JPH02109052A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents

感光性樹脂組成物

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JPH02109052A
JPH02109052A JP63261436A JP26143688A JPH02109052A JP H02109052 A JPH02109052 A JP H02109052A JP 63261436 A JP63261436 A JP 63261436A JP 26143688 A JP26143688 A JP 26143688A JP H02109052 A JPH02109052 A JP H02109052A
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JP
Japan
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photosensitive resin
copolymer
weight
parts
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JP63261436A
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Tomomoto Horigome
堀米　智基
Kenji Tazawa
賢二 田沢
Toshimi Aoyama
青山　俊身
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
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    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F290/00—Macromolecular compounds obtained by polymerising monomers on to polymers modified by introduction of aliphatic unsaturated end or side groups
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野１ 本発明は感光性樹脂組成物に関し、さらに詳しくはプリ
ント配線板の製造に用いられる耐はんだレジスト（ソル
ダーレジスト）、エラチンブレジスおよび耐めっきレジ
ストとして優れた耐熱性と密着性、さらには高感度を有
する感光性樹脂組成物に関する。
［従来の技術〕 従来、プリント配線板の製造におけるソルダーレジスト
、エツチングレジストおよび耐めっきレジストとして感
光性樹脂を用いることはよく知られている。
たとえば特解昭６０−２０８３７７号公報にはエチレン
性不飽和二重結合を有する基を付与されたフェノールノ
ボラック梨エポキシ樹脂ならびにクレゾールノボラック
型エポキシ街脂、光重合開始剤およびアミン系硬化剤よ
り成るソルダーレジストが開示されている。また特開昭
５８−１９９３４１号公報には、ジアリルフタレートプ
レポリマー、光重訃性単量体および光重合開始剤を含有
する耐熱性感光性植（脂組成物が開示されている。
し以下余白１ 【発明が解決しようとする課題］ このような感光性樹脂組成物は、耐熱性、耐薬品性に優
れるという特徴を有する反面、ある特定の有機溶剤でし
か現像できないという欠点を有しており、そのため高価
な有機溶剤を現像処理に用いなければならず、経済的に
不利である。
また公害防止や環境衛生の見地から、特に塩素系有機溶
剤の使用が敬遠される傾向にあり、現像に使用可能な有
機溶剤がますます限られてきた。
このような問題を解決するために、水現像あるいはアル
カリ現像型の感光性樹脂が開発されてきているが、耐薬
品性、耐熱性、密着性、保存安定性が十分でなく、実用
的なものはなかった。
また感光性を有し、かつ耐熱性に優れた樹脂組成物とす
るためには、それぞれの特徴を有する成分を含有せしめ
ればよいが、配合成分が多様になればコストの高いもの
