JPH01300079A - Compressor vane - Google Patents
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、ディーゼル自動嘆の燃料圧送用ポンプ、送風
機、ガソリンくみ上げポンプ、バキュームポンプ、ポー
タプルコンプレッサー等のコンプレッサー(圧縮流体機
S)の流体を圧縮する部分における摺動部の摺動部材と
してのベーンに関するもので、特にセラミック多孔質体
を基材として、この基材の開放気孔中にフッ素系オイル
を含浸してなるコンプレッサー用ベーンに関するもので
ある。Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention is applicable to a compressor (compressed fluid machine S) such as a diesel automatic fuel pump, blower, gasoline pump, vacuum pump, or portable compressor. It relates to a vane as a sliding member of a sliding part in a compressed part, and particularly relates to a compressor vane made of a ceramic porous material as a base material and the open pores of this base material impregnated with fluorine oil. be.
(従来の技術)
流体を圧縮して給送するためのコンプレッサーとしては
、例えば図に示すような構造を有したものか一般的に採
用されている。このコンプレッサーは、ケーシング内に
偏心した状態で回転する支持体に複数のベーンが出込自
在に挿入されているものて、支持体の回転によって各ベ
ーンか順次出入することにより、圧1M流体を生み出す
ものである。(Prior Art) As a compressor for compressing and feeding a fluid, one having a structure as shown in the figure, for example, is generally employed. This compressor has multiple vanes inserted into and out of a support body that rotates eccentrically within the casing. Each vane moves in and out sequentially as the support rotates, producing a fluid at a pressure of 1M. It is something.
従って、このようなコンプレッサーを構成する部分の中
でも、ベーンは流体圧縮を直接的に行なう1R要部品で
あり、−段で用いられるにせよ、多段で用いられるにせ
よ、いずれにしても高速回転されるものである。このた
め、コンプレッサーのベーンは十分な耐摩耗性を備えて
いる必要かあることは勿論、圧縮流体の種類によっては
、このベーン自体が自己潤滑性を有していることが必要
な場合がある。Therefore, among the parts that make up such a compressor, the vane is a 1R essential component that directly compresses fluid, and whether it is used in one stage or multiple stages, it rotates at high speed. It is something that Therefore, the vanes of the compressor need to have sufficient wear resistance, and depending on the type of compressed fluid, the vanes themselves may need to have self-lubricating properties.
このようなベーンは、従来は高張力鋼、ステンレス鋼、
特殊合金鋼などの鉄鋼材料あるいは黒鉛材料によって形
成されるのが一般であるか、加工し易いアルミニウム合
金鋳物やアルミニウム合金鍛造材、あるいは黒鉛材によ
って形成される場合もある。Such vanes are traditionally made of high-strength steel, stainless steel,
It is generally made of a steel material such as special alloy steel, or a graphite material, or may be made of an easy-to-process aluminum alloy casting, an aluminum alloy forging, or a graphite material.
しかしながら、いずれにしても金属あるいは黒鉛により
てベーンを形成した場合には、十分な耐摩耗性を有する
ものとすることは一般的には困難てあり、まして自己潤
滑性を有したものとして構成することは非常に困難なの
である。However, in any case, when vanes are formed from metal or graphite, it is generally difficult to make them have sufficient wear resistance, and even less to make them self-lubricating. That is extremely difficult.
そこで、本発明者等は、この種のコンプレッサー用のベ
ーンな構成するのに適した材料について鋭意研究した結
果、セラミックスが高#摩耗性を有して機械的強度も高
く、シかも製造の方法を適宜選択することによって自己
潤滑性を持たせる場合に有利な多孔質体とすることがで
きることに気付き、本発明を完成したのである。Therefore, as a result of intensive research into materials suitable for constructing vanes for this type of compressor, the present inventors found that ceramics have high abrasion resistance and high mechanical strength. The present invention was completed based on the realization that a porous body that is advantageous in providing self-lubricating properties can be obtained by appropriately selecting a porous body.
(発明が解決しようとする課題)
本発明は以上のような経緯に基づいてなされたもので、
その解決しようとするilMは、従来の金属型あるいは
黒鉛製ベーンにおける耐摩耗性、自己潤滑性の不足であ
る。(Problem to be solved by the invention) The present invention has been made based on the above circumstances.
The ilM to be solved is the lack of wear resistance and self-lubricating properties in conventional metal or graphite vanes.
