JPH0197074A - 赤外線撮像装置 - Google Patents
赤外線撮像装置Info
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- JPH0197074A JPH0197074A JP62255156A JP25515687A JPH0197074A JP H0197074 A JPH0197074 A JP H0197074A JP 62255156 A JP62255156 A JP 62255156A JP 25515687 A JP25515687 A JP 25515687A JP H0197074 A JPH0197074 A JP H0197074A
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0045—Photosensitive materials with organic non-macromolecular light-sensitive compounds not otherwise provided for, e.g. dissolution inhibitors
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
撮像装置における。装置内部からの赤外線輻射による信
号レベルの不均一の補正に関するものである。
一部を示した構成図である。図において。
うに冷却するための冷却器である。(4)は赤外線検出
器(2)の出力信号中のビデオ信号分のみを抽出するサ
ンプルホールド回路であシ、サンプルホールド回路(4
)の出力はビデオ信号として出力される。
射経路を示した図であシ、 (2a)は赤外線を検出す
る固体撮像素子、 (2b)は冷却器(3)によって固
体撮像素子(2a)を液体窒素温度付近まで冷却するた
めに断熱効果を得るだめの真空デユワ、 (2c)は赤
外の入射方向を制限するためのコールドシールド、 (
2a)は赤外を透過する真空デニワの窓である。
示すように赤外線レンズ(1)を通して入射する赤外光
が固体撮像素子(2a)の受光面の端においてクランな
いような寸法に設定されている。
素に入射する赤外線の経路を示した図であるが、固体撮
像素子(2a)の受光面寸法が大きくなると図中の破線
で示すような経路で装置内壁(5)からの赤外線の輻射
を受ける。
外線の経路範囲を示した図でtjシ1図中斜線を施した
面S1は固体撮像素子(2a)から距離Rの面において
、固体撮像素子(2a)中の微少面積Sdの1画素に入
射する装置内壁<51からの赤外線が通過する領域の面
積であ’)e Soは赤外線レンズ(1)を通して被
写体から入射する赤外線が通過する領域の面積である。
窒素温度付近まで冷却されるため、その赤外線放射量は
非常に小さく、装置内壁(5)の赤外線放射量に比べて
無視できる。従って。
固体撮像素子(2a)の受光面と垂直な方向とのなす角
をθとすると、上記画素の出力信号のうち装置内部から
輻射される赤外線による信号外v1は0)式となる。
2a)中の各画素の分光感度であり、 N(λ、T)は
温度Tにおける装置内壁(5)の分光放射輝度である。
置によって異なシ、中央の画素が1番大きく端の画素は
ど小さい。
表わした図である。第6図(a)は固体撮像素子の受光
面を表わし、同図(b)は同図(a)において斜線を施
した中央の1ラインの各画素の出力信号のうち、装置内
部からの赤外flA@射による信号外v1を表わした図
であり、中央の画素の信号レベルは端の画素の信号レベ
ルよりも大きい。同図(C)は赤外線レンズ(1)を通
して被写体から入射する赤外線による信号外VQである
。同図(d)は、実際の固体撮像素子(2a)の中央1
ラインの出力信号であJ’svoとvlが加算された信
号が出力される。
ら放射される赤外線による信号の他に。
るため、均一温度の被写体を撮像しても画素の位置によ
って信号レベルが異なるうえ、装置内部の温度変化によ
って信号レベルも変化するという問題点があった。
たもので、装置内部からの赤外線輻射の影響を自動的に
補正して、均一で、装置内部の温度に影響されないビデ
オ信号を得ることを目的とするものである。
温度センサと、その検出温度によって固体撮像素子の各
画素の信号中における装置内壁からの赤外線輻射による
信号外を求める手段と、固体撮像素子の出力信号から前
記装置内壁からの赤外線輻射による信号外を減算する減
算器を設けたものである。
壁からの赤外線輻射による信号外を求め。
kよシ装置内壁からの赤外線輻射の影響を除去する。
す構成図であり、+IIは赤外線レンズ、(2)は赤外
線検出器、(3)は赤外線検出器を冷却する冷却器、(
4)は出力信号中のビデオ信号外のみを抽出するサンプ
ルホールド回路であシ、上記(t1〜(4)は従来装置
と同じである。(6)は装置内壁(5)の温度を検出す
るための温度センサー、(7)は温度センサー(6)の
信号をディジタル信号に変換して出力するAカ変換器、
(8)は温度を変数として前記(1)式におけるfRc
λ)・N(λ、T) dλ の値をあらかじめ記憶して
おく第1のメモリーである。(9)はアドレスカウンタ
ーで、固体撮像素子(2a)中の各画素のアドレスを決
定する。Qlは各アドレスに対応した前記(1)Sd−
co!4θ 式中におけるf8.−1−dsの値をあらかじめ記憶し
ておく第2のメモリーである。αυは第1のメモリー(
8)と第2のメモリー(1(Iの値を乗算する乗算器で
あり、0zは乗算器の出力信号をアナログ信号に変換す
