JPH01924A - liquid crystal element - Google Patents

liquid crystal element

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JPH01924A
JPH01924A JP62-156934A JP15693487A JPH01924A JP H01924 A JPH01924 A JP H01924A JP 15693487 A JP15693487 A JP 15693487A JP H01924 A JPH01924 A JP H01924A
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JP
Japan
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liquid crystal
thin film
film transistor
dummy
crystal element
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JP62-156934A
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旬 中野渡
岡部 和弥
松田 英行
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アルプス電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、強誘電性液晶を用い、かつスイッチング素
子として薄膜トランジスタを用いた液晶素子に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Field of Industrial Application" The present invention relates to a liquid crystal element using ferroelectric liquid crystal and a thin film transistor as a switching element.

「従来の技術」 カイラルスメスチックC柑を呈する強誘電性液晶を用い
た液晶素子は、この強誘電性液晶が双安定状態を有し、
表示のメモリ性を持ち、かつ高速の応答性を備えている
ことから、メモリ形デイスプレィ、高速シャッタなどに
応用されつつあり、特にマトリックス画素構造を有し大
面積の表示を必要とする大容量デイスプレィには好適に
用いられろものとされている。そして、このような大面
積の表示を必要とする液晶素子には、通常各画素毎にス
イッチング素子として薄膜トランジスタが形成されてい
る。
"Prior Art" A liquid crystal element using a ferroelectric liquid crystal exhibiting a chiral smectic C-type is characterized in that the ferroelectric liquid crystal has a bistable state.
Because it has display memory properties and high-speed response, it is being applied to memory-type displays, high-speed shutters, etc., especially large-capacity displays that have a matrix pixel structure and require a large display area. It is considered to be suitable for use in In a liquid crystal element that requires such a large display area, a thin film transistor is usually formed as a switching element for each pixel.

ところで、このような液晶素子にあっては、基板間の間
隔(以下セルギャップと呼称する)を均一にするのはも
とより、強誘電性液晶の双安定駆動特性の確保などのた
め、セルギャップを2μm程度の狭隙とする必要がある
。そして、2μm程度の狭隙を形成するための手段とし
て、例えば基板間に直径2μm程度のプラスチックビー
ズ、ガラスファイバなどのスペーサを散布し、これによ
り所望するセルギャップを得ることが考えられる。
By the way, in such liquid crystal elements, in addition to making the spacing between the substrates (hereinafter referred to as cell gap) uniform, the cell gap is It is necessary to have a narrow gap of about 2 μm. As a means for forming a narrow gap of about 2 μm, it is conceivable to scatter spacers such as plastic beads or glass fibers with a diameter of about 2 μm between the substrates, thereby obtaining a desired cell gap.

[発明が解決しようとする問題点」 しかしながら上記の液晶素子にあっては、プラスチック
ビーズなどのスペーサにより基板間に所定厚の狭隙を形
成した場合、スペーサ自身の径の不均一や散布による分
布の不均一により、ギャップむらが生じて表示特性に悪
影響を及ぼすという恐れがあり、さらにはスペーサが薄
膜トランジスタ上に重なってこの薄膜トランジスタを破
壊せしめるという恐れがある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned liquid crystal device, when a narrow gap of a predetermined thickness is formed between the substrates using spacers such as plastic beads, the diameter of the spacer itself may be uneven or the distribution due to scattering may occur. Due to the non-uniformity of the spacer, there is a possibility that gap unevenness may occur, which may adversely affect the display characteristics.Furthermore, there is a possibility that the spacer overlaps the thin film transistor and destroys the thin film transistor.

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、強誘電性
液晶の双安定駆動特性を確保し得るセルギャップを有し
、良好な表示特性を備えた液晶素子を提供することを目
的とするものである。
This invention was made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal element having a cell gap capable of ensuring bistable driving characteristics of a ferroelectric liquid crystal and having good display characteristics. It is.

