JPH01276407A - Magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘッドに関し、特に、高飽和磁束密度の
磁性膜を備えた磁気ヘッドに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head, and particularly to a magnetic head provided with a magnetic film having a high saturation magnetic flux density.
記録密度を増大させるべく、高保磁力の磁性材料によっ
て記録面を構成した磁気ディスクなどに対する情報の記
録・再生が可能な磁気ヘッドとして、たとえば、特開昭
５８−１４３１１号公報に開示されるような高飽和磁束
密度の磁性膜を備えた磁気ヘッドが提案されている。In order to increase the recording density, a magnetic head such as that disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 14311/1983 is used as a magnetic head capable of recording and reproducing information on and from a magnetic disk whose recording surface is made of a magnetic material with high coercive force. A magnetic head including a magnetic film with a high saturation magnetic flux density has been proposed.
その概要は、ブロック状のスライダ部の端面にコの字形
の巻線部を装着し、巻線部の屈曲した内周およびスライ
ダの端面の双方に被着された高飽和磁束密度の磁性膜に
よって磁気回路および磁気ギャップを構成するとともに
、巻線部に（まマグネットワイヤを巻回してコイルを構
成することにより磁気回路の電磁変換特性を向上させ、
磁気ディスクなどに対する高密度記録を可能にしようと
するものである。The outline is that a U-shaped winding section is attached to the end surface of a block-shaped slider section, and a magnetic film with high saturation magnetic flux density is applied to both the bent inner circumference of the winding section and the end surface of the slider. In addition to configuring the magnetic circuit and magnetic gap, the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic circuit are improved by winding the magnet wire to configure the coil.
It aims to enable high-density recording on magnetic disks and the like.
ところが、上記のような従来技術では、コイル自体の励
磁力の増強には配慮されているが、磁気回路を構成する
高飽和磁束密度の磁性膜の形状に起因する透磁率の低下
などについてはなんら配慮されていない。However, in the conventional technology described above, although consideration is given to increasing the excitation force of the coil itself, there is no consideration given to the reduction in magnetic permeability caused by the shape of the magnetic film with high saturation magnetic flux density that constitutes the magnetic circuit. Not considered.
すなわち、上記のような従来技術では、巻線部がコの字
形を呈しているため、磁性膜が被着される巻線部の内周
面は屈曲した状態となるが、スパッタリングなどによっ
てこの屈曲した内周面に磁性膜を形成した場合、スバフ
タ粒子の入射方向に対して傾斜した領域に被着される磁
性膜の透磁率などが劣化し、この磁性膜によって形成さ
れる磁気回路における磁束の損失が大きくなるという問
題がある。In other words, in the above-mentioned conventional technology, since the winding part has a U-shape, the inner peripheral surface of the winding part to which the magnetic film is applied is bent. If a magnetic film is formed on the inner circumferential surface of the subafuta particles, the magnetic permeability of the magnetic film deposited on the area tilted with respect to the incident direction of the subafuta particles will deteriorate, and the magnetic flux in the magnetic circuit formed by this magnetic film will deteriorate. There is a problem that the loss becomes large.
このことは、巻線部の小型化などによって磁性膜のｔ自
封的な体債比が大きくなる場合に特に顕著となるもので
ある。This becomes particularly noticeable when the self-sealing bond ratio of the magnetic film increases due to the miniaturization of the winding portion or the like.
そこで、本発明の目的は、コア部材に被着されて磁気回
路を構成する磁性膜の磁気的な特性の劣化を防止して、
電磁変換特性に優れた磁気ヘッドを提供することにある
。SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to prevent deterioration of the magnetic properties of a magnetic film that is adhered to a core member and constitutes a magnetic circuit.
The object of the present invention is to provide a magnetic head with excellent electromagnetic conversion characteristics.
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なもののヰ既
要を簡単に説明すれば、以下の通りである。A brief description of typical aspects of the invention disclosed in this application is as follows.
