JPH02118931A - Optical disk stamper inspection instrument - Google Patents
Optical disk stamper inspection instrumentInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光デイスクスタンパの検査装置1こ関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to an optical disk stamper inspection device 1.
[従来の技術]
従来は第6図に示すように、検査対象とする光ディスク
スタンパ63の表面に微小又ポットに集光したレーザ光
を照射し、光ディスクスタンパ63の表面からの反射光
を検出して表面の欠陥などを検査する装置として、光デ
ィスクスタンパ63の中心穴付近のみをチャックするた
めにマグネットチャックなどのチャック機構62を用い
、光ディスクスタンパ63の信号が記録されている面6
3bを下に向けてチャックすることにより、光デイスク
スタンパの表面63にほこりやごみなどが付着すること
を防ぎ、はこりやごみなどの影響で変化した反射光量を
光デイスクスタンパ63の表面の欠陥と誤判定すること
を防止する、光ディスクスタンパ検査装置が知られてい
た。[Prior Art] Conventionally, as shown in FIG. 6, the surface of an optical disk stamper 63 to be inspected is irradiated with laser light that is focused into a minute or pot, and the reflected light from the surface of the optical disk stamper 63 is detected. As a device for inspecting surface defects etc., a chuck mechanism 62 such as a magnetic chuck is used to chuck only the vicinity of the center hole of the optical disc stamper 63, and the surface 6 where the signal of the optical disc stamper 63 is recorded.
By chucking 3b facing downward, dust and dirt are prevented from adhering to the surface 63 of the optical disk stamper, and the amount of reflected light that has changed due to the influence of lumps and dirt is removed from defects on the surface of the optical disk stamper 63. An optical disk stamper inspection device is known that prevents erroneous judgments.
[発明が解決しようとする課題]
このような従来の光ディスクスタンパ検査装置において
は、検査対象とする光ディスクスタンパの厚みが約30
0ミクロンと薄いこと、さらに光ディスクスタンパ製造
工程中のメツキ工程で発生した応力が後の剥離工程で解
放されることにより、面振れが大きくなるため、光ディ
スクスタンパ表面に集光すべき光スポットの焦点ずれ量
が大きくなり、検出信号の劣化を招いている。そのため
、劣化した検出信号を光ディスクスタンパ表面の欠陥と
誤判定する場合があった。[Problems to be Solved by the Invention] In such a conventional optical disk stamper inspection device, the thickness of the optical disk stamper to be inspected is approximately 30 mm.
The optical disc stamper is as thin as 0 microns, and the stress generated during the plating process during the manufacturing process of the optical disc stamper is released during the subsequent peeling process, which increases the surface runout. The amount of deviation increases, causing deterioration of the detection signal. Therefore, a degraded detection signal may be erroneously determined to be a defect on the surface of the optical disk stamper.
そこで本発明はこのような問題1点を解決するためのも
ので、その目的とするところは、光ディスクスタンパ表
面へのごみ、はこりなどの付着を防ぎ、さらに光ディス
クスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれを小
さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光ディスク
スタンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確に検
査できる光ディスクスタンパ検査装置を提供することに
ある。Therefore, the present invention is intended to solve one such problem.The purpose of the present invention is to prevent dust, chips, etc. from adhering to the surface of the optical disk stamper, and to correct the surface wobbling of the optical disk stamper. An object of the present invention is to provide an optical disk stamper inspection device that can accurately inspect defects on the surface of an optical disk stamper without erroneously determining them by reducing the defocus of the spot and preventing deterioration of the reproduced signal.