「問題点を解決するための手段」 この発明では、薄膜トランジスタを形成した基板上に該
薄膜トランジスタに対応するダミーを形成し、該ダミー
を基板間のスペーサとし、これによりセルギャップを所
定厚とすることを上記問題点の解決手段とした。
"Means for Solving the Problem" In the present invention, a dummy corresponding to the thin film transistor is formed on a substrate on which the thin film transistor is formed, and the dummy is used as a spacer between the substrates, thereby making the cell gap a predetermined thickness. was adopted as a solution to the above problem.

したがって本発明の液晶素子にあっては、ダミーの厚さ
が薄膜トランジスタに対応し、これと同等に精度良く形
成されることから、液晶素子の全域に亙ってセルギャッ
プが均一になり、またダミーの厚さを所定厚とすること
により、セルギャップが例えば2μmといった強誘電性
液晶の双安定駆動特性を確保し得る狭隙となる。
Therefore, in the liquid crystal element of the present invention, the thickness of the dummy corresponds to that of a thin film transistor and is formed with the same precision, so that the cell gap becomes uniform over the entire area of the liquid crystal element, and the thickness of the dummy corresponds to that of a thin film transistor. By setting the thickness to a predetermined thickness, the cell gap becomes a narrow gap of, for example, 2 μm, which can ensure the bistable driving characteristics of the ferroelectric liquid crystal.

以下、この発明の液晶素子の一興体例を図面を参照して
説明する。なお、ここで説明する液晶素子は、画素電極
と薄膜トランジスタとの1組で構成された画素構成要素
がマトリックス状に多数形成されたもので、大容量のデ
イスプレィなどに適用されるものである。
Hereinafter, an example of a liquid crystal element according to the present invention will be explained with reference to the drawings. Note that the liquid crystal element described here has a large number of pixel components each consisting of a pixel electrode and a thin film transistor formed in a matrix, and is applied to large-capacity displays and the like.

第1図において符号1は液晶素子であり、この液晶素子
1は一対のガラス製基板2.3と、これらガラス製基板
2.3にそれぞれ形成された透明電極4および画素電極
5.5・・・と、これら画素電極5.5・・・にそれぞ
れ対応して形成された薄膜トランジスタ6.6・・・と
、さらに薄膜トランジスタ6.6・・・に対応して形成
されたダミー7.7・・・と、ガラス製基板2.3間の
空隙に形成された液晶部8とから概略構成されたもので
ある。
In FIG. 1, reference numeral 1 indicates a liquid crystal element, and this liquid crystal element 1 includes a pair of glass substrates 2.3, a transparent electrode 4 and a pixel electrode 5.5 formed on these glass substrates 2.3, respectively. . . . , thin film transistors 6. 6 . . . formed corresponding to these pixel electrodes 5. 5 . . . , and a liquid crystal section 8 formed in the gap between the glass substrates 2 and 3.

この液晶素子1において、ガラス製基板3内面には画素
電極5.5・・・がマトリックス状に配置されており、
これら画素電極5.5・・・の側部にはそれぞれスイッ
チング素子として薄膜トランジスタ6.6・・・が配置
されている。薄膜トランジスタ6は、周知の構成からな
るものであって、第2図に示すようにガラス製基板3上
に形成されたゲート電極9と、このゲート電極9を覆っ
て形成された第1の絶縁膜lOと、この第1の絶縁膜i
o上に形成された半導体膜11と、この半導体膜11の
上方に形成されたソースM%I2およびドレイン電極1
3と、これらソース電極12およびドレイン電極13を
覆って形成された第2の絶縁膜14と、この第2の絶縁
膜14上でゲート電極9の直上の位置に形成されたライ
トシールド15などから概略構成されたものである。
In this liquid crystal element 1, pixel electrodes 5.5 are arranged in a matrix on the inner surface of the glass substrate 3.
Thin film transistors 6, 6, . . . are arranged as switching elements on the sides of these pixel electrodes 5, 5, . The thin film transistor 6 has a well-known configuration, and includes a gate electrode 9 formed on a glass substrate 3 and a first insulating film formed to cover the gate electrode 9, as shown in FIG. lO and this first insulating film i
The semiconductor film 11 formed on the semiconductor film 11, the source M%I2 and the drain electrode 1 formed above the semiconductor film 11
3, a second insulating film 14 formed to cover these source electrode 12 and drain electrode 13, and a light shield 15 formed directly above gate electrode 9 on this second insulating film 14. It is roughly structured.