すなわち、平坦な一側面に磁性膜が被着されたコア部材
と、このコア部材が接合される側面に巻線収容溝が刻設
され、コア部材止ともに磁気回路および磁気ギャップを
構成するスライダとで磁気ヘッドを構成したものである
。In other words, a core member has a magnetic film adhered to one flat side surface, a winding receiving groove is carved on the side surface to which this core member is joined, and a slider and a core member stop together forming a magnetic circuit and a magnetic gap. The magnetic head is made up of:
上記した手段によれば、磁性膜が被着されるコア部材の
側面が平坦であるため、たとえばスパッタリングなどに
よって形成される磁性膜の磁気的な特性が劣化すること
がなく、この磁性薄膜によって磁気回路の一部を構成す
る磁気ヘッドにおける電磁変換特性を向上させることが
できる。According to the above-mentioned means, since the side surface of the core member to which the magnetic film is attached is flat, the magnetic properties of the magnetic film formed by sputtering, etc., do not deteriorate, and the magnetic thin film It is possible to improve electromagnetic conversion characteristics in a magnetic head that constitutes a part of the circuit.
〔実施例１〕
第１図は、本発明の一実施例である磁気ヘッドの要部を
示す斜視図である。[Embodiment 1] FIG. 1 is a perspective view showing the main parts of a magnetic head that is an embodiment of the present invention.
たとえば高透磁率のＭ ｎ −Ｚ ｎフェライトなどか
らなり、ブロック状を呈するスライダ１において、図示
しない磁気ディスクなどに対面する底面には複数の浮上
レール２が互いに平行に突設されており、回転する磁気
ディスクの表面に形成される気流などによって揚力を発
生するように構成されている。For example, in a block-shaped slider 1 made of Mn-Zn ferrite with high magnetic permeability, a plurality of floating rails 2 are protruded in parallel to each other on the bottom surface facing a magnetic disk (not shown). The magnetic disk is configured to generate lift by air currents formed on the surface of the magnetic disk.
この場合、浮上レール２の一端側におけるスライダ１の
側面には、幅方向に巻線収容溝３が刻設されており、こ
の巻線収容溝３の内周部などには、たとえば、コバルト
系の非晶質合金などからなる高飽和磁束密度のスライダ
側磁性膜４がスパッタリング法などによって被着されて
おり、その一部はスライダ１の端面中央部に延設されて
いる。In this case, a winding accommodating groove 3 is formed in the width direction on the side surface of the slider 1 at one end of the floating rail 2, and the inner circumference of this winding accommodating groove 3 is coated with, for example, a cobalt-based material. A slider side magnetic film 4 having a high saturation magnetic flux density made of an amorphous alloy or the like is deposited by sputtering or the like, and a portion thereof extends to the center of the end face of the slider 1.
さらに、スライダ１において巻線収容溝３が刻設された
端面には、当該巻線収容溝３に対面する平坦な側面に高
飽和磁束密度のコア側磁性膜５をスパッタリング法など
によって被着させたコア部材６の両端部が固定されてい
る。Further, on the end face of the slider 1 where the winding accommodation groove 3 is carved, a core-side magnetic film 5 having a high saturation magnetic flux density is deposited on the flat side face facing the winding accommodation groove 3 by sputtering or the like. Both ends of the core member 6 are fixed.
コア部材６の上端側におけるコア側磁性膜５はスライダ
側磁性膜４に接続されており、コア側磁性膜５およびス
ライダ側磁性膜４などによって磁気回路が構成されてい
る。The core-side magnetic film 5 on the upper end side of the core member 6 is connected to the slider-side magnetic film 4, and the core-side magnetic film 5, the slider-side magnetic film 4, and the like constitute a magnetic circuit.
浮上レール２の側の下端部におけるコア側磁性膜５とス
ライダ側磁性膜４との間には、酸化シリコンなどの図示
しない非磁性薄膜を介在させることによって磁気ギャッ
プＧが構成されており、この磁気ギャップＧの大きさは
非磁性薄膜の厚さによって制御されている。A magnetic gap G is formed between the core-side magnetic film 5 and the slider-side magnetic film 4 at the lower end on the side of the floating rail 2 by interposing a non-magnetic thin film (not shown) such as silicon oxide. The size of the magnetic gap G is controlled by the thickness of the nonmagnetic thin film.
