を有する半導体素子と該半導体素子を搭載す
    るタブと該タブに連らなるタブ吊りリードを含むリード
    群と該各リードとこれに対応する前記各電極とを電気的
    に接続する金属細線と、上記各部品をモールドする封止
    樹脂部とを備えてなる樹脂封止型半導体装置において、
    前記半導体素子の前記タブ搭載側の面に少なくとも一つ
    の凸部を設けて、前記タブの大きさを前記凸部より大き
    く、かつ前記半導体素子よりも小さくして、該凸部と該
    タブを間接に接合する一方、該凸部の下面を除く該半導
    体素子の下面に、複数のリードを配設したことを特徴と
    する樹脂封止型半導体装置。
JP63287691A 1988-11-16 1988-11-16 樹脂封止型半導体装置 Pending JPH02134854A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5489801A (en) * 1993-11-03 1996-02-06 Intel Corporation Quad flat package heat slug composition
US5541446A (en) * 1994-08-29 1996-07-30 Analog Devices, Inc. Integrated circuit package with improved heat dissipation

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5489801A (en) * 1993-11-03 1996-02-06 Intel Corporation Quad flat package heat slug composition
US5541446A (en) * 1994-08-29 1996-07-30 Analog Devices, Inc. Integrated circuit package with improved heat dissipation

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