JPH01304074A - 高粘度液塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は１例えば薄膜ヘッドに粘度２００００　ｃ　Ｐ
（センチポアズ）程度の高粘度のポリイミド系塗布液（
以下ｒＰＩＱ液」と略称する）を塗布して均一な絶縁膜
を形成する高粘度液塗布装置に関し、特に配管を短くし
て塗布時間を短縮できると共に配管内の液残量を少なく
することができる高粘度液塗布装置に関する。

〔従来の技術〕

従来９例えば粘度４００〜３５００ｃＰ程度の低粘度な
いし中粘度のＰＩＱ液をワークに均一に塗布する塗布装
置は、第４図に示すように、上記ＰＩＱ液を収容した液
容器１から配管２を、例えばスピンモータ３の回転軸４
に設けたチャック５に保持されたワーク６の上方まで伸
ばし、この配管２の先端部に上記ワーク６の中心部に向
けて下向きにＰＩＱ液を吐出するノズル７を設けていた
。また。

上記配管２の基端部は液容器１の底部近くまで至り、こ
の液容器１の容器口８のフタ９には、内部圧力を加圧す
るための窒素ガス（Ｎ２）等の不活性ガスを供給するエ
アチューブ１０が挿入されていた。さらに、上記配管２
の中間部には、上記ＰＩＱ液の供給または遮断を切り換
える切換弁１１が設けられると共に、上記ＰＩＱ液を遮
断したときにノズル７までの間のＰＩＱ液を引き戻すサ
ックバック弁１２が設けられていた。

そして、エアチューブ１０から窒素ガスを供給し、液容
器１の内部圧力を加圧すると共に切換弁１１を供給側に
切り換えることにより、上記液容器１内に収容されたＰ
ＩＱ液を配管２を介して送り、ノズル７からワーク６の
中心部に向けて吐出し、スピンモータ３を回転して上記
ワーク６を回転することにより、上記ＰＩＱ液を円周方
向に拡散してワーク６の上面に均一に塗布していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

このような従来の塗布装置は、粘度４００〜３５００ｃ
Ｐ程度の低粘度ないし中粘度のＰＩＱ液をワーク６に塗
布する場合は特に問題ないが、例えば粘度２００００ｃ
Ｐ程度の高粘度のＰＩＱ液をワーク６に塗布する場合は
、液容器１からノズル７に至るまでの配管２が比較的長
いので、その間の配管抵抗を多大に受け、不活性ガスに
よる加圧圧力を大きくしなければならないと共に、上記
液容器１からノズル７に至りワーク６に吐出するまでの
塗布時間が長くかかるものであった。従って、塗布作業
に長時間を要し１作業能率が低下するものであった。ま
た、上記のように配管２が比較的長いので、切換弁１１
でＰＩＱ液の供給を遮断しても。

該切換弁１１からノズル７までの間の配管２内にＰＩＱ
液が滞留することがあり、液残量が多くなるものであっ
た。従って、ＰＩＱ液の使用効率が低下するものであっ
た。さらに、長い配管２及び該配管２の中間部に設けら
れた切換弁１１とサックバック弁１２を要するので、部
品点数が多いと共に、構造が複雑となるものであった。

そこで１本発明は、このような問題点を解決することが
できる高粘度液塗布装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、ワークの上方に位置する取付部材に、内
部に高粘度液を収容すると共に容器口にノズルを装着し
た液容器をその容器口を下にして取り付け、上記ノズル
は容器口において上昇下降可能とすると共に、ノズル上
昇時にはノズル頭部が内部の高粘度液が下方に流れ出る
孔を閉じ、ノズル下降時にはノズル頭部が上記の孔を開
くように構成し、かつ上記容器口からは液容器の中へ内
部圧力を加圧するための不活性ガスを供給するエアチュ
ーブを挿入して成り、上記エアチューブからの不活性ガ
スの供給による液容器の内部圧力の加圧によりノズルが
下降して該ノズルから高粘度液を吐出してワークの上面
に塗布するようにした高粘度液塗布装置によって達成さ
れる。

〔作　用〕

このように構成された高粘度液塗布装置は、ワークの上
方に位置する取付部材に容器口を下にして取り付けられ
た液容器に、エアチューブから不活性ガスを供給してそ
の内部圧力を加圧し、容器口に上昇下降可能に設けられ
たノズルを下降させることにより、該ノズルから高粘度
液を吐出してワークの上面に塗布するものである。従っ
て、上記液容器から直接ワークの上面に高粘度液を吐出
する状態となり、配管をほとんど省略して塗布時間を短
縮できると共に液残量を少なくすることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明による高粘度液塗布装置の実施例を示す
断面説明図である。図において、スピンモータ３の回転
軸４に設けたチャック５に保持されたワーク６、例えば
薄膜ヘッドの上方には、取付部材１３が位置している。

