JPH01289672A - Grinding sheet having separately positioned abrasive grain - Google Patents
Grinding sheet having separately positioned abrasive grainInfo
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-
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の分野の背景
この発明は、通常は可撓性を有しパインター層につけら
れた研磨粒子又は粒を伴う支持体をもったタイプの、通
常は可撓性を有する研磨シート又は被覆された研磨材に
関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an abrasive material, usually flexible, of the type having a support with abrasive particles or granules attached to a pinter layer. The present invention relates to an abrasive sheet or a coated abrasive material having abrasive properties.
（２）従来の技術
米国特許第７９４．４９５によれば、少くとも１９０５
年以前に、破壊されてない「研磨面は、暫くすると金属
加工（又はその他の加工）による研磨面からの磨滅した
微細な粒子によって閉鎖され固着され」、これらの材料
はドツトパターンの研磨粒子を適用することによって効
果的に取除くことができることが発見された。米国特許
第１゜６５７、７８４ （Ｂｃｒｇｓｔｏｒｍ ）にお
いては、ドツトパターンはバインダーを支持体に施し、
そのあとで、バインダー及び接着した研磨粒の１部を掻
きとることにより得られる。より一般的には接着材がド
ツトパターンに施しされ、その結果研磨粒はそのパター
ンにだけ接着される。米国特許第４゜３１７．６６０
（にｒａＮｉｓ ａｔ ａｌ）においては、接着材のド
ツトパターンは、接着材を型紙の孔を通して施すことに
よって得られる。多数の研磨粒を各ドツトに着けた後、
研磨粒は糊剤で被覆される。(2) Prior Art According to U.S. Pat. No. 794.495, at least 1905
Before 2000, the unbroken abrasive surfaces "over time became occluded and anchored by fine particles worn away from the abrasive surfaces by metalworking (or other processes)" and these materials formed a dot pattern of abrasive particles. It has been discovered that it can be effectively removed by applying. In U.S. Pat. No. 1,657,784 (Bcrgstorm), a dot pattern is created by applying a binder to a support and
It is then obtained by scraping off the binder and a portion of the adhered abrasive grains. More commonly, the adhesive is applied in a dot pattern so that the abrasive particles adhere only to that pattern. U.S. Patent No. 4°317.660
In raNis at al., a dot pattern of adhesive is obtained by applying the adhesive through holes in a pattern. After applying a large number of abrasive grains to each dot,
The abrasive grains are coated with a sizing agent.
市場で見られるこのようなドツトパターンの研磨シート
には、各ドツトに研磨粒の山や突起があり、その粒の山
は糊剤で被覆されている。名山の高さは多かれ少なかれ
バラツキがあるので、個々の山、名山の個々の粒は異っ
た負荷をうけ、そのため不平均な研削が生じる。糊剤は
研磨粒の研削作用を妨害すると共に、糊剤が研磨粒を被
覆するバラツキが大きいので、不平均な研削を生じる。In such dot pattern abrasive sheets available on the market, each dot has a mound or protrusion of abrasive particles, and the mound of abrasive grains is coated with a glue. Since the height of the famous mountain varies more or less, each individual mountain, each grain of the famous mountain, is subjected to a different load, which results in uneven grinding. The sizing agent interferes with the grinding action of the abrasive grains, and since the sizing agent covers the abrasive grains with great variation, uneven grinding occurs.
従来の研磨シートの不平均研削は又、それらの研磨粒の
不規則な大きさや形によっても起る。この作用は同じ寸
法の球形粒を用いることによって低減された。球形研磨
粒の他の形式は、４１機物又は無機物の研磨粒子の多数
のマトリックスによって構成される。これらの均一・性
の故に、このような合成粉は、磨滅するにつれてそれ自
身更新される。このようにして、不規則な研磨粒を被覆
した研磨シートを用いたときより長時間に亘って比較的
均一な研削作用を維持することができる。このような合
成研磨粒は米国特許第３．９１６，５８４ （Ｈｏｗａ
ｒｄ ｅｔ ａｔ、 ） ：第４．１１２．６３１（）
ｌｏｗａｒｄ） ；及び第４，５４１．８４２（Ｒｏｓ
ｔｏｃｋｅｒ ）において開示されている。Uneven grinding of conventional abrasive sheets is also caused by the irregular size and shape of their abrasive grains. This effect was reduced by using spherical particles of the same size. Other types of spherical abrasive particles are composed of multiple matrices of organic or inorganic abrasive particles. Because of their uniformity, such synthetic powders renew themselves as they wear away. In this way, a relatively uniform grinding action can be maintained for a longer period of time than when using an abrasive sheet coated with irregular abrasive grains. Such synthetic abrasive grains are described in U.S. Pat. No. 3,916,584 (Howa
rd et at, ): No. 4.112.631 ()
lower); and No. 4,541.842 (Ros.
stocker).
米国特許第Ｒｅ、 ２９．８０８ （１１１ａＱｒｌＯ
ｒ）は砕は易いマトリックスの表面に結合した研磨粒子
によって構成された中空球を示している。ｗａｇｎｅｒ
特許の第１図は、これらの球がバインダー層中に均一・
に位置ぎめされていることを示しているとしても、この
中空球は「結合材と混合され、研磨体の形につくられた
あと、結合材は硬化され研磨ベルトを製造している間に
中空体は普通の方法で基材に結合される」と特許は述べ
ている。（第６１１１゜４３〜４８行）。実施例１にお
いては、製造準備された研磨粒子球は、木綿の綾織ｍ維
Ｆの樹脂層の上に均一に分散されている。U.S. Patent No. Re, 29.808 (111aQrlO
r) shows a hollow sphere constituted by abrasive particles bonded to the surface of a frangible matrix. wagner
Figure 1 of the patent shows that these spheres are uniformly distributed in the binder layer.
Even though the hollow spheres are mixed with a binder and formed into the shape of the abrasive body, the binder is hardened and the hollow spheres are removed during the manufacture of the abrasive belt. "The body is attached to the substrate in a conventional manner," the patent states. (6111° lines 43-48). In Example 1, the prepared abrasive particle spheres are uniformly dispersed on a resin layer of cotton twill m-fiber F.
従来の研磨シートが同寸法の合成球形粒を採用した時で
さえも、それらの製造条件の差により、製造する時によ
って異った研削速度のシートができる。従って従来の研
磨シートを、数値制御又はロボット制御の下に使うとき
は、それを使う前に各ジャンボロールの研削速度の試験
が必要であった。Even when conventional polishing sheets employ synthetic spherical grains of the same size, differences in their manufacturing conditions result in sheets with different grinding speeds depending on when they are manufactured. Therefore, when conventional abrasive sheets are used under numerical or robotic control, it is necessary to test the grinding speed of each jumbo roll before using them.
研磨シート普通長尺物でつくられ、貯蔵や出荷の便のた
めロールに巻かれる。最終的にシートは望みの寸法と形
にダイカットされる。例えばレンズ磨き用としてデイジ
−パッドにカットされる。Abrasive sheets are usually made in long lengths and are rolled into rolls for convenient storage and shipping. Finally, the sheet is die cut to the desired size and shape. For example, it is cut into daisy pads for lens polishing.
このようにすると、ダイは研磨粒に接触しその刃先は鈍
くなり、短期に再研磨の必要が生じる。If this is done, the die will come into contact with the abrasive grains and its cutting edge will become dull, necessitating re-polishing in a short period of time.