そして1本発明の目的とするところは、セラミック多孔
質体を基材とすることによって、セラミックの有利な機
械的強度や耐摩)E性を十分に備え、しかもフッ素系オ
イルを含浸させることによって自己潤滑性にも優れたコ
ンプレッサー用ベーンを提供することにある。One object of the present invention is to provide sufficient mechanical strength and abrasion resistance, which are advantageous to ceramics, by using a ceramic porous body as a base material, and to provide self-reflection by impregnating it with fluorine-based oil. The purpose of the present invention is to provide a compressor vane that also has excellent lubricity.
(課題を解決するための手段) 以上の課題を解決するために、本発明が採った手段は。(Means for solving problems) The measures taken by the present invention to solve the above problems are as follows.
「セラミ・・ツク粉末が任意の形状に形成された生成形
体中に存在する気孔を閉塞させることなく結合すること
によって少なくとも摺接面部分が三次元網目構造の開放
気孔を有し、密度か2.2〜2.9g/cm’、開放気
孔率か10〜30%、平均気孔径か4μm以下であるセ
ラミック多孔質体を基材とし、この基材の前記開放気孔
にフッ素系オイルを含浸率が70%以とで含浸したこと
を特徴とするコンプレッサー用ベーン」
である。"The ceramic powder is bonded without clogging the pores existing in the formed body formed into an arbitrary shape, so that at least the sliding surface area has open pores with a three-dimensional network structure, and the density is 2. .2 to 2.9 g/cm', an open porosity of 10 to 30%, and an average pore diameter of 4 μm or less as a base material, and the open pores of this base material are impregnated with fluorine oil. A compressor vane characterized by being impregnated with 70% or more of
以下、本発明の詳細な説明する。The present invention will be explained in detail below.
本発明におけるセラミック多孔質体は、セラミック粉末
を任意の形状の生成形体に成形し、前記生成形体中に存
在する気孔を独立化させることなくセラミック粉末を結
合することによって、三次元網目構造の開放気孔を具備
せしめたものであることか必要である。その理由は、前
記セラミ・ツク粉末を結合させる際に気孔が独立化する
と、前記独を化した気孔すなわち独立気孔には、フッ素
系オイルか含浸されないため、本発明の目的とする摺動
特性および耐ffji性に優れたコンプレ・ンサー用ベ
ーンを製造することが困難であるが、三次元網目構造の
開放気孔を具備せしめた多孔質体はフ・ン素系オイルを
含浸するのに極めて好適であるからである。The ceramic porous body of the present invention is produced by molding ceramic powder into a formed body of an arbitrary shape and bonding the ceramic powder without making the pores in the formed body independent, thereby opening the three-dimensional network structure. It is necessary that the material has pores. The reason for this is that when the pores become independent when the ceramic powder is combined, the isolated pores, that is, the independent pores, are not impregnated with fluorine-based oil. Although it is difficult to manufacture compressor/server vanes with excellent FFJ resistance, porous bodies with open pores in a three-dimensional network structure are extremely suitable for impregnating fluorine-based oils. Because there is.
前記セラミック多孔質体は、その開放気孔率がlθ〜3
0容積%であることが好ましい。その理由は、tJ記開
開放気孔率lO容容積上りも低いと実質的なフッ素系オ
イルの含浸量か少なくなり。The ceramic porous body has an open porosity of lθ~3
Preferably, it is 0% by volume. The reason for this is that when the open porosity (tJ) and the volume increase are low, the substantial amount of fluorine-based oil impregnated becomes small.
フッ素系オイルによる潤滑特性を充分に発揮させること
が困難であるからであり、一方15容植%よりも高いと
多孔質体の強度が低く粒子が脱離し易いからである。This is because it is difficult to fully exhibit the lubricating properties of the fluorine-based oil, and on the other hand, if it is higher than 15%, the strength of the porous body is low and particles are likely to detach.
前記セラミック多孔質体は、結晶の平均粒径か10μm
1!Fであることか有利である。その理由は、前記結晶
の平均粒径が10μmよりも大きいと多孔質体表面の面
粗度か大きくなり易く、m動特性か劣化するからである
。The ceramic porous body has an average grain size of crystals of 10 μm.
1! Being F is an advantage. The reason for this is that if the average grain size of the crystals is larger than 10 μm, the surface roughness of the surface of the porous body tends to increase, and the dynamic characteristics deteriorate.
