JPH0140383Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0140383Y2 JPH0140383Y2 JP6389985U JP6389985U JPH0140383Y2 JP H0140383 Y2 JPH0140383 Y2 JP H0140383Y2 JP 6389985 U JP6389985 U JP 6389985U JP 6389985 U JP6389985 U JP 6389985U JP H0140383 Y2 JPH0140383 Y2 JP H0140383Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- spindle
- stopper
- needle
- orifice body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 24
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 8
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 6
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は、化学産業プラントや半導体製造プラ
ントに於いて使用される低圧微少流量制御器の改
良に関するものである。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to an improvement of a low-pressure minute flow rate controller used in chemical industry plants and semiconductor manufacturing plants.
（従来の技術）
出願人は、先きに低圧微少流量用の制御器とし
て、第２図に示す如き構造のものを開発してい
る。即ち、この低圧微少流量制御器は、筐体１に
断面円形の深孔状の栓室２を穿設し、通路３によ
つて栓室２の底部と流体入口４を、また通路５に
より栓室２の下方側部と流体出口６とを夫々連通
すると共に、前記深孔状の栓室２内に、その底壁
に通路３と連通するオリフイス７及び栓座８をま
たその下方側壁に通路５と連通する通孔９を夫々
形成した円筒状のオリフイス体１０を挿着し、該
オリフイス体１０内に昇降自在に配設したスピン
ドル１１を上下動されることにより、これと一体
に形成したニードル栓体１２により開度を調整す
るよう構成されている。(Prior Art) The applicant has previously developed a controller for low-pressure minute flow rates having a structure as shown in FIG. That is, in this low-pressure minute flow rate controller, a plug chamber 2 having a deep hole shape with a circular cross section is bored in a housing 1, a passage 3 connects the bottom of the plug chamber 2 to a fluid inlet 4, and a passage 5 connects the plug chamber 2 to the bottom of the plug chamber 2. The lower side of the chamber 2 and the fluid outlet 6 are in communication with each other, and an orifice 7 and a plug seat 8 are provided in the deep hole-shaped plug chamber 2 and in communication with the passage 3 on the bottom wall thereof, and a passage is provided on the lower side wall thereof. A cylindrical orifice body 10, each having a through hole 9 communicating with the orifice body 5, is inserted into the orifice body 10, and a spindle 11 disposed in the orifice body 10 so as to be able to rise and fall is moved up and down, thereby forming an integral body therewith. The needle plug body 12 is configured to adjust the opening degree.
又、前記スピンドル１１のシールは、栓室２の
上方に挿着したグランドパツキン１３をボンネツ
トナツト１４で押し込むことにより確保されてお
り、またオリフイス体１０と栓室２間のシールは
Ｏリング１５により確保されている。尚、第２図
に於いて１６はバルブ取付用ナツト、１７はスピ
ンドル回動用ハンドル、１８は開度目盛、１９は
ねじ部である。 Further, the sealing of the spindle 11 is ensured by pushing in the gland packing 13 inserted above the plug chamber 2 with a bonnet nut 14, and the sealing between the orifice body 10 and the plug chamber 2 is ensured by an O-ring 15. has been done. In FIG. 2, 16 is a valve mounting nut, 17 is a handle for rotating the spindle, 18 is an opening scale, and 19 is a threaded portion.
上記第２図に示した微少流量制御器は、低圧微
少流量を比較的精度よく制御することができ、秀
れた実用的効用を有するものである。 The minute flow rate controller shown in FIG. 2 can control a low pressure minute flow rate with relatively high accuracy and has excellent practical utility.
しかし、前記微少流量制御器にも、未だ解決す
べき問題点が残されている。即ち、第１の問題は
制御器の加工・組立上の問題であり、第２の問題
は流量特性上の問題である。 However, the micro flow rate controller still has some problems that need to be solved. That is, the first problem is a problem in processing and assembling the controller, and the second problem is a problem in flow characteristics.