ダミー7.7・・・は、上記薄膜トランジスタ6;6・
・・の近傍に配置されたらのであって、ガラス製基板2
.3間のスペーサとして設けられたものである。これら
ダミー7.7・・・は、それぞれ第2図に示すように画
素電極5に対応する偽画素電極16と、この偽画素電極
I6の上に形成された偽薄膜トランジスタ■7とから構
成されたものである。
Dummy 7.7... is the thin film transistor 6;
..., and the glass substrate 2
.. It is provided as a spacer between the three. These dummies 7, 7... are each composed of a false pixel electrode 16 corresponding to the pixel electrode 5 and a false thin film transistor 7 formed on this false pixel electrode I6, as shown in FIG. It is something.

偽薄膜トランジスタ17は、上記薄膜トランジスタ6と
同様の構成を有し、該薄膜トランジスタ6の各要素にそ
れぞれ対応する要素からなるものであって、ゲート電極
9に対応する偽ゲート電極18、第1の絶縁膜10に対
応する偽絶縁膜19、以下同様に偽半導体膜20、偽ソ
ース−ドレイン電極21、偽絶縁膜22、偽ライトシー
ルド23が順次積層されてなるものである。
The pseudo thin film transistor 17 has the same configuration as the thin film transistor 6 described above, and includes elements corresponding to the respective elements of the thin film transistor 6, including a pseudo gate electrode 18 corresponding to the gate electrode 9, a first insulating film, A pseudo insulating film 19 corresponding to No. 10, a pseudo semiconductor film 20, a pseudo source-drain electrode 21, a pseudo insulating film 22, and a pseudo write shield 23 are similarly laminated in this order.

また、これらダミー7.7・・・は、画素電極5.5・
・・あるいは薄膜トランジスタ6.6・・・と短絡する
ことがないよう、いずれもガラス製基板3上で島状に孤
立して形成配置されたものである。さらに、ダミー7の
各要素は、対応する画素電極5あるいは薄膜トランジス
タ6の各要素とそれぞれ同一の厚さを有しており、これ
によってダミー7は、薄膜トランジスタ6に比して偽画
素電極16の厚さに相当する分だけ厚いものとなってい
る。そして、このような構成のらとにガラス製基板2.
3間(正確には透明電極4とガラス製基板3との間)に
は、ダミー7.7・・・がスペーサとして配置され、こ
れによりセルギャップがダミー7.7・・・の厚さに相
当する一定の値となる。
In addition, these dummies 7.7... are the pixel electrodes 5.5.
. . . or the thin film transistors 6, 6, . Further, each element of the dummy 7 has the same thickness as the corresponding pixel electrode 5 or each element of the thin film transistor 6, so that the dummy 7 has the same thickness as the false pixel electrode 16 compared to the thin film transistor 6. It is thicker to the extent that it is thicker. In addition to such a configuration, a glass substrate 2.
3 (more precisely, between the transparent electrode 4 and the glass substrate 3), a dummy 7.7... is placed as a spacer, so that the cell gap becomes the thickness of the dummy 7.7... A corresponding constant value is obtained.