とならざるをえない。
［課題を解決するための手段］ このような問題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、ア
ルカリ可）δ性でかつ光および熱硬化性の共電合体と、
光重合開始剤を組み合わせることにより、耐熱性、密着
性、耐薬品性、電気絶縁性に優れた、アルカリ性水溶液
にて現像可能な感光性ｂ１脂組成物が得られることを見
出し本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、 ａ）α、β−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレン性不
飽和化合物の共重合体と不飽和アルコールおよび飽和ア
ルコールとのエステル化反応により、酸無水物基の一部
をエステル化して得られる共重合体 ｂ）光重合開始剤 を必須成分として含有する感光性拮（脂組成物である。
本発明に用いられる共重合体はα、β−不飽和ジカルボ
ン酸無水物とエチレン性不飽和化合物の共重合体と不飽
和アルコールおよび飽和アルコールのエステル化反応に
よって得られる。
α，β−不飽和ジカルボン酸としては、無水マレイン酸
、無水シトラコン酸、無水２−クロロマレイン酸等が挙
げられるが、これらは単独または２種以上の組み合わせ
で用いられる。
またエチレン性不飽和化合物としては、スチレン、２−
メチルスチレン、アクリル酸エステル類、ヌククリル酸
エステル類、酢酸ビニル、アクリロニトリル、塩化ビニ
ル等があり、これらは単独または２種以上の組み合わせ
で用いられる。特にスチレンは耐熱性を向上させる作用
を有するので好ましい。
α、β−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレン性不飽和
化合物との共重合モル比は１：１〜ｌ：３の範囲が好ま
しく、エチレン性不飽和化合物の割合がこの範囲より多
いと現像性が低下し、感光後のレジストの強度が得られ
ない。また少ない場合は十分な耐熱性が得られない。
さらに、α，β−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレン
性不飽和化合物の共重合体のエステル化に用いられる不
飽和アルコールとしてはアリルアルコール、ヒドロキシ
エチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレー
ト、ヒドロキシプ口ピルメタクリレート等が挙げられ、
これらは単独または２種以上の組み合わせで用いられる
。
また飽和アルコールとしてはプロパツール、ブタノール
、ヘキサノール、オクタツール、２，３ジクロロ−１−
プロパツール、２．３−ジブロモ−１−プロパツール等
が挙げられ、これらは単独または２種以上の組み合わせ
で用いられる。
これらの不飽和アルコール、飽和アルコールと、α，β
−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレン性不飽和化合物
の共重合体との反応割合は目的に応じて適宜選択される
が、好ましくはα，β−不飽和ジカルボン酸無水物とエ
チレン性不飽和化合物の共重＆体の酸無水物基１当量に
対して、不飽和アルコールと飽和アルコールを合わせて
０．１〜１．７当量の範囲である。この範囲より少ない
と耐現像液性がなくなるのでパターンが形成されない。
また多いとアルカリ性水溶液によって現像することがで
きなくなるので好ましくない。
また不飽和アルコールと飽和アルコールの割合は目的に
応じて適宜選択されるが、好ましくはモル比でｌ：１〜
ｌ：５の範囲である。
α、β−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレン性不飽和
化合物の共重合体と、不飽和アルコールおよび飽和アル
コールとのエステル化反応によって得られた共重合体は
酸無水物基の一部にエステル化された不飽和アルコール
エステル基を有するので、活性光線の照射または加熱に
よって重合硬化させることができる。重合硬化させるこ
とによって耐熱性を向上させることができる。さらに本
発明の共重合体はカルボキシル基を有しているので、ア
ルカリ性水溶液に可溶である。
