JPH01287275A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents
連続真空蒸着装置Info
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- JPH01287275A JPH01287275A JP63113469A JP11346988A JPH01287275A JP H01287275 A JPH01287275 A JP H01287275A JP 63113469 A JP63113469 A JP 63113469A JP 11346988 A JP11346988 A JP 11346988A JP H01287275 A JPH01287275 A JP H01287275A
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- roll
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract description 7
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、グラスチックフィルム、紙寺の用撓件のある
走行基板に連続的に真空蒸着する装置に関し、符に好ま
しいシール装置金偏えた上記装置に関する。
走行基板に連続的に真空蒸着する装置に関し、符に好ま
しいシール装置金偏えた上記装置に関する。
従来は、グラスチックフィルム、紙寺に対する真空蒸着
はバッチ方式で行なわれていたため、連続真空シール装
置は知られていない。ここでは参考として鋼板を対象と
した連続真空シール装置を第6図に示す。
はバッチ方式で行なわれていたため、連続真空シール装
置は知られていない。ここでは参考として鋼板を対象と
した連続真空シール装置を第6図に示す。
第6図において、1は走行基板、2a、2b。
2 c 、−は入1μm1シールロール、3a 、 3
b 、 3c 。
b 、 3c 。
・・・id 出l1111シールロール、4a、4b、
4c、・・・ハ兵空ボング、5は蒸着装置、6a、6b
、6c、・・・は圧力室、7は蒸着室、8はデフレクタ
−ロール、9は巻付ロールである。
4c、・・・ハ兵空ボング、5は蒸着装置、6a、6b
、6c、・・・は圧力室、7は蒸着室、8はデフレクタ
−ロール、9は巻付ロールである。
走行基板1は、一対のピンチロールで構成されたシール
ロール2a、2b、2c、・・・で仕切られた圧力室6
a 、 6b、 6c 、・・・を経て、ノブ「定の真
空度に保たれた蒸着室7に達し、該蒸着室7内で蒸着装
置5によって蒸着めっきされた後、出側シールロール3
2L、3b、3c、゛・全経て、大気中へ搬出される。
ロール2a、2b、2c、・・・で仕切られた圧力室6
a 、 6b、 6c 、・・・を経て、ノブ「定の真
空度に保たれた蒸着室7に達し、該蒸着室7内で蒸着装
置5によって蒸着めっきされた後、出側シールロール3
2L、3b、3c、゛・全経て、大気中へ搬出される。
各シールロールの詳aを第7図tAIと、第7回内のm
−m線断面矢視図である第7図(Blに示す。
−m線断面矢視図である第7図(Blに示す。
第7図FAl l CB+において、11.12は一対
のピンチロール、14はシールパー、16はケーシング
、17は上流側圧力室、18は下流側圧力室、+9a、
19b、19c はリーク隙間、すなわち19aはピ
ンチロール11とシールパー14との隙間、19bはピ
ンチロール11の軸端とケーシング16との隙間、19
Cはピンチロール11及び12の間で走行基板1が存在
していない部分の隙間である。
のピンチロール、14はシールパー、16はケーシング
、17は上流側圧力室、18は下流側圧力室、+9a、
19b、19c はリーク隙間、すなわち19aはピ
ンチロール11とシールパー14との隙間、19bはピ
ンチロール11の軸端とケーシング16との隙間、19
Cはピンチロール11及び12の間で走行基板1が存在
していない部分の隙間である。
上流側圧力室17と下it 1tll圧力室18とはピ
ンチロール11.12及びシールパー14とで仕切られ
、上記の僅かなリーク隙間+ 9a 、 j9b。
ンチロール11.12及びシールパー14とで仕切られ
、上記の僅かなリーク隙間+ 9a 、 j9b。
19C’e)Miって上流側から下流側へガスが1fi
Qれる。
Qれる。
第6図及び第7図にン罫したような従来の構成の真空シ
ール装置ではリーク隙間+9a〜19C1IlII核を
小さくして、下流側から下流側−・流れるガス流賞盆小
さくすることか、A窒ボング4a。
ール装置ではリーク隙間+9a〜19C1IlII核を
小さくして、下流側から下流側−・流れるガス流賞盆小
