JPH01318915A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH01318915A JPH01318915A JP15035988A JP15035988A JPH01318915A JP H01318915 A JPH01318915 A JP H01318915A JP 15035988 A JP15035988 A JP 15035988A JP 15035988 A JP15035988 A JP 15035988A JP H01318915 A JPH01318915 A JP H01318915A
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Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の産業上の利用分野コ
この発明は、自動機器などに使用されている磁気エンコ
ーダに関し、特に精度が良好で且つバッテリー動作中に
用いるのに好適な磁気エンコーダに関し、ロータリタイ
プ、リニアタイプの何れの磁気エンコーダにも用いるこ
とのできるものである。
ーダに関し、特に精度が良好で且つバッテリー動作中に
用いるのに好適な磁気エンコーダに関し、ロータリタイ
プ、リニアタイプの何れの磁気エンコーダにも用いるこ
とのできるものである。
[従来技術とその問題点コ
各種自動機器において位置決めを行う際、モータ等の回
転角(推進角)1回転量(移動量)を計測し、これを電
気信号に変換する手段が必要とされる、この目的で、エ
ンコーダと呼ばれる装置が多用されている。
転角(推進角)1回転量(移動量)を計測し、これを電
気信号に変換する手段が必要とされる、この目的で、エ
ンコーダと呼ばれる装置が多用されている。
たとえば、ロータリ形のエンコーダについて説明すると
ロークリエンコーダは2回転にともなって発生するパル
ス数を計測するインクリメンタル形のものと、ロータに
記録したコードを読み取るアブソリュート形のものがあ
る。また、検出方式には、光学式のものと磁気式のもの
があるが、最近では、安価で信頼性に優れたインクリメ
ンタル形磁気式エンコーダが多用されるようになってき
た。
ロークリエンコーダは2回転にともなって発生するパル
ス数を計測するインクリメンタル形のものと、ロータに
記録したコードを読み取るアブソリュート形のものがあ
る。また、検出方式には、光学式のものと磁気式のもの
があるが、最近では、安価で信頼性に優れたインクリメ
ンタル形磁気式エンコーダが多用されるようになってき
た。
第6図は、従来の一般的なロータリ磁気式エンコーダ1
の説明図で、外周にN極2N、S極2Sの磁極を交互等
間隔に微細ピッチで多極着磁した磁気エンコーダ磁極2
を有するマグネットロータ3と径方向の空隙4を介して
対向する位置に磁気抵抗(効果)素子(、M Rセンサ
と言われている)5を対向配設して形成している。なお
、マグネットロータ3は、マグネットにて形成した一体
型のものであっても良く、適宜なロータドラムの外周に
マグネット層を塗布して形成したちの何れのものであっ
ても良い。
の説明図で、外周にN極2N、S極2Sの磁極を交互等
間隔に微細ピッチで多極着磁した磁気エンコーダ磁極2
を有するマグネットロータ3と径方向の空隙4を介して
対向する位置に磁気抵抗(効果)素子(、M Rセンサ
と言われている)5を対向配設して形成している。なお
、マグネットロータ3は、マグネットにて形成した一体
型のものであっても良く、適宜なロータドラムの外周に
マグネット層を塗布して形成したちの何れのものであっ
ても良い。
上記磁気エンコーダ磁極2のN極2N、S極2Sそれぞ
れの1磁極幅は、λ(電気角で2πで表される幅に等し
い)幅で着磁されている。
れの1磁極幅は、λ(電気角で2πで表される幅に等し
い)幅で着磁されている。
また磁気抵抗素子5は2例えば強磁性体磁気抵抗効果素
子を用いるとして、先ず磁気エンコーダ1の原理を説明
するなめに、磁気抵抗素子5を構成する強磁性体薄膜で
形成された磁気抵抗効果を有する導体(磁気抵抗体)6
について第7図を用いて説明する。
子を用いるとして、先ず磁気エンコーダ1の原理を説明
するなめに、磁気抵抗素子5を構成する強磁性体薄膜で
形成された磁気抵抗効果を有する導体(磁気抵抗体)6
について第7図を用いて説明する。
この導体6は、数千A単位程度の厚みでNi−C0系の
金属薄膜(強磁性金属薄膜)をガラス等の基板に真空蒸
着やエツチング等の手段で形成することで上記磁気抵抗
素子5を形成できる。
金属薄膜(強磁性金属薄膜)をガラス等の基板に真空蒸
着やエツチング等の手段で形成することで上記磁気抵抗
素子5を形成できる。
導体6は、第7図に示すように、これに流れる電流■と
磁束7との方向が垂直となるように配設しておくと、磁
束7は、N極2NからS極2sに向かう。
磁束7との方向が垂直となるように配設しておくと、磁
束7は、N極2NからS極2sに向かう。
この導体6は、第8図に示すように磁束7内において横
方向の磁束7xによって、抵抗値の減少をきたす。尚、
7Yは、m方向の磁束を示す。
方向の磁束7xによって、抵抗値の減少をきたす。尚、
7Yは、m方向の磁束を示す。
このときの導体6の抵抗の変化率は、数%で。
磁気エンコーダ磁極2の一磁極の幅をλとしたとき、λ
/4及び3λ/4の位置における時の導体6の抵抗値を
R9抵抗の変化値をΔrとすると。
/4及び3λ/4の位置における時の導体6の抵抗値を
R9抵抗の変化値をΔrとすると。
磁極(2Nまたは2S)と導体6の位相θ(−磁極幅2
N、2Sをそれぞれ電気角で2πとしたときの位相θと
する)における抵抗値R(θ)は。
N、2Sをそれぞれ電気角で2πとしたときの位相θと
する)における抵抗値R(θ)は。
R(θ)=R−Δr−cosθ (1)で表すことが
できる。
できる。
横方向の磁束7Xは2位相θ、導体6及び磁気エンコー
ダ磁極2の距離に関係し、導体6も、それに応じた抵抗
値Rをとる。
ダ磁極2の距離に関係し、導体6も、それに応じた抵抗
値Rをとる。
尚、磁気抵抗素子5の場合、ホール素子等の他の磁気セ
ンサと異なり、磁界中心(N極2N、S極2Sそれぞれ
の中間部のところの磁界状態)では、横方向の磁束が無
いため無磁界と同様に出力信号が変化しないという特徴
がある。