本発明に用いられる光重合開始剤としては、たとえばベ
ンゾフェノン、４．４−ジメチルアミノベンゾフェノン
、４．４−ジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフ
ェノン類、２−エチルアントラキノン、ｔｅｒｔ−ブチ
ルアントラキノン等のアントラキノン類、ベンゾインエ
チルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のベ
ンゾインアルキルエーテル類、２，２−ツメキトシー２
−フェニルアセトフェノン、２，２−ジェトキシアセト
フェノン、２−クロロチオキサンＩ・ン、ジエチルチオ
キサントン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェ
ノン、４−イソプロピル−２＝ヒドロキシ−２−メチル
プロピオフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）
フェニル１−２−モルフォリノ−１−プロパノン等があ
り、これらのうちの１種または２種以上を前記共重合体
１００重量部に対し、０．１〜２５重量部の範囲で添加
する。
本発明においては前記成分の他に光重合性単量体を配合
することもできる　光重合性単量体を配合することによ
り、耐現像液性や、感度が向上する。このような光重合
性単量体としては、１．６−ヘキサンジオールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ト
リメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロ
ールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパン
ジアクリレート、テトラメチロールメタントリアク」レ
ート、テトラメチロールメタントリメタクリレート、テ
トラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメ
チロールプロパンテトラメタクルレート、ジペンタエリ
トリトールペンタアクリレート、ジペンタエリトリトー
ルペンタメタクリレート、トリ（アクリロキシプロポキ
シプロポキシメチル）プロパン（Ｃ，Ｈ６Ｃ［ＣＨ，０
（Ｃｆｆ）（。
０）、Ｃ０ＣＨ＝Ｃ）ｔ２］　Ｊ）があるが、これらに
限定されない。光重合性単量体を配合する場合の配合割
合は共重合体１００重量部に対して光重合性単量体が１
〜５０重量部であることが望ましい、光重合性単量体が
この範囲より多くなると、被膜としたときに表面の粘着
性が強くなり、また解像度も悪くなる。
前記光重合性単量体を含有する感光性樹脂組成物に、さ
らにエポキシ樹脂を配合させることにより、耐熱性を大
きく向上させることができる。このようなエポキシ樹脂
としてはフェノールまたはクレゾールとホルムアルデヒ
ドから得られるフェノールノボラック衝脂またはクレゾ
ールノボラック樹脂にエビクロロヒドリンもしくはメチ
ルエビクロロヒドリンを反応して得られるフェノールノ
ボラック型エポキシ樹脂またはクレゾールノボラツク型
エポキシ樹脂が有用である。このようなエポキシ樹脂は
、加熱により前記α、β−不飽和ジカルボン酸無水物と
エチレン性不飽和化合物の共重合体と反応させ、重合密
度を上げることができる。
また上記フェノールノボラック型エポキシ御脂またはク
レゾールノボラック型エポキシ硲脂のエポキシ基１当量
とエチレン性不飽和カルボン酸０．２〜０．８当量を反
応させて得られるエステル化エポキシ樹脂も有用である
。
上記エポキシ樹脂と反応するエチレン性不飽和カルボン
酸としてはアクリル酸、メタクリル酸クロトン酸、マレ
イン酸モノメチル、マレイン酸モノプロピル、マレイン
酸モノブチル、ソルビン酸などがあり、これらは単独で
も、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
このエステル化ポリエステル…脂は光重合可能なエチレ
ン性不飽和基と、エポキシ基とをあわせ持つため、紫外
線照射による光重合と加熱による熱重合を行うことがで
きる。
上記エポキシ樹脂とエチレン性不飽和カルボン酸の反応