前記セラミック粉末としては、耐摩耗性の観点からなる
べく硬度の高いものを使用することか有利であり、例え
ば、A見、Oユ、SiO□。As the ceramic powder, it is advantageous to use one having as high a hardness as possible from the viewpoint of wear resistance, for example, Ami, Oyu, SiO□.
Zr0t 、SiC,Tic、B4 C,WClCri
C2、Sii N4 、BN、TiN、TaC、AI
N、TiB2.CrB2.ZrB2.あるいはそれらの
化合物から選択されるいずれか1種または2#以上を主
として含有するものであることか好ましい。Zr0t, SiC, Tic, B4 C, WClCri
C2, Sii N4, BN, TiN, TaC, AI
N, TiB2. CrB2. ZrB2. Alternatively, it is preferable that it mainly contains any one kind or 2# or more selected from these compounds.
また1本発明に係るコンプレッサー用へ−ンは、密度か
2.2〜2.9g/cm3、開放気孔率か10〜30%
、平均気孔径が4JLm以下であるセラミック多孔質体
からなることが好ましい。その理由は、コンプレッサー
用ベーンとしての剛性を確保する必要かあるからであり
、フッ素系オイルの保持を良&fにするためである。In addition, the compressor horn according to the present invention has a density of 2.2 to 2.9 g/cm3 and an open porosity of 10 to 30%.
It is preferable that the ceramic porous body has an average pore diameter of 4 JLm or less. The reason for this is that it is necessary to ensure rigidity as a compressor vane, and to ensure good retention of fluorine oil.
本発明のコンプレッサー用ベーンは、三次元網[1構造
の開放気孔を具備せしめたセラミック多孔質体からなる
基材の開放気孔中にフッ素系オイルか含浸されたもので
あることが必要である。その理由は、耐Jv耗性に優れ
たセラミック基材に潤滑特性に優れたフッ素系オイルを
含浸することによって、?t!ff1l特性を著しく向
上させることができるからである。なお、フッ素系オイ
ルは、耐溶剤性、化学的安定性および耐熱性に優れてい
るばかりでなく、極めて蒸発し易いため、高温下や真空
中などの過酷な条件下においても極めて良好な摺動特性
を付与することができるものである。The compressor vane of the present invention requires that the open pores of a base material made of a ceramic porous body having a three-dimensional network [1 structure] of open pores are impregnated with fluorine-based oil. The reason is that by impregnating the ceramic base material with excellent JV wear resistance with fluorine-based oil that has excellent lubricating properties. T! This is because the ff1l characteristics can be significantly improved. Fluorine-based oil not only has excellent solvent resistance, chemical stability, and heat resistance, but also evaporates extremely easily, so it maintains extremely good sliding performance even under harsh conditions such as high temperatures and vacuum. It is something that can be given characteristics.
前記フッ素系オイルとしては、フルオロエチレン、フル
オロエステル、フルオロトリアジン、ペルフルオロアル
キルポリエーテル、フルオロシリコーン、これらの誘導
体あるいは、これらの重合体から選択される1種または
2種以上の混合物を使用することが有利であり、腋状、
グリース状あるいはワックス状のいずれの状態であって
も使用することかできる。As the fluorine oil, one or a mixture of two or more selected from fluoroethylene, fluoroester, fluorotriazine, perfluoroalkyl polyether, fluorosilicone, derivatives thereof, or polymers thereof can be used. advantageous, axillary,
It can be used either in the form of grease or wax.
本発明に係るコンプレッサー用ベーンは、前記セラミッ
ク多孔質体の開放気孔Zoo容積部に対し、フッ素系オ
イルが少なくとも7o容積部含浸されたものであること
が好ましい、その理由は。In the compressor vane according to the present invention, it is preferable that the open pore Zoo volume of the ceramic porous body is impregnated with at least 7 volumes of fluorine oil.
フッ素系オイルの含浸量が70容積部より少ないと摺動
特性および耐ff耗性を向丘させることか困難であるか
らである。This is because if the amount of fluorine-based oil impregnated is less than 70 parts by volume, it is difficult to improve the sliding properties and wear resistance.
次に本発明のコンプレッサー用ベーンを製造する方法に
ついて説明する。Next, a method for manufacturing the compressor vane of the present invention will be explained.
