JPH01274485A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
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- JPH01274485A JPH01274485A JP10270588A JP10270588A JPH01274485A JP H01274485 A JPH01274485 A JP H01274485A JP 10270588 A JP10270588 A JP 10270588A JP 10270588 A JP10270588 A JP 10270588A JP H01274485 A JPH01274485 A JP H01274485A
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- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 9
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
- H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
し発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、特にそのＸ線予備電離方式を採用したパルス
レーザ装置に関するものである。
レーザ装置に関するものである。
（従来の技術）
一般にレーザ発振を得るためには、レーザ媒質中での空
間的に均一な放電（−主放電）の発生を必要トスルカ、
ＴＥＡＣＯｚ （大気圧ＣＯ２） Ｌ／−ザヤＴＥＭ
ＡＣＯ２（大気圧以上Ｃ０２）レーザ等のパルスレーザ
発振装置では、その動作圧力が大気圧から数気圧もの高
圧力でおるため、上記の放電は集束したアーク放電にな
りやすい。アーク放電になると励起媒質が局所的に加熱
され、レーザ発振の効率がさがり、場合によっては発振
が停止する。これを防止するためには、主放電に先立っ
て予備電離を行うのが普通である。
間的に均一な放電（−主放電）の発生を必要トスルカ、
ＴＥＡＣＯｚ （大気圧ＣＯ２） Ｌ／−ザヤＴＥＭ
ＡＣＯ２（大気圧以上Ｃ０２）レーザ等のパルスレーザ
発振装置では、その動作圧力が大気圧から数気圧もの高
圧力でおるため、上記の放電は集束したアーク放電にな
りやすい。アーク放電になると励起媒質が局所的に加熱
され、レーザ発振の効率がさがり、場合によっては発振
が停止する。これを防止するためには、主放電に先立っ
て予備電離を行うのが普通である。
第２図は、従来のパルスレーザ装置の一例を示すもので
、一対の光共振器のうち金反躬鏡側からＸ線を照射して
予備電離させる方式である（例えばＡｔ）ｌ）１． Ｐ
ｈｙｓ、 ｔｅｔｔ、 ｖｏｌ ４７． Ｎｏ １０．
Ｐ １０４５（１９８５）に示された方式）。第２図
に示したように、パルスレーザ発振器１とＸ線発生源２
とは、それぞれの中心軸が同一になるように配設されて
いる。
、一対の光共振器のうち金反躬鏡側からＸ線を照射して
予備電離させる方式である（例えばＡｔ）ｌ）１． Ｐ
ｈｙｓ、 ｔｅｔｔ、 ｖｏｌ ４７． Ｎｏ １０．
Ｐ １０４５（１９８５）に示された方式）。第２図
に示したように、パルスレーザ発振器１とＸ線発生源２
とは、それぞれの中心軸が同一になるように配設されて
いる。
Ｘ線発生源２は真空気密された容器２ａ内に陰極４と陽
極５とが対向配置して構成されてあり、真空容器２ａの
外部に設置したコンデンサ６とスイッチ７とからなり、
Ｘ線透過窓８からＸ線９が放射される。パルスレーザ発
振器１はレーザガスを満たした容器１ａ内に一対の主電
極１０．１１とが対内配置して構成され、両主電極１０
．１１の間にグロー放電１２が点弧し、両主電極１０．
１１の端部に配設した全反射鏡１３と部分透過鏡１４と
からなる光共振器を備えている。
極５とが対向配置して構成されてあり、真空容器２ａの
外部に設置したコンデンサ６とスイッチ７とからなり、
Ｘ線透過窓８からＸ線９が放射される。パルスレーザ発
振器１はレーザガスを満たした容器１ａ内に一対の主電
極１０．１１とが対内配置して構成され、両主電極１０
．１１の間にグロー放電１２が点弧し、両主電極１０．
１１の端部に配設した全反射鏡１３と部分透過鏡１４と
からなる光共振器を備えている。