また、この液晶素子1においてガラス製基板2.3間の
空隙には、カイラルスメクチックC相を呈する強誘電性
液晶が注入されて液晶部8が形成されている。ここで、
強誘電性液晶としては、MBR−8、MORA−8ある
いはC9−1014(商品名 ;チッソ(株)製)など
が用いられる。
Further, in this liquid crystal element 1, a ferroelectric liquid crystal exhibiting a chiral smectic C phase is injected into the gap between the glass substrates 2 and 3 to form a liquid crystal portion 8. here,
As the ferroelectric liquid crystal, MBR-8, MORA-8, C9-1014 (trade name; manufactured by Chisso Corporation), etc. are used.

このような構成の液晶素子lを作製するには、まず常法
によってガラス製基板2の内面にITO等からなる透明
電極4を、またガラス製基板3の内面に同じ<ITO等
からなる画素電極5.5・・・および偽画素電極I6.
16・・・を形成する。この場合に偽画素電極16.1
6・・・は、画素電極4.4・・・に対して適宜な間隔
を置いて形成配置される。
In order to manufacture a liquid crystal element l having such a configuration, first, by a conventional method, a transparent electrode 4 made of ITO or the like is placed on the inner surface of the glass substrate 2, and a pixel electrode made of the same ITO or the like is placed on the inner surface of the glass substrate 3. 5.5... and false pixel electrode I6.
16... is formed. In this case, the false pixel electrode 16.1
6... are formed and arranged at appropriate intervals with respect to the pixel electrodes 4, 4....

次に、ガラス製基板3の内面に、画素電極5.5・・・
にそれぞれ対応せしめて薄膜トランジスタ6.6・・・
を形成する。また、これと同時に薄膜トランジスタ6.
6・・・に対応せしめて上記偽画素電極!6.16・・
・上に、それぞれ偽薄膜トランジスタ17.17・・・
を形成してダミー7.7・・・とする。この場合に薄膜
トランジスタ6.6・・・の作製は、周知の技術により
各要素を順次積層ケることによってなされ、また偽薄膜
トランジスタ17.17・・・もこれと同様に各要素を
順次積層することによってなされる。そして、偽薄膜ト
ランジスタ17.17・・・を構成する各要素は、厚さ
あるいは形状等がそれぞれ精度良く形成され、したがっ
てこれら各要素を積層してなるダミー7.7・・・は全
で均一な厚さを有するものとなる。また、これらダミー
7.7・・・において、例えば偽絶縁膜19の厚さは3
30nm程度、偽半導体膜20は250nm程度、偽ソ
ース−ドレイン電極21は560nm程度、偽絶縁膜2
2は550no+程度などとされ、これによりダミ−7
全体としては2μm程度の所定の厚さとされる。
Next, pixel electrodes 5.5...
Thin film transistors corresponding to 6.6...
form. At the same time, thin film transistor 6.
The above fake pixel electrode corresponds to 6...! 6.16...
・On top, pseudo thin film transistors 17.17...
is formed to form a dummy 7.7... In this case, the thin film transistors 6.6... are fabricated by sequentially stacking each element using a well-known technique, and the pseudo thin film transistors 17, 17... are similarly fabricated by sequentially stacking each element. done by. Each element constituting the pseudo thin film transistor 17.17... is formed with high accuracy in terms of thickness or shape, and therefore the dummy 7.7... formed by stacking these elements is uniform throughout. It becomes thick. Moreover, in these dummies 7, 7..., for example, the thickness of the false insulating film 19 is 3
The thickness of the pseudo semiconductor film 20 is about 250 nm, the thickness of the pseudo source-drain electrode 21 is about 560 nm, and the pseudo insulating film 2 is about 30 nm.
2 is considered to be around 550no+, which makes dummy-7
The overall thickness is about 2 μm.