〔課題を解決するための手段1
本発明の光ディスクスタンパ検査装置は、検査対象とす
る光ディスクスタンパ表面に微小スポットに集光したレ
ーザ光を照射し、前記光ディスクスタンパ表面からの反
射光量を(炙出することにより、前記光ディスクスタン
パ表面の欠陥などを検査する光ディスクスタンパ検査装
置において、前記光ディスクスタンパの信号が記録され
ている面を下に向け、信号が記録されていない面をマグ
ネットチャック樋溝を用いて吸着することを特徴とする
。[Means for Solving the Problems 1] The optical disk stamper inspection device of the present invention irradiates the surface of an optical disk stamper to be inspected with a laser beam focused on a minute spot, and measures the amount of light reflected from the surface of the optical disk stamper (by By doing this, in the optical disk stamper inspection device that inspects defects etc. on the surface of the optical disk stamper, the side of the optical disk stamper where the signal is recorded is facing down, and the side where the signal is not recorded is placed using the magnetic chuck gutter groove. It is characterized by adsorption.
(作 用1
本発明の上記光ディスクスタンパ検査装置によれば、検
査対象とする光ディスクスタンパの信号が記録されてい
る面を下に向けて、表面へのごみ、はこりなどの付着を
防ぎ、さらに光ディスクスタンパの信号が記録されてい
ない面をマグネットチャック機構を用いて吸着し、光デ
ィスクスタンパの面振れを矯正し光スポットの焦点ずれ
を小さくして再生信号の劣化を防ぐことにより、光ディ
スクスタンパ表面の欠陥などを誤判定することなく正確
に検査することが可能となる。(Function 1) According to the optical disk stamper inspection apparatus of the present invention, the surface of the optical disk stamper to be inspected on which the signal is recorded faces downward to prevent dust, clumps, etc. from adhering to the surface. By using a magnetic chuck mechanism to attract the surface of the optical disk stamper on which no signal is recorded, the surface of the optical disk stamper is corrected, the optical disk focus shift is reduced, and the deterioration of the reproduced signal is prevented. It becomes possible to accurately inspect defects without erroneously determining them.
[実 旅 例1 以下、本発明について図面に基づいて詳細に説明する。[Actual journey example 1] Hereinafter, the present invention will be explained in detail based on the drawings.
第1図は本発明の光ディスクスタンパ検査装置の一構成
例の概略図である。第1図において検査対象とする光デ
イスクスタンパ16を吸着し1面振れを矯正するするマ
ダラ、ットチャック本体15は、ベアリング13a、b
によりハウジング14に支持され、カップリング12を
介してスピンドルモータ11により回転させられる。FIG. 1 is a schematic diagram of an example of the configuration of an optical disk stamper inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, the main chuck body 15 that attracts the optical disc stamper 16 to be inspected and corrects the runout in one plane includes bearings 13a and b.
is supported by a housing 14 and rotated by a spindle motor 11 via a coupling 12.
チャツク本体15内部にはコイル17が組み込まれ、電
源20から例えばブラシ27およびスリンブリング28
のような給電手段により、電流が供給される。チャック
本体15の表面は、非6R1生材料からなる仕切扱18
で仕切られ、lin性材料からなる吸着板I9が取り付
けられて=m石を構成している。コイル17から発生1
−る6n力線26がスタンバ16を通ることにより、吸
着板19はスタンバ16の、信号が記録されていない面
16aを吸着する。一方、検査終了時など除給材の際に
は、スイッチ21を切ってコイル17への電流の供給を
e断すること(こより、スタンバを取り外す。A coil 17 is incorporated inside the chuck body 15, and a brush 27 and a sling ring 28 are connected to the power source 20.
Current is supplied by a power supply means such as. The surface of the chuck body 15 is treated as a partition 18 made of non-6R1 raw material.
A suction plate I9 made of linic material is attached to form a block. Generated from coil 17 1
-6n line of force 26 passing through the standber 16, the suction plate 19 attracts the surface 16a of the standber 16 on which no signal is recorded. On the other hand, when removing materials, such as at the end of an inspection, the switch 21 is turned off to cut off the supply of current to the coil 17 (thereby, the standby bar is removed).
なお、第1図ではコイルへの給電手段として、ブラシお
よびスリップリングを用いた例を示しているが、これは
水根接点などを用いてもよい。Although FIG. 1 shows an example in which a brush and a slip ring are used as means for feeding power to the coil, a water root contact or the like may also be used instead.