（３）、Ｌ些ｉ見亘１１
研磨工具はダイアモンドのような１ｆｆｉ粒を手作業で
組みつけることによって屡々つくられるが、このような
粒は極めて大きいものである。市販されている研磨シー
トには手作業のものはないと信じられている。(3), 11 Polishing tools are often made by manually assembling 1ffi grains such as diamonds, but such grains are extremely large. It is believed that none of the commercially available abrasive sheets are hand-made.
米国特許第４．５３６．１９５ （石川）は研磨砥石の
製造法にＩｌｌするもので、各粒子にかかる負荷が均一
になるように管理された方法で研磨粒子を配列しより効
率的で長寿命の砥石をつくっている。石川法の第１の実
施態様においては、電気伝導性のパターンが樹脂バイン
ダーシート上に形成され、ついでそのパターンに吸いつ
けられる研磨粒子を混合した金属イオンを含む電気メツ
キ浴中に浸される。電気伝導性のパターンは写真置版又
は印刷技術によって形成されてもよい。いくつかの研磨
材入りシートが層状におかれて、温圧又は熱圧モールド
法によって研磨砥石にモールドされる。U.S. Patent No. 4.536.195 (Ishikawa) is a method for manufacturing abrasive wheels, in which abrasive particles are arranged in a controlled manner so that the load on each particle is uniform, resulting in more efficiency and longer life. We make whetstones for In a first embodiment of the Ishikawa process, an electrically conductive pattern is formed on a resin binder sheet and then immersed in an electroplating bath containing metal ions mixed with abrasive particles that are attracted to the pattern. The electrically conductive pattern may be formed by photolithographic or printing techniques. Several abrasive sheets are layered and molded into an abrasive wheel by hot pressure or hot pressure molding.
他の実ＩＩ様は、シートが金属で、その表面がマスクさ
れており、研磨粒子はマスクされてない面積にだけ吸い
つけられる点を除いて第１の実施態様と同じである。研
磨砥石の表面の研磨粒子分缶の１例は第１５図に示され
、ここでは粒子は列に並び粒子間隔は均一である。Another embodiment II is the same as the first embodiment except that the sheet is metal, its surface is masked, and the abrasive particles are attracted only to the unmasked area. An example of abrasive particle distribution on the surface of an abrasive wheel is shown in FIG. 15, where the particles are arranged in rows and the spacing between the particles is uniform.
（４） Ｒ１１亘１１
この発明は、従来の技術で得られたものより、より精密
でより研削速度の高い研磨シート又は被覆研磨材を提供
する。更にこの新らしい研磨シートは、研削速度の予測
性がより高いものが提供されると信じられるので、ロボ
ット制御又は数値制御の機械で使う前の研削速度のテス
トの必要性を低減する。(4) R11 Wataru11 The present invention provides abrasive sheets or coated abrasives that are more precise and have higher grinding speeds than those obtained with the prior art. Additionally, this new abrasive sheet is believed to provide greater predictability of grinding speed, thereby reducing the need for grinding speed testing prior to use in robotic or numerically controlled machines.
概説すると、この発明の研磨シートはバインダーを伴っ
た支持体をもち、それに研磨粒は強く結合し、実質的に
１つの面上に予め決められた間隔で横方向に配列される
。粒は実質的に同じ大きさである。即ち、９０％粒の寸
法のバラツキは平均寸法の±５０％以である。実質的に
より大きな粒は、この新規な研磨シートが意図する望ま
しい精密仕上、げを提供できないので各研磨粒は３００
μ腸の開孔をもつ篩目を通過すべきである。Generally speaking, the abrasive sheet of the present invention has a support with a binder to which abrasive grains are strongly bonded and laterally arranged substantially on one surface at predetermined spacings. The grains are of substantially the same size. That is, the variation in size of 90% grains is ±50% or more of the average size. Each abrasive grain contains 30
It should pass through the phloem with the opening of the mu intestine.
粒は研削屑が逃げ出すのに充分な巾を粒の間にもつよう
に、予め決められたパターン（又は異った寸法や形状を
もった粒を用いるときは複数のパターン）に配置される
ことが好ましい。好ましいパターンにおいては、粒の一
つひとつは均等な間隔で、縦横（即ちＸ及びｙ方向）に
延びる列に配置される。別の好ましいパターンにおいて
は、研磨シートは円形の列に等間隔に配置された粒をも
ち、これは円形列の中心と同じ中心をもつ円板にカット
することができる。The grains should be arranged in a predetermined pattern (or in multiple patterns when grains of different sizes and shapes are used) with sufficient width between the grains for the escape of grinding debris. is preferred. In a preferred pattern, the grains are evenly spaced in rows extending in the vertical and horizontal directions (ie, in the x and y directions). In another preferred pattern, the abrasive sheet has grains evenly spaced in circular rows, which can be cut into disks having the same center as the center of the circular row.
研磨粒は等厚で、実質的にすべての粒は被加工物に接触
したとき同じ荷重をうけるように、実質的に同じ高さだ
けバインダー上に突出するよう平均径との差が１０％以
内であることが好ましい。The abrasive grains are of equal thickness and differ by no more than 10% from the average diameter so that substantially all grains protrude above the binder by substantially the same height so that they receive the same load when they contact the workpiece. It is preferable that
このようにして特に均一な仕上げが提供される。In this way a particularly uniform finish is provided.
「等厚」は各校がすべての方向においてほぼ同じ厚さを
もつことを意味する。等厚誼はそれが球であるかないか
に拘らず直径を有するものと考えることができる。"Equal thickness" means that each layer has approximately the same thickness in all directions. Isoparallel can be thought of as having a diameter regardless of whether it is a sphere or not.
研磨粒は、被加工物の特定の面を異った速度で研削する
ために、この新規な研磨シートの異った面で異った密度
をもつことができる。これを達成するために必要な密度
決定のための一技法において、均一密度の研磨シートの
磨滅が研究され、最も高い磨滅を示す面における高粒密
度をもつ、新らしい研磨シートが製造される。予め決め
られた粒のパターンは又はこの新規な研磨シートをダイ
カットする面に研磨粒がないようにも選択することがで
きる。こうすればダイをこれまで可能であったｊス上に
長ＩＩ間鋭利に保つことができる。これは又廃棄物を低
減する。The abrasive grains can have different densities on different sides of the novel abrasive sheet to grind specific sides of the workpiece at different speeds. In one technique for density determination necessary to accomplish this, the wear of a uniform density abrasive sheet is studied and a new abrasive sheet is manufactured with a high grain density on the side that exhibits the highest wear. The predetermined grain pattern can also be selected such that the die cut surface of the novel abrasive sheet is free of abrasive grains. This allows the die to be kept sharp for as long as it was previously possible. This also reduces waste.
この発明は又、研磨シートを次の逐次工程でつくる新ら
しい製法に関する。The invention also relates to a new method of manufacturing an abrasive sheet in the following sequential steps.
１）小さい研磨粒をキャリアー上の予め決められたパタ
ーンのドツトにだＧ′、！吸いつける。1) Apply small abrasive grains to dots in a predetermined pattern on the carrier G',! Suck it up.
２） 前述のキャリアーと同調して、粘着性バインダー
層を伴う支持体が前進している間に、吸いつ番ノられた
粒を前述のパターンでバインダー層に移し込む。2) While the support with the adhesive binder layer is advancing in synchrony with the carrier described above, the sucked and numbered grains are transferred to the binder layer in the pattern described above.
３）バインダーを非粘着性に変える。3) Change the binder to non-stick.
