JPH01270499A - 超音波素子 - Google Patents

超音波素子

Info

Publication number
JPH01270499A
JPH01270499A JP9973888A JP9973888A JPH01270499A JP H01270499 A JPH01270499 A JP H01270499A JP 9973888 A JP9973888 A JP 9973888A JP 9973888 A JP9973888 A JP 9973888A JP H01270499 A JPH01270499 A JP H01270499A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
transmitting
receiving
diaphragm
ultrasonic element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9973888A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Sadamura
定村 茂
Noboru Abe
安倍 昇
Tsuneo Kunimi
国見 常夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP9973888A priority Critical patent/JPH01270499A/ja
Publication of JPH01270499A publication Critical patent/JPH01270499A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は1個の素子によって超音波を発信および受信す
る超音波素子に関するものである。
[従来の技術〕 従来8例えば車両用の障害物検知装置としては。
超音波送信器から超音波パルスを送信し、検知対象物若
しくは障8物からの反射波を超音波受信器によって受信
し、この受信信号を処理して警報を発するように構成し
たものが一最的である。そして上記障害物の検知範囲若
しくは指向性を広域化するために、ごれまでに種々の発
明が提案されている(例えば特開昭57−40665号
、同57−182666号。
同59−154380号公報参蕉)。−力士記検知装置
の小型化若しく;よコンパクト化のために、送信器と受
信器とを兼用させた装置も使用されており、更には屋外
において使用することを勘案して密閉型若しくは防滴型
とした構成のものがある。
第6図(a+は一ヒ記従来の超音波送受信器の一例を示
す要部罹断面図である。同図においてlはケースであり
1例えばアルミニウム合金により閉端部を円錐台状に形
成し、他端に開口端を設ける。ケース1の閉端部の内側
には圧電材料からなる振動子2を一体に固着すると共に
、開口端には端子板3を袋着して密閉構造とする。4は
端子であり。
端子板3の内外に貫通するように固着し、リード緑5を
介して各々振動子2およびケースlと電気的に接続する
次に第6図(blは第6図ta+における振動子2の拡
大縦断面図である。第6図fblにおいて、2aは振動
板であり9例えばジルコン酸チタン酸鉛(PZ]゛)に
よって形成し、上下両面に恨等の導電材料からなる2掻
2bを塗布若し7くは固着するのである。
上記の構成により、第6図+a+に示すように組込み、
端子4!こ信号電圧を印加すると振動子2がたわみ振動
を行ない、ケース1の閉端面1aから空中に超音波を送
信する。また逆に閉端面1aに超音波が入射すると、閉
端面1aに固着した振動子2が励振されてたわみ振動を
行ない、電極2bを介して端子4に信号電圧を発生する
。従って前記のようにして障害物の検知を行なうことが
できるのである。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記構成の超音波送受信器は、1個の振動子2によって
超音波の送信と受(3とを行なうため5例えば障害物と
の距離が短い場合には、送信信号の近傍に残響信号が存
在するため、受信信号とカップルを起して検出困難とな
るという問題点がある。
一方上記残響信号を小さくすると、振動子2の感度が著
しく低下するという不都合がある。また感度を向上させ
ると1周囲のノイズも拾うこととなり、前記残g信号が
増大することとなる。このように従来の振動子2若しく