ンサと異なり、磁界中心(N極2N、S極2Sそれぞれ
の中間部のところの磁界状態)では、横方向の磁束が無
いため無磁界と同様に出力信号が変化しないという特徴
がある。
上記した1本の導体6を有する磁気抵抗素子5によって
は、A相及びB相の磁気エコーダ信号を得ることができ
ないので、第9図に示すように4本の導体6a、6b、
6a’ 、6b’をそれぞれ順次にλ/4だけずらして
形成し、A相及びB相の磁気エンコーダ信号を得るよう
にしている。
は、A相及びB相の磁気エコーダ信号を得ることができ
ないので、第9図に示すように4本の導体6a、6b、
6a’ 、6b’をそれぞれ順次にλ/4だけずらして
形成し、A相及びB相の磁気エンコーダ信号を得るよう
にしている。
この磁気抵抗素子5は、A相の磁気エンコーダ信号を得
るために2つの導体6a、6a’ と、B相の磁気エン
コーン信号を得るために導体6b。
るために2つの導体6a、6a’ と、B相の磁気エン
コーン信号を得るために導体6b。
6b“を形成したものとなっている。
導体6aと6a′は、互いに逆位相となるように、磁気
エンコーダ磁極2の一磁極(N極2NまたはS極2S)
の幅をλ(電気角で2π)とするとき、λ/2幅ずらせ
て形成している。
エンコーダ磁極2の一磁極(N極2NまたはS極2S)
の幅をλ(電気角で2π)とするとき、λ/2幅ずらせ
て形成している。
同様に導体6bと6b’ とは、互いに逆位相となるよ
うに、λ/2幅ずらせて形成している。
うに、λ/2幅ずらせて形成している。
また導体6aと6b、及び6a’ と6b’ とは、互
いにλ/4幅ずらして形成されている。
いにλ/4幅ずらして形成されている。
従って、磁気抵抗素子5は、λ/4ピッチずれて順次、
導体6a、6b、6a’ 、6b’を形成している。
導体6a、6b、6a’ 、6b’を形成している。
このように形成された磁気抵抗素子5からの磁気エンコ
ーダ信号を処理する回路としては1例えば、第10図の
方法がある。この第10図に示す磁気抵抗素子5の磁気
エンコーダ信号処理回路8は、抵抗器9−1.・・・、
9−4により、ブリッジを構成して抵抗変化を電圧変化
に変換し。
ーダ信号を処理する回路としては1例えば、第10図の
方法がある。この第10図に示す磁気抵抗素子5の磁気
エンコーダ信号処理回路8は、抵抗器9−1.・・・、
9−4により、ブリッジを構成して抵抗変化を電圧変化
に変換し。
コンパレータ10−1.10−2により、第11図(a
)、<b)に示すような90″位相が異をる2つの矩形
波のエンコーダ信号11−1゜11−2を得ることがで
きるようにしている。
)、<b)に示すような90″位相が異をる2つの矩形
波のエンコーダ信号11−1゜11−2を得ることがで
きるようにしている。
る。
この矩形波のエンコーダ信号11−1.11−2をカウ
ンタによって計数すれば、磁気エンコーダの回転角を計
測できる。
ンタによって計数すれば、磁気エンコーダの回転角を計
測できる。
上記第10図に示した磁気抵抗素子5の磁気エンコーダ
信号処理回路8は、磁気抵抗素子5の導体6aと6a’
、6bと6b’の接続点の中点電位の出力電圧を磁気
エンコーダ信号出力として利用したものである。
信号処理回路8は、磁気抵抗素子5の導体6aと6a’
、6bと6b’の接続点の中点電位の出力電圧を磁気
エンコーダ信号出力として利用したものである。
このように形成された磁気抵抗素子5は、いまA相分の
導体6a、6a”のみを取り出して描くと、第12同に
示すようなA相分の導体を有する磁気抵抗素子5”とし
ても描くことができる。
導体6a、6a”のみを取り出して描くと、第12同に
示すようなA相分の導体を有する磁気抵抗素子5”とし
ても描くことができる。
この磁気抵抗素子5′における導体6a。
6a°の形成すべき条件は、上記磁気抵抗素子5で説明
したと全く同じで、m歯状の導体6aと6a′は、互い
にλ磁極幅位相が離れた位置に互いに逆位相となるよう
に形成されている。導体6aの他端と導体6a’の一端
が共通接続され。
したと全く同じで、m歯状の導体6aと6a′は、互い
にλ磁極幅位相が離れた位置に互いに逆位相となるよう
に形成されている。導体6aの他端と導体6a’の一端
が共通接続され。
その中間を中点出力端子用導電体12に接続している。
導体6aの一端は、端子用導電体13を介して電源電池
14の正側に接続し、導体6a’の他端は、端子用導電
体15を介して電源電池16の負側に接続している。電
源電池14の負側と電源電池16の正側との接続点17
と出力端子用導電体12とから、出力端子18−1.1
8−2を取り出している。
14の正側に接続し、導体6a’の他端は、端子用導電
体15を介して電源電池16の負側に接続している。電
源電池14の負側と電源電池16の正側との接続点17
と出力端子用導電体12とから、出力端子18−1.1
8−2を取り出している。
かかる磁気抵抗素子5′によると、これらの導体6a、
6a’がマグネットロータ3の磁気エンコーダ磁極2面
に平行な磁界に感応して抵抗を減する。
6a’がマグネットロータ3の磁気エンコーダ磁極2面
に平行な磁界に感応して抵抗を減する。
この磁界成分は、マグネットロータ3の磁気エンコーダ
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部では0である
ので、λ磁極幅異なる位置に設けられた導体6a、6a
’は、マグネットロータ3の回転に伴いて極性が変化す
る為に、中点の電位が0を横切る回数を出力端、子18
−1.18−2から取り出してカウントすることにより
、ロータの回転数を計測できる。
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部では0である
ので、λ磁極幅異なる位置に設けられた導体6a、6a
’は、マグネットロータ3の回転に伴いて極性が変化す
る為に、中点の電位が0を横切る回数を出力端、子18
−1.18−2から取り出してカウントすることにより
、ロータの回転数を計測できる。
ところで、上記構成の磁気抵抗素子5゛ (もちろん、
上記磁気抵抗素子5も同じである)の導体6a、6a’
によると、マグネットロータ3の回転に伴う中点電位の
変化は、第13図に示すような幅の狭い出力信号波形2
2.22″となる場合が多い。これは、磁極ピッチに比
べてマグネットロータ3と磁気抵抗素子5°の間隔が短
