JPH0211013A - 表面弾性波多重モードフィルタ - Google Patents
表面弾性波多重モードフィルタInfo
- Publication number
- JPH0211013A JPH0211013A JP16127388A JP16127388A JPH0211013A JP H0211013 A JPH0211013 A JP H0211013A JP 16127388 A JP16127388 A JP 16127388A JP 16127388 A JP16127388 A JP 16127388A JP H0211013 A JPH0211013 A JP H0211013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- dielectric film
- interdigital electrode
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 5
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 17
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複数の共振器を弾性的に結合させた表面弾性
波多重モードフィルタなど、複数の共振器を並べて構成
する表面弾性波フィルタに関するものである。
波多重モードフィルタなど、複数の共振器を並べて構成
する表面弾性波フィルタに関するものである。
二個の表面弾性波（ＳＡＷ）共振器を近接して配置し、
それらを弾性的に結合させると、二つの振動モードを生
じる。すなわち、対称モードと反対称モードの二つの振
動モードであり、対称モードの共振周波数と反対称モー
ドの***振周波数を一致させて、二重モードＳＡＷフィ
ルタを構成する。
それらを弾性的に結合させると、二つの振動モードを生
じる。すなわち、対称モードと反対称モードの二つの振
動モードであり、対称モードの共振周波数と反対称モー
ドの***振周波数を一致させて、二重モードＳＡＷフィ
ルタを構成する。
また、単一の共振器内で二つの振動モードを生じるタイ
プのものもあり、その共振器を複数配置する多重モード
フィルタもある。
プのものもあり、その共振器を複数配置する多重モード
フィルタもある。
共振器を三個以上配置して、多重モードフィルタを構成
することもできる。このような多重モード共振器型表面
弾性波フィルタは、電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ
−７７−３３等に示されている。また、インターデジタ
ル電極を各共振器に二個配置した２ボートタイプなども
ある。
することもできる。このような多重モード共振器型表面
弾性波フィルタは、電子通信学会超音波研究会資料ＵＳ
−７７−３３等に示されている。また、インターデジタ
ル電極を各共振器に二個配置した２ボートタイプなども
ある。
また、所望の特性を得るために、複数のＩＤＴを並べて
直列あるいは並列に接続する種々のフィルタがある。
直列あるいは並列に接続する種々のフィルタがある。
上記のような表面弾性波多重モードフィルタやその他の
フィルタにおいて、第４図に実線４５で示したように通
過帯域の上側（タイプによっては下側）にスプリアスを
生じる。これは、共振器間に必要以上の横方向の弾性的
な結合が生じ、モードの再結合が生じるためである。
フィルタにおいて、第４図に実線４５で示したように通
過帯域の上側（タイプによっては下側）にスプリアスを
生じる。これは、共振器間に必要以上の横方向の弾性的
な結合が生じ、モードの再結合が生じるためである。
一般に共振器の間隔は、上記の再結合を防止するため、
表面弾性波の波長の１０倍程度必要であるとされている
。しかし、共振器間の間隔を大きくするとチップサイズ
も大きくなるといった問題を生じる。
表面弾性波の波長の１０倍程度必要であるとされている
。しかし、共振器間の間隔を大きくするとチップサイズ
も大きくなるといった問題を生じる。
本発明は、このような問題を解決して、弾性的な結合を
調整することにより、通過帯域特性の良好な表面弾性波
多重モードフィルタを得ようとするものである。
調整することにより、通過帯域特性の良好な表面弾性波
多重モードフィルタを得ようとするものである。
また、最小のスペースで効率よく結合を調整するもので
ある。
ある。
本発明は、トランスデユーサ（ＩＤＴ）の端部側で生じ
る横方向の結合を小さくするために、ＩＤＴ間に酸化亜
鉛等の誘電体膜を配置して上記の課題を解決するもので
ある。
る横方向の結合を小さくするために、ＩＤＴ間に酸化亜
鉛等の誘電体膜を配置して上記の課題を解決するもので
ある。
すなわち、圧電性基板表面にインターデジタル電極とそ
れにより励振される表面弾性波の伝播路上に該インター
デジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾性
波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性波
多重モード共振器型フィルタにおいて、該インターデジ
タル電極の間に、該インターデジタル電極の中央部間で
幅が狭く、該インターデジタル電極の端部に進むにした
がって幅が広くなるように形成された誘電体膜を具えた
ことに特徴を有するものである。
れにより励振される表面弾性波の伝播路上に該インター
デジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾性
波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性波
多重モード共振器型フィルタにおいて、該インターデジ
タル電極の間に、該インターデジタル電極の中央部間で
幅が狭く、該インターデジタル電極の端部に進むにした
がって幅が広くなるように形成された誘電体膜を具えた
ことに特徴を有するものである。
また、誘電体膜をＩＤＴ間に伸びる細長い形状に複数形
成し、その幅、間隔を変えることによっても可能である
。
成し、その幅、間隔を変えることによっても可能である
。
上記のように配置された誘電体膜によって、１０７間の
結合は、中央部で大きくなり、端部に進むにしたがって
小さくなる。誘電体膜の単位面積あたりの量が、端部に
進むにしたがって増加するためである。
結合は、中央部で大きくなり、端部に進むにしたがって
小さくなる。誘電体膜の単位面積あたりの量が、端部に
進むにしたがって増加するためである。
〔実施例〕
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例を示す平面図である。