は超音波素子には送信と受信とを同一の振動手段によっ
ているため、残響信号の除去および感度向上という相反
する特性を同時に向上させることができないという問題
点がある。
本発明は上記従来の技術に存在する問題点を解決し、残
響信号を除去し得ると共に、感度の高い超音波素子を提
供することを目的とする。
(課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために1本)91の発明においては
、圧電材料からなる振動板の一方の側に共通電極を設け
、他方の側に送信用および受信用の電極を設けて、各々
独立の送イ3部および受信部を形成する。という技術的
手段を採用した。
なお上記の構成において、送信用の1鳩と受信用の電極
とを間隙を介して分離した構成にすると効果的である。
また振動板も含めて送信部と受信部とを間隙を介して分
離した構成にすると更に効果的である。
更に共通電極も含めて送信部と受信部とを間隙を介して
分離した構成にすると更に一層の効果を期待できる。
なお前記第1の発明の構成において、同一の圧電特性を
有する材t4からなる2個の振動板間に送信用若しくは
受信用の電極を挟着すると共に、他方の側に前記電極以
外の電極を設けてもよい。
また前記第4若しくは第5の発明の構成において、送信
部および受信部を構成する各振動板の厚さを異なる寸法
に形成すると送信部および受信部の特性を最適化するた
めに効果的である。
〔作 用〕
上記の構成により、送信部および受信部の回路定数を別
個に設定することが可能となり、送信受信兼用の超音波
素子であるのにも拘らず、各特性全1にね備えた機能を
発揮することができる。
〔実応例〕
第1図ta+ (blは各ケ本発明の第1実施例を示ず
ζイ[11斤画面71および工面図である。両図におい
て、11は振動板であり、前記第6図fblに示すもの
と同様に1例えばジルコン酸チタン酸鉛(PZT)によ
って、直径8mm、厚さQ、 2m mに形成する。
12は共Ijl!電極であり、導電材料によって形成し
振動板11の一方の表面に固着する。次に13゜14は
各々送信用電極および受信用型)玉であり。
導電材t1によって形成し、振動板11の他方の表面に
同着する。なお送信用電極13と受信用電極14とはリ
ング状の間隙15を介して分離し、8々独立の送信部お
よび受信部を形成するようにする。上記の構成において
、夫々の電tffi12.13゜1.4の厚さを例えば
10μmとし1間隙を0.1〜Q、 2m mに設定す
る。
上記のように構成した後、共通電電12の側を前記第6
図fa+に示すようなケース1の閉端部の内側に固着し
5夫々の電i12,13.14を夫々の端子(図示せず
)と電気的に接続する。
上記の構成により送信用電極13と受信用電極14とに
より、各々独立の送信部と受信部を形成するから、送信
による残響信号の影響を受信部にできる。
第2図fal (blは各々本発明の第2の実施例を示
す縦断面図および平面図であり、同一部分は前記第1I
2I(al (blと同一の参照符号で示す。第2図f
at (bフに示すものは、送信用量I!l113を円
板部13aとリング部13bおよび両者を接続する接続
部13Cとによって形成すると共に、受信用電極14を
一部切欠いたリング状に形成し1間隙15を介して送信
用量1M13を構成する円板部13aとリング部13b
との間に配設したものであり3作用は前記第1実施例と
同一である。
第3図(al (blは各々本発明の第3実施例を示す
縦断面図および平面図であり、同一部分は前記の実施例
を示す図と同一の参照符号で示す。第3図jalfb+
において、16はリング状の溝であり、送(ε用電極1
3と受信用電極14との間に設けると共に。
振動板11中に穿設し、共通電極12との間に若干の接
続部16aを残存させる。この接続部の厚さδ5よ例え
ば0.1〜0.15mmとする。
上記の構成により、送信用電極13と受信用電極14と
によって形成される送信部と受信部との独立性が掻めで
大となり、送信による残響信号の影Igを更に一層小さ
くすると共に、感度の向上が期待できる。
第4図fal (blは各々本発明の第4実施例を示す
縦断面図および平面図であり、同一部分は前記の実施例
を示す図と同一の参照符号で示す。第4図ta+[bl
 ニ示すものは、第3図ta+ (blにおける781
6を。
共通電極12の部分まで延ばしたものである。このよう