キャリアーが回転シリンダーの表面にあるときは、この
３工程法は殆んど無限の長さの研磨シートをつくること
が可能で、貯蔵や出荷に便利なようロールに巻くことが
できる。このようなロールにおいては予め決められた研
磨粒のパターンが何回も繰返えされる。このようなロー
ルは、円板や、デイジーや、シート及びベルトなどの様
々な商品に転換できる。When the carrier is on the surface of a rotating cylinder, this three-step process can produce an almost infinite length of abrasive sheet, which can be rolled into rolls for convenient storage and shipping. In such rolls, a predetermined pattern of abrasive grains is repeated many times. Such rolls can be converted into various products such as discs, daisies, seats and belts.
研磨粒が不規則な形状であるときには、この３工程法は
８粒の長軸を実質的に支持体に平行な面に横たえる。不
規則形状の粒が実質的に同じ大きさであるときは、その
結果それらは実質的に同じ高さだけバインダーから突出
し、均一な仕上げを与えるように均一な研磨をするよう
になる。When the abrasive grains are irregularly shaped, this three step process causes the long axes of the eight grains to lie in a plane substantially parallel to the support. When the irregularly shaped grains are substantially the same size, the result is that they protrude from the binder by substantially the same height, resulting in uniform polishing to provide a uniform finish.
工程２）につづいて、８粒にメニスカスを形成するため
に、普通は加熱によってバインダーを軟化する付加工程
をおくようにバインダーを選択することが好ましい。こ
うすれば８粒の支持体への結合は強くなる。こうずれば
粒を被覆することは不必要となるだろうし、さもなけれ
ば研磨作用を妨害するであろう材料を、８粒の研削面か
ら除くことができる。メニスカスを形成するために熱を
使うときは、研磨粒がバインダーから突出す高さはメニ
スカスを形成するための時間と温度を加減することによ
って調節することができる。各研磨粒にメニスカスが形
成される場合は、工ｖ１２）で加えられる圧力は極めて
軽くすることが可能で、バインダー層に着が付くだけで
充分である。The binder is preferably selected so that step 2) is followed by an additional step of softening the binder, usually by heating, in order to form a meniscus in the eight grains. This will strengthen the bonding of the 8 grains to the support. Coating the grains would then be unnecessary and material that would otherwise interfere with the polishing action could be removed from the grinding surface of the eight grains. When heat is used to form the meniscus, the height at which the abrasive grains protrude from the binder can be adjusted by adjusting the time and temperature for forming the meniscus. If a meniscus is formed in each abrasive grain, the pressure applied in step v12) can be extremely light, and is sufficient to stick to the binder layer.
８粒に対するメニスカス形成に代えて、又はそれに加え
て、研磨粒の結合を強くするために、この新規な研磨シ
ートに糊剤被覆を施すことは可能である。研磨粒がやや
大きい、例えば１００μ凰の開孔をもつ篩目を通らない
ような場合以外は、−膜内にこれは不必要である。研磨
粒が例えばダイアモンドのように高価な場合は、これら
が脱落しないように糊剤被覆することが望ましい。Instead of or in addition to the formation of a meniscus for the eight grains, it is possible to apply a sizing agent coating to the novel abrasive sheet in order to strengthen the bonding of the abrasive grains. This is not necessary unless the abrasive grains are rather large, for example they will not pass through a sieve with 100 micron openings. If the abrasive grains are expensive, such as diamonds, it is desirable to coat them with a glue to prevent them from falling off.
予め決められたパターンにある１つひとつの研磨粒が、
実質的に同じ大きさであるとはいえ、この新規な研磨シ
ートの選ばれた面積がある大きさの研磨粒を予め決めら
れたあるパターンに配列している一方で、別の面積が予
め決められた別のパターンに異った大ぎの粒を配し、（
れぞれが被加工物の特定の領域で望みの研削速度と仕上
げ精度を提供することはり能である。同じ理由でこの新
規な研磨シートが、２又はそれ以上の異った形態の研磨
粒を採用し、それぞれが別々の予め決められたパターン
に配列されてもよい。２つの寸法の又は形態の研磨粒を
もつ研磨シートをつくるためには、工程１）と２）は工
程３）に先立って第２の寸法又は形態の粒を用いて繰り
返される。Each abrasive grain in a predetermined pattern
Although of substantially the same size, a selected area of this novel abrasive sheet has abrasive grains of one size arranged in a certain predetermined pattern, while another area has abrasive grains of a certain size arranged in a predetermined pattern. Arrange grains of different sizes in different patterns,
Each is capable of providing the desired grinding speed and finishing accuracy in specific areas of the workpiece. For the same reason, the novel abrasive sheet may employ two or more different forms of abrasive particles, each arranged in a separate predetermined pattern. To make an abrasive sheet with two sizes or shapes of abrasive grains, steps 1) and 2) are repeated with a second size or shape of grains prior to step 3).
（５）」見立Ｉ」
この新規なシートの各研磨粒は、多数の研磨粒子が無機
又は有機のバインダーマトリクス中にある等厚の合成物
であることが好ましい。例えば、平均径が約４μｍの研
磨粒子は、実質的に同じ直径の、好ましくは２５から１
００μｍの範囲の球をつくるために結合することが可能
である。それらの直径が均一なので、各等厚の粒はバイ
ンダー層から同じ高さだけ突出するように置くことがで
きる。等厚の粒を一つ一つ隣接の粒と等間隔に置くこと
によって、粒はそれぞれ同一の負荷をうけ、その結果実
質的に同一速度で磨滅し、バインダー層から突出する被
覆されてない部分に関する限り同一の性能が維持される
。結論的に、被加工物は、従来の研磨シートが研磨面の
仕上げを不均一にするのに対し、均一な研磨が続けられ
る。(5) "Mitate I" Each abrasive grain of this novel sheet is preferably an equal thickness composite of a large number of abrasive particles in an inorganic or organic binder matrix. For example, abrasive particles having an average diameter of about 4 μm may have substantially the same diameter, preferably 25 to 1 μm.
It is possible to combine to create spheres in the 00 μm range. Because of their uniform diameter, each equally thick grain can be placed so that it projects the same height from the binder layer. By placing each grain of equal thickness evenly spaced from its neighbors, each grain receives the same load and therefore wears away at substantially the same rate, reducing the uncoated portions that protrude from the binder layer. The same performance remains as far as possible. In conclusion, the workpiece continues to be polished uniformly, whereas conventional polishing sheets produce an uneven finish on the polished surface.
このＦｒＷｉな研磨シートのバインダー層の厚さは好ま
しくは２５から１５０μｍである。この範囲よ厚いと不
経済であり、この範囲より薄いと研磨粒は希望する強さ
で結合しないだろう。バインダー層が溶液又はエマルジ
ョンで被覆される場合は５０μｍを超える均一な層を得
ること困難であろう。The thickness of the binder layer of this FrWi polishing sheet is preferably from 25 to 150 μm. If it is thicker than this range, it is uneconomical, and if it is thinner than this range, the abrasive grains will not bond with the desired strength. If the binder layer is coated with a solution or emulsion it may be difficult to obtain a uniform layer of more than 50 μm.
上に概説した３工程法において使用可能なキャリアーは
、東しく株）から「東し無水板」として市販されている
プリント板である。それはシリコーンゴムの層で被覆さ
れた写真感光性の層をもつアルミニウム可撓板である。A carrier that can be used in the three-step process outlined above is a printed board commercially available from Toshiku Co., Ltd. as "Toshi Anhydride". It is an aluminum flexible plate with a photosensitive layer coated with a layer of silicone rubber.
