JPH0139485B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、機械構成要素間の連結構造に係り、
特に熱的変形による弊害を防止する改良構造に関
するもので、三次元測定機、直線方向変位検出器
等の測定機器、更には二機械要素を連結するあら
ゆる技術分野に利用できる。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a connection structure between machine components,
In particular, the present invention relates to an improved structure that prevents harmful effects caused by thermal deformation, and can be used in measuring instruments such as three-dimensional measuring machines and linear displacement detectors, as well as in all technical fields that connect two mechanical elements.

〔背景技術とその問題点〕[Background technology and its problems]

多くの機械は、各種材料の組合せから成つてい
るので異種材料の連結箇所が多々生ずる。このよ
うな異種材料の連結箇所では、両者の熱膨張係数
の相違から温度変化により生じる撓み等の変形、
即ち、熱的変形を解消する必要がある。とりわ
け、測定機械にあつては、機械的強度問題以前に
測定精度の保証上微妙な値を問題としなければな
らないので前記問題の解消は重要である。 Since many machines are constructed from a combination of various materials, there are many connections between different materials. At the connection point of such dissimilar materials, deformation such as deflection caused by temperature changes due to the difference in thermal expansion coefficient between the two materials,
That is, it is necessary to eliminate thermal deformation. In particular, in the case of measuring machines, solving the above-mentioned problem is important because delicate values must be taken into account in order to guarantee measurement accuracy, even more so than the mechanical strength problem.

例えば、第７図のように三次元測定機５０で
は、石材の載物台５１の上に長大な鋼製案内レー
ル５２が設けられ、この案内レール５２は測定子
５３を有する門型の測定子移動機構５４を移動可
能に支持するとともに、この測定子移動機構５４
に取付けられた検知体５５に対するメインスケー
ル部材５６が案内レール５２の長手方向に沿つて
取付けられている。この場合、検知体５５とメイ
ンスケール部材５６とはメインスケールの目盛方
向、即ち、相対移動方向を除き、検出精度を保証
する上から相対位置関係の変動は許されない。し
かし、従来、メインスケール部材５６を載物台５
１に取付ける場合、例えば、載物台５１に案内レ
ール５２を取付けるとともに、案内レール５２に
メインスケール部材５６を取付けるが、前述の熱
的変形を解消する手段が見当たらないこと及び測
定精度に対する熱的変形による影響度合の小さい
ことからメインスケール部材５６或いは案内レー
ル５２は多点で案内レール５２或いは載物台５１
にそれぞれボルト止めまたは接着固定をされてい
る。 For example, as shown in FIG. 7, in a coordinate measuring machine 50, a long steel guide rail 52 is provided on a stone stage 51. The moving mechanism 54 is movably supported, and the probe moving mechanism 54 is
A main scale member 56 for the detection body 55 attached to the guide rail 52 is attached along the longitudinal direction of the guide rail 52 . In this case, the relative positional relationship between the sensing body 55 and the main scale member 56 is not allowed to fluctuate in order to ensure detection accuracy, except in the direction of the scale of the main scale, that is, in the direction of relative movement. However, conventionally, the main scale member 56 is
1, for example, the guide rail 52 is attached to the stage 51, and the main scale member 56 is attached to the guide rail 52. However, there is no means to eliminate the above-mentioned thermal deformation, and the thermal Since the degree of influence due to deformation is small, the main scale member 56 or the guide rail 52 is connected to the guide rail 52 or the stage 51 at multiple points.
Each is fixed with bolts or adhesive.