さくすることか、A窒ボング4a。
4b 、 4c・・・の容量を小さく抑えるために必妙
である。
である。
しかしながら、回転するピンチロール11゜12と固定
されたシールパー14あるいはり一一シング16との曲
の隙間は接触防止のため成る一定値以上小さくすること
かできず、リーク隙間曲損を小さくするには限界があっ
た。
されたシールパー14あるいはり一一シング16との曲
の隙間は接触防止のため成る一定値以上小さくすること
かできず、リーク隙間曲損を小さくするには限界があっ
た。
1だ、リーク隙間をガスが流れるときりこ走行基板1の
ばたつきが発生し、走行基板1のしわの発生、走行基板
1の切断につながる虞れが強かった。
ばたつきが発生し、走行基板1のしわの発生、走行基板
1の切断につながる虞れが強かった。
本発明は、リーク隙間面fft’r極力小さくし、この
隙間へガスが流れるのを極力抑えて、上記した走行基板
のばたつき寺が発生しないシール装置を備えた連続真空
蒸着装隨全提案することを目的とする。
隙間へガスが流れるのを極力抑えて、上記した走行基板
のばたつき寺が発生しないシール装置を備えた連続真空
蒸着装隨全提案することを目的とする。
本発明は、上記問題点を、走行基板全連続的に大気中か
ら真空室に導き、該真空室にて該走行基板に−A空蒸庸
を施した後、大気中に搬出する連続真空蒸着装置におい
て、 (1)大気からMll記章空室1全シールロールによっ
て複数の圧力室に区切り、各シールロールは3本1組の
ピンチロールによって構成さぺかつ前記走行基板が該シ
ールロールに対して巻付角10度以上で奉伺くようにし
てなるか、あるいは(2)大気から前記真空室までをシ
ール装置によって複数の圧力室に区分し、各シール装置
は、1本のシールロールおよび該シールロールの両側に
設置されたシールパーから構成され、かつ該シールロー
ルの両側に前記走行基板がそれぞれ巻付角10度以上で
巻付くようにしてなることを%徴とする連続真空蒸着装
置によp解決するものである。
ら真空室に導き、該真空室にて該走行基板に−A空蒸庸
を施した後、大気中に搬出する連続真空蒸着装置におい
て、 (1)大気からMll記章空室1全シールロールによっ
て複数の圧力室に区切り、各シールロールは3本1組の
ピンチロールによって構成さぺかつ前記走行基板が該シ
ールロールに対して巻付角10度以上で奉伺くようにし
てなるか、あるいは(2)大気から前記真空室までをシ
ール装置によって複数の圧力室に区分し、各シール装置
は、1本のシールロールおよび該シールロールの両側に
設置されたシールパーから構成され、かつ該シールロー
ルの両側に前記走行基板がそれぞれ巻付角10度以上で
巻付くようにしてなることを%徴とする連続真空蒸着装
置によp解決するものである。
本発明は、上流側シールロールと下流側シールロール全
一体化し、シールロールの本a全減らしたことによって
、合計のシール隙間の箇所が減るので、構造的にシール
隙間面積が減少する。従って、シール性能が向上し、真
空ポンプ容量が低減する。
一体化し、シールロールの本a全減らしたことによって
、合計のシール隙間の箇所が減るので、構造的にシール
隙間面積が減少する。従って、シール性能が向上し、真
空ポンプ容量が低減する。
また本発明は、シールロールに走行基板を巻付けるため
、リークガス流れの影響の大きいシールロール付近での
走行基板のばたつきが発生しない。
、リークガス流れの影響の大きいシールロール付近での
走行基板のばたつきが発生しない。
第1図及び第2図(Al l CB+は本発明装置の一
例をン廖す図である。
例をン廖す図である。
第1図は全体説明図、第2回置は第1図の一部詳細図、
第2図tBlは第2回置の1−1線断面矢視図である。
第2図tBlは第2回置の1−1線断面矢視図である。
第1図において、第6,7図と同一符号は第6,7図と
同一部全7ハし、2’a、 2’b、 2’c −は
3本−組のピンチロールで構成されるシールロールであ
り、入側シールロール及び出側シールロール全兼ねてい
る。
同一部全7ハし、2’a、 2’b、 2’c −は
3本−組のピンチロールで構成されるシールロールであ
り、入側シールロール及び出側シールロール全兼ねてい
る。
これらのシールロールは、第2図囚、(B)に示すよう
に、6本−組のピンチロール11’、+2’。
に、6本−組のピンチロール11’、+2’。
13′で構成され、ピンチロール11′と16′が図示
しない駆動装置で回転駆動される。このように6本−組
のビチロールからなるシールロールVCよれば、合計の
リーク隙間+9a〜j9cの′爾ル「が従来の構造に比
べて減少するため、構造的にリーク隙間面積の合計(1
[1を低減することができ、シール性能が向上する。
しない駆動装置で回転駆動される。このように6本−組