中間調のスクリーンを通した光に曝すと、ポジ板のシリ
コーンゴムは、写真感光性材料をシリコーンゴムの露光
された面に強固に結合させ、そのあとでシリコーンゴム
の非露光部分はブラシで取除かれ、露光によってつくら
れた、予め決められたパターンのシリコーンゴムドツト
が残る。そのプリント板はその後シリンダーに巻かれ、
そのシリンダーは研磨粒の流動床の中で回される。粒は
プリント板のシリコーンゴムの残留部分にだけ着き、イ
ンク受容面には看かない。この回転しているプリント板
と同調して動いているバインダーを伴った支持体の上に
、粒は取あげられ、プリント板のパターンでバインダー
層に着床する。支持体が長いときはこのパターンは何回
も繰り返される。When exposed to light through a half-tone screen, the silicone rubber of the positive plate firmly bonds the photosensitive material to the exposed side of the silicone rubber, after which the unexposed areas of the silicone rubber are removed with a brush. It is removed, leaving behind a predetermined pattern of silicone rubber dots created by exposure. The printed board is then rolled into a cylinder,
The cylinder is rotated in a fluidized bed of abrasive grains. The particles land only on the remaining silicone rubber portion of the printed circuit board and are not visible on the ink-receiving surface. The grains are picked up onto a support with a binder moving in sync with the rotating printed circuit board and are deposited on the binder layer in the pattern of the printed board. This pattern is repeated many times when the support is long.
上に概説した３工程法において「東し無水板」が使われ
、粘着性のバインダー層がプリント板のシリコーンゴム
に接着される場合には、トランスファーロールをバイン
ダー層とプリント板の間におくことができる。トランス
ファーロールの表面は、粘着性のバインダーに対し、離
脱面として作用し乍ら、プリント板のシリコーンゴムか
ら研磨粒を移動させせるように選ぶべきである。In the three-step process outlined above, if an "anhydrous board" is used and the adhesive binder layer is adhered to the silicone rubber of the printed board, a transfer roll can be placed between the binder layer and the printed board. . The surface of the transfer roll should be selected to act as a release surface for the sticky binder while displacing the abrasive particles from the silicone rubber of the printed board.
この新規なシートの大部分の適用に対しては、上記３工
程法の工程１）で形成されるドツトの巾は、各位置に只
１つの研磨粒が着くように充分小さいことが必要である
が、すべてのドツトに確実に粒をつけるために各ドツト
を充分大きくする場合には、いくつかの場所では２つか
３つの粒が隣り合って着く可能性が考えられる。１つの
ドツトに１つだけの粒子を希望する時は、各ドツトはほ
ぼ円形で直径は研磨粒の平均径の３０から９０％の範囲
内であることが好ましい。直径８０μｍの球形の研磨粒
を用いるときは、直径６２μｍのドツトで好結果が得ら
れる。各ドツトの直径が実質的に研磨粒子の直径より大
きいときは、各ドツトに数個の粒子がＩａｍでつくかも
しれない。For most applications of this new sheet, the width of the dots formed in step 1) of the three-step method described above needs to be small enough to ensure that only one abrasive grain is deposited at each location. However, if each dot is made large enough to ensure that all dots are covered with grains, it is possible that two or three grains will land next to each other in some locations. When only one particle per dot is desired, each dot is preferably approximately circular with a diameter within 30 to 90% of the average diameter of the abrasive grains. When using spherical abrasive grains with a diameter of 80 .mu.m, good results are obtained with dots of 62 .mu.m in diameter. When the diameter of each dot is substantially larger than the diameter of the abrasive particle, several particles may be deposited on each dot.
上にＩＮ説した３工程法において１つのシリンダーに１
つのプリント板を用いると、継目に研磨粒のパターンの
不連続が生じるかもしれない。この発明の研磨シートで
、そのパターンに継目のないものは、シリンダー型に逐
次被覆されて、円筒形プリント板となり、好ましくはシ
リコーンゴム層を含むものを用いることによって得るこ
とができる。好ましい逐次被覆法は米国特許第３，５１
１゜１７８ （Ｃｕｒｔｉｎ）に記載されている。In the 3-step method described above, 1 cylinder per cylinder.
Using two printed circuit boards may result in discontinuities in the pattern of abrasive grains at the seams. An abrasive sheet according to the invention whose pattern is seamless can be obtained by sequentially coating a cylinder shape to form a cylindrical printed board, preferably comprising a silicone rubber layer. A preferred sequential coating method is described in U.S. Pat. No. 3,51
1°178 (Curtin).
若しパターンの継目が問題でなければ、この発明の研磨
シートをつくるための上述の３工程法の工程１）におい
て、次のステップでつくられたキャリアーを用いること
ができる。If pattern seams are not a problem, the carrier produced in the next step can be used in step 1) of the above three-step method for producing the abrasive sheet of the present invention.
１） 金属箔シートの一面をゴムで、他面をフォトレジ
ストで被覆する
２）フォトレジストを予め決められたパターンの光に露
光する。1) One side of the metal foil sheet is coated with rubber and the other side is coated with photoresist. 2) The photoresist is exposed to light in a predetermined pattern.
３）前述のパターンに対応するフォトレジスト面を取除
く。3) Remove the photoresist surface corresponding to the aforementioned pattern.
４）前述の面の金属箔をエツチングで除去し、前述の予
め決められたパターンにゴムを露出する。4) Etching away the metal foil on the aforementioned surface to expose the rubber in the aforementioned predetermined pattern.
特にもし研磨粒子が残ったフォトレジストにひきつけら
れる場合は、エツチング工程のあとに次の工程を加える
ことが好ましい。It is preferable to add a subsequent step after the etching step, especially if abrasive particles are attracted to the remaining photoresist.
５） 残ったフォトレジストの除去。5) Removal of remaining photoresist.
この新規な研磨シートに使用可能なバインダーの種類と
しては、次のような熱可塑性樹脂である。The types of binders that can be used in this new polishing sheet include the following thermoplastic resins.
即ちエチレン／アクリル酸共重合物、ポリエチレン、及
びＥ、１．デュポン社から商品名ｒ ５ｕｒｌｙｎＪと
して南限されているポリ（エチレンメチルアクリル）酸
である。その他の有用なバインダーは、調質して非粘着
性になるアクリル系感圧接着材である。エポキシ樹脂、
フェノール樹脂、及びポリウレタンのような粘着性の熱
硬化性バインダーも有用である。Namely, ethylene/acrylic acid copolymer, polyethylene, and E, 1. Poly(ethylene methyl acrylic) acid is available from DuPont under the trade name R5urlynJ. Other useful binders are acrylic pressure sensitive adhesives that are tempered to become non-tacky. Epoxy resin,
Adhesive thermoset binders such as phenolic resins and polyurethanes are also useful.
この新規な研磨シートの支持体には、湿潤用バインダー
材で飽和したｍ１ｌｌｉ（例えば織物又は紙のような不
織繊維）、方向性をもった熱処理をしたポリプロピレン
のような高分子フィルム、必要に応じて下塗り材を施し
たポリ（エチレンテレフタレート）、又はその他の通常
の支持体用材料が用いられる。The support of this novel abrasive sheet may include a mlli (e.g., non-woven fibers such as textile or paper) saturated with a wetting binder material, a polymeric film such as directional heat treated polypropylene, and optionally Poly(ethylene terephthalate), optionally primed, or other conventional support materials are used.