しかしながら、前記測定機の場合、測定精度が
1μｍ以下の値を要求され、また、測定機の大型
化が望まれている現今においてはその熱的問題を
無視すること、または、その解決のために測定機
を小型にとどめること、もしくは、均等材料を選
択する等の設計上の策では解決できなくなつてき
た。即ち、例えば、案内レール５２を多点で載物
台５１にボルト止め等をした状態で、案内レール
２が熱的変形を生じたときは次のような問題が生
じ、これを無視することは、測定精度の向上が要
求される現今の測定機の状況では妥当でない。そ
の問題とは、案内レール５２が上方、即ち、Ｚ軸
方向に曲がれば、これに支持されている測定子移
動機構５４を構成する支柱部材５４Ａが上方側に
変位するので検知体５５の位置がずれ、測定誤差
を生じること。また、案内レール５２がＸ軸方向
に曲がれば、検知体５５内に設けられたインデツ
クススケールとメインスケール部材５６に設けら
れたメインスケールとのクリアランスが変動し、
これに伴う変位検出誤差を生じたり、支柱部材５
４Ａのスムース揺動ができない。このような問題
は、支柱部材５４Ａをローラを介して移動させる
場合のみならず、エアベアリングを介して移動さ
せる場合でも生じるものである。また、メインス
ケール部材５６にメタル製メインスケールを取付
ける場合、従来は、レーザスポツト溶接で多点固
定していたので、メインスケールのスポツト溶接
部が切断されるという問題が生じる。 However, in the case of the above measuring device, the measurement accuracy is
Nowadays, when values of 1 μm or less are required and measuring equipment is desired to be larger, it is necessary to ignore the thermal problem, or to keep the measuring equipment small in order to solve it, or to It has become impossible to solve this problem through design measures such as material selection. That is, for example, if the guide rail 2 is thermally deformed when the guide rail 52 is bolted to the stage 51 at multiple points, the following problem will occur, and it is impossible to ignore this problem. , is not appropriate in the current situation of measuring instruments, which require improved measurement accuracy. The problem is that if the guide rail 52 bends upward, that is, in the Z-axis direction, the support column 54A that constitutes the probe moving mechanism 54 supported by the guide rail 52 will be displaced upward, and the position of the detection body 55 will change. This may cause deviations and measurement errors. Furthermore, if the guide rail 52 bends in the X-axis direction, the clearance between the index scale provided in the detection body 55 and the main scale provided in the main scale member 56 changes,
This may cause displacement detection errors or
4A cannot swing smoothly. Such a problem occurs not only when the support column 54A is moved via rollers, but also when it is moved via an air bearing. Furthermore, when attaching a metal main scale to the main scale member 56, conventionally it has been fixed at multiple points by laser spot welding, which causes the problem that the spot welded portions of the main scale are cut.

また、前記三次元測定機５０に限らず、リニア
スケール（商品名）等といわれる直線方向変位検
出器においても、メインスケールと直線方向変位
検出器本体とは多点で固定されており、三次元測
定機５０と同様な問題が生じる。例えば、直線方
向変位検出器において、金属材料からなる検出器
本体に熱的変形によつてそりが生じると、本体内
に固定されたガラス製メインスケールが破損す
る。 In addition, not only the three-dimensional measuring machine 50 but also linear displacement detectors called linear scales (product name) etc., the main scale and the linear displacement detector body are fixed at multiple points, and the three-dimensional A problem similar to that of measuring device 50 arises. For example, in a linear displacement detector, if a detector body made of a metal material warps due to thermal deformation, a glass main scale fixed within the body will be damaged.

〔発明の目的〕 本発明の目的は、熱を受けてもそり、破損等を
生じることのない機械要素の連結構造を提供する
にある。[Object of the Invention] An object of the present invention is to provide a connection structure for mechanical elements that does not warp or break even when exposed to heat.

〔問題点を解決するための手段および作用〕[Means and actions for solving problems]

第１機械要素と、これを異材質な第２機械要素
との少なくともいずれか一方に、その他方に対面
する磁石を取付け、この磁石による磁力線と交叉
する方向に相対変位を許容する位置に設けたボル
ト等の固定手段によつて両機械要素を固定するこ
とにより、前記磁石の磁力線方向に両機械要素が
強固に連結されるとともに、この磁力線と交叉す
る方向に両機械要素の相対変位を許容して前記目
的を達成しようとするものである。 A magnet facing the other is attached to at least one of the first mechanical element and a second mechanical element made of a different material, and is located at a position that allows relative displacement in a direction intersecting the lines of magnetic force caused by the magnet. By fixing both mechanical elements with fixing means such as bolts, both mechanical elements are firmly connected in the direction of the magnetic line of force of the magnet, and relative displacement of both mechanical elements is allowed in a direction that intersects the line of magnetic force. The aim is to achieve the above objectives.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。ここにおいて、各実施例の同一もしくは相当
構成部分は同一符号を付し説明を省略もしくは簡
略にする。 Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings. Here, the same or equivalent components in each embodiment are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified.