に使用されるエステル化触媒としては、かかる場合通常
使用されるジエチルアミン塩酸塩、ジエチルアミン酢酸
塩、トリエチルアミンなどの２級、３級アミン類が使用
できる。
これらのエポキシ樹脂およびエステル化エポキシ樹脂を
配合することにより、耐熱性が向上するだけでなく、耐
溶剤性、耐薬品性および電気絶縁性も向上させることが
できる。これらのエポキシ樹脂またはエステル化エポキ
シ樹脂の配合割合は前記α，β−不飽和ジカルボン酸無
水物とエチレン性不飽和化合物の共重合体１００重量部
に対し、エポキシ樹脂またはエステル化エポキシ拮（脂
１〜２００重量部であることが好ましい。
また本発明においては、任意に芳香族ジアミンを配合す
ることもできる。芳香族ジアミンは、α，β−不飽和ジ
カルボン酸無水物とエチレン性不飽和化合物の共重合体
の加熱時における硬化反応を促進する作用を有する。加
熱硬化することにより、高い熱安定性と、耐酸性に優れ
たレジストを得ることができる。さらに芳香族ジアミン
は感光性打（脂組成物中にエポキシ尉脂が配合さｈでい
る場合には、エポキシ硬化剤としての作用を有する。
このような芳香族ジアミンとしては、フェニレンジアミ
ン、４．４−メチレンジアニリン、ベンジジン、４．４
’−チオジアニリン、ジアニシジン、ジアミノジフェニ
ルエーテル、ジアミノジフェニルスルホン、４．４゛−
ビス（０−トルイジン）などがあり、単独または２種以
上を組み合ノ）せで用いることができる。これらの芳香
族ジアミンを配合する場合は、α、β〜不飽和ジカルボ
ン酸無水物とエチレン性不飽和化合物の共重合体１００
重量部に対して、１〜１５重量部の範囲であることが望
ましい。
本発明の感光性樹脂組成物には、インク性を付与するた
めに、固体粉末を配合することもできる。
このような固体粉末としてはアエロジル（ＳｉＯ□）、
マイカ、タルク、酸化アルミ（Ａ　Ｉ　、０３）などの
無機固形粉末や、球状ペンゾダアニジン、粒状ポリイミ
ド、粒状ポリアミドなどの有機固体粉末を用いることが
できる。固体粉末の配合割合は粉末の種類や目的によっ
て適宜調節することができるが、おおよその目安として
本発明の感光性樹脂組成物の溶剤を除いた総量に対して
１〜７０重量％配合される。
このほかシリコーン系あるいはフッ素系消泡剤、ゲル化
防止や保存安定性を向」ニさせるためにヒドロキノン、
メチルヒドロキノン、ヒドロキノンモノメチルエーテル
などの重合禁止剤、染料、顔料などの着色剤などを添加
することができる。
また本発明の感光性ｆｉｔ脂組成物を溶解または均一に
分解させるときに用いることができる溶剤としてハ、エ
チレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコ
ールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチ
ルエーテル、ブロビジングフコールモノメチルエーテル
、ジエチレングリコール七ツメチルエーテル、ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテルなどのエーテル系溶
剤やメチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シ
クロヘキサノンなどのケトン系溶剤が好適である。
次に本発明の使用例を示す。
本発明の感光性樹脂組成物をソーダレジストとして使用
する場合、スルホールを有し、回路が形成されたプリン
ト配線板の両面にロールコータ。
カーテン７０−コータ等でコーテングし、乾燥したのち
、ネガマスクを介して紫外線を照射し、炭酸ナトリウム
等の弱アルカリ性水溶液で未露光部の樹脂を除去する。
さらに必要により１００〜２００°Ｃで加熱硬化を行う
ことによりソルダーレジストパターンを形成することが
できる。
めっきレジストとして使用する場合は、例えば銅張り積
層板の両面にロールコータ等でコーテングし、乾燥した
のち、ネガマスクを介して露光し。
弱アルカリ水溶液で未露光部の樹脂を除去してパターン
を形成させ、めっき処理を施す。このときのめっき処理
は中性または酸性めっきであることが望ましい。
またエツチングレジストとして使用する場合も同様にし
て銅張り積層板上にパターンを形成した後、塩化第二鉄