光ディスクスタンパ16の信号が記録されている面16
1)は、マグネットチャックに吸着される際には下向き
になり、光ピツクアップ23と対向する。一方、ヘッド
送り1購22に取り付けられた光ピツクアップ23は、
スピンドルモータ11によって回転させられる光デイス
クスタンパ16の表面に微小久ポットに集光したレーザ
光を照射し、光デイスクスタンパ16の表面がらの反射
光を検出して再生信号24を得る。得られた再生信号2
4は欠陥検査用の信号処理回路25に送られ、光ディス
クスタンパ16の表面の欠陥検査が行われる。Surface 16 on which signals of optical disk stamper 16 are recorded
1) faces downward and faces the optical pickup 23 when it is attracted to the magnetic chuck. On the other hand, the optical pickup 23 attached to the head feeder 22 is
The surface of an optical disk stamper 16 rotated by a spindle motor 11 is irradiated with a laser beam focused on a microscopic pot, and the reflected light from the surface of the optical disk stamper 16 is detected to obtain a reproduction signal 24. Obtained playback signal 2
4 is sent to a signal processing circuit 25 for defect inspection, and the surface of the optical disk stamper 16 is inspected for defects.
マグネットチャックの一例としては第1図に示したよう
に、電電石を用いたものがある。その1也の例を第2図
に示す。第2図(a)はスタンバを吸着している際のマ
グネットチャックの断面図であり、第2図(b)はスタ
ンバを取り外した際のマグネットチャックの断面図であ
る。この例で口ま…力の発生源として、極鉄板31で仕
切られた永久6n石32を用いている。チャック本体1
5の表面は第1構成例と同様に非Iin性材本4からな
る仕切板30で仕切られ、m性体からなる吸着板29が
取り付けられている。An example of a magnetic chuck is one using an electric stone, as shown in FIG. An example of this is shown in Figure 2. FIG. 2(a) is a sectional view of the magnetic chuck when the stand bar is being attracted, and FIG. 2(b) is a sectional view of the magnetic chuck when the stand bar is removed. In this example, a permanent 6n stone 32 partitioned by a pole iron plate 31 is used as a source of oral force. Chuck body 1
The surface of 5 is partitioned by a partition plate 30 made of a non-Iin material 4, and a suction plate 29 made of a metal material is attached, as in the first configuration example.
スタンバを吸着する際には、永久a+石32は仕切板3
0の上方にあり、第2図(a)のように、m力線26が
スタンバ16の内部を通っている。When adsorbing the stand bar, the permanent a+ stone 32 is attached to the partition plate 3.
0, and as shown in FIG.
一方、除給材の際には、カムなどの駆動手段(図示せず
)により永久m石32を吸着板29の上方に移動させる
ことにより、5f1力線26は第2図(b)のようにヂ
ャック内部を通ることになる。On the other hand, when removing material, the permanent mstone 32 is moved above the suction plate 29 by a driving means (not shown) such as a cam, so that the 5f1 force line 26 is changed as shown in FIG. 2(b). You will pass through the inside of Nijyak.
これらのマグネットチャックはいずれも吸着板29の面
振れが、例えばコンパクトディスクの面振れ規格値であ
る50ミクロン以下に仕上げられており、光ディスクス
タンパ1Gを吸着することにより、その面振れを矯正す
ることが可能である。In all of these magnetic chucks, the surface runout of the suction plate 29 is finished to be less than 50 microns, which is the standard value for compact disc surface runout, and the surface runout can be corrected by adsorbing the optical disc stamper 1G. is possible.