そして、コア部材６に導体ワイヤを巻回して構成される
図示しないコイルの一部はスライダ１の断面に刻設され
た巻線収容溝３に収容きれるとともに、たとえば、この
コイルに通電する際にスライダ側磁性膜４およびコア側
磁性膜５によって構成される磁気回路に形成される磁束
の一部が磁気ギャップＧから漏れ出して形成される図示
しない漏れ磁束によって、図示しない磁気ディスクなど
に対する情報の記録動作が行われ、さらに、記録媒体側
からの磁束が磁気ギャップを横切る際にコイルに発生す
る電流などによって記憶媒体からの情報の読み出し動作
を行うものである。A part of a coil (not shown) formed by winding a conductor wire around the core member 6 can be accommodated in a winding housing groove 3 carved in the cross section of the slider 1, and, for example, when energizing this coil, A part of the magnetic flux formed in the magnetic circuit constituted by the slider-side magnetic film 4 and the core-side magnetic film 5 leaks out of the magnetic gap G and is formed by leakage magnetic flux (not shown), which causes information to be transmitted to a magnetic disk (not shown), etc. A recording operation is performed, and information is read from the storage medium using current generated in a coil when magnetic flux from the recording medium crosses a magnetic gap.
ここで、前述のようなスライダ側磁性膜４およびコア側
磁性膜５をスパッタリングによって形成する際の膜形成
面のスパッタ粒子の入射方向に対する傾斜角θと膜形成
面に成長する薄膜の透磁率μとの関係は、たとえば、特
開昭６１−２９２２１１ 号公報、特開昭６０−２２９
１０号公報、さらには電子情報通信学会技術研究報告Ｍ
Ｒ８７−２４“磁気ヘッド用Ｆｅ−Δβ−３ｉスパッ
タ膜”などに詳細に述べられており、その概要は、たと
えば、第５図に示されるようになる。Here, when forming the slider side magnetic film 4 and the core side magnetic film 5 by sputtering as described above, the inclination angle θ of the film formation surface with respect to the incident direction of sputtered particles and the magnetic permeability μ of the thin film grown on the film formation surface are determined. For example, the relationship with JP-A-61-292211, JP-A-60-229
Publication No. 10, and IEICE Technical Research Report M
It is described in detail in R87-24 "Fe-Δβ-3i sputtered film for magnetic head", and its outline is shown in FIG. 5, for example.
すなわち、スパッタ粒子の入射方向に対して傾斜した面
に形成されるスパッタ膜では透磁率μが低下することが
知られ、この原因は、たとえば、第６図に模式的に示さ
れるように、スパック粒子の入射方向に垂直な領域Ａお
よび傾斜した領域Ｃ１さらには両者の墳界領域已におい
て薄膜の成長方向に差異を生じ、これによってスパッタ
膜の各部における磁気的な異方性を有するようになるた
めと考えられる。That is, it is known that the magnetic permeability μ decreases in a sputtered film formed on a surface inclined with respect to the direction of incidence of sputtered particles, and the cause of this is, for example, as schematically shown in FIG. Differences occur in the growth direction of the thin film in the area A perpendicular to the direction of particle incidence and the inclined area C1, as well as in the tomb area of both, and as a result, each part of the sputtered film has magnetic anisotropy. It is thought that this is because of this.
このため、従来のように巻線を収容するための窓などを
形成すべくコア部材６をコの字形に形成した場合には、
スパッタ粒子の入射方向に対して傾斜角θを有する領域
が生じることは避けられず、形成された磁性膜は磁束還
流方向に対して屈曲した状態となり、透磁率などの磁気
的な性質が劣るものとなることは避けられないが、本実
施例の場合には、巻線収容溝３がスライダ１の側に形成
され、コア部材６の側面を平坦にしてコア側磁性膜５を
形成することがきるので、コアｒＲＩＪ磁性膜５が磁束
還流方向に対して屈曲した状態となることがなく、前述
のような透磁率の低下が生じることが確実に防止される
。For this reason, when the core member 6 is formed into a U-shape to form a window or the like for accommodating the winding wire as in the conventional case,
It is inevitable that a region having an inclination angle θ with respect to the incident direction of sputtered particles will occur, and the formed magnetic film will be in a bent state with respect to the magnetic flux return direction, resulting in poor magnetic properties such as magnetic permeability. However, in the case of this embodiment, the winding receiving groove 3 is formed on the slider 1 side, and the side surface of the core member 6 is made flat to form the core side magnetic film 5. Therefore, the core rRIJ magnetic film 5 does not become bent with respect to the magnetic flux return direction, and the decrease in magnetic permeability as described above is reliably prevented.