のビチロールからなるシールロールVCよれば、合計の
リーク隙間+9a〜j9cの′爾ル「が従来の構造に比
べて減少するため、構造的にリーク隙間面積の合計(1
[1を低減することができ、シール性能が向上する。
また、第1図に示すように、各シールロール間(すなわ
ち各圧力室6a、6b、6c・・・内)に設けられたガ
イドロール20a、2[]b、20c・・・に工り走行
基板1のシールロールへの巻付角が一定以上を確保して
おり、万一リークガスが発生してもリークガスVこよる
走行基板1のばたつきは極く少い。
ち各圧力室6a、6b、6c・・・内)に設けられたガ
イドロール20a、2[]b、20c・・・に工り走行
基板1のシールロールへの巻付角が一定以上を確保して
おり、万一リークガスが発生してもリークガスVこよる
走行基板1のばたつきは極く少い。
本発明者らの実験によれば、この巻付角は、第6図(A
lに示すようVこ、10度以上が過当であり、10度以
上で巻付けば走行基板のばたつきは問題なくなる。
lに示すようVこ、10度以上が過当であり、10度以
上で巻付けば走行基板のばたつきは問題なくなる。
なお、第3図(Alは、第5図(Blに7]\す喪顯で
実験した結果、得られたものである。すなわち、m3図
(Blにおいて、直径801111のシールロール10
1と直径901Mnのシールロール1020間に幅40
0駄で厚さが12μmと20 lImの2枚のフィルム
(走行基板)1を各々走行きせる。
実験した結果、得られたものである。すなわち、m3図
(Blにおいて、直径801111のシールロール10
1と直径901Mnのシールロール1020間に幅40
0駄で厚さが12μmと20 lImの2枚のフィルム
(走行基板)1を各々走行きせる。
そして、真空室105内のカイトロール+03と大気中
のガイドロール104とを矢印α間ケ41 動すセてフ
ィルム1のシールロール+0+への巻付角kW史し、点
線βの部分のフィルム1のばたつき状態(振幅)を目視
評価した。このとき、シールロール101,102前後
の出力が、該シールロール101,102曲を通過する
ガス流量が最大で、フィルムのはたっきに対し最も厳し
い条件である大気圧と3601−−ルとなるように、真
空室105内を矢印γ方向へルーツ型真空ポンプで排気
し、該真空室105の圧力を660トールに調整した。
のガイドロール104とを矢印α間ケ41 動すセてフ
ィルム1のシールロール+0+への巻付角kW史し、点
線βの部分のフィルム1のばたつき状態(振幅)を目視
評価した。このとき、シールロール101,102前後
の出力が、該シールロール101,102曲を通過する
ガス流量が最大で、フィルムのはたっきに対し最も厳し
い条件である大気圧と3601−−ルとなるように、真
空室105内を矢印γ方向へルーツ型真空ポンプで排気
し、該真空室105の圧力を660トールに調整した。
第4図及び第5図(Al 、 (Blは、本発明装置の
他の例を示す図である。
他の例を示す図である。
第4図は全体説明図、第5図(Alは第4図の一部詳細
図、第5図(Blは第5図(A)のm−n線断面矢視図
である。
図、第5図(Blは第5図(A)のm−n線断面矢視図
である。
第4図において、第6,7図と同一符号は第6.7図と
同一部を示し、2“a、2“b、2“C・・・は1本の
シールロールで構成すれるシールロールでh v 、入
鞠シールロール及び出側シールロールを兼ネている。こ
れらのシールロール2a〜2cは、図示しない駆動装置
で各々回転駆動されている。
同一部を示し、2“a、2“b、2“C・・・は1本の
シールロールで構成すれるシールロールでh v 、入
鞠シールロール及び出側シールロールを兼ネている。こ
れらのシールロール2a〜2cは、図示しない駆動装置
で各々回転駆動されている。
これらのシールロールは、第5図(Al 、 (Blに
示すように、1本のシールロール2“の両側に配置され
たシールパー14.14と共にシール装Wを構成する。
示すように、1本のシールロール2“の両側に配置され
たシールパー14.14と共にシール装Wを構成する。
このシール装置によれば、合計のリーク隙間19a。
19bの箇所が従来の構造に比べて減少するため、構造
的にリーク隙間面積の合計値を低減することかでき、シ
ール性能が向上する。
的にリーク隙間面積の合計値を低減することかでき、シ
ール性能が向上する。
丑た、′PJ4図にツバずよりに、各シールロール間(
すなわち各圧力室6a、6b 、6c・・・内)に設け
られたガイドロール20a、20b’、20c・・・に
よジ走行基&1のシールロールへの巻付角が一定以上ヶ
解保しており、カーリークガスが発生してもリークガス
による走行基板のばたつきは毬く少い。従って、走行基