第3図はコンパクトディスク(CD)、CD−ROM、
CD−Iなと再生専用光ディスクスタンパ検査装置用の
、前記信号処理回路25の一構成例を示すブロック図で
ある。光ピツクアップ23により検出された再生信号2
4は復号器33において、蜆格化されたフォーマット信
号に復号された後、誤り検出訂正回路34に入力される
。光ピツクアップ23から照射されたレーザ光は、光デ
ィスクスタンパの表面に欠陥などがあるとそれにより敗
乱されて反射光量が減少するため、再生信号振幅が小さ
くなる。誤り検出訂正回路34は、再生信号振幅が小さ
くなった個所において符号誤りを検出する。したがって
この符号謬りの状態を観測することにより、光ディスク
スタンパの表面の欠陥が検出できる。次に、検出された
欠陥などによって引き起こされた符号誤りを計数回路3
5により計数し、記・億回路36により欠陥の発生位置
や大きさなどを記″1する。記憶されたこれらのデータ
をパーソナルコンピュータ(図示せず)によりデータ処
理する。Figure 3 shows compact discs (CDs), CD-ROMs,
FIG. 2 is a block diagram showing an example of the configuration of the signal processing circuit 25 for a CD-I or other read-only optical disk stamper inspection device. Reproduction signal 2 detected by optical pickup 23
4 is decoded into a scaled format signal by the decoder 33 and then input to the error detection and correction circuit 34. If there is a defect on the surface of the optical disk stamper, the laser beam irradiated from the optical pickup 23 is disrupted and the amount of reflected light decreases, resulting in a small reproduction signal amplitude. The error detection and correction circuit 34 detects code errors at locations where the reproduced signal amplitude becomes small. Therefore, defects on the surface of the optical disk stamper can be detected by observing the code error state. Next, a counting circuit 3 calculates the code errors caused by the detected defects.
5, and the recording circuit 36 records the location and size of the defect.The stored data is processed by a personal computer (not shown).
第4図は信号記録用案内溝があらかじめ記録された、追
記型あるいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置
用の、前記信号処理回路25の一構成例を示すブロック
図であり、第5図は第4図における各所の信号出力図で
ある。第5図(a)の実線で示される再生信号24は、
光ディスクスタンパ表面に欠陥がないときには51aの
信号振幅であるが、欠陥により光ピツクアップからのレ
ーザ光が敗乱されると52aのように信号振偏が小さく
なる。比較器41では再生信号24を基準値と比較する
ことにより欠陥を検出し、第5図(b)のような出力信
号42を計数回路43おミび記憶回路44に出力する。FIG. 4 is a block diagram showing an example of the configuration of the signal processing circuit 25 for a write-once or rewritable optical disc stamper inspection device in which a signal recording guide groove is pre-recorded, and FIG. It is a signal output diagram of various places in the figure. The reproduced signal 24 shown by the solid line in FIG. 5(a) is
When there is no defect on the surface of the optical disk stamper, the signal amplitude is 51a, but when the laser beam from the optical pickup is disrupted by the defect, the signal amplitude becomes small as 52a. The comparator 41 detects defects by comparing the reproduced signal 24 with a reference value, and outputs an output signal 42 as shown in FIG. 5(b) to a counting circuit 43 and a memory circuit 44.
ここで光ディスクスタンパの面振れが大きく光スポット
の焦点ずれが大きい場合、あるいは光ディスクスタンパ
表面にごみ、はこりなどが付着している場合ら、第5図
(a)の53aのように再生信号振幅は小さくなり、欠
陥と誤判定されることになるが、本発明の光ディスクス
タンパ検査装置においては光ディスクスタンパ表面(こ
こ゛み、はこりなと゛が1寸着しくこくく、さらに光デ
ィスクスタンパの面振れを矯正するため、欠陥の誤判定
を防止できる。If the optical disk stamper has a large surface runout and the optical spot is out of focus, or if there is dust or debris on the surface of the optical disk stamper, the reproduced signal amplitude will change as shown at 53a in FIG. 5(a). However, in the optical disk stamper inspection apparatus of the present invention, the surface of the optical disk stamper (here, the bumps are slightly thicker, and the surface wobbling of the optical disk stamper is corrected). Therefore, erroneous determination of defects can be prevented.
なお、第1図は送り1横22を光ビックアップ23の移
動用として用いるtR’Uを示しているが、これはチャ
ック1横11の移動用として用いる構造でも良い。Although FIG. 1 shows tR'U in which the feed 1 lateral 22 is used for moving the optical pickup 23, this structure may also be used for moving the chuck 1 lateral 11.
