JPH0129413Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はボンベ連結用ガス供給管路清浄装置に
関する。

種々の産業用、例えば半導体工業用等には高純
度を常に維持してガスを供給することが重要であ
る。さらにこれらのガスには毒性、可燃性、腐食
性のガスで、取扱いは危険を伴うものもあり、こ
れらのガスを収容してあるボンベ等を交換する場
合、供給ガスの高純度を維持すると共に安全性を
確保するため、ガス供給管路内にあるガスを安全
かつ完全にパージして清浄化する必要がある。

本考案者はガス供給管路の清浄化手段を種々検
討した結果、本考案装置の開発に成功したもので
あり、本考案装置の技術的構成は前記実用新案登
録請求の範囲各項に明記したとおりであるが、本
考案の一具体例を示す添付図面に基いて本考案の
構成を詳述する。

第１図は本考案装置の管路略図であり、第２図
はボンベに取付けるパージアセンブリの部分断面
略図である。

ボンベ開口に取付けられたパージアセンブリ５
に連通するガス供給管路は、ガス供給側Ｆに向つ
て順次、一次側圧力指示計６、開閉弁７、減圧弁
８、二次側圧力指示計９、開閉弁１０、逆止弁１
１及びフイルター１２を備えている。

ガスベント用管路は前記ガス供給管路の一次側
圧力指示計６を介して分岐してあり、ベントガス
処理部Ｖに連通してあり、有害ガスを処理する機
構としてある。該ベント用管路は開閉弁１６及び
逆止弁１５を備えており、更にガス供給管路の二
次側圧力指示計９を介してバイパス管路により該
ガス供給管路に連通してあり、このバイパス管路
には開閉弁１３及び逆止弁１４が設けてある。

一方、パージアセンブリ５のパージノズル５２
は清浄用ガス源に連通してあり、この清浄用ガス
吹込管路には逆止弁１及び２、開閉弁３及びフイ
ルター４が設けてある。尚、第１図において１７
はボンベ口金開閉器、第２図の５１はガス供給口
（パージガス排出口も兼ねる）であり、これはな
るべくボンベの取付け部から遠ざけて設けるのが
好ましい。

本考案装置は前述の如き構成からなつている
が、本考案装置の作動プロセスを以下に詳述す
る。本考案装置のプロセスは手動、自動の何れも
可能であり、手動の場合は各開閉弁をプロセス順
に作動させることもできる。以下各プロセスにつ
いて説明する。

ａ 清浄化−気密−サイクル清浄化工程 ボンベを固定し開閉器１７をセツトする。清浄
用ガス（N₂ガス）が流れているか否かを開閉弁
３を開いて確認する。一次側圧力指示計６の指針
が圧力の上昇を示すことにより確認できる。この
際N₂ガスはパージアセンブリ５を通り口金部内
に残留している有害ガスを追い出す。一次側圧力
指示計６で昇圧が確認されたら、ベント用開閉弁
１６を開くと該指示計６の指針が下り、N₂ガス
がガスベント用管路を流れていることが確認でき
る。ベント用開閉弁１６を閉じると該指示計６が
昇圧を示し、この操作により荒パージが完了す
る。ついで、ベント用開閉弁１６を閉じたまゝ放
置するとガス洩れをチエツクすることができる。

次に、開閉弁１６及び３の開閉を交互に10数回
繰返し、サイクル・パージを行ない、従つて系内
は充分に清浄化され、有害ガス、不純物等は皆無
となる。

ｂ ガス供給工程 前記ａ工程が完了したことを確認し、開閉器１
７を開とすると、ボンベ内のガスの供給が開始さ
れ一次側圧力指示計の指針が昇圧したことを示
す。開閉弁７を開くと減圧弁８の１次圧が上昇す
る。該減圧弁８を調圧すると該減圧弁８の二次圧
が上昇し、二次側圧力指示計９の指針が昇圧した
ことを示す。バイパス管路の開閉弁１３を開き、
一時的にガスをベントする。この際二次側圧力指
示計の指針が下ることにより確認できる。この操
作を数回繰返すことにより、供給管路内のN₂ガ
スを完全にパージすることができる。次いで、前
記開閉弁１３を閉じ（二次側圧力指示計が昇圧し
たことを示す）、アイソレート用の開閉弁１０を
開くことにより高純度のガスが使用側Ｆに供給さ
れる。