板1が、シールパ=14.14に接触して切断される虞
れはない。
すなわち各圧力室6a、6b 、6c・・・内)に設け
られたガイドロール20a、20b’、20c・・・に
よジ走行基&1のシールロールへの巻付角が一定以上ヶ
解保しており、カーリークガスが発生してもリークガス
による走行基板のばたつきは毬く少い。従って、走行基
板1が、シールパ=14.14に接触して切断される虞
れはない。
本発明者らの実験によれば、この巻付角は、前記の第3
図FBIに示す辿り、10度以上か適当であり、10度
以上で奉伺けば走行基板のばたつきの問題はなくなる。
図FBIに示す辿り、10度以上か適当であり、10度
以上で奉伺けば走行基板のばたつきの問題はなくなる。
本発明装置によれば、シールロール都でのリーク隙間が
小さくなるため、シール性能が向上する。
小さくなるため、シール性能が向上する。
また、本発明装置によれは、走行基板が10度以上の巻
付角度でシールロールへ巻イ」いているため、少々のリ
ークガスがあっても走行基板のばたつきがなくなシ、走
行基板のしわの発生、切断の虞れがない。
付角度でシールロールへ巻イ」いているため、少々のリ
ークガスがあっても走行基板のばたつきがなくなシ、走
行基板のしわの発生、切断の虞れがない。
第1図及び第2図(Al l FB+は本発明−装置の
一例を示す図で、第1図は全体説明図、第2図(Alは
第1図の一部詳細図、第2図(Blは第2図FA、lの
1−1線断面矢視図、第3区内は本発明の効果を示すグ
ラフ、第3図(Blは第3図fAlを導くための条件金
かす図、第4図及び第5図囚11 FB+は本発明装置
の他の例を示す図で、第4図は全体説明図、第5区内は
第4図の一部詳細図、第5図tBlは第5区内のu−n
線断面矢視図、第6図及び第7図(Al l (Blは
従来の装置の構成図′l′ある。 1・・・走行基板 2a、2b、2c、2a、2b、2c、2 =−シー
/L10−/l/2a、2b、2c ・・・入側シール
ロール32L、 3b、 3c −出側シールロール
4a、4b、4c ・・・真空ポンプ 5・・・蒸着装置 6h、6b、6C・・・圧力室 7・・・蒸着室 8・・・デフレクタロール 9・・・巻付ロール +1’、12’、 +37.11 、12・・・ピンチ
ロール1 4 ・・・ シ − ルノ(− 16・・・ケーシング 17・・・上流側圧力室 18・・・下流側圧力室 j9a、19b、+9cmリーク隙間
一例を示す図で、第1図は全体説明図、第2図(Alは
第1図の一部詳細図、第2図(Blは第2図FA、lの
1−1線断面矢視図、第3区内は本発明の効果を示すグ
ラフ、第3図(Blは第3図fAlを導くための条件金
かす図、第4図及び第5図囚11 FB+は本発明装置
の他の例を示す図で、第4図は全体説明図、第5区内は
第4図の一部詳細図、第5図tBlは第5区内のu−n
線断面矢視図、第6図及び第7図(Al l (Blは
従来の装置の構成図′l′ある。 1・・・走行基板 2a、2b、2c、2a、2b、2c、2 =−シー
/L10−/l/2a、2b、2c ・・・入側シール
ロール32L、 3b、 3c −出側シールロール
4a、4b、4c ・・・真空ポンプ 5・・・蒸着装置 6h、6b、6C・・・圧力室 7・・・蒸着室 8・・・デフレクタロール 9・・・巻付ロール +1’、12’、 +37.11 、12・・・ピンチ
ロール1 4 ・・・ シ − ルノ(− 16・・・ケーシング 17・・・上流側圧力室 18・・・下流側圧力室 j9a、19b、+9cmリーク隙間
Claims (2)
- (1)走行基板を連続的に大気中から真空室に導き、該
真空室にて該走行基板に真空蒸着を施した後、大気中へ
搬出する連続真空蒸着装置において、大気から前記真空
室までをシールロールによつて複数の圧力室に区切り、
各シールロールは3本1組のピンチロールによつて構成
され、かつ前記走行基板が該シールロールに対して巻付
角10度以上で巻付くようにしてなることを特徴とする
連続真空蒸着装置。 - (2)走行基板を連続的に大気中から真空室に導き、該
真空室にて該走行基板に真空蒸着を施した後、大気中へ
搬出する連続真空蒸着装置において、大気から前記真空
室までをシール装置によつて複数の圧力室に区分し、各
シール装置は1本のシールロールおよび該シールロール
の両側に設置されたシールバーから構成され、かつ該シ
ールロールの両側に前記走行基板がそれぞれ巻付角10
度以上で巻付くようにしてなることを特徴とする連続真
空蒸着装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63113469A JPH0768621B2 (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | 連続真空蒸着装置 |
