JPH0191301U - - Google Patents
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- JPH0191301U JPH0191301U JP18784887U JP18784887U JPH0191301U JP H0191301 U JPH0191301 U JP H0191301U JP 18784887 U JP18784887 U JP 18784887U JP 18784887 U JP18784887 U JP 18784887U JP H0191301 U JPH0191301 U JP H0191301U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- waveguide
- pressure side
- vacuum pressure
- airtight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例になるマイクロ波気
密窓の断面図、第２図は本考案の異なる実施例に
なるマイクロ波気密窓の要部断面図、第３図は従
来のチヨーク構造によるマイクロ波気密窓の断面
図、第４図は二重構造誘電体冷却窓によるマイク
ロ波気密窓の断面図である。 ３：高分子材料シール材、５，５ａ：誘電体窓
、６：メタライズ層、３３：シール材用溝、３４
：シール材用凸型溝、５１：チヨーク溝、５５：
二重構造誘電体冷却窓。
密窓の断面図、第２図は本考案の異なる実施例に
なるマイクロ波気密窓の要部断面図、第３図は従
来のチヨーク構造によるマイクロ波気密窓の断面
図、第４図は二重構造誘電体冷却窓によるマイク
ロ波気密窓の断面図である。 ３：高分子材料シール材、５，５ａ：誘電体窓
、６：メタライズ層、３３：シール材用溝、３４
：シール材用凸型溝、５１：チヨーク溝、５５：
二重構造誘電体冷却窓。
Claims (1)
- マイクロ波を伝送するための大気圧側の導波管
と、マイクロ波による処理を行なうための真空排
気された処理室に連通する真空圧側の導波管と、
前記両導波管の間に介装され前記真空圧側の導波
管を気密に接続するための誘電体窓と、高分子材
料から成るシール材とを備えたマイクロ波気密窓
において、前記誘電体窓の前記真空圧側の導波管
の気密シール面部がメタライズされてなることを
特徴とするマイクロ波気密窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18784887U JPH0191301U (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18784887U JPH0191301U (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0191301U true JPH0191301U (ja) | 1989-06-15 |
Family
ID=31478978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18784887U Pending JPH0191301U (ja) | 1987-12-10 | 1987-12-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0191301U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009075192A1 (ja) * | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Nec Corporation | 電蝕防止構造及び導波管連結構造 |
-
1987
- 1987-12-10 JP JP18784887U patent/JPH0191301U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009075192A1 (ja) * | 2007-12-12 | 2009-06-18 | Nec Corporation | 電蝕防止構造及び導波管連結構造 |
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