い場合に特に顕著に現れる。
上記磁気抵抗素子5も同じである)の導体6a、6a’
によると、マグネットロータ3の回転に伴う中点電位の
変化は、第13図に示すような幅の狭い出力信号波形2
2.22″となる場合が多い。これは、磁極ピッチに比
べてマグネットロータ3と磁気抵抗素子5°の間隔が短
い場合に特に顕著に現れる。
このように電位がゼロに近い部分の多い幅の短い波形の
ゼロを横切る点の計測は、基準電圧の変動によって、特
にデジタル信号になおす場合には、誤差を含み易く、ま
たノイズによる誤動作を招きやすいという問題点があっ
た。
ゼロを横切る点の計測は、基準電圧の変動によって、特
にデジタル信号になおす場合には、誤差を含み易く、ま
たノイズによる誤動作を招きやすいという問題点があっ
た。
更に又、上記磁気抵抗素子5′を用いてA相用及びB相
用の磁気エンコーダ信号を得るには、この磁気抵抗素子
5′を2@用いてmλ十λ/4(mは1以上の整数)磁
極幅離して配設しなければならず、当該磁気エンコーダ
が大型且つ高価になる欠点があった。
用の磁気エンコーダ信号を得るには、この磁気抵抗素子
5′を2@用いてmλ十λ/4(mは1以上の整数)磁
極幅離して配設しなければならず、当該磁気エンコーダ
が大型且つ高価になる欠点があった。
[問題点を解決する手段]
上記の問題点を解決する方法について2本願発明者は種
々の検討を行ったが、略々均一な幅で。
々の検討を行ったが、略々均一な幅で。
交互に多数の磁極(多極着磁体。上記磁気エンコーダ磁
極2が該当する)が設けられたマグネットロータと、こ
れに対向配置する磁気抵抗素子からなる磁気エンコーダ
において、これに用いるための、略々均一な幅でN極、
S極の磁極が多数個設けられた多極磁極体に対向配置さ
れる磁気抵抗素子であって、磁気抵抗素子が上記多極磁
極体の略(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、λ
は上記多極着磁体の1磁極の幅)磁極幅に渡って順次連
続して櫛歯状等に形成された人相用磁気エンコーダ出力
信号を得るための磁気抵抗効果を有する導体群によって
構成されたA相用磁気抵抗素子エレメントを設け、該A
相用磁気抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有する導
体群の中点にA相用磁気エンコーダ出力を得る出力端子
を設け。
極2が該当する)が設けられたマグネットロータと、こ
れに対向配置する磁気抵抗素子からなる磁気エンコーダ
において、これに用いるための、略々均一な幅でN極、
S極の磁極が多数個設けられた多極磁極体に対向配置さ
れる磁気抵抗素子であって、磁気抵抗素子が上記多極磁
極体の略(2n+1)λ(但し、nは0以上の整数、λ
は上記多極着磁体の1磁極の幅)磁極幅に渡って順次連
続して櫛歯状等に形成された人相用磁気エンコーダ出力
信号を得るための磁気抵抗効果を有する導体群によって
構成されたA相用磁気抵抗素子エレメントを設け、該A
相用磁気抵抗素子エレメントの磁気抵抗効果を有する導
体群の中点にA相用磁気エンコーダ出力を得る出力端子
を設け。
上記A相用磁気抵抗素子エレメントと同様に形成される
と共に、A相用磁気抵抗素子エレメントからλ/4磁極
幅位相をずらせて当該A相用磁気抵抗素子エレメントに
重ね合わせたB相用磁気エンコーダ出力信号を得るため
の磁気抵抗効果を有する導体群によって構成されたB相
用磁気抵抗素子エレメントを設け、該B相用磁気抵抗素
子エレメントの磁気抵抗効果を有する導体群の中点にB
相用磁気エンコーダ出力を得る為の出力端子を設けた磁
気エンコーダを提供することで本発明の課題を達成でき
る。
と共に、A相用磁気抵抗素子エレメントからλ/4磁極
幅位相をずらせて当該A相用磁気抵抗素子エレメントに
重ね合わせたB相用磁気エンコーダ出力信号を得るため
の磁気抵抗効果を有する導体群によって構成されたB相
用磁気抵抗素子エレメントを設け、該B相用磁気抵抗素
子エレメントの磁気抵抗効果を有する導体群の中点にB
相用磁気エンコーダ出力を得る為の出力端子を設けた磁
気エンコーダを提供することで本発明の課題を達成でき
る。
即ち、磁気抵抗素子が上記多極磁極体の略(2n+1)
λ(但し、nは0以上の整数、λは磁気エンコーダの1
磁極の幅)磁極幅に渡って順次連続して櫛歯状等に形成
された磁気抵抗効果を有する導体群によって構成され、
該磁気抵抗効果を有する導体群の中点に出力端子を設け
、該出力端子から磁気エンコーダ出力を得ることにより
、矩形波(或は台形波)に近い良好な信号が出力される
ことを見い出し2本発明に至った。
λ(但し、nは0以上の整数、λは磁気エンコーダの1
磁極の幅)磁極幅に渡って順次連続して櫛歯状等に形成
された磁気抵抗効果を有する導体群によって構成され、
該磁気抵抗効果を有する導体群の中点に出力端子を設け
、該出力端子から磁気エンコーダ出力を得ることにより
、矩形波(或は台形波)に近い良好な信号が出力される
ことを見い出し2本発明に至った。
磁気抵抗素子として、(2n+1)λ磁極幅(こ渡る磁
気抵抗効果を有する導体群を一様に隣接配置して設けた
A相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エ
レメントとを重ね合わせれば、これによる磁気抵抗素子
の横幅の面積の増加は殆ど無く、これによるコストの上
昇、形状の大型化等の悪影響も殆どない。
気抵抗効果を有する導体群を一様に隣接配置して設けた
A相用磁気抵抗素子エレメントとB相用磁気抵抗素子エ
レメントとを重ね合わせれば、これによる磁気抵抗素子
の横幅の面積の増加は殆ど無く、これによるコストの上
昇、形状の大型化等の悪影響も殆どない。
[作用]
本発明の磁気エンコーダによる磁気抵抗素子は、従来の
磁気抵抗素子5′を(2n、+1)λ磁極幅に渡って少
しづつずらしながら、多数個を可動子の移動方向に沿っ
て重ね合わせて形成したものと考えることができる。こ
のような重ね合わせを行うと、第4図及び第5図に示す
ように出力波形は、矩形波(あるいは台形波)に近づく
、このような波形であれば、ゼロに近い期間が少ないた
め、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化も少なく
、かかる波形をデジタル化した磁気エンコーダ信号に直