本発明のコンプレッサー用ベーンは、出発龜料であるセ
ラミック粉末を任意の形状の生成形体に成形し、生成形
体中に存在する気孔を閉塞させることなく結合してセラ
ミック多孔質体となし、次いで前記セラミック多孔質体
の開放気孔中にフッ素系オイルを含浸することによって
製造することがてきる。The compressor vane of the present invention is produced by forming a ceramic powder as a starting material into a formed body of an arbitrary shape, bonding the formed body without clogging the pores present in the formed body, and then forming a porous ceramic body. It can be manufactured by impregnating fluorine oil into the open pores of a porous ceramic body.
前記出発原料であるセラミック粉末は、平均粒径かlO
JLm以下であることが有利である6その理由は、平均
粒径がlOルmより大きいセラミック粉末を使用すると
、粒と粒との結合箇所か少なくなるため、高強度の多孔
質体を製造することか困難になるばかりでなく、表面の
面精度が劣化するからである。The starting material ceramic powder has an average particle size of lO
JLm or less is advantageous6. The reason is that when ceramic powder with an average particle size larger than lOlm is used, there are fewer bonding points between grains, which makes it difficult to produce a high-strength porous body. This is because not only is it difficult to do this, but also the surface accuracy is deteriorated.
前記セラミック粉末を任意の形状の生成形体に成形し、
生成形体中に存在する気孔を閉塞させることなく結合さ
せる方法としては、種々の方法が適用できるが、例えば
、セラミック粉末自体を常圧焼結あるいは加圧焼結して
自己結合させる方法、セラミック粉末に反応によってセ
ラミックを生成する物質を添加して1反応焼結して結合
させる方法、セラミック粉末にC01Ni、Moなどの
金属あるいは、ガラスセメントなどの結合剤を配合して
常圧焼結あるいは加圧焼結して結合させる方法、セラミ
ック粉末に熱硬化性樹脂あるいは熱可塑性樹脂を結合剤
として配合して結合させる方法を適用することができる
。Molding the ceramic powder into a formed body having an arbitrary shape,
Various methods can be applied to bond the pores existing in the formed body without clogging them. A method of adding a substance that generates ceramic by reaction and sintering it in one reaction to bond it.A method of combining ceramic powder with metals such as CO1Ni and Mo or a binder such as glass cement and sintering at normal pressure or pressurizing. A method of bonding by sintering and a method of bonding by blending a thermosetting resin or a thermoplastic resin with ceramic powder as a binder can be applied.
前記セラミック多孔質体の開放気孔中にフッ素系オイル
を含浸させる方法としては、加熱により低粘度化したフ
ッ素系オイル中にセラミック多孔質体を浸漬し、真空ま
たは加圧下て含浸する方法など一般的な含浸方法か適用
できる。A common method for impregnating the open pores of the ceramic porous body with fluorine-based oil includes immersing the ceramic porous body in fluorine-based oil whose viscosity has been lowered by heating, and impregnating it under vacuum or pressure. Any impregnation method can be applied.
なお、本発明におけるセラミック多孔質体は、コンプレ
ッサー用ベーンに使用する場合、ベーンの特に摺動特性
を要求される部分、すなわち摺動する面の部分にのみ使
用してもよく、他の材料と組み合せて使用しても差し支
えない。In addition, when the ceramic porous body of the present invention is used in a compressor vane, it may be used only in a part of the vane where particularly sliding characteristics are required, that is, the sliding surface part, and it can be used in combination with other materials. There is no problem in using them in combination.
次に本発明を実施例によって説明する。Next, the present invention will be explained by examples.
(実施例)
出発原料として使用した炭化珪素粉末は96虫驕%かβ
型結晶よりなり、0.29玉竜%の遊離炭素、0.17
東賃%の酸素、o、os@H,%の鉄、o、o3iu%
のアルミニウムを主として含有し、0.28μmの平均
粒径を有していた。炭化珪素粉末100重縫部に対し、
ポリビニルアルコール5.1暇部、水300重着部を配
合し、ボールミル中で5時間混合した後乾燥した。(Example) The silicon carbide powder used as the starting material was 96% or β
Consisting of type crystals, 0.29% free carbon, 0.17
% oxygen, o, os@H, % iron, o, o3iu%
of aluminum and had an average particle size of 0.28 μm. For 100 layers of silicon carbide powder,
5.1 parts of polyvinyl alcohol and 300 parts of water were blended, mixed in a ball mill for 5 hours, and then dried.