次いで、ガラス製基板2の透明電極4を形成した側をガ
ラス製基板3に対向させ、上記ダミー7.7・・・をス
ペーサとし、これらダミー7.7・・・の上にL記ガラ
ス製基板2を載置し、さらにエポキシ系接着剤などから
なる図示しない封止材により基板外周部を封止固定して
両基板を貼着し、セルとする。この場合、セルギャップ
(正確には透明電極3、画素電極4.4・・・の厚さを
差し引いたものとなる)はスペーサ、すなわちダミー7
.7・・・の厚さによって定まる一定の値を取る。
Next, the side of the glass substrate 2 on which the transparent electrode 4 is formed is opposed to the glass substrate 3, the dummies 7.7... are used as spacers, and the glass substrate L is placed on top of the dummies 7.7... The substrate 2 is mounted, and the outer periphery of the substrate is sealed and fixed using a sealing material (not shown) made of epoxy adhesive or the like, and both substrates are pasted together to form a cell. In this case, the cell gap (more precisely, the thickness of the transparent electrode 3, pixel electrode 4, 4, etc.) is the spacer, that is, the dummy 7.
.. 7. Takes a constant value determined by the thickness of...

その後、上記ガラス製基板2.3からなるセル内に強誘
電性液晶を注入して液晶部8を形成し、さらにこのセル
に図示しない偏光板等を設けて液晶素子lとする。
Thereafter, a ferroelectric liquid crystal is injected into the cell made of the glass substrate 2.3 to form a liquid crystal section 8, and a polarizing plate (not shown) or the like is further provided in this cell to form a liquid crystal element 1.

このような液晶素子Iにあっては、各薄膜トランジスタ
6.6・・に対応して形成配置された複数のダミー7.
7・・・をスペーサとしているので、各ダミー7.7・
・・の厚さがそれぞれ精度良く形成されていることから
液晶素子lの全域に亙ってセルギャップが均一になる。
In such a liquid crystal element I, a plurality of dummies 7.6 are formed and arranged corresponding to each thin film transistor 6.6.
7... is used as a spacer, so each dummy 7.7...
. . are formed with high precision, so that the cell gap becomes uniform over the entire area of the liquid crystal element l.

また、ダミー7の厚さを所定厚とすることにより、セル
ギャップを例えば2μmといった強誘電性液晶の双安定
駆動特性を確保し得る狭隙とすることができる。さらに
、ダミー7.7・・・が薄膜トランジスタ6.6・・・
よりやや厚く(上記例では偽画素電極16に相当する分
だけ厚く )なっているため、薄膜トランジスタ6.6
・・・がガラス製基板2に押圧されて破壊されるという
不都合が防止される。
Further, by setting the thickness of the dummy 7 to a predetermined thickness, the cell gap can be set to a narrow gap of, for example, 2 μm, which can ensure the bistable driving characteristics of the ferroelectric liquid crystal. Furthermore, the dummy 7.7... is the thin film transistor 6.6...
Because it is slightly thicker (in the above example, it is thicker by the amount corresponding to the false pixel electrode 16), the thin film transistor 6.6
The inconvenience of being pressed against the glass substrate 2 and being destroyed is prevented.

なお、上記例おいては、ダミー7.7・・・をそれぞれ
薄膜トランジスタ6.6・・・の近傍に形成配置したが
、これに限定されることなく、ダミー7.7・・・を任
意の位置に、さらに任意の個数形成配置してもよい。ま
た、上記例では、ダミー7を偽画素電極16と偽薄膜ト
ランジスタ17とから構成したが、偽薄膜トランジスタ
I7のみから構成してもよく、その場合に構成要素中の
−あるいは複数の要素を二重に積層するなどにより、ダ
ミ−7全体として薄膜トランジスタ6より厚く形成する
In the above example, the dummies 7.7... were formed and arranged near the thin film transistors 6.6..., but the dummy 7.7... Further, an arbitrary number may be formed and arranged at the position. Further, in the above example, the dummy 7 is composed of the false pixel electrode 16 and the false thin film transistor 17, but it may be composed only of the false thin film transistor I7, and in that case, one or more of the constituent elements may be doubled. The dummy 7 as a whole is formed to be thicker than the thin film transistor 6 by stacking or the like.