すのに都合良く、またノイズによる影響も少なく2精度
良好で信顆性の高い磁気エンコーダを得ることができる
。
磁気抵抗素子5′を(2n、+1)λ磁極幅に渡って少
しづつずらしながら、多数個を可動子の移動方向に沿っ
て重ね合わせて形成したものと考えることができる。こ
のような重ね合わせを行うと、第4図及び第5図に示す
ように出力波形は、矩形波(あるいは台形波)に近づく
、このような波形であれば、ゼロに近い期間が少ないた
め、基準電圧の変動によるゼロクロス点の変化も少なく
、かかる波形をデジタル化した磁気エンコーダ信号に直
すのに都合良く、またノイズによる影響も少なく2精度
良好で信顆性の高い磁気エンコーダを得ることができる
。
このように形成された磁気抵抗素子(以下に示す実施例
では、この磁気抵抗素子部分を磁気抵抗素子エレメント
という)をA相用とB用層の一対を用意し、これを更に
λ/4磁極幅位相をずらせて二重に重ね合わせてA相用
及びB用層の磁気エンコーダ信号を得るようにすれば、
従来の第12図に示すような磁気抵抗素子を2個用いた
ものに比較して、その厚みは数〜十μの増加があるとし
ても横方向の長さを2分の1以下にコンパクトに形成で
きるため、磁気エンコーダを小型に形成できる。
では、この磁気抵抗素子部分を磁気抵抗素子エレメント
という)をA相用とB用層の一対を用意し、これを更に
λ/4磁極幅位相をずらせて二重に重ね合わせてA相用
及びB用層の磁気エンコーダ信号を得るようにすれば、
従来の第12図に示すような磁気抵抗素子を2個用いた
ものに比較して、その厚みは数〜十μの増加があるとし
ても横方向の長さを2分の1以下にコンパクトに形成で
きるため、磁気エンコーダを小型に形成できる。
[実施例]
第1図は本発明の磁気エンコーダに用いる磁気抵抗素子
19の説明図で、第2図は同磁気抵抗素子19の分解斜
視図で、この磁気抵抗素子1つでは、A相分の磁気抵抗
素子エレメント19AとB相分の磁気抵抗素子エレメン
ト19Bとで、A相及びB相の磁気エンコーダ信号が得
られるように構成したものを描いている。
19の説明図で、第2図は同磁気抵抗素子19の分解斜
視図で、この磁気抵抗素子1つでは、A相分の磁気抵抗
素子エレメント19AとB相分の磁気抵抗素子エレメン
ト19Bとで、A相及びB相の磁気エンコーダ信号が得
られるように構成したものを描いている。
磁気抵抗素子19は2人相の磁気エンコーダ信号からλ
/4磁極幅(λは磁気エンコーダ磁極2の1磁極幅を示
す)位相がずれてB相の磁気エンコーダ信号を得ること
が出来るように、複数の順次隣接して形成された櫛歯状
の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20群からなる人
相の磁気抵抗素子エレメント19Aと、該磁気抵抗素子
エレメント19Aから、同じく複数の順次隣接して形成
された櫛歯状の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20
群からなるB相の磁気抵抗素子エレメント19Bを磁気
抵抗素子エレメント19Aからλ/4磁極幅位相がずれ
て、それぞれ幅が磁気抵抗素子エレメント19A、19
Bよりも大きく形成した薄膜絶縁体25.ガラス基板等
の絶縁基板26の上面に上記したような適宜な手段によ
って形成している。
/4磁極幅(λは磁気エンコーダ磁極2の1磁極幅を示
す)位相がずれてB相の磁気エンコーダ信号を得ること
が出来るように、複数の順次隣接して形成された櫛歯状
の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20群からなる人
相の磁気抵抗素子エレメント19Aと、該磁気抵抗素子
エレメント19Aから、同じく複数の順次隣接して形成
された櫛歯状の磁気抵抗効果を有する直線状の導体20
群からなるB相の磁気抵抗素子エレメント19Bを磁気
抵抗素子エレメント19Aからλ/4磁極幅位相がずれ
て、それぞれ幅が磁気抵抗素子エレメント19A、19
Bよりも大きく形成した薄膜絶縁体25.ガラス基板等
の絶縁基板26の上面に上記したような適宜な手段によ
って形成している。
またA相の磁気抵抗素子エレメント19Aの上面には該
磁気抵抗素子エレメント19Aよりも。
磁気抵抗素子エレメント19Aよりも。
大きな幅で上記薄膜絶縁体25とほぼ同じ大きさに形成
された薄膜絶縁体27が施されていて、この薄膜絶縁体
27によって上記磁気抵抗素子エレメント19A、19
Bを保護している。
された薄膜絶縁体27が施されていて、この薄膜絶縁体
27によって上記磁気抵抗素子エレメント19A、19
Bを保護している。
尚、上記薄膜絶縁体25.27は、後記する出力端子用
導電体12A、12B、13A。
導電体12A、12B、13A。
13B、15A、15Bを露出しなければならないため
に、上記WI膜絶絶縁体5.27に端子露出用切欠部2
5a、27aを形成している。この切欠部25a、27
aとは、一致しない位置に形成する必要があるため、上
記端子12A、12B。
に、上記WI膜絶絶縁体5.27に端子露出用切欠部2
5a、27aを形成している。この切欠部25a、27
aとは、一致しない位置に形成する必要があるため、上
記端子12A、12B。
13A、13B、15A、15Bは他の端子と重ならな
い位置に適宜な幅に形成する必要がある。
い位置に適宜な幅に形成する必要がある。
磁気抵抗素子19を構成するA相用磁気抵抗素子エレメ
ント19Aは、第1図及び第2図に示すように磁気エン
コーダ磁極2(第6図参照)の(2n+1 >λ(nは
0以上の整数、λは磁気エンコーダ磁極2の1磁極の幅
)磁極幅1例えば。
ント19Aは、第1図及び第2図に示すように磁気エン
コーダ磁極2(第6図参照)の(2n+1 >λ(nは
0以上の整数、λは磁気エンコーダ磁極2の1磁極の幅
)磁極幅1例えば。
この実施例のようにn=oの場合を例にすると。
磁気エンコーダ磁極2の1磁極幅λに渡って順次隣接し
て磁気抵抗効果を有する櫛歯状に形成された複数の導体
20群で形成され、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導
体20群を2分する磁気エンコーダ磁極2の回転方向か
ら見た中心に設けられた位置の導体部20゛位置から、
中点出力端子用導電体12Aを取り出すようにしている
