JPH02105559A - リードフレームおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＩＣ，Ｌ１３１等を載置するためのリードフ
レームおよびその製造方法に係る。

（従来の技術） 従来インナーリード部の樹脂封止外部とバーのインナー
側のエッチング面積を上面と下面とで違える事は公知で
おる。

また、インナーリード部のボンディング部のエッチング
面積をゴンｆ４ング面よシ非ゴンディング面をせまくす
る事は公知である。

（発明が解決しようとする線層） 従来技術を組み合せて実施しようとする場合、・臂ター
ン作図の手間等を考えると、樹脂封止部の工、テ／グ面
積がメンディング面より非ビンディングの方が大きい事
となる。

しかし、これではメンディング面のエツチング面積と非
ボ／″ｒイング面の工、デング面積が相違してくる。

その場合、それに応じてエツチング液の疲労度が相違し
てきて上面と下面のエッチング乗件が相違してくる。こ
れを補う為にエッチング量や噴射圧を上下を変える事も
考えらｎるが、七扛でも別の点でエツチング粂件が両面
で相違してきて均一なエツチングが困離となる。

従って、両面を同一のパターンとする事も考えられるが
、それではボンディング部でリード１扁に較ヘテメンｆ
イングＩ嘔がせまくな）、コンディング性能が低下する
。また、ゲンｒイング幅を同一にするとリード幅が広く
なシ、隣９合うリードとの接触の危険性が大きくなり、
はなはだしい場合にはエツチングが貫通せずリードとリ
ードがつながった状態となる。また、樹脂封止部外のイ
ンナーリードやバーのインナー側のエツチングパターン
を同一とすると、インナーリードとパリの断面側部中央
部分に突起部が生じてしまい、この突起部の為樹脂封止
の吸虫じるパリが何れの面からの応力でも容易に取れな
くなる。

本発明は上述の問題点に鑑み、エツチングが容易でボン
ディングが容易でリードの接触のおそれが少なくパリ取
シが容易なリードフレームおよびその製造方法を提供し
ようとするものである。

（課題を解決する為の手段） 上述の課題を解決する為、リードフレームの樹脂封止外
部およびバーのインナー側側面か前記インナーリード部
のボンディング部と逆の面が広くエツチングさｎている
リードフレームの傳造とする。

また、その製造方法としては、樹脂封止部外とボンディ
ング部とのエツチング幅を広める面を違えたノ９ターン
でエツチングする。

なお、エツチングの場合どちらを上面としてエッチング
しても購わないが、実際のリードフレームにおいてはボ
ンディング部で工、テング幅の広い方がメンディング面
となる。

また、工、チ／グ幅を変える部位は各々ゲンｒイング部
と樹脂封止外部だけでも良いがどちらかもしくは何れも
をエツチング幅を変える部位を延長しても良い。また、
そのエツチング址の差をうめる為バーのアウター側でｆ
Ａｆしても良い。尚、アウターリードは曲けのときの関
係上互いにエツチング／４ターンは同一の方が良い。ま
た、この場合チ、グを載せる為の載＆部はあってもなく
ても本発明は実施できる。また、インナーリードの固定
樹脂枠等の工夫にも依存せず実施５’ｆｎＱである。

（作用） 本発明の構成をとると、エツチング条件を両面で均一に
する事が出来、全面で最良のエツチング状態のものとし
て仕上げる事が出来る。ｔｆｃ、ボンディングの場合も
ボンディング幅がリード幅に比べて広くなシ、ボンディ
ングが容易となる。また、パリモエッチング幅のせまい
方よシ水圧等ノ圧力をかける事によシエッチング幅の広
い方へｉ４すをリードフレーム間よシ押し出す事が容易
な構成となる。

（実施例） 以下、本発明を図示の実施例を参照してａ関する。

第１図は本発明に係わるリードフレームの一例を示すも
のであって、例えば４２合金（Ｎｉ：４２重ｔチ、残部
：Ｆ・）からなる厚み約０．２５簡のリードフレーム基
材１に所定のリードフレーム間やターンが形成されてい
る。即ち、このリード７レームノ量ターンは、一対の吊
シリード２によシ支持された状態で中央部に配置された
半導体チツｆ賊置部３と、該載置部３の周シに放射状に
配設されたインナーリード部４と、該インナーリード部
４の各基端部と直交する方向に延び該基端部を支持する
バー５と、上記インナーリードと反対側圧上記バー５か
ら延出するようにして設けられたアウターリード部６と
からなっている。