水晶等の圧電性を有する基板１０の表面に、櫛歯状の電
極が対向して交叉したインターデジタル電極（ＩＤＴ）
ｌｌａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向（両
側）に配置された反射器１２ａによって一個の共振器が
構成されている。反射器１２ａは表面弾性波の伝播方向
に垂直な方向に伸びるストリップ電極で構成されており
、この例では全体が端部で接続されたショート型となっ
ている。
極が対向して交叉したインターデジタル電極（ＩＤＴ）
ｌｌａと、そこで励振された表面弾性波の伝播方向（両
側）に配置された反射器１２ａによって一個の共振器が
構成されている。反射器１２ａは表面弾性波の伝播方向
に垂直な方向に伸びるストリップ電極で構成されており
、この例では全体が端部で接続されたショート型となっ
ている。
ＩＤＴで励振された表面弾性波は反射器で多重反射され
、定在波を発生し、エネルギー閉じ込めが生じる。
、定在波を発生し、エネルギー閉じ込めが生じる。
同様にＩＤＴ１１ｂと反射器１２ｂとで構成された共振
器が近接して基板１０上に配置される。表面弾性波の伝
播方向に垂直な方向に所定の間隔を置いて配置される。
器が近接して基板１０上に配置される。表面弾性波の伝
播方向に垂直な方向に所定の間隔を置いて配置される。
二つの共振器のＩ Ｄ Ｔｌ１ａ 、１１ｂ間に酸化亜
鉛等の誘電体膜１３が形成される。この例においては、
ＴＤＴの中央部において表面弾性波の伝播方向に垂直な
方向の幅が小さく、端部に進むにしたがって幅が広くな
るように形成されている。
鉛等の誘電体膜１３が形成される。この例においては、
ＴＤＴの中央部において表面弾性波の伝播方向に垂直な
方向の幅が小さく、端部に進むにしたがって幅が広くな
るように形成されている。
この誘電体膜１３は、二つの共振器間の音響的な結合を
小さくするために作用する。すなわち、誘電体膜１３が
多（存在する部分において、表面弾性波の伝播方向に対
して横方向の結合が小さくなりＩＤＴの端部においては
最小となる。これによって、端部で生じる横方向の不要
なモードの結合を防止することができる。
小さくするために作用する。すなわち、誘電体膜１３が
多（存在する部分において、表面弾性波の伝播方向に対
して横方向の結合が小さくなりＩＤＴの端部においては
最小となる。これによって、端部で生じる横方向の不要
なモードの結合を防止することができる。
上記のような構造の本発明による表面弾性波多重モード
フィルタの通過体域特性を第４図の破線４６で示す。従
来に比較してスプリアスが大幅に抑圧されている。
フィルタの通過体域特性を第４図の破線４６で示す。従
来に比較してスプリアスが大幅に抑圧されている。
なお、幅の変化の付は方は、段階的であってもよい。
結合の大きさを誘電体膜で調整する手段としては、他の
形状も考えられる。
形状も考えられる。
第２図は、ＩＤＴ２１間に形成する誘電体膜２３を幅の
異なるストリップラインとしたものを示しており、中央
部においては幅を小さくし、端部に進むにしたがって幅
を広げて形成したものである。
異なるストリップラインとしたものを示しており、中央
部においては幅を小さくし、端部に進むにしたがって幅
を広げて形成したものである。
この場合にも、中央部では結合が大きく、端部において
は結合が小さくなる。
は結合が小さくなる。
第３図は、誘電体膜３３の幅は同じとし、間隔を調整し
た例を示している。中央部では間隔を大きくして結合を
大きくし、端部においては間隔を狭めて結合を小さくし
たものである。
た例を示している。中央部では間隔を大きくして結合を
大きくし、端部においては間隔を狭めて結合を小さくし
たものである。
誘電体膜の形状は、上記のような例に限られるものでは
なく、中央部に少なく、端部に多く存在するような形状
であれば、どのような形状でもよい。また、上記のよう
な形状を組み合わせて形成することもできる。
なく、中央部に少なく、端部に多く存在するような形状
であれば、どのような形状でもよい。また、上記のよう
な形状を組み合わせて形成することもできる。
誘電体膜は、音響的な結合を小さくするために作用する
が、誘電率の高い材料を用いれば、電器的な結合を小さ
くすることもできる。例えば、誘電率（ε）が５の水晶
基板に対して、誘電体膜としてεが１０の酸化亜鉛膜を
用いれば、電気力線が酸化亜鉛膜に集中させ、電気的な
結合を小さくすることができる。
が、誘電率の高い材料を用いれば、電器的な結合を小さ
くすることもできる。例えば、誘電率（ε）が５の水晶
基板に対して、誘電体膜としてεが１０の酸化亜鉛膜を
用いれば、電気力線が酸化亜鉛膜に集中させ、電気的な
結合を小さくすることができる。
本発明によれば、横方向の端部における結合を小さくす
ることができるので、不要なモード結合を防ぐことがで
きる。したがって、スプリアスの発生を抑圧することが
できる。
ることができるので、不要なモード結合を防ぐことがで
きる。したがって、スプリアスの発生を抑圧することが
できる。
また、それにより、共振器を近接して配置できるので、
素子の小型化も可能となる。
素子の小型化も可能となる。
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図と第３図
は本発明の他の実施例を示す部分平面図であり、第４図
は従来例と本発明による場合の特性を比較した説明図で
ある。
は本発明の他の実施例を示す部分平面図であり、第４図
は従来例と本発明による場合の特性を比較した説明図で
ある。
Claims (6)
- （１）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器のインターデジタル電極の間に、該
インターデジタル電極の中央部間で幅が狭く、該インタ
ーデジタル電極の端部に進むにしたがって幅が広くなる
ように形成された誘電体膜を具えたことを特徴とする表
面弾性波多重モードフィルタ。 - （２）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器のインターデジタル電極の間に、該
インターデジタル電極の中央部間で間隔が広く、該イン
ターデジタル電極の端部に進むにしたがって間隔が狭く
なるように形成された細長い誘電体膜を具えたことを特
徴とする表面弾性波多重モードフィルタ。 - （３）圧電性基板表面にインターデジタル電極とそれに
より励振される表面弾性波の伝播路上に設けた該インタ
ーデジタル電極を挟む反射器とから成る共振器を表面弾
性波の伝播方向に垂直な方向に複数個配置した表面弾性
波多重モード共振器型フィルタにおいて、該並べて配置