水溶液等で露出した銅をエツチング処理する。レジスト
嘆は水酸化ナトリウム水溶液等の強アルカリ溶液にて容
易に除去することができる。
〔実施例Ｊ 次に本発明の実施例を示し、本発明をさらに詳しく説明
する。
実施例１ 撹拌器、温度計、脱水管、還流冷却器を付したセパラブ
ルフラスコに、トルエン６００を置部、　ｃｒ　、β−
不飽和ジカルボン酸無水物−エチレン性不飽和化合物共
重合体として、スチレン−無水マレイン酸共重合体飽和
アルコール不加体（Ａｒｃｏ　Ｃｈｅｍｉｃａ１社ｆｆ
ｓＭＡ　１？３５２．共重合モル比１：１．エステル化
率３５〜５０％）６００重量部に、不飽和アルコールと
してアリルアルコールを３２重猜部、エステル化脱水触
媒としてｌ）　　）　７レエンスルホン酸０．６重量部
を加え、１１０’Ｃで１０時間脱水エステル化反応を行
った。
反応終了後５０゛Ｃ１２０ｍＣ１２Ｏでトルエンを留去
した後、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルア
セテートで６０重量％濃度に希釈して酸価２３０．平均
分子量５０００の共重合体溶液Ａを得た。
次に 共重合体溶液Ａｌ００重量部 ジエチルヂオキサントン　　　　　　　　　５２．２−
ジメトキシ−２−フェニル アセトフェノン　　　　　　　　　　　　２アエロジル
３３００（日本アエロジル社製）８シリコーン系消泡剤 （信越シリコーン社製）　　　　　　　　　１を加え、
３本ロールミルにて十分に混練りを行い、均一な樹脂溶
液を得た。これをロールコータにて銅張り積層板上にコ
ーテングし、さらに８０°Ｃで３０分間乾燥を行った。
塗布面が室温にらとったことを確認した？＆２ネガマス
クを介して９００ｍＪ／ｃｍ”の紫外線を照射し、その
後１．０重量％炭酸ナトリウム水溶液＜２５’Ｃ）で１
００秒間かけて未露光部の樹脂を除去し、パターンを形
成した。形成されたパターンには、ハガレや現像残膜等
はみられなかった。
実施例２ 撹拌器、温度計、脱水管、還流冷却器を付したセパラブ
ルフラスコに、トルエン６００ｆｆｌ　量ｍ、α，β−
不飽和ジカルボン酸無水物−エチレン性不飽和化合物共
重合体としてスチレン−無水マレイン酸共重合体飽和ア
ルコール付加体（Ａｒｃｏ　Ｃｈｅｍｉｃａ１社製ＳＭ
Ａ　１４４０、共重合モル比１：Ｉ、エステル化率３５
〜５０χ）６００重量部に不飽和アルコールとしてアリ
ルアルコールを３２重量部、エステル化脱水触媒として
ｐ−トルエンスルホン酸０．６重量部を加え、１１０°
Ｃ″ｃ１．Ｏ時間脱水エステル化反応を行った。
反応終了後５０°Ｃ、２０ｍｍＨｇでトルエンを留去し
た後、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テートにて６０重量％濃度に希釈し、酸価１３０、平均
分子ｆｆ１７０００の共重合体溶液Ｂを得た。
一方軟化点６０〜７０゛Ｃ、エポキシ当量２００〜２３
０のクレゾール型エポキシ樹脂（東部化成工業社製、Ｙ
ＤＣＮ　７０１）２０００重量部に対し、アクリル酸２
８８重量部（化学当量比１０：４）、メチルヒドロキノ
ン０．６重量部、トリエチルアミン２．９重量部を加え
、ｉｏｏ’　ｃ″ｒ−１５時間反応させて酸価２以下の
エステル化エポキシ樹脂Ａを得た。
次に 共重合体溶液Ｂ １００重量部 エステル化エポキシ樹脂Ａ　　　　　　　６０重量部ト
リメチロールプロパン− トリアクリレート　　　　　　　　　　８ベンゾフエノ
ン　　　　　　　　　　　６４．４−ジメチルアミノー ベンゾフェノン　　　　　　　　　　２アエロジル＃３
８０ （日本アエロジル社製）　　　　　　　８シリコーン系
消泡剤 （信越シリコーン社製）１，５ をとり、３本ロールミルで十分混練りを行い、均一な樹
脂溶液を得た。これを１５０メツシユのテトロン製スク
リーンを介してあらかじめ回路が配線されたプリント配
線板上にコーテングした。これを８０°Ｃで３０分間乾
燥し、室温まで冷却した後、ネガマスクを介して６００
ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を照射した。
そして１．０重量％炭酸ナトリウム水溶液（３５°Ｃ）
で１２０秒間かけて未露光部の樹脂を除去した。さらに