コノリードフレームパターンはさらＫ　以下Ｋ　示す区
域毎に、リード及びバーがそれぞれ異なった断面形状を
以って形成されている。

即ち、インナーリード部４のうちゴンｆ４ング部を含む
樹脂封止部分（−点ｆｉＭＡの内側部分、以下、Ａ区域
と呼ぶ）のインナーリードについては第２図（１）に示
す如く断面形状が略逆台形をなし、樹脂封止予定部分（
ム区域）よシ外側からバー５に沿う部分（−点鎖ｍＡか
ら一点鎖＠Ｂまでの部分、以下、３区域と呼ぶ）はイン
ナーリードが第２図（ｂ）に示す如く断面形状が逆台形
、さらにバー５のインナーリード側ダムバー側面が第２
図（Ｃ）に示す如く表面側よシ深くえぐられた形状をな
し、−点ｆｉＭＨの外側の部分（以下、Ｃ区域と呼ぶ）
嫁アウターリード６の断面形状が第２図（ｄ）に示す如
くふくらみの少なく、しかも上下対称な略四角形をなし
、バー５の７ウタ一側側面が第２図（ｃ）に示す如く略
垂直面をなしている。

次に、このように区域別にリード等の断面形状の異なる
リードフレームの製造方法について説明する。

まず、リードフレーム基材Ｉに対し、Ａ区域のインナー
リード部４の表裏面に第３図げ）に示す如く同一形状の
マスクパター７７ｍ、７ｂを形成し、３区域のインナー
リード部４の表裏面には第４図０）に示す如く表側に開
口部の小さいマスクツリ−ン８＆を、裏側にこれに対応
して開口部の大きいマスクパターン８ｂｆそれぞｎ形成
する。バー形成部については第５図（イ）に示す如く８
区域内の側面は表側マスクパターンＩｍｆ長側マスクツ
４ターン９ｂよりも大きく！６出すように形成し、同じ
くＣ区域内の側面は表側マスク／母ターン９ｍの側面を
裏側マスクパターン９ｂの側面と一致させるように形成
する。Ｃ区域のアウターリード部６については第６図（
イ）に示す如く表側に開口部のやや大きいマスクパター
ンＩＯｈを、裏側にこれに対応して開口部のやや小さい
マスク・ぐターフ１０ｂをそｎぞれ形成する。なお、上
記マスクツリーンの形成方法としては通常のホトリ、グ
９７４−法によシ容易におこなうことができる。

ついで、例えば液温６０℃、液比重４８度〆−メの塩化
第２鉄溶液をリードフレーム基材ｌの裏面側にのみ吹き
付け、リードフレーム基材ｌの長面のみハーフエツチン
グする（第３乃至第６図の各Ｏｏ）参照）。次に、同一
条件下で上記塩化第２鉄＃液をリードフレーム基材１の
表裏両面に同時に吹き付はリードフレーム基材１０表裏
面間をほぼ貫通させる（第３図乃至第６図の各（ハ）参
照）。この状態では工、チ／グ圓面に鋭利な突起が残っ
ているから、さらに両面からのエツチングを続行するこ
とにより、上述の鋭利な突起が消え第３図乃至第６図の
各に）に示すよ５を突起量の少ないｉｆｉ’面を有する
インナーリード４、バー５及びアラターリ−Ｐ６が形成
される。最後にアルカリ＃故にょシ谷マスクパターン７
亀、７ｂ　、８息、８ｂ。

９＊、９ｂ、１０ｍ、１０ｂを剥離したのち水洗、乾燥
することによ）第２図（＆）〜（ｄ）の如き断面のイン
ナーリーと４、バー５及びアクタ−リード６が形成され
る。

かくして、Ａ区域においてはインナーリーどの表裏の平
坦幅の差が５０μｍ以内、３区域のインナーリードにつ
いては表裏の平坦幅の差が５ｏｌＲｎ以内、バーについ
ては表裏の平坦幅の差が５０μｍ以内、アウターリード
については表裏の平坦幅の差が２０　ａｍ以内のものが
得られる。

（発明の効果ン 本発明によシインナーリードのメンディング部の幅を広
げる事が出来、ボンディングが安定的になシながら１ｉ
ｌｌｉシとのリード間隔を広めてエツチングの容易さと
リードとの接触防止を図ると同時に樹脂封止部外のイン
ナーリードをバーのインナー側の断面が広くエツチング
されてパリのつく部分が広く開口してお）、そこよシ容
易にパリ取シが図れると同時に両面のエツチング条件を
ほぼ均一とする事が出来て品質の良いリードフレームと
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるリードフレームを表面から見た
平面図、第２図はり−）’７レームの各部分の断面を示
す図、誦３図乃至第６図はリードフレームの各部分にお
けるエツチングの進行状態をノ屓次示す断面図である。 図中、ｌ・・・リードフレーム基材、２・・・載置部リ
ード、３・・・載ｆｉ１ｍ、４・・・インナーリード、
５・・・バー　６−・・アクタ−リード、７ｍ、７ｂ、
８ｍ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）インナーリード部の樹脂封止外部およびバーのイ
   ンナー側一面が前記インナーリード部のボンディング部
   と逆の面で広くエッチングされているリードフレーム。
2. （２）インナーリード部の樹脂封止部およびバーのイン
   ナー側側面を前記インナーリード部のボンディング部と
   広い面が違うパターンでエッチングするリードフレーム
   の製造方法。