この新規なりＩ磨シートにおいては、研磨粒の表面に研
磨助材を加えると研磨性能を改善することができる。１
ｊｔＷ４助材は又、被覆糊剤に又は微粉末材として加え
ることができる。好ましい研磨助材はＫＢＦ４であり、
その他の研磨助材も又有用であると信じられている。そ
の他の有用な研磨助材には食塩、硫黄、Ｋ ＴｉＦ４
、ポリ塩化ビニ−ル、ポリ塩化ビニリデン、クリオライ
ト及びそれらの組合わせ及び混合物が含まれる。研磨助
材の好ましい看は研磨材の被覆面１ＴｒＬ２当り５０か
ら３０（１、好ましくは８０から１６０ｇの水準である
。In this new polishing sheet, polishing performance can be improved by adding a polishing aid to the surface of the polishing grains. 1
The jtW4 additive can also be added to the coating paste or as a fine powder material. A preferred polishing aid is KBF4,
Other polishing aids are also believed to be useful. Other useful polishing aids include salt, sulfur, and KTiF4.
, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, cryolite and combinations and mixtures thereof. The preferred level of the polishing aid is 50 to 30 g (1, preferably 80 to 160 g) per TrL2 of the coated surface of the abrasive material.
（６）Ａｍ団
この発明は添付の図面を参照することにより、より理解
し易くなろう。(6) Am group This invention will be easier to understand by referring to the attached drawings.
第１図は可撓性の支持体に伴はれたバインダー層上に研
磨粒子をつける方法を模式的に示したもので、このよう
にしてこの発明の好ましい研磨シートが提供される。FIG. 1 schematically shows a method of applying abrasive particles onto a binder layer attached to a flexible support, and in this way a preferred abrasive sheet of the present invention is provided.
第２図は第１図に示した装置を用いて粘着性バインダー
層に着けられた研磨粒子を示す電子顕微鏡写真である。FIG. 2 is an electron micrograph showing abrasive particles applied to an adhesive binder layer using the apparatus shown in FIG.
第３図は第２図の中間製品を各粒子にバインダーのメニ
スカスを形成するために加熱してつくられた、この発明
の研磨シートの断片を示す電子顕微鏡写真である。FIG. 3 is an electron micrograph showing a fragment of an abrasive sheet of the present invention made by heating the intermediate product of FIG. 2 to form a meniscus of binder in each particle.
第４図はデイジ−パッドをつくるために切抜かれたこの
発明の研磨シートの断片を模式的に示したものである。FIG. 4 schematically shows a section of an abrasive sheet of the present invention cut out to make a daisy pad.
第１図において回転可能な加熱された金属シリンダー１
０にプリント板１２が取り付けられ、その外面はほぼ円
形のゴムのドツトを残すように現像されている。そのシ
リンダーは一つひとつがコムのドツトの直径よりやや大
きい均一な直径の球形研磨粒１４の流動床の中で回転さ
れる。余分な粒を１５で吸引除去した後、実質的に１個
の研磨粒１４がゴムのドツト１３にそれぞれ接着される
。A rotatable heated metal cylinder 1 in FIG.
A printed board 12 is attached to the board 0 and its outer surface is developed to leave approximately circular rubber dots. The cylinders are each rotated in a fluidized bed of spherical abrasive grains 14 of uniform diameter slightly larger than the diameter of the comb dots. After removing the excess grains by suction 15, substantially one abrasive grain 14 is adhered to each rubber dot 13.
感熱性のバインダーＦ３１８を伴った可撓性の支持体１
６がシリンダー１０の表面と同じ速度で移動し乍ら加熱
されたニップロール２０によってプリント板１２に押し
つけられる。シリンダー１０とゴム被覆のニップロール
２０からの熱によってバインダー１Ｉ１１８は粘着性を
帯び、粒子１４はバインダーＷＪ１８の表面に第２図に
示すようにＸ及びＹ方向に延びる列に、間隔をおいて接
着される。Flexible support 1 with heat-sensitive binder F318
6 is pressed against the printed board 12 by a heated nip roll 20 while moving at the same speed as the surface of the cylinder 10. The heat from the cylinder 10 and the rubber-coated nip roll 20 makes the binder 1I 118 sticky, and the particles 14 are adhered to the surface of the binder WJ 18 in rows extending in the X and Y directions at intervals as shown in FIG. Ru.
第２図の左上隅ではいくつかの研磨粒が脱落し、バイン
ダー層に小さいクレータ−を残している。In the upper left corner of Figure 2, some abrasive grains have fallen off, leaving small craters in the binder layer.
第２図の下部では研磨粒は上部の２倍の密度で着けられ
ている。はとんどの場所で只１つの研磨粒が着けられて
いるが、いくつかのドツトには２つの粒が隣り合って着
いている。In the lower part of FIG. 2, the abrasive grains are deposited at twice the density as in the upper part. In most places only one abrasive grain is deposited, but in some dots two grains are deposited next to each other.
再び第１図を参照すると、粒を担持した支持体１６は赤
外線ランプ２２の列を通過し、そこでバインダーは加熱
されて研磨粒の表面を潤おし、こうしてバインダー層は
流動して各研磨粒の基部の周囲に第３図の電子顕微鏡写
真に示すようにメニスカス２３を形成する。これは研磨
粒を可撓性支持体１６に強く結合させることになる。Referring again to FIG. 1, the grain-carrying support 16 passes through an array of infrared lamps 22, where the binder is heated and moistens the surface of the abrasive grains, thus causing the binder layer to flow and bond to each abrasive grain. As shown in the electron micrograph of FIG. 3, a meniscus 23 is formed around the base of the tube. This will cause the abrasive particles to be strongly bonded to the flexible support 16.
この発明によって得られた研磨シート２４には第４図に
示すデイジ−パッドにダイカットされるように研磨粒が
配列されたちのを含む。研磨粒は同心円の列に配列され
、外周に近い花弁の部分２８における密度はデイジ−パ
ッドの中心部３０の密度の２倍になっている。デイジ−
パッド２６が切り抜かれる研磨シートにおいて、それに
沿ってシート２４がダイカットされる花弁の周りの仮想
Ｐｉ１３２の付近には研磨粒がないようにし、ダイが研
磨粒に接触しないようにしている。デイジ−パッドの間
の部分３４には研磨粒がないので粒の損失はない。The abrasive sheet 24 obtained in accordance with the present invention includes abrasive grains arranged so as to be die cut into a daisy pad as shown in FIG. The abrasive grains are arranged in concentric rows, with the density in the petal portion 28 near the outer periphery being twice that in the center 30 of the daisy pad. Daisy
In the abrasive sheet from which the pad 26 is cut out, there are no abrasive grains near the virtual Pi 132 around the petal along which the sheet 24 is die-cut, so that the die does not come into contact with the abrasive grains. Since there are no abrasive grains in the area 34 between the daisy pads, there is no grain loss.
次の実施例においてはすべての分層はＩＭで与えられる
。In the following example all sublayers are given in IM.
大１０１ユ
この実施例の研磨シートをつくるのに用いられたものは
次の通りである。101 U The following materials were used to make the abrasive sheet of this example.
１）それぞれが直径的６３μｍで、板の長径と短径両方
向に沿って平行に延びる７、９列／αの列に配置された
ほぼ円形のドツトをつくるために、中［のスクリーンに
対して露光されたネガの「東し無水板」
２）平均径が４μｍのＡｌ２Ｏ３粒子７７部と、フェノ
ールフォルムアルデヒド樹脂ベースのマトリックス２３
部とでつくられたそれぞれが直径８０μｍの球形研磨粒
。1) To create approximately circular dots, each having a diameter of 63 μm and arranged in 7 and 9 rows/α rows extending parallel to both the major and minor axes of the plate, 2) 77 parts of Al2O3 particles with an average diameter of 4 μm and a phenol formaldehyde resin-based matrix 23
Spherical abrasive grains each having a diameter of 80 μm are made of parts.
