JPH0193431A - ガラス基板の熱処理方法 - Google Patents
ガラス基板の熱処理方法Info
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- JPH0193431A JPH0193431A JP24894987A JP24894987A JPH0193431A JP H0193431 A JPH0193431 A JP H0193431A JP 24894987 A JP24894987 A JP 24894987A JP 24894987 A JP24894987 A JP 24894987A JP H0193431 A JPH0193431 A JP H0193431A
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- Japan
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- heat
- glass substrate
- metallic plate
- jig
- heat treatment
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- Pending
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B25/00—Annealing glass products
- C03B25/02—Annealing glass products in a discontinuous way
- C03B25/025—Glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B29/00—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins
- C03B29/02—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins in a discontinuous way
- C03B29/025—Glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B29/00—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins
- C03B29/04—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins in a continuous way
- C03B29/06—Reheating glass products for softening or fusing their surfaces; Fire-polishing; Fusing of margins in a continuous way with horizontal displacement of the products
- C03B29/08—Glass sheets
- C03B29/10—Glass sheets being in a vertical position
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/20—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames
- C03B35/202—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames by supporting frames
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、主に液晶及び薄膜EL等の平面デイスプレィ
の製造に関するもので、特に、そのガラス基板のアニー
ル工程等炉内において基板を熱処理する工程に使用され
るものである。
の製造に関するもので、特に、そのガラス基板のアニー
ル工程等炉内において基板を熱処理する工程に使用され
るものである。
〈従来の技術〉
従来の技術は、第4図に示す様に、治具1等にガラス基
板2,2.・・・を一定間隔に収納し、炉3内にこれを
設置し、炉外壁に設けられたヒーター4で加熱するもの
である。
板2,2.・・・を一定間隔に収納し、炉3内にこれを
設置し、炉外壁に設けられたヒーター4で加熱するもの
である。
〈発明が解決しようとする問題点〉
第4図に示した従来の方法では、炉3の外壁に設けられ
たヒーター4からの輻射熱で基板2,2.・・・の温度
を上げるために、炉壁に近い側の基板2(A)と、基板
の列の中心部にある基板2の)とでは、第5図に示す様
に囚の方が先に温度が上昇し早く平衡温度に到達する。
たヒーター4からの輻射熱で基板2,2.・・・の温度
を上げるために、炉壁に近い側の基板2(A)と、基板
の列の中心部にある基板2の)とでは、第5図に示す様
に囚の方が先に温度が上昇し早く平衡温度に到達する。
したがって、同一処理ロフト内で熱処理の程度にバラツ
キが生じ、製品の品質。
キが生じ、製品の品質。
特性に悪影響を及ぼすことになる。
しかし、前述の熱処理の均一度を良くしようとすれば、
1回の処理枚数を減らす、昇温速度を遅くする。平衡温
度での保持時間をできるだけ長く、とり相対的にバラツ
キを小さくする、等の対策が考えられるが、これらは全
て、生産効率を落とすことになり、現実には、どこかで
妥協しなければならない状況にある。
1回の処理枚数を減らす、昇温速度を遅くする。平衡温
度での保持時間をできるだけ長く、とり相対的にバラツ
キを小さくする、等の対策が考えられるが、これらは全
て、生産効率を落とすことになり、現実には、どこかで
妥協しなければならない状況にある。
く問題点を解決するための手段〉
本発明では、前述問題点に鑑み、熱処理炉や治具等の改
造をせずに、これら問題点を解決しようとするもので、
ガラス基板を一定間隔に収納する治具の中央部に、ガラ
ス基板の代9に金属板を入れるものである。
造をせずに、これら問題点を解決しようとするもので、
ガラス基板を一定間隔に収納する治具の中央部に、ガラ
ス基板の代9に金属板を入れるものである。
く作 用〉
上記のように、アニール治具の中央部に金属板を入れ、
この金属板からの再輻射を利用することができ、温度上
昇の遅れる中心部のガラス基板の温度上昇が速くなり、
炉壁に近い側のガラス基板と中央部のガラス基板との温
度変化の差を小さくできる。