第１図及び第２図には本発明の第１実施例が示
され、本実施例は、本発明にかかる機械要素の連
結構造を三次元測定機における案内レールとメイ
ンスケール部材との連結に適用した例である。 Embodiment 1 of the present invention is shown in FIGS. 1 and 2, and this embodiment describes the connection structure of mechanical elements according to the present invention to the connection between a guide rail and a main scale member in a coordinate measuring machine. This is an example of application.

石材の載物台１の上には、移動部材（図示せ
ず）を案内支持する第１機械要素たる鋼製の案内
レール２が設けられ、この案内レール２の上には
その長手方向に沿つて第２機械要素たるメインス
ケール部材６が設けられるとともに、このメイン
スケール部材６の側面にはメインスケール７が取
付けられている。このメインスケール部材６は、
案内レール２とは異なる材質からできている。 A steel guide rail 2, which is a first mechanical element that guides and supports a moving member (not shown), is provided on the stone stage 1. A main scale member 6 as a second mechanical element is provided, and a main scale 7 is attached to the side surface of the main scale member 6. This main scale member 6 is
It is made of a different material from the guide rail 2.

前記案内レール２には、その長手方向に沿つた
軸線上に凹み２Ａが所定間隔離されて複数設けら
れるとともに、この凹み２Ａ内にはＮ極部分から
なる磁石８が配設されている。また、前記メイン
スケール部材６には、その長手方向に沿つた軸線
上に凹み６Ａが前記凹み２Ａと対応して所定間隔
離されて複数設けられるとともに、この凹み６Ａ
内にはＳ極部分からなる磁石９が配設されてい
る。この際、磁石８は、磁石９に対面して取付け
られ、案内レール２がメインスケール部材６と磁
力結合されるとともに、磁石９の軸線方向寸法が
磁石８の軸線方向寸法より長く形成されている。 The guide rail 2 is provided with a plurality of recesses 2A spaced apart from each other by a predetermined distance on an axis along its longitudinal direction, and a magnet 8 having an N-pole portion is disposed within the recesses 2A. Further, the main scale member 6 is provided with a plurality of recesses 6A on the axis along its longitudinal direction, corresponding to the recesses 2A and separated by a predetermined distance.
A magnet 9 consisting of an S pole portion is disposed inside. At this time, the magnet 8 is attached facing the magnet 9, the guide rail 2 is magnetically coupled to the main scale member 6, and the axial dimension of the magnet 9 is longer than the axial dimension of the magnet 8. .

前記メインスケール部材６と案内レール２と
は、磁石９、磁石８が配設されている軸線上の一
箇所、例えば、中央部で固定手段としてのボルト
１０で固定され、このボルト１０で固定された位
置を除いてメインスケール部材６と案内レール２
とが磁石９と磁石８との磁力に抗し面方向に相対
変位可能に連結されている。 The main scale member 6 and the guide rail 2 are fixed by a bolt 10 serving as a fixing means at one location on the axis where the magnets 9 and 8 are arranged, for example, at the center. Main scale member 6 and guide rail 2 except for the
are connected so as to be relatively displaceable in the plane direction against the magnetic force of the magnets 9 and 8.

前述の本実施例において、温度が変化すると、
材質の異なる案内レール２とメインスケール部材
６とは寸法が変化する。これにより案内レール２
とメインスケール部材６との接する面に滑りが生
じるが、両者は、ボルト１０による固定部を除き
磁力８、磁力９により磁力結合されているのみで
あるから、撓み等の変形を生じることなく軸線方
向に相対変位してその温度変化に基づく変形に対
応される。 In this example described above, when the temperature changes,
The dimensions of the guide rail 2 and the main scale member 6, which are made of different materials, vary. As a result, guide rail 2
Although slippage occurs on the contact surface between the main scale member 6 and the main scale member 6, since the two are only magnetically coupled by the magnetic force 8 and the magnetic force 9 except for the fixed part by the bolt 10, the axis line can be maintained without deformation such as bending. The relative displacement in the direction corresponds to the deformation based on the temperature change.