３）２方向性をもったポリ（エチレンテレフタレート）
ポリエステルフィルムの厚さ０．０５ｍの長尺のロール
で、エチレン／アクリル酸共重合体の０．０５部ｍのバ
インダー層をもったもの。3) Bidirectional poly(ethylene terephthalate)
A long roll of polyester film with a thickness of 0.05 m and a binder layer of 0.05 part m of ethylene/acrylic acid copolymer.
ドツトをもった板は第１図に示す装置の金属シリンダー
１０に取り付番プられ、球形切磨粒１４は機械的加振機
で流動化され、シリコーンドツト１３に着いた。余剰の
粒は１５で吸引除去された。The plate with the dots was attached to a metal cylinder 10 of the apparatus shown in FIG. Excess grains were removed by suction at 15.
バインダー層１８はゴム被覆されたニップロールで約７
０℃に加熱されて粘着性を帯び、研磨粒はそれに移りニ
ップロールのｉＪ Ｉ Ｃ１＋当り７９Ｎの力が加えら
れた。赤外線ランプ２２による付加的加熱によってバイ
ンダーは多粒の基部の周りにメニスカスを形成した。The binder layer 18 is a rubber-coated nip roll of about 7
It was heated to 0° C. and became sticky, and the abrasive grains were transferred thereto and a force of 79 N was applied per iJ I C1+ of the nip roll. Additional heating by infrared lamp 22 caused the binder to form a meniscus around the base of the grains.
得られた研磨シートのポリエステルフィルム支持体の露
出面はダブルコートされた感圧接着テープで積層され、
この合成物は、花弁が６枚であること以外は第４図のデ
イジ−パッド２６と同形の、直径７．６１のデイジ−パ
ッドにダイカットされた。このパッドは、ＰＰＧから商
品名ＣＲ３９として市場に出されているタイプのポリカ
ーボネート製のレンズの２回目の研磨パッドとして用い
られた。［ＣｏｂｕｒｎＪ ＃ ５０６シリンダ一機械
がスピンドルを高速にセットし、注水の下に８９Ｎの荷
重で用いられた。試験は、６．２５／８．２５デイＡブ
トルと２．１５デイオプトルの２つのタイプのラツビン
グ工具を用いて行なわれた。両者とも２９摂のレンズの
減量が測定された。結果は表１の通りである。The exposed surface of the polyester film support of the resulting abrasive sheet was laminated with a double coated pressure sensitive adhesive tape and
This composite was die cut into a 7.61 diameter daisy pad, identical to daisy pad 26 of FIG. 4, except that it had six petals. This pad was used as a second polishing pad for polycarbonate lenses of the type marketed by PPG under the trade name CR39. [A Coburn J #506 cylinder machine was used with the spindle set at high speed and a load of 89N under water injection. Tests were conducted using two types of rubbing tools: 6.25/8.25 Day Abuttle and 2.15 Day A Buttle. In both cases, a lens weight loss of 29 servings was measured. The results are shown in Table 1.
表１
実施例２−６の研磨シートは、表工に示ずように、両方
向におｔ」る列の間隔が異ることを除くと実施例１と同
様に作成された。表Ｉには、同じ球形研磨粒でつくられ
、市販の製品に用いられ方法と同じ方法によりスラリー
で被覆された、約８７０粒／ ｃ１１２の［″対照」デ
イジ−パッドを用いた結果も示しである。この粒密度は
一般的な目的でなされた多数の実験に基づいて選ばれた
もので、実施例３及び実施例４の研磨シートの粒密度の
中間のものであった。Table 1 The polishing sheets of Examples 2-6 were made similarly to Example 1, except that the spacing of the rows in both directions was different, as shown in the top surface. Table I also shows results using a "control" daisy pad of approximately 870 grains/c112 made with the same spherical abrasive grains and coated with slurry by the same method used in the commercial product. be. This grain density was chosen based on numerous experiments conducted for general purposes and was intermediate between the grain densities of the abrasive sheets of Examples 3 and 4.
実施例７
ネガの「東し無水板」は、６３μｍのシリコーンゴムの
ドツトをＸ及びＹの方向に２５．６列／１の密度で延び
る列の上につくるために露光された。板は実施例１の球
形研磨粒で覆われ、余剰の粒はそのあとで板を転回し、
叩いて取り除かれた。EXAMPLE 7 A negative "east-filled anhydrous plate" was exposed to create dots of 63 μm silicone rubber in rows extending in the X and Y directions at a density of 25.6 rows/1. The plate was covered with the spherical abrasive grains of Example 1, and the excess grains were then removed by turning the plate.
It was removed by hitting it.
板の試験はシリコーンドツトに少くとも１つの粒がある
ことを示した。これらの粒に対して実施例１のポリエス
テルフィルム支持体のバインダー層が重ねられ、その合
成物は約７３℃に加熱された２日−ル積層機に挟みこま
れ、その間にニップロールの巾１ｃｍ当り７９Ｎの力が
加えられた。この合成物は多粒の基部にバインダーがメ
ニスカスを形成するために、その後１１２℃の炉中に１
０分間おかれ、この発明の研磨シートがつくられた。Examination of the plate showed that there was at least one grain in the silicone dot. These grains were overlaid with a binder layer of the polyester film support of Example 1, and the composite was sandwiched in a two-day roll laminator heated to about 73°C, during which time A force of 79N was applied. This composite was then placed in an oven at 112°C for 1 hour in order for the binder to form a meniscus at the base of the grains.
The abrasive sheet of this invention was prepared by leaving it for 0 minutes.
叉１」１Ｌニユ」−
それぞれの直径が６１μｍで、Ｘ及びＹ方向に延びる列
に等間隔に配列されたスポットのパターンを形成するた
めに、円形ドツトのリソコンタクトスクリーンが露光さ
れた。直径６υの内円の内側の単位距離当りのスポット
の列の数は、その円と直径１９．２４１の外円との間の
列の数とはちがわせた。換貫すれば、スポットの数は第
２図に示すように２つの円の境界点でその密度を異にし
た。この手法によって数秒の異った密度の組合わせが、
表■に示すように得られた。A lithocontact screen of circular dots was exposed to form a pattern of evenly spaced spots in rows extending in the X and Y directions, each 61 μm in diameter. The number of rows of spots per unit distance inside the inner circle of diameter 6υ was different from the number of rows of spots per unit distance between that circle and the outer circle of diameter 19.241. In other words, the number of spots had different densities at the boundary points of the two circles, as shown in FIG. This method allows the combination of different densities in a few seconds to be
The results were obtained as shown in Table ■.
ネガの「東し無水板」は、それぞれコンタク１〜スクリ
ーンを用いて露光され、普通の方法で現像された。現像
された板は金属シリンダーに取りつけられ、実施例１と
同じ方法で直径８３μｍの球形研磨粒を流動床から移し
とるのに用いられ、円の中心と一致した中心をもつ６花
弁のデイジ−パッドがつくられた。デイジ−パッドは実
施例１と同様に試験され、その結果は同じ対照と比較し
て表■に示す。Each of the negative "east anhydrous plates" was exposed using a contact 1 to screen and developed in the usual manner. The developed plate was mounted on a metal cylinder and used to transfer 83 μm diameter spherical abrasive grains from the fluidized bed in the same manner as in Example 1, using a six-petal daisy pad with the center coincident with the center of the circle. was created. Daisy-Pad was tested as in Example 1 and the results are shown in Table 1 compared to the same control.