このように構成された従来のパルスレーザ装置の動作を
説明する。Ｘ線発生源２のコンデンサ６を高電圧に充電
しておいてスイッチ７を閉じると、高電圧が陰極４、陽
極５間に加わってＸ線９が発生する。Ｘ線９はパルスレ
ーザ発振器１の全反射鏡１３を透過して主電極１０．１
１で作る放電空間のレーザガスを予備電離する。この時
点で図示していない高速高電圧パルス電源からパルス電
圧を主型１ｉ１０．１１間に印加するとグロー放電１２
が点弧し、レーザガスが励起される。すると全反射鏡１
３および部分透過鏡１４で構成される光共振器の作用で
レーザ発］辰が起こって部分透過鏡１４からレーザ光１
５が出ｑ寸される。
説明する。Ｘ線発生源２のコンデンサ６を高電圧に充電
しておいてスイッチ７を閉じると、高電圧が陰極４、陽
極５間に加わってＸ線９が発生する。Ｘ線９はパルスレ
ーザ発振器１の全反射鏡１３を透過して主電極１０．１
１で作る放電空間のレーザガスを予備電離する。この時
点で図示していない高速高電圧パルス電源からパルス電
圧を主型１ｉ１０．１１間に印加するとグロー放電１２
が点弧し、レーザガスが励起される。すると全反射鏡１
３および部分透過鏡１４で構成される光共振器の作用で
レーザ発］辰が起こって部分透過鏡１４からレーザ光１
５が出ｑ寸される。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述した従来のパルスレーザ装置におい
ては、予備電離用のＸ線９を全反射鏡１３の背後から入
射ざぜているので、Ｘ線源の特性に応じたＸ線束の発散
角によりレーザ媒貿内のＸ線強度は全反射鏡１３側で大
きく、部分透過鏡１４側で小さくなっている。このため
Ｘ線によって発生する予備電離電子数密度は全反射鏡１
３側で大きく部分透過鏡１４側で小さくなり、主放電１
，２の放電電力密度もこれにともない、全反射鏡１３側
で大きく、部分透過鏡１４側で小さくなる。
ては、予備電離用のＸ線９を全反射鏡１３の背後から入
射ざぜているので、Ｘ線源の特性に応じたＸ線束の発散
角によりレーザ媒貿内のＸ線強度は全反射鏡１３側で大
きく、部分透過鏡１４側で小さくなっている。このため
Ｘ線によって発生する予備電離電子数密度は全反射鏡１
３側で大きく部分透過鏡１４側で小さくなり、主放電１
，２の放電電力密度もこれにともない、全反射鏡１３側
で大きく、部分透過鏡１４側で小さくなる。
よって放電励起強度がレーザ光１５の光軸方向で変化し
均一な放電励起が行えず、主放電部に注入可能な放電電
力密度は全体として低く抑えられる結果になっていた。
均一な放電励起が行えず、主放電部に注入可能な放電電
力密度は全体として低く抑えられる結果になっていた。
また、Ｘ線９を全反射鏡１３を透過させて主放電空間に
入射させているので、全反射鏡近傍で螢光が発生してパ
ルスレーザの使用上不都合が生ずるだけでなく、全反射
鏡あにび部分透過鏡の寿命が短くなる恐れがおった。こ
のようにレーザ光軸方向からＸ線を照射するのではなく
、レーザ光軸と直交する方向からＸ線を入射して主放電
部を照射し、Ｘ線の強度分布を一様にする方法も試みら
れているが、この場合はＸ線源が大型になりパルスレー
ザ発振器の構造が複雑になっていた。
入射させているので、全反射鏡近傍で螢光が発生してパ
ルスレーザの使用上不都合が生ずるだけでなく、全反射
鏡あにび部分透過鏡の寿命が短くなる恐れがおった。こ
のようにレーザ光軸方向からＸ線を照射するのではなく
、レーザ光軸と直交する方向からＸ線を入射して主放電
部を照射し、Ｘ線の強度分布を一様にする方法も試みら
れているが、この場合はＸ線源が大型になりパルスレー
ザ発振器の構造が複雑になっていた。
本発明の目的は、構造が簡単でしかも均一な予備Ｎ離の
行えるＸ線発生源を備えたパルスレーザ装置を提供する
ことにおる。
行えるＸ線発生源を備えたパルスレーザ装置を提供する
ことにおる。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明のパルスレーザ装置は、両主電極が作る放電空間
の中心軸すなわちレーザ光軸に対してＸ線発生源をその
Ｘ線出射軸が鋭角になるように配設したことを特徴とす
るものでおる。
の中心軸すなわちレーザ光軸に対してＸ線発生源をその
Ｘ線出射軸が鋭角になるように配設したことを特徴とす
るものでおる。
（作 用）
以上のような構成を有する本発明によれば、Ｘ線発生源