この乾燥混合物を適ψ採取して顆粒化した後。After taking appropriate ψ of this dry mixture and granulating it.
金属製押し型を用いて、150kg/crrr’の圧力
で一次成形して、その後ラバープレス水圧1300 k
g / c rrr’で成形した。この成形体のNf
法は50x50x 15層重で、密度は2.0g/cm
lであった。Primary molding was performed using a metal mold at a pressure of 150 kg/crrr', and then a rubber press with a water pressure of 1300 k
Molded at g/c rrr'. Nf of this molded body
The method is 50x50x 15 layers, density is 2.0g/cm
It was l.
この成形体を黒鉛性ルツボに装入し、タンマン型焼成炉
を使用して1気圧の主としてアルゴンカス雰囲気中で焼
成した。昇温過程は、まず450℃/時間で1900℃
まて昇温し、最高温度1900℃を1時間Jl持した。This compact was placed in a graphite crucible and fired in a Tanmann type firing furnace mainly in an argon gas atmosphere at 1 atm. The temperature raising process is first 1900℃ at 450℃/hour.
The temperature was then raised and the maximum temperature of 1900°C was maintained for 1 hour.
得られた多孔質体は、密度2.80 g / c rn
’ 。The resulting porous body has a density of 2.80 g/crn
'.
開放気孔率は13容積%、平均気孔径は4終mで三次元
網目構造を有しており、平均曲げ強度は58.5kg/
mm’と極めて高い値を示した。この多孔質炭化珪素焼
結体を44X44X8腸■の角板に加工し、さらに片面
をダイヤモンド砥粒により、Ra=0.0211℃mに
研磨した。It has a three-dimensional network structure with an open porosity of 13% by volume and an average pore diameter of 4 m, and an average bending strength of 58.5 kg/
It showed an extremely high value of mm'. This porous silicon carbide sintered body was processed into a 44×44×8 square plate, and one side was polished to Ra=0.0211° C.m with diamond abrasive grains.
この炭化珪素角板にフッ素系オイル−ペルフルオロポリ
エーテルを真空ドで浸漬含浸して摺動部材を得た。この
テストピースを固定側、相手剤としての回転側にFC−
28(Ra=0.3JLm)を用いて、スニソ03オイ
ル(70〜80℃)中にて、リンクオンディスク法で端
面荷重を変動させて、摩擦係数及び摩耗着及び限界p
v (1を測定した。This silicon carbide square plate was impregnated with fluorine-based oil-perfluoropolyether in a vacuum to obtain a sliding member. FC-
28 (Ra = 0.3 JLm), the end face load was varied by the link-on-disc method in Suniso 03 oil (70 to 80°C), and the friction coefficient, wear adhesion, and limit p were determined.
v (1 was measured.
ソノ結果1.、、、、=0.015.PV=173(k
g f / cゴ、m/s)、摩耗深さ0.21Lm
であった。Sono result 1. ,,,,=0.015. PV=173(k
g f / c go, m/s), wear depth 0.21Lm
Met.
・比較例
Fc−20に対して同様のテストを行なった結果、島□
。=0.186、PV=45、Ff−jf; 深さ20
5μmであワた。・As a result of conducting a similar test on Comparative Example Fc-20, the island □
. =0.186, PV=45, Ff-jf; depth 20
Warmed at 5 μm.
(発明の効果)
以り詳述した通り1本発明においては、1;記実施例に
て例示した如く、
「セラミック粉末が任意の形状に形成された生成形体中
に存在する気孔を閉塞させることなく結合することによ
って少なくとも暦接面部分が三次元網目構造の開放気孔
を有し、密度か2.2〜2−9g、/cm、開放気孔率
が10〜30%、平均気孔径が4庵m以丁であるセラミ
ック多孔質体を基材とし、この基材の前記開放気孔にフ
ッ素系オイルを含浸率か70%以上で含浸したこと」
にその特徴かあり、これにより、セラミックの有利な機
械的強度や耐摩耗性を十分に愉え、しかもフ・・/素系
オイルを含浸させろことによって、自己潤滑性にも優れ
たコンプレッサー用ベーンを提供することかできるので
ある。(Effects of the Invention) As described in detail above, in the present invention, 1. As exemplified in the above embodiment, ``ceramic powder closes the pores present in the formed body formed into an arbitrary shape. At least the tangential surface portion has open pores with a three-dimensional network structure, with a density of 2.2 to 2-9 g/cm, an open porosity of 10 to 30%, and an average pore diameter of 4. The base material is a ceramic porous body with a ceramic porous body, and the open pores of this base material are impregnated with fluorine-based oil at an impregnation rate of 70% or more. It is possible to provide a compressor vane that has sufficient mechanical strength and wear resistance, and also has excellent self-lubricating properties by impregnating it with fluorine-based oil.