。該出力端子用導体導電体12Aにより2分された図面
に於いて左半分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成され
た導体20群を磁気抵抗エレメント21Aとし、右半分
即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成された導体20群を
磁気抵抗エレメント21A゛と表すこととする。
て磁気抵抗効果を有する櫛歯状に形成された複数の導体
20群で形成され、λ磁極幅の範囲に渡って形成した導
体20群を2分する磁気エンコーダ磁極2の回転方向か
ら見た中心に設けられた位置の導体部20゛位置から、
中点出力端子用導電体12Aを取り出すようにしている
。該出力端子用導体導電体12Aにより2分された図面
に於いて左半分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成され
た導体20群を磁気抵抗エレメント21Aとし、右半分
即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成された導体20群を
磁気抵抗エレメント21A゛と表すこととする。
かかる磁気抵抗エレメント21A、21A’は、上記し
たように薄膜絶縁体25上に適宜な手段によって形成す
ることで、A相用磁気エンコーダ出力信号を得るための
磁気抵抗素子エレメント19Aを形成している。
たように薄膜絶縁体25上に適宜な手段によって形成す
ることで、A相用磁気エンコーダ出力信号を得るための
磁気抵抗素子エレメント19Aを形成している。
また、磁気抵抗素子19を構成する磁気抵抗素子エレメ
ント19Bは、磁気エンコーダ磁極2(第6図参照)の
(2n−hl)λ(nは0以上の整数。^は磁気エンコ
ーダ磁極2の1磁極の幅)磁極幅2例えば、n=0の場
合を例にすると、磁気エンコーダ磁極2の1磁極幅λに
渡って順次隣接して磁気抵抗効果を有する櫛歯状に形成
された複数の導体20群で形成され、λ磁極幅の範囲に
渡って形成した導体20群を2分する磁気エンコーダ磁
極2の回転方向から見た中心に設けられた位置の導体部
20゛位置から、中点出力端子用導電体12Bを取り出
すようにしている。該出力端子用導体導電体12Bによ
り2分された図面に於いて左半分即ち、λ/2幅の範囲
に渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレメント2
1Bとし、右半分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成さ
れた導体20群を磁気抵抗エレメント21B′と表すこ
ととする。
ント19Bは、磁気エンコーダ磁極2(第6図参照)の
(2n−hl)λ(nは0以上の整数。^は磁気エンコ
ーダ磁極2の1磁極の幅)磁極幅2例えば、n=0の場
合を例にすると、磁気エンコーダ磁極2の1磁極幅λに
渡って順次隣接して磁気抵抗効果を有する櫛歯状に形成
された複数の導体20群で形成され、λ磁極幅の範囲に
渡って形成した導体20群を2分する磁気エンコーダ磁
極2の回転方向から見た中心に設けられた位置の導体部
20゛位置から、中点出力端子用導電体12Bを取り出
すようにしている。該出力端子用導体導電体12Bによ
り2分された図面に於いて左半分即ち、λ/2幅の範囲
に渡って形成された導体20群を磁気抵抗エレメント2
1Bとし、右半分即ち、λ/2幅の範囲に渡って形成さ
れた導体20群を磁気抵抗エレメント21B′と表すこ
ととする。
かかる磁気抵抗エレメント21B、21B’は、上記し
たように薄膜絶縁体25上に適宜な手段によって形成す
ることで、B相用磁気エンコーダ出力信号を得るための
磁気抵抗素子エレメント19Bを形成している。
たように薄膜絶縁体25上に適宜な手段によって形成す
ることで、B相用磁気エンコーダ出力信号を得るための
磁気抵抗素子エレメント19Bを形成している。
この磁気抵抗素子エレメント19Bは、上記磁気抵抗素
子エレメント19Aから1回転方向に対してλ/4幅だ
け位相がずれたB相用磁気エンコーダ信号が得られるよ
うに、同じく回転方向に対してλ/4幅だけ位相がずれ
て絶縁基板26上に形成され、この基板26に形成され
た導体20群を保護するように当該導体20群を薄膜絶
縁対25で覆っている。
子エレメント19Aから1回転方向に対してλ/4幅だ
け位相がずれたB相用磁気エンコーダ信号が得られるよ
うに、同じく回転方向に対してλ/4幅だけ位相がずれ
て絶縁基板26上に形成され、この基板26に形成され
た導体20群を保護するように当該導体20群を薄膜絶
縁対25で覆っている。
このようにすることによって、磁気エンコーダ磁極2の
一磁極幅λに渡って、導体20群からなる互いにλ/4
磁極幅だけ位相がずれて形成された。A相及びB相の磁
気抵抗エレメント21Aと21A′とからなる磁気抵抗
素子エレメント19Aと、磁気抵抗エレメント21Bと
21B′とからなる磁気抵抗素子エレメント19Bそれ
ぞれを形成している。
一磁極幅λに渡って、導体20群からなる互いにλ/4
磁極幅だけ位相がずれて形成された。A相及びB相の磁
気抵抗エレメント21Aと21A′とからなる磁気抵抗
素子エレメント19Aと、磁気抵抗エレメント21Bと
21B′とからなる磁気抵抗素子エレメント19Bそれ
ぞれを形成している。
即ち、従来のようにA相用の磁気抵抗素子エレメントと
B用層の磁気抵抗素子エレメントを互いに重ならないよ
うに(mλ+λ/4)(mは1以上の整数)磁極幅ずら
せて形成する必要がないので、磁気抵抗素子19を幅の
狭い小さなものに形成できる利点がある。
B用層の磁気抵抗素子エレメントを互いに重ならないよ
うに(mλ+λ/4)(mは1以上の整数)磁極幅ずら
せて形成する必要がないので、磁気抵抗素子19を幅の
狭い小さなものに形成できる利点がある。
また、上記のように構成することによって磁気抵抗エレ
メント2LAと21A’、磁気抵抗エレメント21Bと
21B°とは、互いに逆位相に形成されたものと同じに
なる。
メント2LAと21A’、磁気抵抗エレメント21Bと
21B°とは、互いに逆位相に形成されたものと同じに
なる。
磁気抵抗素子エレメント19Aは、磁気抵抗エレメント
21Aの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21A′