KR1019890004722A KR920003591B1 (ko) | 1988-04-11 | 1989-04-10 | 연속진공증착장치 |
EP89106353A EP0337369B1 (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition apparatus |
DE89106353T DE68909988T2 (de) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Vorrichtung zur kontinuierlichen Vacuumbeschichtung. |
US07/336,349 US5000114A (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition system having reduced pressure sub-chambers separated by seal devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63113469A JPH0768621B2 (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | 連続真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01287275A true JPH01287275A (ja) | 1989-11-17 |
JPH0768621B2 JPH0768621B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=14613041
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63113469A Expired - Fee Related JPH0768621B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-05-12 | 連続真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0768621B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6696096B2 (en) | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Apparatus for and method of vacuum vapor deposition and organic electroluminescent device |
WO2011111626A1 (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-15 | 積水化学工業株式会社 | 表面処理装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6270575A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-04-01 | Kawasaki Steel Corp | 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 |
-
1988
- 1988-05-12 JP JP63113469A patent/JPH0768621B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6270575A (ja) * | 1985-09-21 | 1987-04-01 | Kawasaki Steel Corp | 連続ドライプレ−テイング用差圧シ−ル装置 |
Cited By (3)
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WO2011111626A1 (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-15 | 積水化学工業株式会社 | 表面処理装置 |
JP5130413B2 (ja) * | 2010-03-08 | 2013-01-30 | 積水化学工業株式会社 | 表面処理装置 |
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JPH0768621B2 (ja) | 1995-07-26 |
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