この取付部材１３は、後述の液容器１を着脱可能に取り
付けるもので、その先端部には取付用孔１４が穿設され
ると共に、上記取付用孔１４の近傍には固定用ブラケッ
ト１５が立設されている。

上記取付部材１３には、液容器１が取り付けられている
。この液容器１は、上記ワーク６としての薄膜ヘッドの
表面に均一な絶縁膜を形成するための例えば粘度２００
００　ｃ　Ｐ程度の高粘度のＰＩＱ液を内部に収容する
もので、容器口１６を下にすると共に上記固定用ブラケ
ット１５に設けられた固定用バンド１７によって着脱可
能に取り付けられている。上記容器口１６は、液容器１
の開口端に栓をすると共に後述のノズル７を装着するも
ので、適宜の長さの筒状に形成され、その筒内の中間部
に設けられた仕切板１８には高粘度のＰＩＱ液が下方に
流れ出る孔１９が複数個穿設され、袋状ナツト２ｏによ
り上記液容器１の開口端に着脱可能に固定されている。

上記容器口１６の仕切板１８の下面側にはノズル７が嵌
装されると共に、容器口１６の下端には筒状に形成され
たノズルガイド２１が固定されており、このノズルガイ
ド２１の中間段部とノズル頭部２２の下面との間にて上
記ノズル７の周りには圧縮バネ２３が嵌め込まれている
。従って、上記圧縮バネ２３を伸縮させることにより、
上記ノズル７が容器口１６において上昇下降可能となる
。そして、上記ノズル７が上昇時には、ノズル頭部２２
が仕切板１８の下面に密着して孔１９を閉じ、ノズル７
が下降時には、ノズル頭部２２が仕切板１８の下面から
離れて孔１９を開くようになっている。なお、上記ノズ
ルガイド２１は、取付部材１３の先端部に穿設された取
付用孔１４に嵌合されて液容器１の下端部を固定すると
共に、その内部でノズル７が上昇下降するように案内し
ている。

上記液容器１の外部、から中へ向けて、エアチューブ２
４が挿入されている。このエアチューブ２４は、液容器
１の内部圧力を加圧するための窒素ガス（Ｎ２）等の不
活性ガスを上記液容器１内へ供給するもので、上記容器
口１６の根元部に穿設された通し孔を介して挿入されて
いる。そして、このエアチューブ２４の先端部２４ａは
上記液容器１の天井部近くまで至り、基端部２４ｂは図
示外のエア供給源に連結されると共に不活性ガスの供給
時以外は大気圧に開放されるようになっている。

なお、第１図において、符号２５はワーク６をスピンモ
ータ３で回転したときにＰＩＱ液が周囲に飛散しないよ
うにするカップである。

次に、このように構、成された高粘度液塗布装置の動作
について、第２図及び第３図を参照し工説明する。まず
、第１図に示す液容器１内に高粘度のＰＩＱ液を収容し
て待機中のときは、第１図においてエアチューブ２４の
基端部２４ｂから不活性ガスを供給せず、大気圧に開放
する。すると。

上記エアチューブ２４の先端部２４ａが連通した液容器
１内の上部空間は、大気圧状態となる。このとき、第２
図に示すように、ノズル７は圧縮バネ２３の弾発力によ
りそのノズル頭部２２が押し上げられて上昇し、上記ノ
ズル頭部２２が容器口１６の仕切板１８の下面に密着し
て孔１９を閉じる。従って、第１図において液容器１内
に収容された高粘度のＰＩＱ液は、ノズル７の部分に流
れ出してこない。

次に、第１図に示すワーク６の上面に高粘度のＰＩＱ液
を塗布するには、第１図においてエアチューブ２４の基
端部２４ｂに連結された図示外のエア供給源から高圧の
不活性ガスを供給する。すると、上記エアチューブ２４
の先端部２４ａが連通した液容器１内の上部空間は、加
圧状態となる。