の一端の導体20とを共通接続し、その接続された中間
を引き出して中点出力端子用導電体12Aに接続してい
る。
21Aの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21A′
の一端の導体20とを共通接続し、その接続された中間
を引き出して中点出力端子用導電体12Aに接続してい
る。
磁気抵抗エレメント21Aの一端の導体20は、端子用
導電体13Aを介して電源電池14Aの正側に接続し、
磁気抵抗エレメント21A°の他端の導体20は、端子
用導電体15Aを介して電源電池16Aの負側に接続し
ている。
導電体13Aを介して電源電池14Aの正側に接続し、
磁気抵抗エレメント21A°の他端の導体20は、端子
用導電体15Aを介して電源電池16Aの負側に接続し
ている。
電源電池14Aの負側と電源電池16Aの正側との接続
点17Aと中点出力端子用導電体12Aとから、A相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子18A−
1,18A−2を取り出している。
点17Aと中点出力端子用導電体12Aとから、A相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子18A−
1,18A−2を取り出している。
また磁気抵抗素子エレメント19Bは、磁気抵抗エレメ
ント21Bの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21
B′の一端の導体20とを共通接続し、その接続された
中間を引き出して中点出力端子用導電体12Bに接続し
ている。
ント21Bの他端の導体20と磁気抵抗エレメント21
B′の一端の導体20とを共通接続し、その接続された
中間を引き出して中点出力端子用導電体12Bに接続し
ている。
磁気抵抗エレメント21Bの一端の導体20は、端子用
導電体13Bを介して電源電池14Bの正側に接続し、
磁気抵抗エレメント21B°の他端の導体20は、端子
用導電体15Bを介して電源電池16Bの負側に接続し
ている。
導電体13Bを介して電源電池14Bの正側に接続し、
磁気抵抗エレメント21B°の他端の導体20は、端子
用導電体15Bを介して電源電池16Bの負側に接続し
ている。
電源電池14Bの負側と電源電池16Bの正側との接続
点17Bと中点出力端子用導電体12Bとから、B相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子18B−
1,18B−2を取り出している。
点17Bと中点出力端子用導電体12Bとから、B相用
磁気エンコーダ出力を取り出すための出力端子18B−
1,18B−2を取り出している。
かかる磁気抵抗素子19によると、これらの磁気抵抗効
果を有する導体20群は2例えば第6図に示すマグネッ
トロータ3の磁気エンコーダ磁極2に平行な磁界に感応
して抵抗を減する。
果を有する導体20群は2例えば第6図に示すマグネッ
トロータ3の磁気エンコーダ磁極2に平行な磁界に感応
して抵抗を減する。
この磁界成分は、マグネットロータ3の磁気エンコーダ
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部では0である
ので、(2n+1)λの範囲に渡って形成された磁気抵
抗素子エレメント19Aと19Bは、マグネットロータ
3の回転に伴いて極性が変化する為に、中点の電位がO
′を゛横切る回数を出力端子18A−1と18A−2,
18B−1と18B−2から磁気エンコーダ出力を取り
出してカウントすることによりロータの回転数を計測で
きる。
磁極2の磁極境界部で大きく、磁極中心部では0である
ので、(2n+1)λの範囲に渡って形成された磁気抵
抗素子エレメント19Aと19Bは、マグネットロータ
3の回転に伴いて極性が変化する為に、中点の電位がO
′を゛横切る回数を出力端子18A−1と18A−2,
18B−1と18B−2から磁気エンコーダ出力を取り
出してカウントすることによりロータの回転数を計測で
きる。
ところで、上記構成の磁気抵抗素子19によると、マグ
ネットロータ3の回転に伴う中点電位の変化は、磁気抵
抗素子エレメント19Aの磁気抵抗エレメント21Aと
21A’、磁気抵抗素子エレメント19Bの磁気抵抗エ
レメント21Bと21B′とがそれぞれλ/2磁極幅に
渡って複数の導体20群によって形成されているために
、当該磁気抵抗エレメント21Aと21A’ 、21B
と21B°によって、第13図に示したと同じような波
形がそれぞれ第3図(a)、(b)に示すように波形2
2Aと22A’ 、波形22Bと22B′がλ/2磁極
幅の範囲に渡って少しづつずらせながら重ね合わせたよ
うにλ/4磁極幅位相がずれた幅の狭い信号群からなる
2つの出力信号波形22Aと22A’ 、22Bと22
B′が得られると考えることができる。
ネットロータ3の回転に伴う中点電位の変化は、磁気抵
抗素子エレメント19Aの磁気抵抗エレメント21Aと
21A’、磁気抵抗素子エレメント19Bの磁気抵抗エ
レメント21Bと21B′とがそれぞれλ/2磁極幅に
渡って複数の導体20群によって形成されているために
、当該磁気抵抗エレメント21Aと21A’ 、21B
と21B°によって、第13図に示したと同じような波
形がそれぞれ第3図(a)、(b)に示すように波形2
2Aと22A’ 、波形22Bと22B′がλ/2磁極
幅の範囲に渡って少しづつずらせながら重ね合わせたよ
うにλ/4磁極幅位相がずれた幅の狭い信号群からなる
2つの出力信号波形22Aと22A’ 、22Bと22
B′が得られると考えることができる。
従って、これら波形22Aと22A“、22Bと22B
′は、実際には、積分された波形となるので、同図の点
線23Aと23A’ 、23Bと23B′で示すように
合成されたものとなり、結果的には、中点の電位が第4
図及び第5図に示すような台形波(若しくは矩形波)の
出力信号波形24Aと24A’ 、24Bと24B″と
して出力端子18A−1と18A−2,18B−1と1
8B−2から取り出すことができる。
′は、実際には、積分された波形となるので、同図の点
線23Aと23A’ 、23Bと23B′で示すように
合成されたものとなり、結果的には、中点の電位が第4
図及び第5図に示すような台形波(若しくは矩形波)の