前述した如く、オリフイス体１０は、微少流量
制御用のオリフイス７及び栓座８の機能と、スピ
ンドルガイドとしての機能と、グランドパツキン
１３の受金具としての機能を併有するものである
ため、外径に比較して長さが相当長いうえ、極め
て小さな内径のオリフイス７を必要とする。例え
ば、第２図の弁に於いては外径7.5mmφ、長さ20
mm、オリフイス内径1.5mmφのステンレス鋼
（SUS 316）製のオリフイス体１０が使用されて
いる。 As mentioned above, the orifice body 10 has the functions of the orifice 7 and the stopper seat 8 for minute flow rate control, the function of a spindle guide, and the function of a receiving fitting for the gland packing 13, so the outer diameter In addition to being considerably longer in length than the orifice 7, it requires an orifice 7 with an extremely small inner diameter. For example, the valve in Figure 2 has an outer diameter of 7.5 mmφ and a length of 20 mm.
An orifice body 10 made of stainless steel (SUS 316) with an orifice inner diameter of 1.5 mm is used.
しかし乍ら、前述の如き栓座とスピンドルガイ
ドとグランドパツキン受けとの機能を併備するオ
リフイス体１０を高精度で加工することは、現実
に極めて困難なことであり、特に低圧小流量用オ
リフイス体の加工に於いては、加工歩留りが著し
く低下する。その結果、製造コストの引下げが困
難になると共に、流量特性にばばらつきを生じた
り、流体の漏洩を生じるという問題を起生する。 However, it is actually extremely difficult to process the orifice body 10 with high precision, which has the functions of a stopper seat, a spindle guide, and a gland packing receiver as described above. In body processing, the processing yield is significantly reduced. As a result, it becomes difficult to reduce manufacturing costs, and problems arise such as variations in flow characteristics and fluid leakage.
一方、低圧微少流量制御器に於いて、スピンド
ル１１を回転させることにより開度を調整する弁
に於いては、オリフイス体１０等の加工精度と流
量制御器の組立精度との関連に於いて、その流量
特性Ａが第３図に示す如く断続した状態となり易
い。特に、弁出入口側の差圧が0.1Kgｆ／cm2以下
で且つ流量が２／min以下の低圧微少流量制御
器に於いては、前記流量特性Ａの非連続性が顕著
になり易く、スピンドル１１のねじピツチに応じ
た断続Ｑが流量特性上に表われる。尚、この流量
特性Ａ上の断続Ｑは、オリフイス体１０自体の長
さ寸法が比較的長いため、その加工精度や組付精
度が僅かに狂つただけでも、スピンドル１１の回
動時に於けるオリフイス７とニードル栓体１２間
の間隙の変化が大きくなり、これによつて生ずる
ものと想定される。 On the other hand, in the case of a valve whose opening degree is adjusted by rotating the spindle 11 in a low-pressure minute flow rate controller, the relationship between the machining accuracy of the orifice body 10, etc. and the assembly accuracy of the flow rate controller is as follows. The flow rate characteristic A tends to be in an intermittent state as shown in FIG. In particular, in a low-pressure minute flow controller where the differential pressure on the valve inlet and outlet side is 0.1 Kgf/cm 2 or less and the flow rate is 2/min or less, the discontinuity of the flow rate characteristic A tends to be noticeable, and the spindle 11 The discontinuity Q corresponding to the thread pitch appears on the flow rate characteristics. Note that the discontinuity Q in the flow rate characteristic A is caused by the fact that the length of the orifice body 10 itself is relatively long, so even if the machining accuracy or assembly accuracy is slightly out of order, the orifice body 10 may It is assumed that this is caused by a change in the gap between the needle stopper 7 and the needle stopper 12.
（考案が解決しようとする問題点）
本考案は、従前のこの種低圧微少流量制御器に
於ける上述の如き問題、即ちオリフイス体の高精
度な加工が困難で加工歩留りが悪いうえ、流量特
性のばらつきや流体の漏洩を生じ易いという問題
を解決せんとするものであり、オリフイス体を二
分割してその間に合成樹脂製のガスケツトを介設
することにより、オリフイス体の加工の容易化を
図ると共に、流量特性のばらつきや漏洩の発生を
略完全に防止した低圧微少流量用制御器を提供す
るものである。(Problems to be solved by the invention) The present invention solves the above-mentioned problems in conventional low-pressure minute flow controllers of this type, namely, it is difficult to process the orifice body with high precision, the processing yield is low, and the flow rate characteristics are The aim is to solve the problem of easy fluid leakage and unevenness of the orifice body, and to facilitate the processing of the orifice body by dividing the orifice body into two and inserting a synthetic resin gasket between them. In addition, the present invention provides a low-pressure minute flow rate controller that substantially completely prevents variations in flow rate characteristics and leakage.