表■
実施例１２
円形ドツトのリソコンタクトスクリーンは、直径２．１
１の円から出発し、直径１５．２ｃｍの円まで拡がる、
標準方程式ｘ＝にφ及びｘ−にφ＋０．３１７ＭＲを用
いた不透明な渦巻パターンをつくるために露光された。Table ■ Example 12 Circular dot litho contact screen has a diameter of 2.1
Starting from a circle of 1 and expanding to a circle with a diameter of 15.2 cm,
It was exposed to create an opaque swirl pattern using the standard equations x = φ and x - φ + 0.317 MR.
これは２つの円の間に同寸法の不透明と透明の渦巻きを
つくった。その後マスクとして現像されたコンタクトス
クリーンを用い、レーザーがネガの「東し無水板」をマ
スクの透明部を通して露光するために使われ、Ｘ及びｙ
方向に拡がる列上に等間隔に直径６３μ園のドツトパタ
ーンをつくった。現像された根土の渦巻パターンには、
１ｃ１１当り３９．４個のシリコーンドツトができた。This created an opaque and transparent swirl of equal size between the two circles. Then, using the developed contact screen as a mask, a laser is used to expose the negative "total anhydride" through the transparent part of the mask,
A dot pattern with a diameter of 63 μm was created at equal intervals on a row expanding in the direction. The developed spiral pattern of the root soil has
39.4 silicone dots were made per 1c11.
現像された板を実施例７（研磨粒が直径８３μｍである
ことを除く）と同様に用いて、この発明の研磨シートを
作成し、間隔をもった研磨粒の渦巻パターンの中心に中
心をもつ円板に切抜かれた。The developed plate was used in the same manner as in Example 7 (except that the abrasive grains were 83 μm in diameter) to make an abrasive sheet of the present invention, with a center center of a spiral pattern of spaced abrasive grains. Cut out into a disc.
実施例１３
研磨シートは下記以外は実施例７と同様に：ｌ製された
。Example 13 An abrasive sheet was made as in Example 7 with the following exceptions:
ａ）研磨粒は１００メツシユ（開孔１５０μｍ）の篩目
を通り１２０メツシユ（開孔１２５μｍ）の篩目に残っ
た不規則形のＡ１２０３粒子であった。a) The abrasive grains were irregularly shaped A1203 particles that passed through a sieve with 100 meshes (openings of 150 μm) and remained on a sieve with 120 meshes (openings of 125 μm).
ｂ）シリコーンドツトは２５．６列／αであった。b) Silicone dots had 25.6 rows/α.
Ｃ）研磨シートは炉から取り出されたあとフェノールフ
ォルムアルデヒド樹脂の糊剤を用いた被覆が施され、そ
の被１ｍは炉で調質されたあとの乾燥重量で８０ｇ／Ｔ
ｒＬ２であった。C) After the abrasive sheet is taken out from the furnace, it is coated with a phenol formaldehyde resin sizing agent, and 1 m of the coated sheet has a dry weight of 80 g/T after tempering in the furnace.
It was rL2.
この研磨シートの支持体はダブルコートの感圧接着テー
プで積層されたあと、７．５０の円板にダイカットされ
た。各円板はその感圧接着材によッテ、次の通り調整さ
れたｒ ＣｏｂｕｒｎＪ ＮＱ ５０７シリンダ一機械
に接着された。即ち、スピンドルストロークは７にセッ
ト、スピンドル速度は１００％、クロスストロークは０
１荷重は１３３Ｎとした。被加工物は１０１８軟鋼の内
径４．４５ＣＩｌ。The abrasive sheet backing was laminated with double coated pressure sensitive adhesive tape and then die cut into 7.50 discs. Each disc was glued with its pressure sensitive adhesive to a CoburnJ NQ 507 cylinder machine, which was prepared as follows. That is, spindle stroke is set to 7, spindle speed is 100%, and cross stroke is 0.
One load was 133N. The workpiece is 1018 mild steel with an inner diameter of 4.45 CIl.
外径５．４ｃＩｌのリングであった。このリングは、機
械が研磨面を円運動で揺動させるのに対し、その軸を研
磨面に直角にブラケットに取り付けた後、一般に言われ
る平面ラッピングが施された。試験は最終の研磨速度が
０．３ｇ／分になるまで１分間のサイクルで行なわれた
。全研磨量を最終点の仕上げ精度は表■に対照と比較し
て示す。対照は研磨粒子が、粒子とほぼ同じ質１Ｂ（［
５１ち約０．４０ｇ）を含むバインダー層を提供するた
めにスラリーによって被覆されたことを除き、同じ方法
で５１製されたものである。The ring had an outer diameter of 5.4 cIl. The ring was mounted on a bracket with its axis perpendicular to the polishing surface while the machine rocked the polishing surface in a circular motion, and then subjected to what is commonly referred to as planar lapping. The test was run in 1 minute cycles until the final polishing rate was 0.3 g/min. The total amount of polishing and finishing accuracy at the final point are shown in Table 3 in comparison with the control. As a control, the abrasive particles have almost the same quality as the particles 1B ([
51 was made in the same manner except that it was coated with a slurry to provide a binder layer containing about 0.40 g of 51).
表 ■ Ｒａ−平均表面粗度 Ｒｔ−山と谷の高低差の最大値Table ■ Ra - average surface roughness Rt - Maximum difference in height between peak and valley
第１図は、本発明の方法の模式図である。
第２図は、本発明による粘着性バインダー層に着けられ
た研磨粒子を示す粒子構造の電子顕微鏡写真である。
第３図は、本発明による研磨粒子の断片を丞す粒子構造
の電子顕微鏡写真である。
第４図は、本発明によるデイジ−バット型の研磨シート
の断片の模式図である。
ＦＩＣ）、４FIG. 1 is a schematic illustration of the method of the invention. FIG. 2 is an electron micrograph of the particle structure showing abrasive particles applied to an adhesive binder layer according to the present invention. FIG. 3 is an electron micrograph of a particle structure containing fragments of abrasive particles according to the present invention. FIG. 4 is a schematic diagram of a fragment of a daisy-butt type abrasive sheet according to the present invention. FIC), 4
Claims (21)
予め決められた横方向の間隔をおいて置かれた、実質的
に均一な厚さのバインダー層を伴う支持体を含み、前述
の粒が実質的に同じ大きさでかつ３００μｍの開孔をも
つ篩目を通過し、更に実質的にすべての粒の１部分がバ
インダー層の表面から突出している研磨シート。(1) a support with a binder layer of substantially uniform thickness to which abrasive grains are strongly bound and spaced substantially in one plane and at predetermined lateral spacing; An abrasive sheet in which the aforementioned grains have substantially the same size and pass through a sieve having 300 μm openings, and further, a portion of substantially all the grains protrude from the surface of the binder layer.
ー層が各粒においてメニスカスを形成していることを特
徴とするもの。(2) The abrasive sheet according to claim 1, wherein the binder layer forms a meniscus in each grain.
すべての粒が同じ厚さでかつ実質的に同じ直径をもち、
各粒がバインダーから実質的に同じ高さだけ突出してい
ることを特徴とするもの。(3) The abrasive sheet of claim 2, wherein substantially all of the grains have the same thickness and substantially the same diameter;
characterized in that each grain projects from the binder by substantially the same height.
が等間隔の列に配列されていることを特徴とするもの。(4) The abrasive sheet according to claim 1, characterized in that individual grains are arranged in equally spaced rows.