された二つの共振器間のインターデジタル電極の間に、
該インターデジタル電極の中央部間で幅が狭く、該イン
ターデジタル電極の端部に進むにしたがって幅が広くな
るように形成された細長い誘電体膜を具えたことを特徴
とする表面弾性波多重モードフィルタ。 - （４）該誘電体膜が振動の吸収材であることを特徴とす
る請求項第１項、第２項または第３項記載の表面弾性波
多重モードフィルタ。 - （５）該誘電体膜の誘電率が基板の誘電率よりも高いも
のであることを特徴とする請求項第１項、第２項または
第３項記載の表面弾性波多重モードフィルタ。 - （６）該誘電体膜が酸化亜鉛から成る請求項第１項、第
２項または第３項記載の表面弾性波多重モードフィルタ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16127388A JPH0211013A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 表面弾性波多重モードフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16127388A JPH0211013A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 表面弾性波多重モードフィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0211013A true JPH0211013A (ja) | 1990-01-16 |
| JPH0452006B2 JPH0452006B2 (ja) | 1992-08-20 |
Family
ID=15731971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16127388A Granted JPH0211013A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 表面弾性波多重モードフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0211013A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102473465A (zh) * | 2009-10-30 | 2012-05-23 | 三菱重工业株式会社 | 原子能设施建筑物的混凝土基础和混凝土基础的建造方法 |
| WO2023097531A1 (zh) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 华为技术有限公司 | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP16127388A patent/JPH0211013A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102473465A (zh) * | 2009-10-30 | 2012-05-23 | 三菱重工业株式会社 | 原子能设施建筑物的混凝土基础和混凝土基础的建造方法 |
| WO2023097531A1 (zh) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 华为技术有限公司 | 一种体声波谐振器、滤波器及电子设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0452006B2 (ja) | 1992-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100280609B1 (ko) | 탄성표면파필터 | |
| EP1871007B1 (en) | Piezoelectric thin film filter | |
| JP2000244275A (ja) | Ｓａｗ共振子フィルタ | |
| JP3587354B2 (ja) | 横結合共振子型表面波フィルタ及び縦結合共振子型表面波フィルタ | |
| US4609891A (en) | Staggered SAW resonator for differential detection | |
| JPH03222512A (ja) | 有極形ｓａｗ共振器フィルタ | |
| US6377139B1 (en) | Edge reflection type surface acoustic wave device with grooves or steps at the reflection edges | |
| US5714830A (en) | Free edge reflective-type surface acoustic wave device | |
| JPH06177703A (ja) | 縦型３重モードｓａｗフィルタ | |
| JPH0211013A (ja) | 表面弾性波多重モードフィルタ | |
| US6762534B2 (en) | Transversally coupled resonator filter | |
| US6847154B2 (en) | Surface acoustic wave device and communication device | |
| EP1094602A2 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JPH10284988A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH11205081A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3203796B2 (ja) | 多重モード弾性表面波フィルタ | |
| JPH054848B2 (ja) | ||
| JP2542348B2 (ja) | 表面弾性波多重モ―ドフィルタ | |
| JPH0452005B2 (ja) | ||
| EP0881762B1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| JPH01311714A (ja) | 表面弾性波多重モードフィルタ | |
| JP3480785B2 (ja) | 縦モード共振器弾性表面波フィルタ | |
| JPH0514443B2 (ja) | ||
| JPH09162679A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0217709A (ja) | 弾性表面波共振子 |