JPH01315716A - 走査光学系 - Google Patents

走査光学系

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JPH01315716A
JPH01315716A JP63146965A JP14696588A JPH01315716A JP H01315716 A JPH01315716 A JP H01315716A JP 63146965 A JP63146965 A JP 63146965A JP 14696588 A JP14696588 A JP 14696588A JP H01315716 A JPH01315716 A JP H01315716A
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JP
Japan
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mirror
polygon mirror
rotating polygon
scanning
photodetector
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JP63146965A
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English (en)
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Kenji Awamoto
健司 粟本
Isao Tofuku
東福 勲
Yukihiro Yoshida
幸広 吉田
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/09Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概藍〕 回転ポリゴンミラーにて水平方向及び垂直方向の視野走
査を行ない、垂直方向に複数並設された受光素子からな
る光検知器にて回転ポリゴンミラ−からの反射光を受光
して画像を得る1111置に関し、 走査線数を減らすことなく受光素子数を少なく構成でき
ることを目的とし、 n個の受光素子を少なくとも垂直方向に並設して構成さ
れた光検知器と、夫々異なる倒れ角をもつに而のミラー
面を有する回転ポリゴンミラーと、夫々異なる倒れ角を
もつ(K−1>面のミラー面を有する回転ポリゴンミラ
ーとを垂直り向に同一回転軸上に重ねられており、該2
つの回転ポリゴンミラーを同一面速度で同一方向に夫々
回転制御される2段型回転ポリゴンミラーとを有してな
り、2つの回転ポリゴンミラーの各ミラー面の組合せで
Kx(K−1)段の垂直走査を行ない、nxKX(K−
1)本の走査線数を得る構成とし、垂直。
水平走査中心位置において視野からの入射光軸とミラー
からレンズへの反射光軸とが互いに平行となる位置にレ
ンズを配置し、レンズの主点をミラー面に近接させ、更
に、上記2段のポリゴンミラーのうち大きな倒れ角をレ
ンズ側のポリゴンミラーに割当て、小さな倒れ角を視野
側のポリゴンミラーに割当て、ミラー面上での像高を小
さくする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、回転ポリゴンミラーにて水平方向及び垂直方
向の視野走査を行ない、!I+直方白方向数並設された
受光素子からなる光検知器にて回転ポリゴンミラーから
の反射光を受光して画像を得る搬像装置に関する。
このような構成の搬像装置では、受光集子数が多くなる
と各受光素1間の特性ばらつきを電気的に補正すること
が困難になり、測置上にむらを生じる。そこで、受光素
子を少なく構成すればこのような不都合をなくせるが、
このようにすると走査線数が少なくなって望ましくない
。このために、走査線数を減らすことなく受光素子数を
少なく構成できる走査光学系が必要である。
〔従来の技術〕
第4図は従来の走査光学系の一例の構成図を示す。同図
において、夫々異なる倒れ角をもつミラー面1a〜1d
を設けられた回転ポリゴンミラー1の回転(モータ7に
よる)によって視野2の水平方向及び垂直方向の走査が
行なわれ、回転ポリゴンミラー1からの反射光は集光レ
ンズ3を介して!!!直方同方向数並設された受光素子
4aからなる光検知器4に入り、ここで、電気信号に変
換されて画像が19られる。この場合、回転ポリゴンミ
ラー1のミラー面数をN、受光素子4aの数をmとする
と、走査線数は、 N x m               (1)とな
る。
このような走査光学系では、一般に、集光レンズ3の主