な構成により、共通電極12は、送信用電極13に対応
する円板部12aと、受信用電極14に対応するリング
部12bとに分離されるから、送信部と受信部とが完全
に分離独立した状態となり、より一層の残響信号の除去
、感度の向上が期待できる。また送信部と受信部を構成
する振動板11の厚さを各々独立に設定することができ
送信機能および受信機能を最適化することができるので
ある。
第5図は本発明の第5実施例を示す縦断面図であり、同
一部分は前記の実施例を示す図と同一の参照符号で示す
。第5図において、lla、11bは各々送信用振動板
および受信用振動板であり。
例えば送信用電極13を介して固着すると共に。
送信用振動板11aおよび受信用振動板11bの表面に
各々共1iTl電極12および受信用電照14を固着す
る。
以Fの構成により、受(3部に対する送信信号の影3は
若干残るが、送信用振動板11aおよび受信用振動板1
1bの厚さを自由に選定することができ、送信および受
信にR通の回路定数を選定することができる利点がある
本実施例においては送信用量)jおよび受信用電極の配
設例を数例示したが2両者の配置を逆Sこしても作用は
同一であり、また電極および振卸J板の材質および寸法
は、適用すべき用途その他を勘にと2でj官選定すべき
である。更に電極の形状についても1本実施例に示す円
板状およびリング状5こ■定さね、ず、他の形状を自由
に選定することができる。
〔発明の効果〕
本別の発明は以上記述のような構成および作用であるか
ら、下記の効果を期待できる。
(1)  振動板に独立の送信部と受信部とを形成した
ものであるため、送信に伴って発生する残響信号の影響
を受信部に与えることが皆無となるか若しくは形容を大
幅に減少することができ、感度を大幅に向上することが
できる。
(2)送信部と受信部とに対応する振動板を異なる厚さ
に形成することができ、送信および受信に最適な回路定
数を選定することができ、感度を大幅に向上させ得る。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は夫々本発明の第1実施例ない1.
第4実施例を示す図であり夫々の(at (blは縦断
面図および平面図3第51は本発明の第5実施例を示す
縦断面図、第6図fa+は従来の超音波送受イ3器の一
例を示す要部縦断面図、第6図(blは第6図+a+に
おける振動子の拡大縦断面図である。 11:振動板、12:共通電極、13:送信用型ろ、1
4:受信用電極、15二間隙、16:溝。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)圧電材料からなる振動板の一方の側に共通電極を
    設け,他方の側に送信用および受信用の電極を設けて,
    各々独立の送信部および受信部を形成したことを特徴と
    する超音波素子。
  2. (2)送信用の電極と受信用の電極とを間隙を介して分
    離した請求項1記載の超音波素子。
  3. (3)振動板を間隙を介して分離した請求項2記載の超
    音波素子。
  4. (4)共通電極を間隙を介して分離した請求項3記載の
    超音波素子。
  5. (5)同一の圧電特性を有する材料からなる2個の振動
    板間に送信用若しくは受信用の電極を挟着すると共に,
    他方の側に前記電極以外の電極を設けた請求項1記載の
    超音波素子。
  6. (6)送信部および受信部を構成する各振動板の厚さを
    異なる寸法に形成した請求項4若しくは5記載の超音波
    素子。
JP9973888A 1988-04-22 1988-04-22 超音波素子 Pending JPH01270499A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9973888A JPH01270499A (ja) 1988-04-22 1988-04-22 超音波素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9973888A JPH01270499A (ja) 1988-04-22 1988-04-22 超音波素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01270499A true JPH01270499A (ja) 1989-10-27