すなわち1本発明に係るコンプレッサー用ベーンを採用
すれば、耐摩耗性に優れていることは勿論のこと、/り
属に較べて全体か軽稙化されているため1回転始動時や
定常回転中の動きか円滑となり、しかもベーンを回転さ
せるに必要な電力の消費わ少なくて済むのである。また
、このコンプレッサー用ベーンは、その基材の開放気孔
中に含浸したフッ束径オイルによって自己潤滑されるか
ら、P%!擦力か少なくて消費電力か減少し、庁耗量ら
小さいため耐久性も非常に高いのである。In other words, if the compressor vane according to the present invention is adopted, it not only has excellent wear resistance, but also has a lighter overall structure compared to other types, so it can be used at the start of one rotation or during steady rotation. The movement of the vanes is smoother, and less power is required to rotate the vanes. In addition, this compressor vane is self-lubricated by the flue diameter oil impregnated into the open pores of its base material, so P%! There is less friction, less power consumption, and less wear and tear, making it extremely durable.
また1本発明のコンプレッサmmベーンは、その部材の
開放気孔中にフッ束径オイルを含浸したものであるため
、自己潤滑性に優れていることは勿論、フッ素系オイル
か開放気孔中に保持されているために、このフッ素系オ
イルか圧mt体中に多ら)に混り込むことかなく、圧縮
流体を汚染することかないのである。In addition, since the compressor mm vane of the present invention has the open pores of its member impregnated with fluorine oil, it not only has excellent self-lubricating properties, but also has excellent self-lubricating properties. Because of this, this fluorine-based oil does not get mixed into the compressed material (in large quantities) and does not contaminate the compressed fluid.
IAは本発明に係るコンプレッサー用ベーンか採用され
るコンプレツサーの一例を示す断面図である。
以 」二IA is a sectional view showing an example of a compressor employing a compressor vane according to the present invention. ``2''
Claims (1)
に存在する気孔を閉塞させることなく結合することによ
って少なくとも摺接面部分が三次元網目構造の開放気孔
を有し、密度が2.2〜2.9g/cm^3、開放気孔
率が10〜30%、平均気孔径か4μm以下であるセラ
ミック多孔質体を基材とし、この基材の前記開放気孔に
フッ素系オイルを含浸率が70%以上で含浸したことを
特徴とするコンプレッサー用ベーン。By bonding the ceramic powder without clogging the pores existing in the formed body formed into an arbitrary shape, at least the sliding surface portion has open pores with a three-dimensional network structure, and the density is 2.2 to 2. 9g/cm^3, an open porosity of 10 to 30%, and an average pore diameter of 4 μm or less is used as a base material, and the open pores of this base material are impregnated with fluorine oil at a rate of 70%. A compressor vane characterized by being impregnated with the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12928288A JPH01300079A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Compressor vane |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12928288A JPH01300079A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Compressor vane |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01300079A true JPH01300079A (en) | 1989-12-04 |
Family
ID=15005730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12928288A Pending JPH01300079A (en) | 1988-05-25 | 1988-05-25 | Compressor vane |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01300079A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009197799A (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ulvac Japan Ltd | Method for manufacturing vane |
KR101157258B1 (en) * | 2004-09-30 | 2012-06-15 | 산요덴키가부시키가이샤 | Compressor |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP12928288A patent/JPH01300079A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101157258B1 (en) * | 2004-09-30 | 2012-06-15 | 산요덴키가부시키가이샤 | Compressor |
JP2009197799A (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ulvac Japan Ltd | Method for manufacturing vane |
WO2009115854A1 (en) * | 2008-02-21 | 2009-09-24 | Ulvac Inc | Method of producing vane |
US8402651B2 (en) | 2008-02-21 | 2013-03-26 | Ulvac, Inc. | Method of manufacturing vane |
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