このような本実施例によれば、案内レール２と
メインスケール部材６とが熱的変形を生じても、
これらの長手方向の相対変位が許容され、磁石
８、磁石９の磁力線方向、即ち、上下方向の変化
を防止することができ、かつ、案内レール２、ま
たは、メインスケール部材６の変形、破損等を防
ぐことができる。従つて、案内レール２が上下方
向に曲がらないので、これに支持される移動部材
が上下方向に変位することなく三次元測定機のＺ
軸方向の測定誤差を生じることもない。更に、案
内レール２が三次元測定機のＸ軸方向に曲がらな
いので、移動部材の検知体内に設けられたインデ
ツクススケール（図示せず）とメインスケール部
材６に設けられたメインスケール７とのクリアラ
ンス変動に伴う変位検出誤差を生じることがな
く、かつ、移動部材の案内レール２上のスムース
摺動ができる。また、本実施例の磁石は、案内レ
ール２、メインスケール部材６に双方に分離して
設けられるとともに、互いに接する面がＮ極部分
とＳ極部分なので強い磁力により両者を結合させ
ることができる。更に、前記磁石は、磁石９が磁
石８より案内レール２等の長手方向、即ち、軸線
方向の寸法が長いので、その長手方向の案内レー
ル２等が相対変化しても磁石８は磁石９と常に全
面で接することとなり、磁石の強さが変わらな
い。 According to this embodiment, even if the guide rail 2 and the main scale member 6 undergo thermal deformation,
Relative displacement of these in the longitudinal direction is allowed, and changes in the direction of the lines of magnetic force of the magnets 8 and 9, that is, in the vertical direction, can be prevented, and deformation, damage, etc. of the guide rail 2 or the main scale member 6 can be prevented. can be prevented. Therefore, since the guide rail 2 does not bend in the vertical direction, the moving member supported by the guide rail 2 can move in the Z direction of the coordinate measuring machine without being displaced in the vertical direction.
There is no axial measurement error. Furthermore, since the guide rail 2 does not bend in the X-axis direction of the coordinate measuring machine, the index scale (not shown) provided inside the sensing body of the moving member and the main scale 7 provided on the main scale member 6 are Displacement detection errors due to clearance fluctuations do not occur, and the moving member can slide smoothly on the guide rail 2. Further, the magnet of this embodiment is provided separately on the guide rail 2 and the main scale member 6, and since the surfaces that touch each other are the N-pole portion and the S-pole portion, the two can be coupled by strong magnetic force. Furthermore, since the magnet 9 is longer in the longitudinal direction, that is, in the axial direction, than the magnet 8, even if the guide rail 2, etc. in the longitudinal direction changes relative to each other, the magnet 8 will not become the magnet 9. They will always be in full contact, and the strength of the magnet will not change.

また、前記実施例では、磁石８及び磁石９を案
内レール２及びメインスケール部材６に各々設け
たが、本発明では、磁石８または磁石９のいずれ
か一方を設け、他方には磁石の代わりに磁性体を
埋込むものであつてもよい。更に、前記実施例の
ように磁石８及び磁石９により案内レール２及び
メインスケール部材６を連結するものであれば、
案内レール２は必ずしも磁性材料たる鋼製である
必要はない。 Further, in the above embodiment, the magnet 8 and the magnet 9 were provided on the guide rail 2 and the main scale member 6, respectively, but in the present invention, either the magnet 8 or the magnet 9 is provided, and the other magnet is replaced with a magnet. It may also be one in which a magnetic material is embedded. Furthermore, if the guide rail 2 and the main scale member 6 are connected by the magnet 8 and the magnet 9 as in the above embodiment,
The guide rail 2 does not necessarily need to be made of steel, which is a magnetic material.

第３図には、本発明の第２実施例が示されてい
る。 A second embodiment of the invention is shown in FIG.