シートがそれ自身ロールの形に巻かれ、前述の粒がその
シートの全長に亘って多数回繰返される予め決められた
パターンに配置されていることを特徴とするもの。(5) An abrasive sheet according to claim 4, wherein the elongated sheet is itself wound into a roll, and wherein said grains are arranged in a predetermined pattern that is repeated a number of times over the length of the sheet. Something that is characterized by being placed.
め決められたパターンが、希望する形状の物品にそのシ
ートを切るための工具に接触する場所におけるバインダ
ー層が、研磨粒のない面積として残されており、このよ
うにして切断工具が研磨粒に接触しないように保護され
ていることを特徴とするもの。(6) The abrasive sheet of claim 5, wherein the binder layer is free of abrasive grains at locations where the predetermined pattern contacts a tool for cutting the sheet into articles of desired shapes. characterized in that the cutting tool is protected from coming into contact with the abrasive grains.
載した研磨粒とは大きさが異る実質的に等しいサイズの
付加的研磨粒が、一つひとつ第２の予め決められたパタ
ーンに配列され、実質的にすべての前述の付加的粒の被
覆されてない部分がバインダー層の表面から突出してい
ることを特徴とするもの。(7) The abrasive sheet according to claim 1, wherein the additional abrasive grains of substantially the same size but different in size from the abrasive grains described in the first aspect are each arranged in a second predetermined pattern. characterized in that substantially all of the aforementioned additional grains have uncovered portions protruding from the surface of the binder layer.
磨粒が不規則な形状をもちかつ各粒の長軸が実質的に支
持体に平行な平面に沿つていることを特徴とするもの。(8) The abrasive sheet according to claim 1, wherein the abrasive grains have an irregular shape and the long axis of each grain is substantially along a plane parallel to the support. Something to do.
インダー層を糊剤で被覆していることを特徴とするもの
。(9) The abrasive sheet according to claim 1, characterized in that the grains and the binder layer are coated with a sizing agent.
にすべての粒の１部が被覆されてないことを特徴とする
もの。(10) The abrasive sheet according to claim 1, wherein a portion of substantially all of the grains are not coated.
決められた横方向の間隔をおいて置かれたバインダー層
を伴う支持体を含み、前述の粒が実質的に同じ大きさで
、かつ３００μｍの開孔をもつ篩目を通り、実質的にす
べての粒の１部がバインダー層の表面から突出し、更に
糊剤で粒及びバインダー層が被覆されている研磨シート
。(11) a support with a binder layer to which abrasive grains are bound and spaced at predetermined lateral spacings substantially in one plane, wherein said grains are of substantially the same size; An abrasive sheet that passes through a sieve having pores of 300 μm, a portion of substantially all of the grains protruding from the surface of the binder layer, and the grains and the binder layer are further coated with a sizing agent.
的にすべての粒が同じ厚さでかつ実質的に同じ直径をも
ち、各粒がバインダー層から実質的に同じ高さだけ突出
していることを特徴とするもの。(12) The abrasive sheet of claim 11, wherein substantially all grains have the same thickness and substantially the same diameter, and each grain projects from the binder layer by substantially the same height. Something that is characterized by being.
る、実質的に均一な厚さのバインダー層を伴う支持体を
含み、前述の粒が３００μｍの開孔をもつ篩目を通過す
る実質的に同じ大きさのもので、その粒が一つひとつ横
方向に等間隔に配列され、殆んどすべての位置に粒が１
個だけある研磨シート。(13) comprising a support with a binder layer of substantially uniform thickness to which the abrasive grains are strongly bound and substantially in one plane, said grains passing through a sieve with 300 μm openings; grains of substantially the same size, each of which is arranged at equal intervals in the lateral direction, with one grain at almost every position.
A unique polishing sheet.
びバインダー層を糊剤で被覆していることを特徴とする
もの。(14) The abrasive sheet according to claim 13, characterized in that the grains and the binder layer are coated with a sizing agent.
法。 １）小さい研磨粒をキャリアー上の予め決められたパタ
ーンにおいて横方向に配列されたドットにだけ吸いつけ
る。 ２）前述のキャリアーと同調して粘着性バインダー層を
伴う支持体が前進している間に吸いつけられた粒を前述
のパターンでバインダー層に移す。 ３）バインダーを非粘着性に変える。(15) A method of manufacturing an abrasive sheet by the following sequential steps. 1) Small abrasive particles are attracted only to dots arranged laterally in a predetermined pattern on the carrier. 2) While the support with the adhesive binder layer is advancing in sync with the carrier described above, the particles attracted are transferred to the binder layer in the pattern described above. 3) Change the binder to non-stick.
おいて粒がバインダー層に押しつけれらることを特徴と
する方法。(16) The method according to claim 15, characterized in that in step 2) the grains are pressed against the binder layer.
リアーが回転ドラムの円筒形外面を覆い、かつ工程１）
においてドラムが前述の粒の流動床中で回転することを
特徴とする方法。(17) The method of claim 16, wherein the carrier covers the cylindrical outer surface of the rotating drum, and
A method characterized in that the drum rotates in a fluidized bed of particles as defined above.
トがほぼ円形で、研磨粒の平均寸法の３０〜９０％の範
囲に入る直径をそれぞれもつことを特徴とする方法。18. The method of claim 15, wherein said dots are generally circular and each have a diameter ranging from 30 to 90% of the average size of the abrasive grains.
次に、各粒にメニスカスを形成するためにバインダーを
流動化させ、このようにして粒を支持体に強く結びつけ
る付加工程を含むことを特徴とする方法。19. The method of claim 15, wherein step 2) is followed by an additional step of fluidizing the binder to form a meniscus in each grain, thus tightly binding the grains to the support. A method characterized by comprising:
パターンで一つひとつ着けられたバインダー層を伴う支
持体を含む研磨シートの製造方法であつて、前述の方法
が次の工程を含む製造方法。 １）金属箔の一面をゴムで、他面をフォトレジストで被
覆する。 ２）フォトレジストを予め決められたパターンの光に露
光する。 ３）前述のパターンに対応するフォトレジストの部分を
取り除く。 ４）前述のパターンにゴムを露出するために金属箔の１
部を取り除く。 ５）研磨粒を露出されたゴム面に吸い着ける。 ６）露出されたゴム面と同調して粘着性のバインダー層
を移動し乍ら、吸い着けられた粒をバインダー層に前述
のパターンで押しつける。 ７）バインダーを非粘着性に変える、このようにして研
磨シートはつくられ、一つひとつの粒は前述のパターン
におかれる。(20) A method for producing an abrasive sheet comprising a support with a binder layer having abrasive grains of substantially uniform thickness applied one by one in a predetermined pattern, the method comprising: Production method. 1) Cover one side of the metal foil with rubber and the other side with photoresist. 2) Expose the photoresist to a predetermined pattern of light. 3) Remove the portion of the photoresist corresponding to the aforementioned pattern. 4) one piece of metal foil to expose the rubber in the aforementioned pattern
remove part. 5) Attach the abrasive particles to the exposed rubber surface. 6) While moving the sticky binder layer in sync with the exposed rubber surface, press the adsorbed particles against the binder layer in the pattern described above. 7) Make the binder non-adhesive.In this way the abrasive sheet is made, each grain being placed in the pattern described above.
ストの残された部分をすベて取り除く追加工程を、工程
４）と工程５）の間におくことを特徴とする方法。21. The method of claim 20, further comprising an additional step of removing all remaining portions of the photoresist between step 4) and step 5).
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