から出射されるＸ線束の広がり角が市っても主放電空間
のＸ線強度分布は均一になり、レーザガスを均一に予備
電離することが可能になってレーザ励起強度を高くでき
るだけでなく、レーザ発振器外部にＸ線発生源を設置で
きるので構造が簡単になり、またパルスレーザ装置の動
作が安定する。
から出射されるＸ線束の広がり角が市っても主放電空間
のＸ線強度分布は均一になり、レーザガスを均一に予備
電離することが可能になってレーザ励起強度を高くでき
るだけでなく、レーザ発振器外部にＸ線発生源を設置で
きるので構造が簡単になり、またパルスレーザ装置の動
作が安定する。
（実施例）
以下、本発明を第１図に示す一実施例を参照して説明す
る。第１図において第２図と同一符号は同一部分を示す
ものでおるからその説明を省略する。第１図において、
本発明のパルスレーザ発振器１は、その光軸に対してＸ
線発生源２，３をそのＸ線出射軸とが鋭角になるように
かつ主ｔｆｉ電空間の両側に配設して構成されている。
る。第１図において第２図と同一符号は同一部分を示す
ものでおるからその説明を省略する。第１図において、
本発明のパルスレーザ発振器１は、その光軸に対してＸ
線発生源２，３をそのＸ線出射軸とが鋭角になるように
かつ主ｔｆｉ電空間の両側に配設して構成されている。
パルスレーザ発振器１およびＸ線発生源２．３は従来と
ほぼ同一構造である。Ｘ線発生源２および３は真空気密
された容器２ａ、３ａ内に陰極４と陽極５とが対向配置
されており、真空容器２ａ。
ほぼ同一構造である。Ｘ線発生源２および３は真空気密
された容器２ａ、３ａ内に陰極４と陽極５とが対向配置
されており、真空容器２ａ。
３ａのそれぞれの外部に設置したコンデンサ６とスイッ
チ７とからなり、Ｘ線透過窓８からＸ線１６および１７
が放射される。パルスレーザ発振器１はレーザガスを満
たした容器１ａ内に一対の主電極１０、１１とが対向配
置して構成され、両主電極１０゜１１の間にグロー放電
１２が点弧し、両主電極の端部に配設した全反射鏡１３
と部分透過鏡１４とからなる光共振器を備えている。
チ７とからなり、Ｘ線透過窓８からＸ線１６および１７
が放射される。パルスレーザ発振器１はレーザガスを満
たした容器１ａ内に一対の主電極１０、１１とが対向配
置して構成され、両主電極１０゜１１の間にグロー放電
１２が点弧し、両主電極の端部に配設した全反射鏡１３
と部分透過鏡１４とからなる光共振器を備えている。
次にこのように構成された本発明のパルスレーザ装置の
動作を説明する。Ｘ線発生源２おにび３のコンデンサ６
を高電圧に充電しておいてスイッチ７を閉じると、高電
圧が陰極４と陽極５との間に加わってＸ線１６．１７が
発生する。このＸ線１６゜１７はパルスレーザ発振器１
の全反射鏡１３および部分透過鏡１４を透過往ずに、主
電極ｔｏ、 ｉｉで作る放電空間の光軸方向に対して一
定の角度で照射されるためレーザガスが予備電離される
。
動作を説明する。Ｘ線発生源２おにび３のコンデンサ６
を高電圧に充電しておいてスイッチ７を閉じると、高電
圧が陰極４と陽極５との間に加わってＸ線１６．１７が
発生する。このＸ線１６゜１７はパルスレーザ発振器１
の全反射鏡１３および部分透過鏡１４を透過往ずに、主
電極ｔｏ、 ｉｉで作る放電空間の光軸方向に対して一
定の角度で照射されるためレーザガスが予備電離される
。
この時点で図示していない高速高電圧パルス電源からパ
ルス電圧を主電極１０．１１間に印加するとグロー放電
１２が点弧してレーザガスが励起される。
ルス電圧を主電極１０．１１間に印加するとグロー放電
１２が点弧してレーザガスが励起される。
すると全反射鏡１３および部分透過鏡１４からレーザ光
１５が出射される。Ｘ線発生源２，３から放射されるＸ
線１６．１７は、一定の広がり角をもっているが光軸方
向に対して対称の位置にＸ線発生源２゜３を配設してい
るので、主放電空間でのＸ線強度はほぼ均一にすること
ができる。
１５が出射される。Ｘ線発生源２，３から放射されるＸ
線１６．１７は、一定の広がり角をもっているが光軸方
向に対して対称の位置にＸ線発生源２゜３を配設してい
るので、主放電空間でのＸ線強度はほぼ均一にすること
ができる。
このためＸ線照射により発生する予備電離電子数密度は
一定になる。よってレーザガスを均一に予備電離するこ
とが可能になり、レーザ励起強度が高くできるだけでな
く、レーザ発振器外部にＸ線発生源を設置できるので構
造が簡単になる。