出力信号波形24Aと24A’ 、24Bと24B″と
して出力端子18A−1と18A−2,18B−1と1
8B−2から取り出すことができる。
かかる出力信号波形24Aと24A’ 。
24Bと24B°によれば、第13図に示した出力信号
波形22.22’と異なり、ゼロに近い部分が少なくな
るので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、このゼロ点
の計測は、基準電圧の変動によって誤差を含むことがな
くなり、又ノイズも少なくなるため、ノイズ誤動作がな
ぐなる。
波形22.22’と異なり、ゼロに近い部分が少なくな
るので、ゼロ電位を横切る点が少なくなり、このゼロ点
の計測は、基準電圧の変動によって誤差を含むことがな
くなり、又ノイズも少なくなるため、ノイズ誤動作がな
ぐなる。
第4図及び第5図に示す波形24Aと
24A’ 、24Bと24B′を得ることができるA相
及びB相の磁気抵抗素子19において、上記のように磁
気抵抗素子エレメント19Aと19Bをλ/4磁極幅位
相をずらして形成しておくことで、第10図に示す磁気
エンコーダ信号処理回路8を用いれば、第10図(a>
、(b)に示すような90°位相が異なる2つの矩形波
のエンコーダ信号11−1.11−2を得ることができ
る。
及びB相の磁気抵抗素子19において、上記のように磁
気抵抗素子エレメント19Aと19Bをλ/4磁極幅位
相をずらして形成しておくことで、第10図に示す磁気
エンコーダ信号処理回路8を用いれば、第10図(a>
、(b)に示すような90°位相が異なる2つの矩形波
のエンコーダ信号11−1.11−2を得ることができ
る。
従って、これらの矩形波のエンコーダ信号11−1.1
1−2をカウンタによって計数すれば、磁気エンコーダ
の回転角等を計測できる。
1−2をカウンタによって計数すれば、磁気エンコーダ
の回転角等を計測できる。
[発明の効果]
本発明の磁気エンコーダは、磁気抵抗素子から、矩形波
あるいは台形波の出力電位を取り出すことができるので
、この矩形波あるいは台形波の出力をデジタル化したと
きの誤差が、非常に少なく、精度の良い磁気エンコーダ
を安価且つ容易に構成できるため、簡単な構成で、しか
も精度良く、且つ安定して位置の計測が可能になる。更
に2本発明による磁気抵抗素子は、導体の全長が長いた
め、電気抵抗の高い磁気抵抗素子が容易に得られ、消費
電力の少ない磁気エンコーダを構成できる。このことは
、特にバッテリー動作中の磁気エンコーダとして最適な
磁気抵抗素子といえる。
あるいは台形波の出力電位を取り出すことができるので
、この矩形波あるいは台形波の出力をデジタル化したと
きの誤差が、非常に少なく、精度の良い磁気エンコーダ
を安価且つ容易に構成できるため、簡単な構成で、しか
も精度良く、且つ安定して位置の計測が可能になる。更
に2本発明による磁気抵抗素子は、導体の全長が長いた
め、電気抵抗の高い磁気抵抗素子が容易に得られ、消費
電力の少ない磁気エンコーダを構成できる。このことは
、特にバッテリー動作中の磁気エンコーダとして最適な
磁気抵抗素子といえる。
また本発明の最大の特徴からくる効果は、上記磁気エン
コーダに用いる為の磁気抵抗素子にあり、この磁気抵抗
素子はA相用とB用層の磁気抵抗素子エレメントを互い
にλ/4磁極幅位相をずらせて重ね合わせているので、
当該磁気抵抗素子を大型且つ高価にすることなく、即ち
、磁気エンコーダを小型且つ安価に形成できる効果があ
る。
コーダに用いる為の磁気抵抗素子にあり、この磁気抵抗
素子はA相用とB用層の磁気抵抗素子エレメントを互い
にλ/4磁極幅位相をずらせて重ね合わせているので、
当該磁気抵抗素子を大型且つ高価にすることなく、即ち
、磁気エンコーダを小型且つ安価に形成できる効果があ
る。
特に、磁気抵抗素子エレメントをA相用とB用層の一対
を用意し、これを更にλ/4磁極幅位相をずらせて二重
に重ね合わせてA相用及びB用層の磁気エンコーダ信号
を搏るようにしているので、従来の第12図に示すよう
な磁気抵抗素子を2個用いたものに比較して、その厚み
は数〜十μの増加があるとしても横方向の長さを2分の
1以下にコンパクトに形成できるため、磁気エンコーダ
を小型に形成できる。
を用意し、これを更にλ/4磁極幅位相をずらせて二重
に重ね合わせてA相用及びB用層の磁気エンコーダ信号
を搏るようにしているので、従来の第12図に示すよう
な磁気抵抗素子を2個用いたものに比較して、その厚み
は数〜十μの増加があるとしても横方向の長さを2分の
1以下にコンパクトに形成できるため、磁気エンコーダ
を小型に形成できる。
また別の方法としては、かかる磁気抵抗素子を同相位置
に複数個配置することで(尚、この複数個の磁気抵抗素
子を1個の磁気抵抗素子に構成し。
に複数個配置することで(尚、この複数個の磁気抵抗素
子を1個の磁気抵抗素子に構成し。
ても良いことはいうまでもない)、より精度良く確実な
磁気エンーダ信号を得ることも可能である。
磁気エンーダ信号を得ることも可能である。
第1図は本発明の一実施例を示す磁気エンコーダに用い
た磁気抵抗素子の説明図、第2図は第1図の磁気抵抗素
子の分解斜視図、第3図は第1図及び第2図の磁気抵抗
素子を用いた場合の本発明の詳細な説明するため説明図
、第4図は本発明に用いた磁気抵抗素子のA相用の磁気
エンコーダの出力信号を示す波形図、第5図は本発明に
用いた磁気抵抗素子のA相用及びB用層の磁気エンコー
ダの出力信号を示す波形図、第6図は従来公知のインク
リメンタル形ロータリ磁気エンコーダの概略説明図、第
7図乃至第9図は磁気エンコーダの磁気エンコーダ磁極
と磁気抵抗素子との関係の説明図、第10図は磁気抵抗
素子の磁気エンコーダ処理回路の説明図、第11図は同
磁気エンコーダから得られるエンコーダ信号波形図、第
12図は従来のA相分の磁気抵抗素子の説明図、第13
図は第12図の磁気抵抗素子を用いた場合の磁気エンコ
ーダの出力信号を示す図である。 [符号の説明] 1・・・ロータリ磁気エンコーダ。 2・・・磁気エンコーダ磁極。 3・・・マグネットロータ、4・・・空隙。 5.5゛ ・・・磁気抵抗素子。 6.6a、6a’ 、6b、6b’ −= −磁気抵
抗エレメント、7・・・磁束。 8・・・磁気エンコーダ信号処理回路。 9−1.・・・、9−4・・・抵抗器。 10−1.10−2・・・コンパレータ。 11−1.11−2・・・磁気エンコーダ信号。 12.12A、12B・・・中点出力端子用導電体、1