一方、スライダ１の巻線収容溝３に形成されたスライダ
側磁性膜４についても同様のことが邪念されるが、スラ
イダ１が磁性体で構成されているので、スライダ側磁性
膜４およびコア側磁性膜５によって形成される磁気回路
の特性に与えるスライダ側磁性膜４の影響は小さくなる
。On the other hand, the same thing may happen to the slider side magnetic film 4 formed in the winding accommodation groove 3 of the slider 1, but since the slider 1 is made of a magnetic material, the slider side magnetic film 4 and the core side The influence of the slider-side magnetic film 4 on the characteristics of the magnetic circuit formed by the magnetic film 5 is reduced.
すなわち、第７図はスライダ１およびコア部材６にそれ
ぞれ設けられたスライダ側磁性膜４およびコア側磁性膜
５によって構成される磁気回路の等価回路を示すモデル
であり、ｇは磁気ギャップＧにおける磁気抵抗、Ｒ１は
コア側磁性膜５の磁気抵抗＋ＲＣＩはコア部材６自体の
磁気抵抗、Ｒ＃２はスライダ側磁性膜４の磁気抵抗＋
Ｒｃ ｚはスライダ１自体の磁気抵抗である。That is, FIG. 7 is a model showing an equivalent circuit of a magnetic circuit constituted by the slider-side magnetic film 4 and the core-side magnetic film 5 provided on the slider 1 and the core member 6, respectively, and g is the magnetic field in the magnetic gap G. Resistance, R1 is the magnetic resistance of the core side magnetic film 5 + RCI is the magnetic resistance of the core member 6 itself, R#2 is the magnetic resistance of the slider side magnetic film 4 +
Rc z is the magnetic resistance of the slider 1 itself.
一般に、フェライトなどの磁性体からなるスライダ１の
体積はコア部材６に対して充分大きく、その磁気抵抗Ｒ
Ｃ２は非常に小さい。さらに、スライダ側磁性膜４の磁
気抵抗Ｒｍ２に対してもＲｃ２は非常に小さく、従って
スライダｌの側では磁束のほとんどがスライダ１自体の
中を流れることとなり、巻線収容溝３を刻設したことに
起因するスライダ側磁性膜４の透磁率の劣化などが磁気
回路の特性に与える影響は無視できる程度に小さくなる
。Generally, the volume of the slider 1 made of a magnetic material such as ferrite is sufficiently large compared to the core member 6, and its magnetic resistance R
C2 is very small. Furthermore, Rc2 is very small compared to the magnetic resistance Rm2 of the magnetic film 4 on the slider side, and therefore, on the slider l side, most of the magnetic flux flows through the slider 1 itself, so the winding accommodation groove 3 is carved. The influence of the deterioration of magnetic permeability of the slider-side magnetic film 4 caused by this on the characteristics of the magnetic circuit becomes negligible.
一方、コア部材６の側においては、当該コア部材６の体
積が小さいため、コア部材６の磁気抵抗ＰＣＩに対して
コア側磁性膜５の磁気抵抗Ｒ１の変動は無視できないも
のである。On the other hand, on the side of the core member 6, since the volume of the core member 6 is small, variations in the magnetic resistance R1 of the core side magnetic film 5 with respect to the magnetic resistance PCI of the core member 6 cannot be ignored.
ところが、本実施例の場合には、前述のようにコア部材
６の平坦な側面にコア側磁性膜５を形成するので、当該
コア側磁性膜５の屈曲などによる透磁率μの低下などが
確実に回避されるので、コア側磁性膜５およびスライダ
側磁性膜４などによって形成される磁気回路における磁
気抵抗の増大などが確実に防止される。However, in the case of this embodiment, since the core-side magnetic film 5 is formed on the flat side surface of the core member 6 as described above, it is certain that the magnetic permeability μ will not decrease due to bending or the like of the core-side magnetic film 5. Therefore, an increase in magnetic resistance in the magnetic circuit formed by the core-side magnetic film 5, the slider-side magnetic film 4, etc. is reliably prevented.
このことは、たとえば、インダクタンスの低減を図るな
どの目的でコア部材６０体積を小さくしたり、さらには
コア部材６の全体を非磁性材料で構成する場合などにお
いて特に有利であり、コア部材６に巻回されるコイルと
当該磁気回路との開における電磁変換特性の優れた磁気
ヘッドを実現することができる。This is particularly advantageous when, for example, the volume of the core member 60 is made small for the purpose of reducing inductance, or when the entire core member 6 is made of a non-magnetic material. A magnetic head with excellent electromagnetic conversion characteristics between the wound coil and the magnetic circuit can be realized.