（問題点を解決するための手段）
本考案は、栓室２の底部と流体入口４間を流体
通路３により、また栓室２の側部と流体出口６間
を流体通路５により連通して成る筐体１と；栓室
２内へ挿着され、底壁に前記通路３に連通するオ
リフイス７及び栓座８を、また側壁に通路５に連
通する通孔９を穿設すると共に、下方部の外径に
僅かに縮径せしめた筒状のオリフイス体２０と；
前記栓室２の底部とオリフイス体２０の底部間に
配設したＯリング１５と；前記オリフイス体２０
の上方に配設した合成樹脂製のガスケツト２２
と；ガスケツト２２の上方に配設した筒状のスピ
ンドルガイド体２１と；ニードル１２ａをオリフ
イス７内へ挿入せしめたニードル栓体１２と；上
方部に雄ねじ２３が形成されたニードル栓体１２
と一体のスピンドル１１と；スピンドル１１を挿
通して筐体１に螺着され、スピンドル１１の雄ね
じ２３をその雌ねじ２４へ螺合せしめたボンネツ
トナツト１４とを考案の基本構成とするものであ
る。(Means for Solving the Problems) The present invention provides communication between the bottom of the plug chamber 2 and the fluid inlet 4 through the fluid passage 3, and between the side of the plug chamber 2 and the fluid outlet 6 through the fluid passage 5. A casing 1 is inserted into a plug chamber 2, and has an orifice 7 and a plug seat 8 in the bottom wall that communicate with the passage 3, and a through hole 9 that communicates with the passage 5 in the side wall. a cylindrical orifice body 20 whose outer diameter is slightly reduced;
an O-ring 15 disposed between the bottom of the plug chamber 2 and the bottom of the orifice body 20;
A synthetic resin gasket 22 placed above the
A cylindrical spindle guide body 21 disposed above the gasket 22; A needle plug body 12 into which the needle 12a is inserted into the orifice 7; A needle plug body 12 having a male thread 23 formed in its upper part
The basic structure of the invention includes a spindle 11 which is integrated with the spindle 11, and a bonnet nut 14 which is inserted through the spindle 11 and screwed onto the housing 1, and in which the male thread 23 of the spindle 11 is screwed into the female thread 24 thereof.
（作用）
スピンドル１１の先端部を回動すると、スピン
ドル１１の雄ねじ２３とボンネツトナツト１４の
雌ねじ２４の螺合によりスピンドル１１が昇降
し、弁の開・閉が行なわれる。(Function) When the tip of the spindle 11 is rotated, the male thread 23 of the spindle 11 and the female thread 24 of the bonnet nut 14 are engaged to move the spindle 11 up and down, thereby opening and closing the valve.
スピンドルのガイド体２１はオリフイス体２０
が別体となつており、且つ両者の間に合成樹脂製
のガスケツト２２が介設されているため、オリフ
イス体２０の加工が容易になると共に、ガスケツ
ト２２によりスピンドルのシールが増強される。 The spindle guide body 21 is an orifice body 20
Since they are separate bodies and a synthetic resin gasket 22 is interposed between them, the orifice body 20 can be easily machined, and the gasket 22 strengthens the sealing of the spindle.
又、ガイド体２１とオリフイス体２０が別体と
なつているため、万一、スピンドル１１の回動時
にガイド体２１に無理がかかつても、これがオリ
フイス体２０に直接及ぶことは無く、その結果流
量特性のばらつきや流量特性の断続、流体の漏洩
等が皆無になる。 Furthermore, since the guide body 21 and the orifice body 20 are separate bodies, even if the guide body 21 is subjected to force when the spindle 11 rotates, this will not directly affect the orifice body 20, and as a result, There is no variation in flow characteristics, discontinuity in flow characteristics, fluid leakage, etc.
（実施例）
第１図は本考案の実施例に係る微少流量制御器
の縦断面図であり、前記第２図と共通する部位に
は同一参照番号が付されている。(Embodiment) FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a minute flow rate controller according to an embodiment of the present invention, and parts common to those in FIG. 2 are given the same reference numerals.
