JPH0197359A - 電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子顕微鏡等の自動モンタージュ撮影装置に関
し、特に表示画面上で希望の撮影視野等を指定づること
により自動的に囮影倍率等が設定されてモンタージュ像
が１最影されるようにした装置に関りる。

［従来技術］ 電子顕微鏡等におりるモンタージュ（つなぎ写真）＠影
装置では、通常低倍率にて撮影領域を捜し出した後、撮
影スター１へ点を決め、撮影する倍率まで拡大してｍｌ
影している。

［発明が解決しようとにＪる問題点］ ところで、このようなモンタージュ撮影装置では、表示
装圃に表示された低倍率の試料像から撮影する領域を捜
し出した後、ｍｌｌススター１〜点沃めＸ方向、Ｙ方向
のｈＴ　？、３枚数を指定して撮影しているため、その
都度拡大倍率、試料移動量等を予め計算して操作しな（
ブればならない。そのため、操作が極めて繁雑となるば
かりでなく、希望する撮影視野を、最適な倍率で、希望
する枚数によって撮影することは困難であった。

本発明は以上の点に鑑みなされたもので、電子顕微鏡等
の自動℃ンタージコｍｌ影装置の操作性を向上させるこ
とを目的としている。

［問題点を解決するための手段１ 上記目的を達成するため本発明は、試料の電子顕微鏡像
を表示する表示手段と、該表示手段に表示された試料像
よりモンタージユｍｌ影ににって記録する全範囲を指定
する手段と、試料像を記録する手段と、該記録手段によ
って記録される視野を移動させるための手段と、前記全
視野をセンタージ］擾影づるための記録覆る回数を指定
ηる手段と、１）１１回記録した視野と次に記録する視
野の重４ヱり早を指定する手段と、前記記録する視野の
全範囲の人さき、記録７する回数１重なり量、記録手段
に」、って１回の記録で記録される視野の大きざを表ね
１データに基づ′いてＩ形影倍率を演専するための手段
を備えたことを特徴としている。

「実施例」 Ｌズ下発明の実施例を図面を用いて詳述づる。

第１図は本発明の一実施例の眠略描成図である。

第１図において、１は試Ｍｉｌｌ　’ｒ、２は試料ステ
ージ、３はステージ駆動回路である。該試２Ｅ＋　１に
７ｈ子線ＦＢが照射されると、試別１を透過した電子線
は結像系レンズ４によって拡大され、蛍光板上に拡大像
５として投影される。この拡大像５は、層像装置６によ
って電気信号に変換された後、ＣＩ〕Ｕ８の制御のもと
でフレームメモリー７に記録される。フレームメモリ７
に記録された試１’ｉｌ像に対応する電気信号は操作者
の指示に基づきＣＰ　Ｕ　１ｌｉｌ制御のらとで表示装
置９に送られ、表示装置９に試オ″：１像が表示される
。該表示装置９には１最影する視野範囲を矩形状の輝Ｋ
Ａｐ−ｃ−指定号−るための例えばライ１へベン９ａが
接続されている。１０はＵδ影する回数や、前回撤１影
した視野と次に撮影する視野の重なりＶ等を指定Ｍるキ
ーボード等の入力装置−（ある。１１は写貞踊ｌＳヨ用
の陰Ｍｉ線質て、１２は１１１１記陰極線管１１に表示
された試料像を記録号る写真Ｍｉ影用のカメラである。

１３は結像レンス゛系３の駆動電源であり、前記写真脹
影用カメラ１２及び駆動電源１３はＣＰ　ＬＪ　８によ
って制御される。

この様に構成された装置におい−Ｃ１先す、第２図に示
すように表示装置９に低倍率像を表示する。

次に、ライトベン９ａを用いて表示装置９上の２点を指
示すると、表示装置９−トにはこの２点を対角紳士の２
点とする矩形状の輝線が表示される。

この２つの指示点の位置を調整覆ることにより、前記矩
形状の輝ＦＡＰで囲まれた領域がモンタージュ撮影をＳ
望づる領域に一致するようにする。従つ−Ｃ１この操作
により、表示された試料像にリモンタージュ囮影を希望
する領域Ａが指定される。

この領域への指定の終了を指示すると、ＣＰＵ８はモン
タージュ撮影のための試料移動範囲を演算して記憶ゴる
。次に、入力装置１０よりフィルムサイズ、Ｘ方向とＹ
方向の撮影枚数、Ｘ及びＹ方向のフィルムの重なり損を
入力づ−る。ＣＰ　ＬＪ　８は、これらの入力データに
基づいて最適倍率、試料移動量を演ｔ）シ、この演算結
果に基づいて前記写真踊影用カメラ１２．駆動電源１３
及びステージ駆動回路３を制御しながらモンタージュ写
真の撮影を自動的に行なう。