本実施例は、第２機械要素としての載物台１
と、この載物台１上に設けられた磁性材料からな
る第１機械要素としての案内レール２とが、その
端部近傍でボルト１０で固定され、かつ、載物台
１には、案内レール２の長手方向に沿つた軸線上
に所定間隔離されて磁石９が案内レール２に対面
して複数設けられるようにしたものであり、更に
この案内レール２の上にはその長手方向に沿つて
メインスケール部材６が設けられている例であ
る。即ち、本実施例では第１機械要素と、これと
異材質な第２機械要素とのいずれか一方にその他
方に対面する磁石を取付け、第１機械要素を該磁
石の磁力を利用して第２機械要素に磁力結合する
ものである。本実施例によれば、２つの機械要素
のうち、いずれか１つが磁性材料からなれば、他
の機械要素のみ磁石を取付ければよく、機械要素
の連結構造を簡単にすることができる。 In this embodiment, a stage 1 as a second mechanical element is used.
A guide rail 2 as a first mechanical element made of a magnetic material provided on the stage 1 is fixed with a bolt 10 near its end, and the stage 1 has A plurality of magnets 9 are provided facing the guide rail 2 at predetermined intervals on an axis along the longitudinal direction of the guide rail 2, and magnets 9 are provided on the guide rail 2 along the longitudinal direction. This is an example in which a main scale member 6 is provided. That is, in this embodiment, a magnet facing the other is attached to either the first mechanical element or the second mechanical element made of a different material, and the first mechanical element is moved to the second mechanical element by using the magnetic force of the magnet. It is magnetically coupled to two mechanical elements. According to this embodiment, if one of the two machine elements is made of a magnetic material, it is only necessary to attach a magnet to the other machine element, and the connection structure of the machine elements can be simplified.

第４図には、本発明の第３実施例が示されてい
る。 FIG. 4 shows a third embodiment of the invention.

本実施例では、段が設けられた案内レール２Ｂ
と、この案内レール２Ｂの相隣合う２面において
接するメインスケール部材６とにおいて、これら
が接する面の各々に磁石８、磁石９を設けるとと
もに、ボルト１０で端部近傍を固定したものであ
る。これによれば、一方向のみの変位、第４図に
示される矢印Ｐ方向のみの変位が許容されるの
で、変形を嫌う部分についての結合に都合がよ
い。 In this embodiment, a guide rail 2B provided with steps is used.
and the main scale member 6 which are in contact with each other on two adjacent surfaces of the guide rail 2B, a magnet 8 and a magnet 9 are provided on each of the surfaces where these contact, and the vicinity of the end portion is fixed with a bolt 10. According to this, displacement in only one direction, displacement only in the direction of arrow P shown in FIG. 4, is permitted, which is convenient for joining parts that do not want to be deformed.

第５図には、本発明の第４実施例が示されてい
る。 FIG. 5 shows a fourth embodiment of the invention.

本実施例は、両端に規制壁を有する案内レール
２Ｃと、これに挟まれるように取付けられたメイ
ンスケール部材６とをその接する一面において磁
石８、磁石９を設けるとともに、端部近傍をボル
ト１０で固定したものである。このように、メイ
ンスケール部材６の両側に規制壁が設けられてい
ると、完全に一方向のみの変位、第５図に示され
る矢印Ｑ方向のみの変位が許容されるので、熱的
変形を受けてもメインスケール部材６に設けられ
たスケールが曲がることがなく、これによる誤差
を十分に防止できる。 In this embodiment, a guide rail 2C having regulating walls at both ends and a main scale member 6 mounted between the guide rails 2C are provided with magnets 8 and 9 on one surface in contact with the guide rail 2C, and bolts 10 are provided near the ends. It is fixed at In this way, when the regulating walls are provided on both sides of the main scale member 6, displacement in only one direction is allowed, that is, displacement only in the direction of arrow Q shown in FIG. 5, so thermal deformation is prevented. The scale provided on the main scale member 6 does not bend even if the main scale member 6 is subjected to the bending, and errors caused by this can be sufficiently prevented.

第６図には、本発明の第５実施例が示されてい
る。 FIG. 6 shows a fifth embodiment of the invention.