図に於いて１はステンレス鋼（SUS 316）製
の筐体であり、断面円形の深孔状の栓室２、流体
入口４、流体出口６、栓室２の底部と流体出口４
間を連絡する流体通路３及び栓室２の側部と流体
出口６間を連絡する流体通路５が夫々穿設されて
いる。 In the figure, 1 is a housing made of stainless steel (SUS 316), which includes a plug chamber 2 with a circular cross-section and a deep hole, a fluid inlet 4, a fluid outlet 6, the bottom of the plug chamber 2, and the fluid outlet 4.
A fluid passage 3 communicating therebetween and a fluid passage 5 communicating between the side of the stopper chamber 2 and the fluid outlet 6 are bored, respectively.
２０は栓室２の底部に挿着されたステンレス鋼
（SUS 316）製のオリフイス体であり、２１はオ
リフイス体２０の上方に配設したスピンドルガイ
ド体、２２はオリフイス体２０とスピンドルガイ
ド体２１の間に介設した合成樹脂製のガスケツト
である。 20 is an orifice body made of stainless steel (SUS 316) inserted into the bottom of the plug chamber 2, 21 is a spindle guide body disposed above the orifice body 20, and 22 is the orifice body 20 and the spindle guide body 21. This is a synthetic resin gasket interposed between the two.
前記オリフイス体２０は、底壁にオリフイス７
が穿設された細径の比較的短かい円筒体であり、
その側壁には前記オリフイス７と流体通路５を連
通する通孔９が穿設されている。 The orifice body 20 has an orifice 7 on the bottom wall.
It is a relatively short cylindrical body with a small diameter and is perforated with
A through hole 9 for communicating the orifice 7 and the fluid passage 5 is bored in the side wall thereof.
また、オリフイス体２０の下方部の外径は、栓
室２の内径よりやや縮径されており、栓室２の内
壁との間に通路間隙Ｇが形成されている。 Further, the outer diameter of the lower part of the orifice body 20 is slightly smaller than the inner diameter of the plug chamber 2, and a passage gap G is formed between the orifice body 20 and the inner wall of the plug chamber 2.
尚、本実施例は圧力0.1Kg／cm2、最大流量（空
気）２／minのニードル弁を示すものである
が、前記オリフイス７の内径は1.5mmφに設定さ
れている。 Although this embodiment shows a needle valve with a pressure of 0.1 Kg/cm 2 and a maximum flow rate (air) of 2/min, the inner diameter of the orifice 7 is set to 1.5 mmφ.
前記スピンドルガイド体２１は、オリフイス体
２０と内径及び外径の等しい筒体であり、略オリ
フイス体２０と等しい長さを有している。 The spindle guide body 21 is a cylindrical body having the same inner and outer diameters as the orifice body 20, and has approximately the same length as the orifice body 20.
１１は、先端にニードル栓体１２を形成したス
ピンドルであり、オリフイス体２０及びスピンド
ルガイド体２１を挿通して、ニードル１２ａがオ
リフイス７内へ挿入されている。 Reference numeral 11 denotes a spindle having a needle plug body 12 formed at its tip, and a needle 12a is inserted into the orifice 7 by passing through an orifice body 20 and a spindle guide body 21.
当該制御器の組立に際しては、栓室２の底壁内
へＯリング１５を配設し、オリフイス体２０、ガ
スケツト２２、スピンドルガイド体２１の順にこ
れ等を栓室２内へ配設する。次に、スピンドル１
１をオリフイス体２０内へ挿着し、ニードル１２
ａをオリフイス７内へ挿入する。その後グランド
パツキン１３を挿着し、ボンネツトナツト１４に
よりパツキン１３を締付ける。 When assembling the controller, the O-ring 15 is placed inside the bottom wall of the plug chamber 2, and the orifice body 20, gasket 22, and spindle guide body 21 are placed inside the plug chamber 2 in this order. Next, spindle 1
1 into the orifice body 20, and insert the needle 12 into the orifice body 20.
Insert a into the orifice 7. After that, the gland packing 13 is inserted, and the packing 13 is tightened with the bonnet nut 14.