一定になる。よってレーザガスを均一に予備電離するこ
とが可能になり、レーザ励起強度が高くできるだけでな
く、レーザ発振器外部にＸ線発生源を設置できるので構
造が簡単になる。
［発明の効果］
以上のような構成を有する本発明によれば、Ｘ線発生源
から出射されるＸ線束の広がり角があってもレーザガス
を均一に予備電離することが可能になり、レーザ励起強
度が高くできるだけでなく、レーザ発振器外部にＸ線発
生源を設置できるので構造が簡単で、長寿命のパルスレ
ーザ装置を提供することができる。
から出射されるＸ線束の広がり角があってもレーザガス
を均一に予備電離することが可能になり、レーザ励起強
度が高くできるだけでなく、レーザ発振器外部にＸ線発
生源を設置できるので構造が簡単で、長寿命のパルスレ
ーザ装置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ装置の一実施例を示す断
面図、第２図は従来のＸ線予備電離型パルスレーザ装置
を示す断面図である。 １・・・パルスレーザ発振器 ２．３・・・Ｘ線発生源 ４・・・陰極 ５・・・陽極 ６・・・コンデンサ ７・・・スイッチ ８・・・Ｘ線透過窓 ９・・・Ｘ線 １０、１１・・・主電極 １２・・・グロー放電 １３・・・全反射鏡 １４・・・部分透過鏡 １５・・・レーザ光 １６、１７・・・Ｘ線 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 す 第１図 第 ２ 図
面図、第２図は従来のＸ線予備電離型パルスレーザ装置
を示す断面図である。 １・・・パルスレーザ発振器 ２．３・・・Ｘ線発生源 ４・・・陰極 ５・・・陽極 ６・・・コンデンサ ７・・・スイッチ ８・・・Ｘ線透過窓 ９・・・Ｘ線 １０、１１・・・主電極 １２・・・グロー放電 １３・・・全反射鏡 １４・・・部分透過鏡 １５・・・レーザ光 １６、１７・・・Ｘ線 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 す 第１図 第 ２ 図
Claims (1)
- 一対の主電極間のレーザガスにＸ線を透過して予備電離
してからグロー放電を点弧してレーザ媒質を励起し、光
共振器からレーザ光を出射するものにおいて、前記光共
振器の光軸と外部に設置した前記Ｘ線のＸ線発生源の放
射軸とが鋭角をなすように構成したパルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270588A JPH01274485A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10270588A JPH01274485A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01274485A true JPH01274485A (ja) | 1989-11-02 |
Family
ID=14334684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10270588A Pending JPH01274485A (ja) | 1988-04-27 | 1988-04-27 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01274485A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194578A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Agency Of Ind Science & Technol | Ｘ線予備電離エキシマレーザ装置 |
-
1988
- 1988-04-27 JP JP10270588A patent/JPH01274485A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194578A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-08-01 | Agency Of Ind Science & Technol | Ｘ線予備電離エキシマレーザ装置 |
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