(発明の効果1
以上述べたように本発明によれば、光ディスクスタンパ
の信号が記録されている面を下に向けるチャック構造を
用いているため、光ディスクスタンパ表面にごみ、はこ
りなどが付着しにくく、さらに光ディスクスタンパの面
触れを矯正し、光スポットの焦点ずれを小さくして再生
信号の劣化を防ぐため、光ディスクスタンパ表面の欠陥
などを誤判定することなく正確に検査可能となる。(Effect of the Invention 1 As described above, according to the present invention, since the chuck structure of the optical disk stamper is such that the side on which the signal is recorded faces downward, dust, clumps, etc. will not adhere to the surface of the optical disk stamper. Furthermore, since the surface contact of the optical disk stamper is corrected and the defocus of the optical spot is reduced to prevent deterioration of the reproduced signal, it is possible to accurately inspect the surface of the optical disk stamper without erroneously determining defects.
第1図は本発明の光デイスクスタンパ検査装置の第1実
施例の概略図、第2図は第2実施例の断面図、第3図は
再生専用光ディスクスタンパtli il装置の信号処
理回路の一購成例を示すブロック図、第4図は追記型あ
るいは書換え可能型光ディスクスタンパ検査装置用の信
号処理回路の一構成例を示すブロック図、第5図は第4
図における各所の信号出力図、第6図は従来の光デイス
クスタンパ検査装置の概略図。
l 5 ・
16 ・
23 ・
25 ・
・チャック本体
・光デイスクスタンパ
・光ビックアンプ
・信号処理回路
以
上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴 木 喜三部(他1名)第2図(a
)
第7
第30
蜜4図
(Q)
(b’)FIG. 1 is a schematic diagram of a first embodiment of the optical disc stamper inspection device of the present invention, FIG. 2 is a sectional view of the second embodiment, and FIG. 3 is a signal processing circuit of a read-only optical disc stamper test device. FIG. 4 is a block diagram showing an example of a signal processing circuit for a write-once type or rewritable optical disk stamper inspection device, and FIG.
FIG. 6 is a schematic diagram of a conventional optical disk stamper inspection device. l 5 ・ 16 ・ 23 ・ 25 ・ ・Chuck body, optical disk stamper, optical big amplifier, signal processing circuit and above Applicant Seiko Epson Co., Ltd. Agent Patent attorney Kizobe Suzuki (and 1 other person) Figure 2 (a)
) 7th 30th Honey Figure 4 (Q) (b')
Claims (1)
トに集光したレーザ光を照射し、前記光ディスクスタン
パ表面からの反射光量を検出することにより、前記光デ
ィスクスタンパ表面の欠陥などを検査する光ディスクス
タンパ検査装置において、前記光ディスクスタンパの信
号が記録されている面を下に向け、信号が記録されてい
ない面をマグネットチャック機構を用いて吸着すること
を特徴とする光ディスクスタンパ検査装置。In an optical disk stamper inspection apparatus that inspects defects, etc. on the surface of the optical disk stamper by irradiating the surface of the optical disk stamper to be inspected with a laser beam focused on a minute spot and detecting the amount of reflected light from the surface of the optical disk stamper, An optical disk stamper inspection apparatus characterized in that the surface of the optical disk stamper on which signals are recorded faces down, and the surface on which no signals are recorded is attracted using a magnetic chuck mechanism.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27129288A JPH02118931A (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Optical disk stamper inspection instrument |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP27129288A JPH02118931A (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Optical disk stamper inspection instrument |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH02118931A true JPH02118931A (en) | 1990-05-07 |
Family
ID=17498015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27129288A Pending JPH02118931A (en) | 1988-10-27 | 1988-10-27 | Optical disk stamper inspection instrument |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02118931A (en) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1988
- 1988-10-27 JP JP27129288A patent/JPH02118931A/en active Pending
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