スピンドル１１の上端部に固着したハンドル１
７を回動すると、ボンネツトナツト１４の上方に
形成した雌ねじ２４とスピンドル１１の上方部に
形成した雄ねじ２３の螺合により、スピンドル１
１は昇降動され、ニードル栓体１２と栓座８が
当・離座する。 Handle 1 fixed to the upper end of spindle 11
7, the female thread 24 formed above the bonnet nut 14 and the male thread 23 formed above the spindle 11 are screwed together, and the spindle 1 is rotated.
1 is moved up and down, and the needle stopper body 12 and stopper seat 8 come into contact with each other and separate from each other.
（効果）
本考案に於いては、オリフイス体２０とスピン
ドルガイド体２１とを別体にすると共に、両者の
間に合成樹脂製のガスケツト２２を配設する構成
としているため、従前のオリフイス体２０とスピ
ンドルガイド体２１とを一体的に形成する場合に
比較してオリフイス体２０の加工が容易になり、
加工精度を高め得る。その結果、オリフイス体の
加工歩留りが向上して弁の製造コストの引下げが
可能になると共に、流量特性等のばらつきも大幅
に減少する。(Effects) In the present invention, the orifice body 20 and the spindle guide body 21 are separate bodies, and a synthetic resin gasket 22 is disposed between them, so that the conventional orifice body 20 The processing of the orifice body 20 is easier than when the spindle guide body 21 and the spindle guide body 21 are integrally formed.
Processing accuracy can be improved. As a result, the processing yield of the orifice body improves, making it possible to reduce the manufacturing cost of the valve, and also significantly reducing variations in flow characteristics, etc.
また、オリフイス体２０とスピンドルガイド体
２１の間に合成樹脂製のガスケツト２２を介設し
ているため、スピンドル１１のシール性がより向
上すると共に、流量制御器の組立時に於ける柔軟
性が確保され、オリフイス体２０やガイド体２１
の組付けを極めて円滑に行なえると共に、流量制
御器の作動時に於いてもスピンドルガイド体２１
の変位が直接オリフイス体２０に及ぶことが無い
ため、流量特性の断続や流体の漏洩が大幅に減少
する。 Furthermore, since a synthetic resin gasket 22 is interposed between the orifice body 20 and the spindle guide body 21, the sealing performance of the spindle 11 is further improved, and flexibility is ensured when assembling the flow rate controller. The orifice body 20 and guide body 21
The spindle guide body 21 can be assembled very smoothly, and the spindle guide body 21 can be easily assembled even when the flow rate controller is operated.
Since the displacement does not directly affect the orifice body 20, interruptions in flow characteristics and fluid leakage are significantly reduced.
本考案は上述の通り、簡単な構成にも拘わらず
秀れた実用的効用を有するものである。 As mentioned above, the present invention has excellent practical utility despite its simple configuration.
第１図は本考案に係る微少流量制御器の縦断面
図である。第２図は従前の微少流量制御器の縦断
面図である。第３図は従前の低圧微少流量制御器
の流量特性曲線である。
１……筐体、２……栓室、３，５……流体通
路、４……流体入口、６……流体出口、７……オ
リフイス、８……栓座、９……通孔、１１……ス
ピンドル、１２……ニードル栓体、１３……グラ
ンドパツキン、１４……ボンネツトナツト、１５
……Ｏリング、２０……オリフイス体、２１……
スピンドルガイド体、２２……合成樹脂製ガスケ
ツト、２３……雄ねじ、２４……雌ねじ。
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a minute flow rate controller according to the present invention. FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a conventional microflow controller. FIG. 3 shows a flow rate characteristic curve of a conventional low-pressure minute flow rate controller. 1... Housing, 2... Bung chamber, 3, 5... Fluid passage, 4... Fluid inlet, 6... Fluid outlet, 7... Orifice, 8... Bung seat, 9... Through hole, 11 ... Spindle, 12 ... Needle stopper, 13 ... Grand packing, 14 ... Bonnet nut, 15
...O ring, 20 ... Orifice body, 21 ...
Spindle guide body, 22...synthetic resin gasket, 23...male thread, 24...female thread.