〔実施例２〕
第２図は、本発明の他の実施例である磁気ヘッドの要部
を示す斜視図である。[Embodiment 2] FIG. 2 is a perspective view showing the main parts of a magnetic head that is another embodiment of the present invention.
本実施例においては、スライダ側磁性膜４ａおよびコア
側磁性膜５ａの双方が、スライダｌａおおよびコア部材
６ａの突き合わせ面に対してＶ字形に突出するように形
成されており、両者の突き合わせ部はＸ字形を呈するよ
うに接続されている。In this embodiment, both the slider-side magnetic film 4a and the core-side magnetic film 5a are formed to protrude in a V-shape with respect to the abutting surfaces of the slider la and the core member 6a. are connected to form an X shape.
また、スライダ側磁性膜４ａおよびコア側磁性膜５ａの
突き合わせ部の頂点の幅寸法は、図示しない記憶媒体に
設けられているトラックの幅寸法よりも広くなるように
研削加工などによって成形されているとともに、スライ
ダ側磁性膜４ａおよびコア側磁性膜５ａの突き合わせ部
の周囲には、補強ガラス部材７を充填することによって
接合強度が維持されている。Further, the width of the apex of the abutting portion of the slider-side magnetic film 4a and the core-side magnetic film 5a is formed by grinding or the like so that it is wider than the width of a track provided on a storage medium (not shown). At the same time, the bonding strength is maintained by filling the reinforcing glass member 7 around the abutting portions of the slider-side magnetic film 4a and the core-side magnetic film 5a.
本実施例の場合には、前記実施例１の場合と同様の効果
を得ることができるとともに、スライダ側磁性膜１ａお
よびコア部材６ａを構成するフェライトなどの磁性体と
スライダ側磁性膜４ａおよびコア側磁性膜５ａとの境界
部に擬似的な磁気ギャップを生じる有害なコンタ−効果
の発生を防止することができるという効果がある。In the case of this embodiment, the same effects as in the first embodiment can be obtained, and the magnetic material such as ferrite constituting the slider-side magnetic film 1a and the core member 6a and the slider-side magnetic film 4a and the core This has the effect of preventing the occurrence of a harmful contour effect that would create a pseudo magnetic gap at the boundary with the side magnetic film 5a.
〔実施例３〕
第３図（ａ）〜（ｄ）は、本発明のさらに他の実施例で
ある複数の磁気ヘッドの各々を底面側から見た平面図で
ある。[Embodiment 3] FIGS. 3(a) to 3(d) are plan views of each of a plurality of magnetic heads according to still another embodiment of the present invention, viewed from the bottom side.
本実施例３においては、複数の磁気ヘッドの各々におけ
るスライダ１ｂのにおいて、それぞれ磁気ギャップＧの
近傍の領域のみを、たとえばＭｎ−Ｚｎフェライトなど
の高透磁率性材料８ａ、８ｂ、３ｃ、３ｄ （同図中の
斜線で示される部分）で構成し、他の部分は、たとえば
チタン酸カルシウムなどの非磁性材料９ａ、９ｂ、９ｃ
、９ｄでそれぞれ構成するようにしたものである。In the third embodiment, in the slider 1b of each of the plurality of magnetic heads, only the region near the magnetic gap G is made of high magnetic permeability material 8a, 8b, 3c, 3d (such as Mn-Zn ferrite). The other parts are made of non-magnetic material 9a, 9b, 9c such as calcium titanate.
, 9d, respectively.
これにより、コア部材６ｂとともに磁気回路を構成する
スライダ１ｂにおいて、当該磁気回路の電磁変換特性に
不要な磁性対部分が減少し、磁気ヘッドの低インダクタ
ンス化を実現することができる。As a result, in the slider 1b that constitutes the magnetic circuit together with the core member 6b, the magnetic pair portion that is unnecessary for the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic circuit is reduced, and the inductance of the magnetic head can be reduced.
〔実施例４〕
第４図（ａ）〜（ｄ）は、本発明のさらに他の実施例で
ある複数の磁気ヘッドを底面側より見た平面図である。[Embodiment 4] FIGS. 4(a) to 4(d) are plan views of a plurality of magnetic heads according to still another embodiment of the present invention, viewed from the bottom side.