平面3a上に瞳位置(主点>3bが存在し、一方、ミラ
ー面1a〜1d上に水平及び垂直方向の走査位置5が存
在する。又、このような走査光学系の構造上、瞳位置3
bと走査位置5とを一致させることはできないので、ミ
ラー面1a〜1d上に像高h2が存在することになる。
そこで、受光素子4aの各々の間隔をd+とすると、光
検知器4の像高h1は、h+ =(j+ X(m−1)
となる。又、集光レンズ3の焦点距離をfL、集光レン
ズ主平面3aからミラー面1a〜1dまでの距離を21
とすると、ミラー面上の像高h2は、 hz = (2+ /fl )xhI = (2+ /ft ) ・d+  ・(m−1)  
(2)となる。
〔発明が解決しようとする課題〕
ここで、第4図に示す視野2の垂直1ノ向走査ブロツク
2+ 、22間に生じる歪について考えてみる。第4図
に示す如く、視野ブ「1ツク2+ 、22に対する夫々
の光束6+ 、62は重なって形成され、第5図に示す
如く、各ブロック間に象高h2に比例した大きさの重な
り部8(斜線)及び隙間部9(斜線)を生じる。この場
合、走査位置5から距M fl 2だけ離れた視野位置
2aにおいて重なり部8、隙間部を生じないようにミラ
ー面1a〜1dの倒れ角を設定すると、遠視万位12b
においては、 視野角ΔωIよh2/I12 の歪(隙間部)を生じ、一方、距離に2以内の範囲では
近視野になる程歪(重なり部)が大きくなる。
このように、従来装置は視野位置によっては歪を発生し
、高品質の画像を得ることができない問題点があった。
又、受光素子4aの数が多いため、その各々に特性のば
らつぎがあるとこのばらつきを電気的に補正することが
困難となり、画像上のむらとなって影響が現われる問題
点があった。
ここで、第5図において説明したような歪を低減するた
めには、ミラー面上の像高h2を小さくすればよい。像
高h2を決定する前記0式のうら、之1.fLは光学系
部品の配置及びサイズの点で制約があり、又、dlは光
検知器4のサイズに制約があるので、これらの値は余り
変えることはできない。
そこで、走査ブロック数を増やすことにより、走査線数
を減らすことなく、受光素子数を減らし、像m h 2
を小さくすることが考えられる。このようにするには、
第4図に示す従来装置では、回転ポリゴンミラー1のミ
ラー面数を増やす必要があるが、ミラー面数を増やすと
回転ポリゴンミラ−1全体のサイズが人ぎくなり、好ま
しくない。
ところで、第5図で説明したような歪をなくすには、第
6図に示すような受光素子を1個のみ設けられた光検知
器10を用いればよい。このものは、同じ倒れ角をもつ
ミラー面11aへ・11dを設けられた回転ポリゴンミ
ラー11の回転(モータ12による)によって、視野1
3の水平方向の走査が行なわれ、回転ポリゴンミラー1
1からの反射光は垂直走査ミラー14にて反射され、集
光レンズ15を介して光検知310に入る。この場合、
垂直走査ミラー14はモータ15にてミラー面11a〜
11dの対応毎に振動され、視野13を垂直方向に走査
する。
この走査光学系では、垂直方向走査を第4図に示す走査
光学系のようにミラー面ではなく垂直走査ミラー14に
よって行なっており、単一の受光素子で構成される光検
知器10で受光するようにしているので、第5図で説明
したような歪をなくすことができる。然るにこのもので
は、同じ時間内に第4図に示す装置と同じ走査線数を得
るためには、モータ12を第4図に示す装置のモータ7
のm倍(第4図に示す受光素子数)の回転数で回転させ
ることが必要であり、実際にはモータの回転数の制限に
よってこのようにはできず、走査線数が少なくなる問題
点があった。又、第6図に示すものは、垂直走査ミラー
1/11モータ16等の垂直走査用振動ミラー(ガルバ
ノメータ)が必要であり、装δが人形化する問題点があ
り、更に、垂直走査ミラー14では直線的な垂直走査と
なってしまい、第4図に示すような複数の受光素子を用
いた走査光学系には適用できず、第4図に示すようなパ
ラレル走査を実現できない問題点があった。
本発明は、走査線数を減らすことなく受光素子数を少な
く構成できる走査光学系を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
第1図は本発明の原理図を示す。同図中、40は光検知
器で、n個の受光素子40aを少な(とも垂直方向に並
設して構成される。44は2段型回転ポリゴンミラーで
、夫々異なる倒れ角をもつに面のミラー面41aを有す
る回転ポリゴンミラー41と、夫々異なる倒れ角をもつ
(K−1)面のミラー面42aを有する回転ポリゴンミ
ラー42とを垂直方向に同一回転@43上に重ねられて
おり、該2つの回転ポリゴンミラー41.42を同一面