3,13A、13B・・・端子用導電体。 14.14A、14B・・・電源電池。 15.15A、’15B・・・端子用導電体。 16.16A、16B・・・電源電池。 17A、17B・・・接続点。 18A−1,18A−2,18B−1,18B−2・・
・出力端子、19・・・磁気抵抗素子。 19A・・・A相用の磁気抵抗素子エレメント。 19B・・・B用層の磁気抵抗素子エレメント。 20・・・導体、21A、21A’ ・・・A相用の
磁気抵抗エレメント、21B、21B’ ・・・B用
層の磁気抵抗エレメント。 22.22’ 、22A、22A’ 、22B。 22B° ・・・出力信号波形。 23.23° ・・・点線。 24A、24A’ 、24B、24B’ ・・・出力
信号波形、25・・・薄膜絶縁体、25a・・・端子露
出用切欠部、26・・・絶縁基板。 27・・・薄膜絶縁体、27a・・・端子露出用切欠部
。 第1図 第乙図 咄 く 第9図 蔦10図 第11図 蔦72図 第73図 cc
た磁気抵抗素子の説明図、第2図は第1図の磁気抵抗素
子の分解斜視図、第3図は第1図及び第2図の磁気抵抗
素子を用いた場合の本発明の詳細な説明するため説明図
、第4図は本発明に用いた磁気抵抗素子のA相用の磁気
エンコーダの出力信号を示す波形図、第5図は本発明に
用いた磁気抵抗素子のA相用及びB用層の磁気エンコー
ダの出力信号を示す波形図、第6図は従来公知のインク
リメンタル形ロータリ磁気エンコーダの概略説明図、第
7図乃至第9図は磁気エンコーダの磁気エンコーダ磁極
と磁気抵抗素子との関係の説明図、第10図は磁気抵抗
素子の磁気エンコーダ処理回路の説明図、第11図は同
磁気エンコーダから得られるエンコーダ信号波形図、第
12図は従来のA相分の磁気抵抗素子の説明図、第13
図は第12図の磁気抵抗素子を用いた場合の磁気エンコ
ーダの出力信号を示す図である。 [符号の説明] 1・・・ロータリ磁気エンコーダ。 2・・・磁気エンコーダ磁極。 3・・・マグネットロータ、4・・・空隙。 5.5゛ ・・・磁気抵抗素子。 6.6a、6a’ 、6b、6b’ −= −磁気抵
抗エレメント、7・・・磁束。 8・・・磁気エンコーダ信号処理回路。 9−1.・・・、9−4・・・抵抗器。 10−1.10−2・・・コンパレータ。 11−1.11−2・・・磁気エンコーダ信号。 12.12A、12B・・・中点出力端子用導電体、1
3,13A、13B・・・端子用導電体。 14.14A、14B・・・電源電池。 15.15A、’15B・・・端子用導電体。 16.16A、16B・・・電源電池。 17A、17B・・・接続点。 18A−1,18A−2,18B−1,18B−2・・
・出力端子、19・・・磁気抵抗素子。 19A・・・A相用の磁気抵抗素子エレメント。 19B・・・B用層の磁気抵抗素子エレメント。 20・・・導体、21A、21A’ ・・・A相用の
磁気抵抗エレメント、21B、21B’ ・・・B用
層の磁気抵抗エレメント。 22.22’ 、22A、22A’ 、22B。 22B° ・・・出力信号波形。 23.23° ・・・点線。 24A、24A’ 、24B、24B’ ・・・出力
信号波形、25・・・薄膜絶縁体、25a・・・端子露
出用切欠部、26・・・絶縁基板。 27・・・薄膜絶縁体、27a・・・端子露出用切欠部
。 第1図 第乙図 咄 く 第9図 蔦10図 第11図 蔦72図 第73図 cc
Claims (1)
- 略々均一な幅でN極、S極の磁極が多数個設けられた多
極磁極体に対向配置される磁気抵抗素子であって、磁気
抵抗素子が上記多極磁極体の略(2n+1)λ(但し、
nは0以上の整数、λは上記多極着磁体の1磁極の幅)
磁極幅に渡って順次連続して櫛歯状等に形成されたA相
用磁気エンコーダ出力信号を得るための磁気抵抗効果を
有する導体群によって構成されたA相用磁気抵抗素子エ
レメントを設け、該A相用磁気抵抗素子エレメントの磁
気抵抗効果を有する導体群の中点にA相用磁気エンコー
ダ出力を得る出力端子を設け、上記A相用磁気抵抗素子
エレメントと同様に形成されると共に、A相用磁気抵抗
素子エレメントからλ/4磁極幅位相をずらせて当該A
相用磁気抵抗素子エレメントに重ね合わせたB相用磁気
エンコーダ出力信号を得るための磁気抵抗効果を有する
導体群によって構成されたB相用磁気抵抗素子エレメン
トを設け、該B相用磁気抵抗素子エレメントの磁気抵抗
効果を有する導体群の中点にB相用磁気エンコーダ出力
を得る為の出力端子を設けたことを特徴とする、磁気エ
ンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15035988A JPH01318915A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15035988A JPH01318915A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01318915A true JPH01318915A (ja) | 1989-12-25 |
Family
ID=15495266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15035988A Pending JPH01318915A (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01318915A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100440565C (zh) * | 2004-09-17 | 2008-12-03 | 日本电产三协株式会社 | 磁阻元件 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP15035988A patent/JPH01318915A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100440565C (zh) * | 2004-09-17 | 2008-12-03 | 日本电产三协株式会社 | 磁阻元件 |
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