ｃ ガス供給停止−ボンベ交換工程 開閉弁１０を閉じ、開閉器１７も閉じる。開閉
器１７をボンベ頭部より外す。バイパス用開閉弁
１３を開くと、二次側圧力指示計９が降圧したこ
とを示し、次いで一次側圧力指示計６も降圧した
ことを示す。開閉弁７、減圧弁８及び開閉弁（バ
イパス用）１３を順次閉じ、開閉弁３を開き、
N₂ガスを流すと、一次側圧力指示計６が昇圧し
たことを示す。開閉弁３を閉じ、ベント用開閉弁
１６を開くと、一次側圧力指示計６が降圧したこ
とを示す。次いで前記開閉弁１６を閉じる。前記
の開閉弁３の開、閉及び開閉弁１６の開、閉の動
作を更に12回程繰返し行なうことにより、系内は
充分にパージされ、ボンベのガスが系内に残留し
ない。ついで、本考案装置のパージアセンブリ５
からボンベの口金をはずし、ボンベを交換する。

以上の具体例における一次側圧力指示計６及び
二次側圧力指示計９は何れも指示計付圧力伝送器
とすることができる。

これらの各弁、圧力指示計等は、一般にすべて
ボンベボツクス内に収納されているので、ボンベ
内のガスが可燃性、爆発性のものである場合に
は、安全のために、開閉弁としてエア作動弁を用
いるのが好ましい。

本考案装置は以上詳述した如き構成及び作用効
果を達成し得るものであり、手動または自動の両
方何れでも簡単に操作することができ、かつ構造
も公知の開閉弁、減圧弁、逆止弁等を組み合せる
ことにより、有害ガスを大気中に放出することな
くボンベを容易に交換することができ、実用的効
果は顕著なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の管路略図であり、第２図
はボンベに取付けるパージアセンブリの部分断面
略図である。 図中の符号は次のとおりである。１……逆止
弁、２……逆止弁、３……開閉弁（パージ用）、
４……フイルター、５……パージアセンブリ−、
６……圧力指示計（一次側）または圧力伝送器
（指示計付）、７……開閉弁（プロセス用）、８…
…減圧弁、９……圧力指示計（二次側）または圧
力伝送器（指示計付）、１０……開閉弁（アイソ
レート）、１１……逆止弁、１２……フイルター、
１３……開閉弁（バイパス用）、１４……逆止弁、
１５……逆止弁、１６……開閉弁（ベント用）、
１７……ボンベ口金開閉器、５１……ガス供給
口、５２……パージノズル。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ガス供給側Ｆに向つて順次一次側圧力指示計
   ６、開閉弁７、減圧弁８、二次側圧力指示計
   ９、開閉弁１０及びフイルター１２を夫々有す
   るガス供給管路を具備し、前記ガス供給管路の
   一次側圧力指示計６を介して開閉弁１６を有す
   るガスベント用管路を設け、該ガス供給管路と
   該ガスベント用管路を開閉弁１３を有するバイ
   パス管路により連通し、かつパージアセンブリ
   ５のパージノズル５２に連通し、開閉弁３及び
   フイルター４を具備する清浄用ガス吹込管路を
   設けたボンベ連結用ガス供給管路清浄装置。 (2) 前記パージアセンブリ５のパージノズル５２
   がガス通路の最深部で開口している実用新案登
   録請求の範囲第１項記載のボンベ連結用ガス供
   給管路清浄装置。 (3) 前記各開閉弁３，７，１０，１６がエア作動
   弁である実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   ボンベ連結用ガス供給管路清浄装置。