速度で同一方向に夫々回転制御される。
上記2つの回転ポリゴンミラー41.42の各ミラー面
41a、42aの組合せでKx(K−1)段の垂直走査
を行ない、nXKX(K−1)本の走査線数を得る。ま
た、垂直、水平走査中心位置において視野からの入射光
軸とミラーからレンズ27への反射光軸とが互いに平行
となる位ηにレンズ27を配置し、レンズの主点3 b
、をミラー面に近接させ、更に、上記2段のポリゴンミ
ラーのうち大きな倒れ角をレンズ側のポリゴンミラ−4
1に割当て、小さな倒れ角を視野側のポリゴンミラー4
2に割当て、ミラー面上での@高を小さくする。
〔作用〕
K面の回転ポリゴンミラー41と(K−1)面の回転ポ
リゴンミラー42とを同一面速度で同一方向に回転させ
ると、1回転毎に上下ミラー面の組合せがずれてゆき、
ミラー面の組合せ数だけ貸なるミラー面倒れ角の組合せ
が(りられ、KX (K−1)段の垂直走査を行なうこ
とができる。受光素子40aの垂直方向の並設数をnと
すると、nxKx(K−1)水の走査線数を1!l?る
ことができる。これにより、走査線数を減らすことなく
受光集子数を少なく構成でき、また、大きな垂直走査角
をもつレンズ側ポリゴンミラー41の像^が最ら小さく
なるような光学系の配置であるので、従って、遠視野及
び近視野によって生じる歪も低減でき、高品質の画像を
得ることができる。
〔実施例〕
第2図は本発明の一実施例の構成図を示す。同図中、2
0は6面のミラー面を右する回転ポリゴンミラー、21
は5面のミラー面を有する回転ポリゴンミラーで、同一
回転軸25上に重ねて設けられている。回転ポリゴンミ
ラー20はモータ22、回転ポリゴンミラー21はモー
タ23にて同一面速度(つまり、モータ22の回転速I
σがモータ23のそれより遅い)で同一1ノ向に位相ず
れなく回転するようにモータコントローラ24にて回転
制御される。回転ポリゴンミラー20及び回転ポリゴン
ミラー21の夫々のミラー面は、第3図に示す如く、回
転軸25に夕・1して45°の倒れ角を有して取イ・」
けられている。回転ポリゴンミラー20の6つのミラー
面20a−・2Ofは夫々前なるミラー面倒れ角を為し
ており、同様に、回転ポリゴンミラー21の5つのミラ
ー面21a〜21eも夫々前なるミラー面倒れ角を有し
ている。
2段のポリゴンミラーのうち、大きなミラー倒れ角をレ
ンズ側のポリゴンミラー20に割当て、小さなミラー倒
れ角を視野側のポリゴンミラー21に割当てている。
第2図中、26は視野、27は集光レンズ、28は例え
ば4×4の受光素子からなるマトリクス型光検知器であ
る(光検知2はマトリクス型でなく、第4図に示すよう
な垂直方向に並列されたものでもよく、いずれにしても
、垂直方向の受光素子数は例えば4鯛とされている)。
レンズ27は、垂直、水平走査中心位置において、視野
26からの入射光軸とミラーからレンズ27への反射軸
が互いに平行となる位置に設けられている。
29は信号処理回路で、光検知器28からの電気信号を
映像信号となるように処理する。30はモニタ受像機で
、信号処理回路29からの映像信号をモニタ受像する。
ここで、2段型回転ポリゴンミラーの動作原理を第3図
と共に説明する。同図において、視野26からの入射光
31は5面回転ポリゴンミラー21(面数をに−1とす
る)から6面回転ポリゴンミラー20(面数をKとする
)にて反射され、集光レンズ27を介して光検知器28
の1つの受光素子に入る。この場合、回転ポリゴンミラ
ー20.21を同一面速度で同一1J向に回転させると
(回転速度はに−1:K)、1回転毎に回転ポリゴンミ
ラー20のミラー面と回転ポリゴンミラー21のミラー
面との組合せがずれてゆき、両面の組合せ数(KX (
K−1) )だけ異なるミラー倒れ角の組合せを得るこ
とができ、つまり、(KX (K−1) )段の手直走
査を行なうことができる。本実施例では6X5=30段
の垂直走査を行なうことかできる。このように、2段型
回転ポリゴンミラーは、夫々のミラー面の回転によって
視野26を水平走査する一方、回転ポリゴンミラー20
.21のミラー面の組合せによって視野26を垂直走査
する。
この走査光学系は、第4図の単・−の回転ポリゴンミラ
ーと同様に、ミラー面の倒れ角を選定することによって
任意の角度に垂直走査を設定できる。
第3図において、回転ポリゴンミラー20のミラー面2
0aのミラー面倒れ角をψ11回転ポリゴンミラー21
のミラー面21aのミラー面倒れ角をψ2とすると、垂
直走査角φVは、ψV−ψ2−ψ1となる。なお、第3
図中、角度は全て、左廻りを正とする。ここで、垂直走
査角ψVは任意に設定できるので、第2図に示すように
垂直方向に4個(n個)の受光素子をもつ光検知器28