るD/A変換器である。αjはサンプルホールド回路(
4)の出力信号からい変換器α2の出力信号を減算する
減算器である。
度センサー(6)で測定され、 A/’[)変換器(7
)においてディジタル信号に変換された温度測定値を第
1のメモリー(8)のアドレスに加えることにより第1
のメモ+) −(8)の出力として前記(!)式中にお
けるfRCλ)・N(λ、T) dλの値が得られる。
のアドレスに加えることにより各画素に対応する従って
9乗算器αυにおいて第1のメモIJ −+81の出力
と、第2のメモリー〇〇の出力とを乗算することにより
各画素に対応した前記(1)式のvl 、つまり装置内
部から輻射される赤外線による信号分が得られる。これ
をD/A変換器αりによりアナログ信号に変換すること
により、第6図(1))と同じ信号が得られる。従って
、サンプルホールド回路(4)の出力信号からD/A変
換器(13の出力信号を減算器αjにより減算すること
によ抄、装置内壁(5)からの赤外線輻射による信号分
を除去することができる。
して装置内壁からの赤外線輻射による各画素の信号分を
求める手段を設け、その信号を固体撮像素子の出力信号
から減算するように構成したので、装置内壁の赤外線輻
射による影響を除去することができる。
す構成図、第2図は従来の赤外線撮像装置の構成図、第
3図は赤外線検出器の構成図、′第4図は固体撮像素子
に入射する赤外線の経路を示す図、第5図は固体撮像素
子の1画素に入射する赤外線の経路範囲を示した図、第
6図は各入射成分による固体撮像素子の出力信号の例を
示す図である。 図において、 (2a)は固体撮像素子、 (2c
)はコールドシールド、(3)は冷却器、(5)は装置
内壁、(6)は温度センサー、(8)は第1のメモリー
、(91はアドレスカウンター、alは第2のメモリー
、aυは乗算器、 (13は減算器である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 冷却器により低温に冷却されて赤外線を検出する固体撮
像素子と、上記固体撮像素子に入射する赤外光の経路を
制限するコールドシールドと、装置内壁の温度を検出す
る温度センサーと、装置内壁の温度を変数として上記固
体撮像素子の感度と装置内壁の放射輝度の乗算値を記憶
した第1のメモリーと、上記固体撮像素子の各画素のア
ドレスを決めるアドレスカウンターと、上記各画素が装
置内壁から受ける赤外線量の相対値を上記各画素のアド
レスに対応して記憶した第2のメモリーと、上記第1の
メモリーと第2のメモリーの出力値を乗算する乗算器と
、上記乗算器により得られる乗算値を固体撮像素子の出
力値から減算する減算器とを備えたことを特徴とする赤
外線撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62255156A JPH0197074A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 赤外線撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62255156A JPH0197074A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 赤外線撮像装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0197074A true JPH0197074A (ja) | 1989-04-14 |
Family
ID=17274845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62255156A Pending JPH0197074A (ja) | 1987-10-09 | 1987-10-09 | 赤外線撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0197074A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5589876A (en) * | 1993-09-28 | 1996-12-31 | Nec Corporation | Infrared imaging device readily removing optical system contributory component |
JPH0968604A (ja) * | 1995-06-06 | 1997-03-11 | Hughes Missile Syst Co | 固体カタディオプトリックレンズ |
-
1987
- 1987-10-09 JP JP62255156A patent/JPH0197074A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5589876A (en) * | 1993-09-28 | 1996-12-31 | Nec Corporation | Infrared imaging device readily removing optical system contributory component |
JPH0968604A (ja) * | 1995-06-06 | 1997-03-11 | Hughes Missile Syst Co | 固体カタディオプトリックレンズ |
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