本実施例４の場合には、複数の磁気ヘッドの各々におい
て、浮上レール２ａに対応する位置にそれぞれ複数のコ
ア部材６１ａ、６２ａ、６１ｂ。In the case of the fourth embodiment, in each of the plurality of magnetic heads, a plurality of core members 61a, 62a, and 61b are provided at positions corresponding to the floating rails 2a, respectively.
６２ｂ、６１ｃ、６２ｃ、６１ｄ、６２ｄを装着するこ
とで、個々の磁気ヘッドにおいて複数の磁気回路および
磁気ギャップＧｌ およびＧ２ が形成されるようにし
たものである。By mounting the magnetic heads 62b, 61c, 62c, 61d, and 62d, a plurality of magnetic circuits and magnetic gaps Gl and G2 are formed in each magnetic head.
そして、個々の磁気ヘッドにおいて複数の磁気口！各お
よび磁気ギャップＧ＋ 、Ｇ２ のうち特性のより良好
な一つを選択してコイルの巻回による実際の記録動作な
どに採用することで、個々の磁気ヘッドの製造における
分留りを向上させることができる。And multiple magnetic ports in each magnetic head! By selecting one of the magnetic gaps G+ and G2 with better characteristics and employing it in the actual recording operation by winding a coil, the yield in manufacturing each magnetic head can be improved. I can do it.
さらに、個々の磁気ヘッドの各々において、複数の磁気
ギャップＧ１およびＧ２ の各々における磁気回路を構
成する図示しないコア側磁性膜５およびスライダ側磁性
膜４の膜厚やトラック幅などのパラメータを異なる状態
に設定することで、再生専用および記録専用ヘッドを兼
備した磁気ヘッドを実現することができる。Furthermore, in each of the individual magnetic heads, parameters such as the film thickness and track width of the core-side magnetic film 5 and the slider-side magnetic film 4 (not shown) constituting the magnetic circuit in each of the plurality of magnetic gaps G1 and G2 are set to be different. By setting , it is possible to realize a magnetic head that has both a read-only head and a record-only head.
なお、第４図（ａ）〜（ｄ）で示される複数の磁気ヘッ
ドにおいて、コア部材６１ａ、６２ａ、６１ｂ。In addition, in the plurality of magnetic heads shown in FIGS. 4(a) to 4(d), the core members 61a, 62a, 61b.
６２ｂ、６１ｃ、６２ｃ、６１ｄ、６２ｄは、各々に被
着されるコア側磁性膜５が磁束還流方向に対して屈曲の
ない構造であれば磁性体、非磁性体のいずれで構成され
ていてもよい。62b, 61c, 62c, 61d, and 62d may be made of either a magnetic material or a non-magnetic material as long as the core-side magnetic film 5 deposited thereon has a structure that is not bent in the magnetic flux return direction. good.
また、第４図（ａ）〜（６）に示される各々の磁気ヘッ
ドにおいて斜線が施された領域は、前記実施例３の場合
と同様に磁性体材料８ｅ、８Ｆ、８ｇ、８ｈで構成され
、その他の部分は非磁性材料９ｆ。In addition, the shaded areas in each of the magnetic heads shown in FIGS. 4(a) to (6) are made of magnetic materials 8e, 8F, 8g, and 8h, as in the case of the third embodiment. , the other parts are made of non-magnetic material 9f.
９ｇ、９ｈで構成されている。It consists of 9g and 9h.
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on Examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the Examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
たとえば、スライダ、コア部材、スライダ側磁性膜、コ
ア側磁性膜などを構成する物質としては、前述の各実施
例に例示したものに限らず、所要の物性を満足するもの
であればいかなるものであってもよい。For example, the materials constituting the slider, core member, magnetic film on the slider side, magnetic film on the core side, etc. are not limited to those exemplified in each of the above-mentioned embodiments, but any material can be used as long as it satisfies the required physical properties. There may be.
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、平坦な一側面に磁性膜が被着されたコア部材
と、このコア部材が接合される側面に巻線収容溝が刻設
され、前記コア部材とともに磁気回路および磁気ギャッ
プを構成するスライダとからなる磁気ヘッドであるため
、コア部材の平坦な側面に、たとえばスパッタリングな
どによって形成される磁性膜の磁気的な特性が劣化する
ことがなく、この磁性薄膜によって磁気回路の一部を構
成する磁気ヘッドにおける電磁変換特性を向上させるこ
とができる。That is, a core member having a magnetic film adhered to one flat side surface, and a slider having a winding receiving groove carved in the side surface to which this core member is joined and forming a magnetic circuit and a magnetic gap together with the core member. Because the magnetic head is made of The electromagnetic conversion characteristics of the head can be improved.