１４０°Ｃで６０分間加熱硬化を行い、樹脂膜が形成さ
れたプリント配線板を得た。このプリント配線板を煮沸
エチレングリコールモノエチルエーテル中に１０分間浸
漬した後、さらに５重量％水酸化ナトリウム＊溶Ｘ１（
６０’Ｃ）に６０分間浸漬したところ何の変化もみられ
ず、また２６０’Ｃの溶融はんだ中に３０秒間浸漬後セ
ロファンテープによる剥離テストを行った結果、耐熱性
および密着性に優れていることがノ）かった。
実施例３ 撹拌器、温度計、脱水管、還流冷却器を付したセパラブ
ルフラスコに、トルエン６００ｆｆｌ　量ｍ、α，β−
不飽和ジカルボン酸無水物−エチレン性不飽和化合物共
重合体として、スチレン−無水マレイン酸共重合体飽和
アルコール付加体＜Ａｒｃｏ　Ｃｈｅｍｉｃａ１社製５
ＭＡ１４４領共重合比１：ｌ、エステル化率３５〜５０
％）６００重量部に、不飽和アルコールとしてヒドロキ
シエチルメタクリレートを８２重量部、エステル比視ノ
ド触媒としてｐ−トルエンスルホン酸０．６重量部を加
え、　１１０’Ｃ″′ｃｔｏ時間脱水エステル化反応を
行った。
反応終了後５０゛Ｃ１２０ｍＣ１２Ｏでトルエンを留去
した１（、エチレングリコールモノメチルエーテルアセ
テートにて５０χ濃度に希釈し、酸価３５０、平均分子
量４５００の共重合体溶液Ｃを得た。
次に 共重合体溶液Ｃ１００重量部 ジエチルチオキサントン　　　　　　　４ｐ−ジメチル
アミ７安７Ｃ１香酸 エチルエステル　　　　　　　　　　６トリメチロール
ブロバンー トリアクリレート　　　　　　　　　　１０アエロジル
＃２００ （日本アエロジル社製）　　　　　　　　８シリコーン
系消泡剤　　　　　　　　　１４．４′ジアミノ−３，
３゛−ジエチルジフェニルメタン　　　　　　　　　５
をとり、３本ロールミルにて十分混練りを行い、均一な
樹脂溶液を得た。これを１５０メツシユのテトロン製ス
クリーンを介して、あらかじめ回路が配線されたプリン
ト配線板上にコーティングした。これを８０゛Ｃで２０
分間乾燥し、その後室温まで冷却した浅、イ、ガフスフ
を介して７００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線を１！６射した。
そして１．５重量％炭酸す］・リウム水溶液（３０°Ｃ
）で１００秒間かけて未露光部の樹脂を除去した。
さらに１６０°Ｃで６０分間加熱硬化を行い、樹脂膜が
形成さｔしたプリント配線板を得た。この基板を２５重
量％硫酸小溶液（８０’Ｃ）に１時間浸漬し、１０重吋
％塩酸水溶液に１時間浸漬したが何の変化もみられなか
った。また２６０″Ｃの溶融はんだ中に３０秒間浸漬後
セロファンテープによる剥離テストを行った結果、耐熱
性および密着性に優れていることがわかった。
実施例４ 共重合体溶液８　　　　　　　　　　１００重量部ジエ
チレンチオキサントン　　　　　　４ｐ−ジメチルアミ
ノ− 安５つ、香酸イソアミル　　　　　　　　６トリメチロ
ールプロパン トリアクリレート　　　　　　　　　　５を加え、３本
ロールミルにて十分に混練りを行い、均一な樹脂溶液を
得た。これを１５０メｌシユのテトロン製スクリーンを
介して銅張り積層板上にコーティングし、８０°Ｃで３
０分間乾燥を行った。室温まで冷却した後、ネガマスク
を介して５００ｍＪ／ｃｍ”の紫外線を照射し、その後
１．５重量％炭酸ナトリウム水溶液（３０°Ｃ）で１０
０秒間かけて未露光部の樹脂を除去した。
この銅張り積層板を塩化第二鉄水溶液で露出した銅を工
／チングした。工・Ｖチング終了？＆ｌＯ重量％水酸化
ナトリウム水溶液（５０’Ｃ）で拮（脂を除去したとこ
ろネガマスクに忠実な銅回路パターンが得られた。
比較例１ スチレン−無水マレイン酸共重合体 飽和アルコール付加体 （Ａｒｃｏ　Ｃｈｅｍｉｃａ１社％　ＳＭＡ　１７３５
２）　　　１００重量部ジエチルヂオキサントン　　　
　　　　　５２．２−ジ、ノドキシー２−フェニル アセトフェノン　　　　　　　　　　　２アエロジル＃
３８０ （日本アエロジル社製）　　　　　　　　８シリコーン
系消泡剤 （信越シリコーン社製）　　　　　　　　１重量部トリ
メチロールプロパン トリアクリレート　　　　　　　　　　　８をとり、３
本ロールミルにて十分混練りを行い均一な…脂組成物を