このとき、第３図に示すように、液容器１内の高粘度の
ＰＩＱ液が容器口１６の仕切板１８に穿設された孔１９
を介してノズル頭部２２を圧縮バネ２３の弾発力に抗し
て下方に押し下げ、ノズル７が下降して上記ノズル頭部
２２が仕切板１８の下面から離れ、孔１９を開く、従っ
て、第１図において液容器１内に収容された高粘度のＰ
ＩＱ液は、第３図に示すように、孔１９を介して仕切板
１８の下面側に押し出され、ノズル７の中心部の貫通孔
７′内を矢印Ａのように送り出される。そして。

第１図において、上記ノズル７からワーク６の中心部に
向けて高粘度のＰＩＱ液が吐出され、スピンモータ３を
回転して上記ワーク６を回転することにより、上記ＰＩ
Ｑ液が円周方向に拡散して該ワーク６の上面に均一に塗
布される。

次に、上記ワーク６の上面に対する高粘度のＰＩＱ液の
塗布を終了させるには、上記エアチューブ２４の基端部
２４ｂに連結されたエア供給源からの高圧の不活性ガス
の供給を遮断し、大気圧に開放すればよい、すると、上
記エアチューブ２４の先端部２４ａが連通した液容器１
内の上部空間は大気圧状態となり、第２図に示すように
、圧縮バネ２３の弾発力によりノズル７が上昇し、その
ノズル頭部２２が容器口１６の仕切板１８の下面に密着
して孔１９を再び閉じる。従って、第１図において液容
器１内に収容された高粘度のＰＩＱ液は、上記ノズル頭
部２２で孔１９を塞ぐことによりその吐出が直ちに停止
され、その後短時間で塗布終了となる。

なお１以上の説明においては、高粘度液として高粘度の
ポリイミド系塗布液（ＰＩＱ液）を示したが１本発明は
これに限らず、例えば２００００ｃＰ程度の高粘度の液
体を塗布するものであれば、他の液体であっても同様に
適用できる。また、エアチューブ２４から供給する不活
性ガスは、窒素ガスに限らず、例えばＰＩＱ液などを変
質させないものであれば、他の気体であってもよい。さ
らに、液容器１の取付部材１３への取り付は構造は、第
１図に示すものに限らず、例えばノズルガイド２１を取
付用孔１４に嵌合することなく、上記液容器１の下端部
をもう一つの固定用バンドで固定してもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、ワーク６の上方
に位置する取付部材１３に取り付けられた液容器１の中
へエアチューブ２４から不活性ガスを供給してその内部
圧力を加圧するだけで、容器口１６に設けられたノズル
７を下降して、該ノズル７から高粘度液を吐出してワー
ク６の上面に塗布することができる。従って、上記液容
器１から直接ワーク６の上面に高粘度液を吐出する状態
となり、従来のような配管をほとんど省略することがで
きる。このことから、配管抵抗をほとんど無くすことが
でき、塗布時間を短縮して塗布作業の能率を向上するこ
とができる。また、塗布作業終了時の吐出系における液
洩量を少なくすることができる。従って、高粘度液の使
用効率を向上することができる。さらに、第４図に示す
従来装置のような配管２及び切換弁１１並びにサックバ
ック弁１２を必要としないので、部品点数を少なくする
ことができると共に、構造を簡単として小形化すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による高粘度液塗布装置の実施例を示す
断面説明図、第２図及び第３図はその動作を示す要部拡
大説明図、第４図は従来の低粘度ないし中粘度液の塗布
装置を示す説明図である。 １・・・液容器、　　６・・・ワーク、　　７・・・ノ
ズル、１３・・・取付部材、　１６・・・容器口、　１
８・・・仕切板、　　１９・・・孔、　　２１・・・ノ
ズルガイド、　　２２・・・ノズル頭部、　２３・・・
圧縮バネ、　２４・・・エアチューブ。 出願人　日立電子エンジニアリング株式会社し−２−１
： 第１図 ４ａ ！ 区 ｎ寸

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワークの上方に位置する取付部材に、内部に高粘度液を
   収容すると共に容器口にノズルを装着した液容器をその
   容器口を下にして取り付け、上記ノズルは容器口におい
   て上昇下降可能とすると共に、ノズル上昇時にはノズル
   頭部が内部の高粘度液が下方に流れ出る孔を閉じ、ノズ
   ル下降時にはノズル頭部が上記の孔を開くように構成し
   、かつ上記容器口からは液容器の中へ内部圧力を加圧す
   るための不活性ガスを供給するエアチューブを挿入して
   成り、上記エアチューブからの不活性ガスの供給による
   液容器の内部圧力の加圧によりノズルが下降して該ノズ
   ルから高粘度液を吐出してワークの上面に塗布するよう
   にしたことを特徴とする高粘度液塗布装置。