ところで、顕彰条件を設定１−るための演算式は、−区
− 全撮影枚数をＮｐ、Ｘ方向の撮影枚数ＮＸ、Ｙ方向の蹟
影枚ｖｌＮｙ、フィルム最大格納枚故Ｎｍ、フィルムの
残数Ｎｔどすると、 Ｎ１）＝ＮＸ　×ＮＶ≦Ｎ１≦Ｎｍとなる。

ここで、Ｘ方向の撮影枚数Ｎｘ、Ｙ方向のｌ１ｆｌ影枚
数Ｎｙ、フィルム最大格納枚＠Ｎｍは入力装置１０より
人力されるデータであり、フィルムの残数Ｎ［は検出さ
れるデータである。

又、撮影倍率は、第３図に示すようにフィルム１枚のＸ
方向の長さをａ、Ｙ方向の長さをｂ、それぞれの重なり
ｂ３をθＸＩ）Ｖ、撮影領域ＡのＸ。

Ｙ方向のそれぞれの長さ１ｘ、Ｌｙとすると、Ｍｘ−（
Ｎｘ　　（ａ−Ｄｘ　＞１−Ｄｘ　）、／ｌ−ＸＭｙ　
　＝　　（Ｎｙ　　　（ｂ−Ｄｙ　　）　　＋　Ｄｙ　
　）　　、／ｌ　　ｙとなり、このＭｘとＭＹによって
最適倍率が設定される。この時、若しＭＹとＭＹとが等
しくイｆい場合には、ＭＹとＭＶを比較して大きい倍率
の方が設定されるようになっている。

従って、この様に構成された装置では、先ず、表示装置
９に低倍率像を表示し、該試料像のうち＝６− 撮影を希望Ｊる領域Ａの指定すると、ＣＰＵ８は入力さ
れたフィルムのサイズ、撤影枚数、フィルムの重なり量
等により最適倍率と試料移動量を演算して、試料移動の
制御、カメラ制御等を行なって自動モンタージュ撮影を
自動的に行なうことかできる。

尚、上述した実施例においては、モンタージユｍｌ影ず
べき視野を指示するため、表示画面上に矩形状の輝線を
表示したが、これに代えて撮影すべき視野以外をマスキ
ングするようにしても良いし、像表示の輝度に差をつけ
ることにより、該当の領域を指示するようにしても良い
。

又、矩形状の領域を指定するため、対角線上の２点を指
示するようにしたが、矩形の中心位置と縦及び横幅を指
示づ−るようにしても良い。

［発明の効果１ 以−ト詳述したように本発明によれば、表示された試料
像上で希望する撮影領域を指定し、入力装置より必要な
データを入力するだけで最適倍率が設定されて試料移動
が行なわれ、モンタージュ写真の撮影が自動的に行なわ
れるため、自動モンタージュ写真の撮影のための操作が
簡単になり、又、希望する１最影視野を、最適倍率で、
希望する枚数で撮影でることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の概略構成図、第２図及び第３図は本発
明を説明するための図である。 １：試料、２：試料ステージ、３：ステージ駆動回路、
４：結像系レンズ、５：拡大像、６：層像装置、７：フ
レームメモリー、８：ＣＰＵ、９：表示装置、１０：入
力装置、１１：写真撮影用の陰極線管、１２：写真撮影
用のカメラ、１３：駆動電源。 特許出願人　　　日本電子株式会社 第１図 ’　　ｏ　　−−−−／Ｖ）＜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料の電子顕微鏡像を表示する表示手段と、該表示手段
   に表示された試料像よりモンタージュ撮影によって記録
   する全範囲を指定する手段と、試料像を記録する手段と
   、該記録手段によつて記録される視野を移動させるため
   の手段と、前記全視野をモンタージユ撮影するための記
   録する回数を指定する手段と、前回記録した視野と次に
   記録する視野の重なり量を指定する手段と、前記記録す
   る視野の全範囲の大きさ、記録する回数、重なり量、記
   録手段によって１回の記録で記録される視野の大きさを
   表わすデータに基づいて撮影倍率を演算するための手段
   を備えたことを特徴とする電子顕微鏡等の自動モンター
   ジュ撮影装置。