JPH0171195U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0171195U JPH0171195U JP1987166613U JP16661387U JPH0171195U JP H0171195 U JPH0171195 U JP H0171195U JP 1987166613 U JP1987166613 U JP 1987166613U JP 16661387 U JP16661387 U JP 16661387U JP H0171195 U JPH0171195 U JP H0171195U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating shaft
- housing
- pump stage
- exhaust port
- intake port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案による複合型真空ポンプの一実
施例を示す縦断面図、第２図は遠心圧縮ポンプ段
の羽根車の平面図、第３図は従来の複合型真空ポ
ンプを示す縦断面図、第４図はねじ溝式ポンプ段
の静止円板の平面図である。 １…遠心圧縮ポンプ段、２…ネジポンプ段、３
…回転軸、１２…吸気口、１３…排気口、１４…
ケーシング。
施例を示す縦断面図、第２図は遠心圧縮ポンプ段
の羽根車の平面図、第３図は従来の複合型真空ポ
ンプを示す縦断面図、第４図はねじ溝式ポンプ段
の静止円板の平面図である。 １…遠心圧縮ポンプ段、２…ネジポンプ段、３
…回転軸、１２…吸気口、１３…排気口、１４…
ケーシング。
Claims (1)
- 吸気口と排気口とを有するハウジング内に回転
可能に支持された回転軸に、遠心圧縮ポンプ段と
ネジポンプ段を上記吸気口から上記排気口までの
間の上記ハウジング内に上記の順に配置して、上
記回転軸により支持したことを特徴とする複合型
真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987166613U JPH0171195U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987166613U JPH0171195U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0171195U true JPH0171195U (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=31454154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987166613U Pending JPH0171195U (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0171195U (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987166613U patent/JPH0171195U/ja active Pending
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