JPH0197359A - 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置Info
- Publication number
- JPH0197359A JPH0197359A JP25513687A JP25513687A JPH0197359A JP H0197359 A JPH0197359 A JP H0197359A JP 25513687 A JP25513687 A JP 25513687A JP 25513687 A JP25513687 A JP 25513687A JP H0197359 A JPH0197359 A JP H0197359A
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- Japan
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- photographing
- recorded
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 claims description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 abstract 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置に関
し、特に表示画面上で希望の撮影視野等を指定づること
により自動的に囮影倍率等が設定されてモンタージュ像
が1最影されるようにした装置に関りる。
し、特に表示画面上で希望の撮影視野等を指定づること
により自動的に囮影倍率等が設定されてモンタージュ像
が1最影されるようにした装置に関りる。
[従来技術]
電子顕微鏡等におりるモンタージュ(つなぎ写真)@影
装置では、通常低倍率にて撮影領域を捜し出した後、撮
影スター1へ点を決め、撮影する倍率まで拡大してml
影している。
装置では、通常低倍率にて撮影領域を捜し出した後、撮
影スター1へ点を決め、撮影する倍率まで拡大してml
影している。
[発明が解決しようとにJる問題点]
ところで、このようなモンタージュ撮影装置では、表示
装圃に表示された低倍率の試料像から撮影する領域を捜
し出した後、mllススター1〜点沃めX方向、Y方向
のhT ?、3枚数を指定して撮影しているため、その
都度拡大倍率、試料移動量等を予め計算して操作しな(
ブればならない。そのため、操作が極めて繁雑となるば
かりでなく、希望する撮影視野を、最適な倍率で、希望
する枚数によって撮影することは困難であった。
装圃に表示された低倍率の試料像から撮影する領域を捜
し出した後、mllススター1〜点沃めX方向、Y方向
のhT ?、3枚数を指定して撮影しているため、その
都度拡大倍率、試料移動量等を予め計算して操作しな(
ブればならない。そのため、操作が極めて繁雑となるば
かりでなく、希望する撮影視野を、最適な倍率で、希望
する枚数によって撮影することは困難であった。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、電子顕微鏡等
の自動℃ンタージコml影装置の操作性を向上させるこ
とを目的としている。
の自動℃ンタージコml影装置の操作性を向上させるこ
とを目的としている。
[問題点を解決するための手段1
上記目的を達成するため本発明は、試料の電子顕微鏡像
を表示する表示手段と、該表示手段に表示された試料像
よりモンタージユml影ににって記録する全範囲を指定
する手段と、試料像を記録する手段と、該記録手段によ
って記録される視野を移動させるための手段と、前記全
視野をセンタージ]擾影づるための記録覆る回数を指定
ηる手段と、1)11回記録した視野と次に記録する視
野の重4ヱり早を指定する手段と、前記記録する視野の
全範囲の人さき、記録7する回数1重なり量、記録手段
に」、って1回の記録で記録される視野の大きざを表ね
1データに基づ′いてI形影倍率を演専するための手段
を備えたことを特徴としている。
を表示する表示手段と、該表示手段に表示された試料像
よりモンタージユml影ににって記録する全範囲を指定
する手段と、試料像を記録する手段と、該記録手段によ
って記録される視野を移動させるための手段と、前記全
視野をセンタージ]擾影づるための記録覆る回数を指定
ηる手段と、1)11回記録した視野と次に記録する視
野の重4ヱり早を指定する手段と、前記記録する視野の
全範囲の人さき、記録7する回数1重なり量、記録手段
に」、って1回の記録で記録される視野の大きざを表ね
1データに基づ′いてI形影倍率を演専するための手段
を備えたことを特徴としている。
「実施例」
Lズ下発明の実施例を図面を用いて詳述づる。
第1図は本発明の一実施例の眠略描成図である。
第1図において、1は試Mill ’r、2は試料ステ
ージ、3はステージ駆動回路である。該試2E+ 1に
7h子線FBが照射されると、試別1を透過した電子線
は結像系レンズ4によって拡大され、蛍光板上に拡大像
5として投影される。この拡大像5は、層像装置6によ
って電気信号に変換された後、CI〕U8の制御のもと
でフレームメモリー7に記録される。フレームメモリ7
に記録された試1’il像に対応する電気信号は操作者
の指示に基づきCP U 1lil制御のらとで表示装
置9に送られ、表示装置9に試オ″:1像が表示される
。該表示装置9には1最影する視野範囲を矩形状の輝K
Ap−c−指定号−るための例えばライ1へベン9aが
接続されている。10はUδ影する回数や、前回撤1影
した視野と次に撮影する視野の重なりV等を指定Mるキ
ーボード等の入力装置−(ある。11は写貞踊lSヨ用
の陰Mi線質て、12は1111記陰極線管11に表示
された試料像を記録号る写真Mi影用のカメラである。
ージ、3はステージ駆動回路である。該試2E+ 1に
7h子線FBが照射されると、試別1を透過した電子線