「発明の効果」 以上説明したように、この発明の液晶素子は、薄膜トラ
ンジスタを形成した基板上に該薄膜トランジスタに対応
するダミーを形成し、該ダミーを基板間のスペーサとし
たものであるから、薄膜トランジスタに対応してダミー
の厚さが精度良く形成されることにより、液晶素子の全
域に亙ってセルギャップが均一になり、したがってギャ
ップむらに起因する表示特性の低下などを防止すること
ができる。また、ダミーの厚さを所定厚とすることによ
り、セルギャップを例えば2μ−といった強誘電性液晶
の双安定駆動特性を確保し得る狭隙とすることができ、
よって大面積の表示を必要とする大容量デイスプレィに
も好適に用いることができる。
"Effects of the Invention" As explained above, in the liquid crystal element of the present invention, a dummy corresponding to the thin film transistor is formed on the substrate on which the thin film transistor is formed, and the dummy is used as a spacer between the substrates. By accurately forming the thickness of the dummy in accordance with this, the cell gap becomes uniform over the entire area of the liquid crystal element, and therefore it is possible to prevent deterioration of display characteristics due to gap unevenness. Furthermore, by setting the thickness of the dummy to a predetermined thickness, the cell gap can be set to a narrow gap of, for example, 2 μ-, which can ensure the bistable driving characteristics of the ferroelectric liquid crystal.
Therefore, it can be suitably used for large-capacity displays that require a large-area display.

さらに、この液晶素子では、ダミーが薄膜トランジスタ
より厚く形成されるので、薄膜トランジスタがガラス製
基板に押圧されて破壊されるという不都合を防止するこ
とができる。また、プラスチックビーズなどのスペーサ
を用いないため、これらスペーサの散布といった工程を
省いて生産コストの低減化を図ることができ、また該ス
ペーサが薄膜トランジスタ上に重なってこの薄膜トラン
ジスタを破壊せしめるといった不測の事故を防止するこ
ともできる。
Furthermore, in this liquid crystal element, since the dummy is formed thicker than the thin film transistor, it is possible to prevent the inconvenience of the thin film transistor being pressed against the glass substrate and being destroyed. In addition, since spacers such as plastic beads are not used, production costs can be reduced by omitting the process of dispersing these spacers, and there is also the possibility of unforeseen accidents such as the spacer overlapping the thin film transistor and destroying the thin film transistor. It can also be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図および第2図はこの発明の液晶素子の一具体例を
示すもので、第1図は液晶素子の概略構成図、第2図は
薄膜トランジスタおよびダミーの概略構成図である。 ■・・・・・・液晶素子、2.3・・・・・・ガラス製
基板、4・・・・・・透明電極、5・・・・・・画素電
極、6・・・・・・薄膜トランジスタ、7・・・・・・
ダミー、8・・・・・・液晶部。
1 and 2 show a specific example of the liquid crystal element of the present invention. FIG. 1 is a schematic diagram of the structure of the liquid crystal element, and FIG. 2 is a schematic diagram of the structure of a thin film transistor and a dummy. ■...Liquid crystal element, 2.3...Glass substrate, 4...Transparent electrode, 5...Pixel electrode, 6... Thin film transistor, 7...
Dummy, 8...LCD section.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 対向する一対の基板間の空隙に強誘電性液晶が注入され
、上記基板の少なくとも一方に薄膜トランジスタが形成
された液晶素子において、 上記薄膜トランジスタを形成した基板上に該薄膜トラン
ジスタに対応するダミーを形成し、該ダミーを基板間の
スペーサとしたことを特徴とする液晶素子。
[Claims] In a liquid crystal element in which ferroelectric liquid crystal is injected into a gap between a pair of opposing substrates, and a thin film transistor is formed on at least one of the substrates, a substrate on which the thin film transistor is formed corresponds to the thin film transistor. 1. A liquid crystal element comprising: a dummy formed therein; and the dummy used as a spacer between substrates.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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