と組合せることにより、 nxKx(K−1)         0本の走査線数
を得ることができる。第2図に示す実施例では、4x6
x5−120本の走査線数を得ることができる。
一方、ミラー面数Kが第4図に示す装置の回転ポリゴン
ミラーのミラー面数Nと同じで、走査線数も同じだとす
ると、(1)式と0式とを等しいとおいて、(1)式の
NをKとおき、従って、本発明における素子数nは従来
装置の素子数mに比してn=m/に−1に減らすことが
できる(つまり、従来の約1/に減らすことができる)
。このとき、ミラー面上の像高h2′は、 h′ 2 = (fl+  /fe )  ・d+  ((m/に−1
)  ・−1)となり、第4図において説明した歪を低
減することができる。逆に、n=mの場合は、歪を増加
することなく走査線数を従来のに一1倍に増やすことが
できることになる。
又、本発明のように受光素子数を少なく構成すれば、受
光素子の各々に特性のばらつきがあってもこれを電気的
に補正することができ、画像上にむらを生じるのを防ぐ
ことができる。
なお、第2図に示すように、垂直方向及び水平方向に夫
々4つの受光素子を設(プられた光検知器28を用いて
いるので、信号処理回路2ってTD■(時間遅延積分)
を行なうことができ、信号のSN比を改善できる。
〔発明の効果〕
以上説明した如く、本発明によれば、走査線数を減らす
ことなく垂直方向の受光素子数を減らすことができ、更
にミラー面上での像高を最も小さくでき、これにより、
画像歪を低減することができ、又、受光素子数を少なく
できるので受光素子間の特性のばらつきを容易に電気的
に補正でき、画像むらを防止できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理図、 第2図は本発明の・一実施例の構成図、第3図は2段型
回転ポリゴンミラーの動作原理説明図、 第4図は従来例の・−例の構成図、 第5図は垂直方向走査のブロック間の歪を示す図、 第6図は従来例の他の例の構成図である。 図において、 20は6面回転ポリゴンミラー、 20a〜20fはミラー面、 21は5面回転ポリゴンミラー、 21a〜21eはミラー面、 22.23はモータ、 24はモータコントローラ、 ’25.43は回転軸、 26は視野、 27は集光レンズ、 28はマトリクス型光検知器、 29は信号処理回路、 40は光検知器、 40aは受光素子、 41はに面回転ポリゴンミラー、 41aはミラー面、 42は(K−1)面回転ポリゴンミラー、42aはミラ
ー面、 44は2段型回転ポリゴンミラー を示す。 従来の走査光学系の一例の構成図 垂直方向走査のブロック間の歪を示す図第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 回転ポリゴンミラーにて水平方向及び垂直方向の視野走
    査を行ない、垂直方向に複数並設された受光素子からな
    る光検知器にて該回転ポリゴンミラーからの反射光を受
    光する走査光学系において、n個の受光素子(40a)
    を少なくとも垂直方向に並設して構成された光検知器(
    40)と、夫々異なる倒れ角をもつk面のミラー面(4
    1a)を有する回転ポリゴンミラー(41)と、夫々異
    なる倒れ角をもつ(k−1)面のミラー面(42a)を
    有する回転ポリゴンミラー(42)とを垂直方向に同一
    回転軸(43)上に重ねられており、該2つの回転ポリ
    ゴンミラー(41)(42)を同一面速度で同一方向に
    夫々回転制御される2段型回転ポリゴンミラー(44)
    とを有してなり、上記2つの回転ポリゴンミラー(41
    )(42)の各ミラー面(41a)(42a)の組合せ
    でK×(K−1)段の垂直走査を行ない、n×K×(K
    −1)本の走査線数を得るよう構成し、垂直、水平走査
    中心位置において視野からの入射光軸とミラーからレン
    ズ(27)への反射光軸とが互いに平行となる位置にレ
    ンズ(27)を配置し、レンズの主点(3b)をミラー
    面に近接させ、更に、上記2段のポリゴンミラーのうち
    大きな倒れ角をレンズ側のポリゴンミラー(41)に割
    当て、小さな倒れ角を視野側のポリゴンミラー(42)
    に割当て、ミラー面上での像高を小さくしたことを特徴
    とする走査光学系。
JP63146965A 1988-06-16 1988-06-16 走査光学系 Pending JPH01315716A (ja)

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