本実施例は、直線方向変位検出器におけるメイ
ンスケールと検出器本体との結合に適用した例で
ある。即ち、直線方向変位検出器２０の第１機械
要素としての金属製検出器本体２１と、その長手
方向に傾斜されて設けられた第２機械要素として
のガラス製メインスケール２２とは、その端部近
傍にボルト２３により固定されるとともに、検出
器本体２１には磁石２４が、メインスケール２２
には磁石２４と軸線方向寸法の等しい磁石２５が
所定間隔離されて対面して取付けられるようにし
たものである。本実施例によれば、熱的変形が生
じても、検出器本体２１のそりが生じることがな
く、更に、検出器本体２１内に設けられたメイン
スケル２２が破損されることがない。 This embodiment is an example in which the present invention is applied to a connection between a main scale and a detector body in a linear displacement detector. That is, the metal detector body 21 as the first mechanical element of the linear displacement detector 20 and the glass main scale 22 as the second mechanical element inclined in the longitudinal direction are arranged at the ends thereof. In addition to being fixed with bolts 23 nearby, a magnet 24 is attached to the main scale 22 of the detector body 21.
A magnet 25 having the same axial dimension as the magnet 24 is mounted facing each other and separated by a predetermined distance. According to this embodiment, even if thermal deformation occurs, the detector body 21 will not warp, and the main scale 22 provided within the detector body 21 will not be damaged.

なお、前記第１、第３及び第４実施例では、磁
石８の磁石９に対する案内レール２等の長手方向
の寸法が大きいものであつたが、本発明ではこれ
に限られず、同じもの、または、小さいものであ
つてもよい。更に、磁石８、磁石９の数はメイン
スケール部材６等の長さとの関係で適宜に決めら
れるものである。ただし、多数設けると案内レー
ル２とメインスケール部材６との結合が強いとい
う利点がある。また、前記各実施例では、固定手
段としてボルト１０を用いたが、本発明では、第
１機械要素と第２機械要素とを固定するならば、
溶接、接着等の他の手段でもよい。更に、ボルト
１０の固定位置は、前記各実施例のようにメイン
スケール部材６等の中央部或いは端部であるもの
に限らず、それらの途中いずれの箇所でもよく、
即ち、メインスケール部材６等の磁力線に交叉す
る方向の相対変位を許容する位置ならばどこでも
よい。ただし、第１実施例のように、ボルト１０
の固定位置をメインスケール部材６等の中央部と
すると、メインスケール部材６等の端部近傍とし
た場合の測定の累積誤差が２分の１となり好まし
い。また、前記第１、第３及び第４実施例では、
本発明にかかる機械要素の連結構造を三次元測定
機の案内レール２とメインスケール部材５との結
合に適用し、第２実施例では、載物台１と案内レ
ール２との結合に適用したが、本発明では、Ｘ軸
またはＺ軸方向の移動部材を支持する案内レール
とメインスケール部材との結合等その他三次元測
定機の機械要素の結合にも適用できる。その他
に、第５実施例では本発明にかかる機械要素の連
結構造を直線方向変位検出器に用いたが、本発明
では、これら以外にも２機械要素を連結するもの
ならばあらゆるものに適用できる。 In addition, in the first, third and fourth embodiments, the lengthwise dimension of the guide rail 2, etc. of the magnet 8 with respect to the magnet 9 was large, but the present invention is not limited to this, and the same or , may be small. Further, the number of magnets 8 and 9 is determined as appropriate in relation to the length of the main scale member 6 and the like. However, if a large number of them are provided, there is an advantage that the connection between the guide rail 2 and the main scale member 6 is strong. Further, in each of the above embodiments, the bolt 10 was used as the fixing means, but in the present invention, if the first mechanical element and the second mechanical element are fixed,
Other means such as welding or adhesion may also be used. Furthermore, the fixing position of the bolt 10 is not limited to the central part or end part of the main scale member 6 etc. as in each of the above embodiments, but may be any part in the middle thereof.
That is, any position may be used as long as it allows relative displacement of the main scale member 6 and the like in a direction intersecting the lines of magnetic force. However, as in the first embodiment, the bolt 10
If the fixing position is set at the center of the main scale member 6, etc., the cumulative error of measurement when set near the end of the main scale member 6, etc. becomes 1/2, which is preferable. Furthermore, in the first, third and fourth embodiments,
The mechanical element connection structure according to the present invention is applied to the connection between the guide rail 2 and the main scale member 5 of a coordinate measuring machine, and in the second embodiment, it is applied to the connection between the stage 1 and the guide rail 2. However, the present invention can also be applied to coupling other mechanical elements of a three-dimensional measuring machine, such as coupling a main scale member to a guide rail that supports a moving member in the X-axis or Z-axis direction. In addition, in the fifth embodiment, the mechanical element connection structure according to the present invention was used for a linear displacement detector, but the present invention can be applied to any other device that connects two mechanical elements. .