は結像系レンズ4によって拡大され、蛍光板上に拡大像
5として投影される。この拡大像5は、層像装置6によ
って電気信号に変換された後、CI〕U8の制御のもと
でフレームメモリー7に記録される。フレームメモリ7
に記録された試1’il像に対応する電気信号は操作者
の指示に基づきCP U 1lil制御のらとで表示装
置9に送られ、表示装置9に試オ″:1像が表示される
。該表示装置9には1最影する視野範囲を矩形状の輝K
Ap−c−指定号−るための例えばライ1へベン9aが
接続されている。10はUδ影する回数や、前回撤1影
した視野と次に撮影する視野の重なりV等を指定Mるキ
ーボード等の入力装置−(ある。11は写貞踊lSヨ用
の陰Mi線質て、12は1111記陰極線管11に表示
された試料像を記録号る写真Mi影用のカメラである。
13は結像レンス゛系3の駆動電源であり、前記写真脹
影用カメラ12及び駆動電源13はCP LJ 8によ
って制御される。
影用カメラ12及び駆動電源13はCP LJ 8によ
って制御される。
この様に構成された装置におい−C1先す、第2図に示
すように表示装置9に低倍率像を表示する。
すように表示装置9に低倍率像を表示する。
次に、ライトベン9aを用いて表示装置9上の2点を指
示すると、表示装置9−トにはこの2点を対角紳士の2
点とする矩形状の輝線が表示される。
示すると、表示装置9−トにはこの2点を対角紳士の2
点とする矩形状の輝線が表示される。
この2つの指示点の位置を調整覆ることにより、前記矩
形状の輝FAPで囲まれた領域がモンタージュ撮影をS
望づる領域に一致するようにする。従つ−C1この操作
により、表示された試料像にリモンタージュ囮影を希望
する領域Aが指定される。
形状の輝FAPで囲まれた領域がモンタージュ撮影をS
望づる領域に一致するようにする。従つ−C1この操作
により、表示された試料像にリモンタージュ囮影を希望
する領域Aが指定される。
この領域への指定の終了を指示すると、CPU8はモン
タージュ撮影のための試料移動範囲を演算して記憶ゴる
。次に、入力装置10よりフィルムサイズ、X方向とY
方向の撮影枚数、X及びY方向のフィルムの重なり損を
入力づ−る。CP LJ 8は、これらの入力データに
基づいて最適倍率、試料移動量を演t)シ、この演算結
果に基づいて前記写真踊影用カメラ12.駆動電源13
及びステージ駆動回路3を制御しながらモンタージュ写
真の撮影を自動的に行なう。
タージュ撮影のための試料移動範囲を演算して記憶ゴる
。次に、入力装置10よりフィルムサイズ、X方向とY
方向の撮影枚数、X及びY方向のフィルムの重なり損を
入力づ−る。CP LJ 8は、これらの入力データに
基づいて最適倍率、試料移動量を演t)シ、この演算結
果に基づいて前記写真踊影用カメラ12.駆動電源13
及びステージ駆動回路3を制御しながらモンタージュ写
真の撮影を自動的に行なう。
ところで、顕彰条件を設定1−るための演算式は、−区
− 全撮影枚数をNp、X方向の撮影枚数NX、Y方向の蹟
影枚vlNy、フィルム最大格納枚故Nm、フィルムの
残数Ntどすると、 N1)=NX ×NV≦N1≦Nmとなる。
− 全撮影枚数をNp、X方向の撮影枚数NX、Y方向の蹟
影枚vlNy、フィルム最大格納枚故Nm、フィルムの
残数Ntどすると、 N1)=NX ×NV≦N1≦Nmとなる。
ここで、X方向の撮影枚数Nx、Y方向のl1fl影枚
数Ny、フィルム最大格納枚@Nmは入力装置10より
人力されるデータであり、フィルムの残数N[は検出さ
れるデータである。
数Ny、フィルム最大格納枚@Nmは入力装置10より
人力されるデータであり、フィルムの残数N[は検出さ
れるデータである。
又、撮影倍率は、第3図に示すようにフィルム1枚のX
方向の長さをa、Y方向の長さをb、それぞれの重なり
b3をθXI)V、撮影領域AのX。
方向の長さをa、Y方向の長さをb、それぞれの重なり
b3をθXI)V、撮影領域AのX。
Y方向のそれぞれの長さ1x、Lyとすると、Mx−(
Nx (a−Dx >1−Dx )、/l−XMy
= (Ny (b−Dy ) + Dy
) 、/l yとなり、このMxとMYによって
最適倍率が設定される。この時、若しMYとMYとが等
しくイfい場合には、MYとMVを比較して大きい倍率
の方が設定されるようになっている。
Nx (a−Dx >1−Dx )、/l−XMy
= (Ny (b−Dy ) + Dy
) 、/l yとなり、このMxとMYによって
最適倍率が設定される。この時、若しMYとMYとが等
しくイfい場合には、MYとMVを比較して大きい倍率
の方が設定されるようになっている。
従って、この様に構成された装置では、先ず、表示装置
9に低倍率像を表示し、該試料像のうち=6− 撮影を希望Jる領域Aの指定すると、CPU8は入力さ
れたフィルムのサイズ、撤影枚数、フィルムの重なり量
等により最適倍率と試料移動量を演算して、試料移動の
制御、カメラ制御等を行なって自動モンタージュ撮影を
自動的に行なうことかできる。
9に低倍率像を表示し、該試料像のうち=6− 撮影を希望Jる領域Aの指定すると、CPU8は入力さ
れたフィルムのサイズ、撤影枚数、フィルムの重なり量
等により最適倍率と試料移動量を演算して、試料移動の
制御、カメラ制御等を行なって自動モンタージュ撮影を
自動的に行なうことかできる。
尚、上述した実施例においては、モンタージユml影ず
べき視野を指示するため、表示画面上に矩形状の輝線を
表示したが、これに代えて撮影すべき視野以外をマスキ
ングするようにしても良いし、像表示の輝度に差をつけ
ることにより、該当の領域を指示するようにしても良い
。
べき視野を指示するため、表示画面上に矩形状の輝線を
表示したが、これに代えて撮影すべき視野以外をマスキ
ングするようにしても良いし、像表示の輝度に差をつけ
ることにより、該当の領域を指示するようにしても良い
。
又、矩形状の領域を指定するため、対角線上の2点を指