この金属板からの再輻射を利用することができ、温度上
昇の遅れる中心部のガラス基板の温度上昇が速くなり、
炉壁に近い側のガラス基板と中央部のガラス基板との温
度変化の差を小さくできる。
〈実施例〉
以下、第1図乃至第3図に従って本発明の具体的な実施
例を説明する0 まず、第2図に示す様な熱処理するガラス基板2と同型
状の金属板5を作成し、第1図に示す様に、熱処理治具
1の中央部に、熱処理するガラス基板の代りに挿入する
。ガラス基板2と同形状であれば、治具1の基板支持溝
をそのまま利用できる為、治具1の改造を全く必要とし
ない。また、当該金属板5を熱処理治具1に固定してし
まっても良い。
例を説明する0 まず、第2図に示す様な熱処理するガラス基板2と同型
状の金属板5を作成し、第1図に示す様に、熱処理治具
1の中央部に、熱処理するガラス基板の代りに挿入する
。ガラス基板2と同形状であれば、治具1の基板支持溝
をそのまま利用できる為、治具1の改造を全く必要とし
ない。また、当該金属板5を熱処理治具1に固定してし
まっても良い。
このように、当該金属板5・を挿入することで、これか
らの再輻射を利用して、温度上昇の遅れる中心部のガラ
ス基板の温度上昇を促進させ、炉壁に近い側のガラス基
板と中央部のガラス基板との温度変化の差をより小さく
することができ、結果として、同一処理ロフト内での熱
処理の加わり方のバラツキが小さくなる。
らの再輻射を利用して、温度上昇の遅れる中心部のガラ
ス基板の温度上昇を促進させ、炉壁に近い側のガラス基
板と中央部のガラス基板との温度変化の差をより小さく
することができ、結果として、同一処理ロフト内での熱
処理の加わり方のバラツキが小さくなる。
また、第3図の様に、支障のない範囲で、当該金属板5
をガラス基板2より外へ張り出す形にし、周囲の熱を中
心部を導くようにするとよシ効来が高くなる。
をガラス基板2より外へ張り出す形にし、周囲の熱を中
心部を導くようにするとよシ効来が高くなる。
〈発明の効果〉
以上のように本発明によれば、
1、生産効率を落とさずに、同一処理ロフト内での熱処
理のバラツキを小さくすることができる02 基本的に
治具等の構造を変えなくても実現できるため、新らたな
投資が少なくて済む。
理のバラツキを小さくすることができる02 基本的に
治具等の構造を変えなくても実現できるため、新らたな
投資が少なくて済む。
等の作用効果を有し、液晶及び薄膜EL等の平面デイス
プレィの製造において、実用価値の高い有用なガラス基
板の熱処理方法が提供できる。
プレィの製造において、実用価値の高い有用なガラス基
板の熱処理方法が提供できる。
第1図は本発明の一実施例を示す熱処理時の炉内断面図
、第2図は第1図で使用する金属板の斜視図、第3図は
本発明の他の実施例を示す治具の斜視図、第4図は従来
例を示す熱処理時の炉内断面図、第5図は第1図のガラ
ス基板2(ト)及び2の)の温度変化を示すグラフであ
る。 1・・・治具、2・・・ガラス基板、3・・・炉、4・
・・ヒーター、5・・・金属板。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)第 1rm 第2図 第33
、第2図は第1図で使用する金属板の斜視図、第3図は
本発明の他の実施例を示す治具の斜視図、第4図は従来
例を示す熱処理時の炉内断面図、第5図は第1図のガラ
ス基板2(ト)及び2の)の温度変化を示すグラフであ
る。 1・・・治具、2・・・ガラス基板、3・・・炉、4・
・・ヒーター、5・・・金属板。 代理人 弁理士 杉 山 毅 至(他1名)第 1rm 第2図 第33
Claims (1)
- 1、複数枚のガラス基板を一定間隔をあけて平行に保持
し、炉内にて同時に熱処理する方法において、前記ガラ
ス基板の並びの中央に温度均一化のための金属板を挿入
したことを特徴とするガラス基板の熱処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24894987A JPH0193431A (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ガラス基板の熱処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24894987A JPH0193431A (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ガラス基板の熱処理方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0193431A true JPH0193431A (ja) | 1989-04-12 |
Family
ID=17185811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24894987A Pending JPH0193431A (ja) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | ガラス基板の熱処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0193431A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5299788A (en) * | 1990-12-13 | 1994-04-05 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fluid-filled cylindrical elastic mount having orifice passages and voids formed in elastic body |
-
1987
- 1987-10-01 JP JP24894987A patent/JPH0193431A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5299788A (en) * | 1990-12-13 | 1994-04-05 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Fluid-filled cylindrical elastic mount having orifice passages and voids formed in elastic body |
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