Claims (1)
り、また栓室２の側部と流体出口６間を流体通路
５により連通して成る筐体１と；前記栓室２内へ
挿着され、底壁に前記通路３に連通するオリフイ
ス７及び栓座８を、また側壁に通路５に連通する
通孔９を穿設すると共に、下方部外径を僅かに縮
径せしめた筒状のオリフイス体２０と；前記栓室
２の底部とオリフイス体２０の底部間に配設した
Ｏリング１５と；前記オリフイス体２０の上方に
配設した合成樹脂製のガスケツト２２と；該ガス
ケツト２２の上方に配設した筒状のスピンドルガ
イド体２１と；ニードル12aを前記オリフイス７
内へ挿入せしめたニードル栓体１２と；上方部に
雄ねじ２３が形成された前記ニードル栓体１２と
一体のスピンドル１１と；スピンドル１１を挿通
して筐体１に螺着され、スピンドル１１の雄ねじ
２３をその雌ねじ２４へ螺合せしめたボンネツト
ナツト１４とより構成した微少流量制御器。 A casing 1 that communicates between the bottom of the stopper chamber 2 and the fluid inlet 4 through a fluid passage 3, and between the side of the stopper chamber 2 and the fluid outlet 6 through a fluid passage 5; inserted into the stopper chamber 2; It has a cylindrical shape with an orifice 7 and a stopper seat 8 that communicate with the passage 3 in the bottom wall, and a through hole 9 that communicates with the passage 5 in the side wall, and the outer diameter of the lower part is slightly reduced. an orifice body 20; an O-ring 15 disposed between the bottom of the stopper chamber 2 and the bottom of the orifice body 20; a synthetic resin gasket 22 disposed above the orifice body 20; a cylindrical spindle guide body 21 disposed in; and a needle 12a arranged in the orifice 7;
The needle stopper 12 is inserted into the needle stopper 12; The spindle 11 is integrated with the needle stopper 12 and has a male thread 23 formed on the upper part; The male thread of the spindle 11 is inserted through the spindle 11 and screwed onto the housing 1; 23 is screwed onto the female thread 24 of the bonnet nut 14.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389985U JPH0140383Y2 (en) | 1985-04-26 | 1985-04-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6389985U JPH0140383Y2 (en) | 1985-04-26 | 1985-04-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61179461U JPS61179461U (en) | 1986-11-08 |
| JPH0140383Y2 true JPH0140383Y2 (en) | 1989-12-04 |
Family
ID=30594482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6389985U Expired JPH0140383Y2 (en) | 1985-04-26 | 1985-04-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0140383Y2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006153042A (en) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Surpass Kogyo Kk | Flow rate control valve |
| JP5009153B2 (en) * | 2005-12-02 | 2012-08-22 | シーケーディ株式会社 | Flow control valve |
| JP6340644B1 (en) * | 2017-07-07 | 2018-06-13 | 株式会社生活環境研究所 | Nozzle type steam trap |
| WO2019008947A1 (en) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | 株式会社生活環境研究所 | Nozzle-type steam trap |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP6389985U patent/JPH0140383Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61179461U (en) | 1986-11-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3749122A (en) | System for installing fluid elements in conduit circuits | |
| US4241757A (en) | Flow regulator | |
| US4073311A (en) | Flow control valve | |
| US5174332A (en) | Constant flow valve | |
| JPH0140383Y2 (en) | ||
| US3972343A (en) | Shuttle valve | |
| US4741510A (en) | Flow control valve | |
| KR940010774B1 (en) | Fluid flow controller | |
| KR100430169B1 (en) | Constant pressure regulator | |
| US4009865A (en) | Regulating flow | |
| US4694852A (en) | Flow regulating valve for controlling the flow of corrosive fluids | |
| US4830053A (en) | Fluidic devices | |
| JPS62176492U (en) | ||
| US3997141A (en) | Flow control valve | |
| US5354530A (en) | Pressure fluid stabilized regulator with leakage orifice and method of forming precise molded orifice units | |
| JPS6151714B2 (en) | ||
| JP3039581B2 (en) | Check valve | |
| JP2694613B2 (en) | Controller | |
| US4434965A (en) | Low flow control valve | |
| US3921658A (en) | Pressure balancing valve | |
| JPH0339644Y2 (en) | ||
| KR20210060657A (en) | Valve device and gas supply system | |
| JPH029156Y2 (en) | ||
| US2320050A (en) | Deflector ring | |
| JPH0339643Y2 (en) |