示するようにしたが、矩形の中心位置と縦及び横幅を指
示づ−るようにしても良い。
示するようにしたが、矩形の中心位置と縦及び横幅を指
示づ−るようにしても良い。
[発明の効果1
以−ト詳述したように本発明によれば、表示された試料
像上で希望する撮影領域を指定し、入力装置より必要な
データを入力するだけで最適倍率が設定されて試料移動
が行なわれ、モンタージュ写真の撮影が自動的に行なわ
れるため、自動モンタージュ写真の撮影のための操作が
簡単になり、又、希望する1最影視野を、最適倍率で、
希望する枚数で撮影でることができる。
像上で希望する撮影領域を指定し、入力装置より必要な
データを入力するだけで最適倍率が設定されて試料移動
が行なわれ、モンタージュ写真の撮影が自動的に行なわ
れるため、自動モンタージュ写真の撮影のための操作が
簡単になり、又、希望する1最影視野を、最適倍率で、
希望する枚数で撮影でることができる。
第1図は本発明の概略構成図、第2図及び第3図は本発
明を説明するための図である。 1:試料、2:試料ステージ、3:ステージ駆動回路、
4:結像系レンズ、5:拡大像、6:層像装置、7:フ
レームメモリー、8:CPU、9:表示装置、10:入
力装置、11:写真撮影用の陰極線管、12:写真撮影
用のカメラ、13:駆動電源。 特許出願人 日本電子株式会社 第1図 ’ o −−−−/V)<
明を説明するための図である。 1:試料、2:試料ステージ、3:ステージ駆動回路、
4:結像系レンズ、5:拡大像、6:層像装置、7:フ
レームメモリー、8:CPU、9:表示装置、10:入
力装置、11:写真撮影用の陰極線管、12:写真撮影
用のカメラ、13:駆動電源。 特許出願人 日本電子株式会社 第1図 ’ o −−−−/V)<
Claims (1)
- 試料の電子顕微鏡像を表示する表示手段と、該表示手段
に表示された試料像よりモンタージュ撮影によって記録
する全範囲を指定する手段と、試料像を記録する手段と
、該記録手段によつて記録される視野を移動させるため
の手段と、前記全視野をモンタージユ撮影するための記
録する回数を指定する手段と、前回記録した視野と次に
記録する視野の重なり量を指定する手段と、前記記録す
る視野の全範囲の大きさ、記録する回数、重なり量、記
録手段によって1回の記録で記録される視野の大きさを
表わすデータに基づいて撮影倍率を演算するための手段
を備えたことを特徴とする電子顕微鏡等の自動モンター
ジュ撮影装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25513687A JPH0197359A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25513687A JPH0197359A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0197359A true JPH0197359A (ja) | 1989-04-14 |
Family
ID=17274582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25513687A Pending JPH0197359A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0197359A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008282775A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 透過型電子顕微鏡及び撮影方法 |
JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
WO2010050136A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61126750A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-14 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP25513687A patent/JPH0197359A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61126750A (ja) * | 1984-11-22 | 1986-06-14 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
US9025018B2 (en) | 2006-06-07 | 2015-05-05 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
US9865427B2 (en) | 2006-06-07 | 2018-01-09 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
JP2008282775A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Hitachi High-Technologies Corp | 透過型電子顕微鏡及び撮影方法 |
WO2010050136A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法、及び電子顕微鏡 |
US9013572B2 (en) | 2008-10-31 | 2015-04-21 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method for observing sample and electronic microscope |
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