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

前述のような本発明によれば連結された２つの
機械要素が熱を受けても、そり、破損等を生じる
ことがないという効果がある。 According to the present invention as described above, even if two connected mechanical elements are exposed to heat, there is no possibility of warpage, damage, etc.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第１図は本発明の第１実施例を示す一部を切欠
いた正面図、第２図はその一部を切欠いた平面
図、第３図は本発明の第２実施例を示す一部を切
欠いた正面図、第４図は本発明の第３実施例を示
す斜視図、第５図は本発明の第４実施例を示す斜
視図、第６図は本発明の第５実施例を示す一部を
切欠いた斜視図、第７図は一般の三次元測定機を
示す斜視図である。 ２，２Ｂ，２Ｃ，２１……第１機械要素として
の案内レール及び直線方向変位検出器本体、１，
６，２２……第２機械要素としての載物台、メイ
ンスケール部材及びメインスケール、８，９，２
４，２５……磁石、１０，２３……固定手段とし
てのボルト。 FIG. 1 is a partially cutaway front view showing a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially cutaway plan view, and FIG. 3 is a partially cutaway plan view showing a second embodiment of the present invention. 4 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention; FIG. 5 is a perspective view showing a fourth embodiment of the present invention; and FIG. 6 is a perspective view showing a fifth embodiment of the present invention. FIG. 7 is a partially cutaway perspective view showing a general three-dimensional measuring machine. 2, 2B, 2C, 21... Guide rail and linear displacement detector body as first mechanical element, 1,
6, 22... A stage as a second machine element, a main scale member, and a main scale, 8, 9, 2
4, 25... Magnet, 10, 23... Bolt as fixing means.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １ 第１機械要素と、これと異材質な第２機械要
素との少なくともいずれか一方に、その他方に対
面する磁石を取付け、第１機械要素を該磁石の磁
力を利用して第２機械要素に磁力結合するととも
に、両機械要素の該磁力線と交叉する方向の相対
変位を許容する位置に設けた固定手段で第１機械
要素を第２機械要素に固定し、この固定位置相当
部分を除く他の部分が前記磁力に抗し面方向に相
対変位可能に両機械要素を連結するよう構成した
ことを特徴とする機械要素の連結構造。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記磁石と
固定手段とは、第１機械要素の長手方向に沿つた
軸線上に配設され、かつ、前記磁石は軸線上に離
隔する複数のものであることを特徴とする機械要
素の連結構造。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項におい
て、前記磁石は、前記機械要素の一方に取付けら
れたＮ極部分と、その他方に取付けられたＳ極部
分とから分離形成されていることを特徴とする機
械要素の連結構造。 ４ 特許請求の範囲第３項において、前記Ｎ極部
分またはＳ極部分のいずれか一方の前記軸線方向
寸法が他方のその寸法より長く形成されているこ
とを特徴とする機械要素の連結構造。[Claims] 1. A magnet facing the other is attached to at least one of the first mechanical element and a second mechanical element made of a different material, and the first mechanical element utilizes the magnetic force of the magnet. The first mechanical element is magnetically coupled to the second mechanical element, and the first mechanical element is fixed to the second mechanical element by a fixing means provided at a position that allows relative displacement of both mechanical elements in a direction intersecting the lines of magnetic force. 1. A connecting structure for mechanical elements, characterized in that a portion other than the position-corresponding portion is configured to connect both mechanical elements such that they can be relatively displaced in a plane direction against the magnetic force. 2. In claim 1, the magnet and the fixing means are arranged on an axis along the longitudinal direction of the first mechanical element, and the magnets are a plurality of magnets spaced apart on the axis. A connecting structure of mechanical elements characterized by: 3. In claim 1 or 2, it is stated that the magnet is formed separately from a north pole portion attached to one of the mechanical elements and a south pole portion attached to the other side. Features a connecting structure of mechanical elements. 4. The mechanical element connection structure according to claim 3, wherein the axial dimension of either the N-pole portion or the S-pole portion is longer than that of the other.