得た。これを１５０メンシユのテトロン製スクリーンを
介して銅張り積層板」二にコーティングした。これを８
０°Ｃで２０分間乾燥し、室温まで冷却した後、ネガマ
スクを介して８００Ｊｃｍ／ｃｍ”の紫外線を照射し、
次いで１，５重量％炭酸ナトリウム水溶液（３０°Ｃ）
で未露光部の樹脂を除去しようとしたが、露光部分が白
化膨張してしまい、所望のブノント配線板を得ることが
できなかった。
比較例２ スチレン−無水マレイン酸共重合体飽和アルコール付加
体 （Ａｒｃｏ　Ｃｈｅｍｉｃａ１社製ＳＭＡ　　１４４０
）　　　１００ｉＨｔ部実施例２のエステル化樹脂Ａ　
　　　　　６０トリメチロールプロパン トリアクリレ−ト　　　　　　　　　　　１０４重量部 ジエチルチオキサントン ｌ）−ジメチルアミノ安、ｅ、香酸エチルアエロジル＃
３００ （目本アエロジル社製）　　　　　　　　８シリコーン
系消泡剤 （信越シリコーン社製）　　　　　　　　２をとり、３
本ロールミルで十分混練りを行い、均一な樹脂溶液を得
た。これを１５０メツシユのテトロン製スクリーンを介
してあらかじめ回路が配線されたプリント配線板上にコ
ーティングした。これを８０°Ｃで３０分間乾燥し、室
温まで冷却した後、ネガマスクを介して６００ｍＪ／ｃ
ｍ’の紫外線を照射した。そして１．０重量％炭酸ナト
リウム水溶液（３５’Ｃ）で１２０秒間かけて未露光部
の樹脂を除去した。さらに１４０’Ｃで６０分間加熱硬
化を行い、…脂膜が形成されたプリント配線板を得た。
このプリント配線上のパターンを顕微鏡で観察したとこ
ろ、アンダーカットが大きく感度も低かった。このプリ
ント配線板を５重量％水酸化ナトリウム水溶液（６０’
Ｃ）に３０分間浸漬したところ、樹脂膜表面の光沢が失
われたことから、樹脂膜表面が水酸化ナトリウム水溶液
で浸されたことがわかった。また２６０’Ｃの；５融は
んだ中に３０秒間浸漬した後、セロファンテープによル
剥離テストを行ったが、一部併脂膜が剥がれてしまった
。
［発明の効果１ 本発明の感光性樹脂組成物はプリント配線板の製造にお
いて、耐はんだレジスト、エツチングレジストおよび耐
めっきレジストとして優れた耐熱性、密着性、耐薬品性
を有し、経済性にも優れるため、信頼性の高いプリント
配線板を経済的に得ることができる。
特許出願人　東京応化工業株式会社

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ａ）α，β−不飽和ジカルボン酸無水物とエチレ
    ン性不飽和化合物の共重合体と、不飽和アルコールおよ
    び飽和アルコールとのエステル化反応により、酸無水物
    基の一部をエステル化して得られる共重合体 ｂ）光重合開始剤 を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂
    組成物。
  2. （２）請求項（１）記載の感光性樹脂組成物に、ｃ）光
    重合性単量体 を配合したことを特徴とする感光性樹脂組成物。
  3. （３）請求項（１）記載の感光性樹脂組成物に、ｃ）光
    重合性単量体 ｄ）フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
    ノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型ノボラッ
    ク樹脂およびこれらのエポキシ樹脂のエポキシ基１当量
    とエチレン性不飽和カルボン酸０．２〜０．８当量を反
    応して得られるエステル化エエポキシ樹脂の中から選ば
    れた少なくとも１種を配合したことを特徴とする感光性
    樹脂組成物。
  4. （４）請求項（３）記載の感光性樹脂組成物において、
    各成分の配合割合が、ａ）成分１００重量部に対し、ｂ
    ）成分が０．１〜２５重量部、ｃ）成分が１〜５０重量
    部、ｄ）成分が１〜２００重量部の範囲であることを特
    徴とする感光性樹脂組成物。
  5. （５）請求項（１）記載の感光性樹脂組成物に、ｅ）芳
    香族ジアミン を配合したことを特徴とする感光性樹脂組成物。
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