第１図は本発明の一実施例である磁気ヘッドの要部を示
す斜視図、
第２図は本発明の他の実施例である磁気ヘッドの斜視図
、
第３図（ａ）〜（ｄ）は本発明のさらに他の実施例であ
る磁気ヘッドの平面図、
第４図［ａ）〜（ｄ）は本発明のさらに他の実施例であ
る磁気ヘッドの平面図、
第５図はスパッタリングにおけるスパッタ粒子の入射方
向とスパッタ薄膜の透磁率との関係の一例を説明する説
明図、
第６図は同じく、スパッタリングにおけるスパッタ薄膜
の成長状態の一例を示す説明図、第７図は本発明の一実
施例である磁気ヘッドに構成される磁気回路の等価回路
図である。
１、ｌａ、ｌｂ、ＩＣ・・・スライダ、２，２ａ・・・
浮上レール、３・・・巻線収容溝、４゜４ａ・・・スラ
イダ側磁性膜、５，５ａ・・・コア側磁性膜（磁性膜）
、６．６ａ、６ｂ、６１ａ。
６２ａ、６１ｂ、６２ｂ、６１ｃ、６２ｃ、６１ｄ、６
２ｄ・・・コア部材、７・・・補強ガラス部材、８ａ、
８ｂ、８ｃ、８ｄ、８ｅ、８ｆ、８ｇ、８ｈ・＝高透磁
率性材料、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｆ、９ｇ、９ｈ
・・・非磁性材料、Ｇ、Ｇ、、Ｇ２ ・・・磁気ギャッ
プ。
第１図
６・・コア部材 第 ２
図り
第５図
スパッタ粒子の
０入射方向
需 ７ 図FIG. 1 is a perspective view showing the main parts of a magnetic head that is an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a magnetic head that is another embodiment of the present invention, and FIGS. 3(a) to (d) ) is a plan view of a magnetic head which is still another embodiment of the present invention, FIGS. 4(a) to (d) are plan views of a magnetic head which is still another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a plan view of a magnetic head which is still another embodiment of the present invention. FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating an example of the relationship between the direction of incidence of sputtered particles and the magnetic permeability of a sputtered thin film. FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating an example of the growth state of a sputtered thin film during sputtering. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of a magnetic circuit configured in a magnetic head that is an example. 1, la, lb, IC...slider, 2, 2a...
Floating rail, 3... Winding accommodation groove, 4° 4a... Slider side magnetic film, 5, 5a... Core side magnetic film (magnetic film)
, 6.6a, 6b, 61a. 62a, 61b, 62b, 61c, 62c, 61d, 6
2d... Core member, 7... Reinforced glass member, 8a,
8b, 8c, 8d, 8e, 8f, 8g, 8h = high magnetic permeability material, 9a, 9b, 9c, 9d, 9f, 9g, 9h
...Nonmagnetic material, G, G,, G2 ...Magnetic gap. Fig. 1 6... Core member 2nd
Figure 5: Zero incidence direction of sputtered particles Figure 7
Claims (1)
のコア部材が接合される側面に巻線収容溝が刻設され、
前記コア部材とともに磁気回路および磁気ギャップを構
成するスライダとからなることを特徴とする磁気ヘッド
。 ２、前記スライダの前記巻線収容溝の近傍が高透磁率の
磁性材料で構成されていることを特徴とする請求項１記
載の磁気ヘッド。 ３、複数個の前記コア部材が前記スライダに装着されて
いることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。[Claims] 1. A core member having a magnetic film adhered to one flat side surface, and a winding receiving groove carved in the side surface to which the core member is joined,
A magnetic head comprising a slider that constitutes a magnetic circuit and a magnetic gap together with the core member. 2. The magnetic head according to claim 1, wherein the vicinity of the winding receiving groove of the slider is made of a magnetic material with high magnetic permeability. 3. The magnetic head according to claim 1, wherein a plurality of said core members are attached to said slider.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10250388A JPH01276407A (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10250388A JPH01276407A (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01276407A true JPH01276407A (en) | 1989-11-07 |
Family
ID=14329207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10250388A Pending JPH01276407A (en) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01276407A (en) |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10250388A patent/JPH01276407A/en active Pending
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