Family

ID=14255369

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9973888A Pending JPH01270499A (ja) 1988-04-22 1988-04-22 超音波素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01270499A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015152036A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 株式会社村田製作所 超音波センサ
WO2016017475A1 (ja) * 2014-07-30 2016-02-04 京セラ株式会社 圧電素子、音響発生器、音響発生装置、電子機器
WO2016104396A1 (ja) * 2014-12-24 2016-06-30 株式会社村田製作所 超音波センサ
WO2016158762A1 (ja) * 2015-03-31 2016-10-06 株式会社村田製作所 圧電素子およびこれを備える超音波センサ
WO2016167003A1 (ja) * 2015-04-13 2016-10-20 株式会社村田製作所 超音波センサ、および、その制御方法
CN107409262A (zh) * 2015-04-20 2017-11-28 株式会社村田制作所 超声波传感器
US20190337015A1 (en) * 2017-01-25 2019-11-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic apparatus

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015152036A1 (ja) * 2014-03-31 2015-10-08 株式会社村田製作所 超音波センサ
CN106134221B (zh) * 2014-03-31 2019-06-07 株式会社村田制作所 超声波传感器
US10272472B2 (en) 2014-03-31 2019-04-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
EP3128764A4 (en) * 2014-03-31 2017-11-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
KR20160129046A (ko) * 2014-03-31 2016-11-08 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서
CN106134221A (zh) * 2014-03-31 2016-11-16 株式会社村田制作所 超声波传感器
JP6048616B2 (ja) * 2014-03-31 2016-12-21 株式会社村田製作所 超音波センサ
US20170008032A1 (en) * 2014-03-31 2017-01-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
WO2016017475A1 (ja) * 2014-07-30 2016-02-04 京セラ株式会社 圧電素子、音響発生器、音響発生装置、電子機器
JPWO2016017475A1 (ja) * 2014-07-30 2017-04-27 京セラ株式会社 圧電素子、音響発生器、音響発生装置、電子機器
JPWO2016104396A1 (ja) * 2014-12-24 2017-11-02 株式会社村田製作所 超音波センサ
WO2016104396A1 (ja) * 2014-12-24 2016-06-30 株式会社村田製作所 超音波センサ
JPWO2016158762A1 (ja) * 2015-03-31 2017-12-21 株式会社村田製作所 圧電素子およびこれを備える超音波センサ
WO2016158762A1 (ja) * 2015-03-31 2016-10-06 株式会社村田製作所 圧電素子およびこれを備える超音波センサ
US20180021814A1 (en) * 2015-04-13 2018-01-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor and control method therefor
CN107533129A (zh) * 2015-04-13 2018-01-02 株式会社村田制作所 超声波传感器及其控制方法
KR20170103908A (ko) * 2015-04-13 2017-09-13 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 초음파 센서 및 그 제어방법
WO2016167003A1 (ja) * 2015-04-13 2016-10-20 株式会社村田製作所 超音波センサ、および、その制御方法
JPWO2016167003A1 (ja) * 2015-04-13 2017-05-25 株式会社村田製作所 超音波センサ、および、その制御方法
US10639675B2 (en) 2015-04-13 2020-05-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor and control method therefor
CN107533129B (zh) * 2015-04-13 2021-03-19 株式会社村田制作所 超声波传感器及其控制方法
CN107409262A (zh) * 2015-04-20 2017-11-28 株式会社村田制作所 超声波传感器
EP3288291A4 (en) * 2015-04-20 2018-12-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic sensor
CN107409262B (zh) * 2015-04-20 2020-02-07 株式会社村田制作所 超声波传感器
US20190337015A1 (en) * 2017-01-25 2019-11-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic apparatus
US11772129B2 (en) * 2017-01-25 2023-10-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Ultrasonic apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6996883B2 (en) Method of manufacturing a multi-piezoelectric layer ultrasonic transducer for medical imaging
JPH0239251B2 (ja)
US4635484A (en) Ultrasonic transducer system
JP2003153391A (ja) 可変の音響インピーダンスを有する超音波変換器ウェハー
JP2002045357A (ja) 超音波診断装置
US3849679A (en) Electroacoustic transducer with controlled beam pattern
JPH0453117Y2 (ja)
JPH01270499A (ja) 超音波素子
JPS5851697A (ja) 超音波送受波器
JPH01270500A (ja) 超音波素子
JPS60138457A (ja) 送受分離形超音波探触子
JP2630948B2 (ja) 水中用圧電送受波シート
JPH0323040B2 (ja)
CN217726112U (zh) 一种环形超声换能器
CN212189927U (zh) 一种环形阵列换能器
JP2946605B2 (ja) 電気音響変換器
JPH0241999Y2 (ja)
JP2944174B2 (ja) 超音波センサの遮音法及びそれに基づく遮音材
JPH0834649B2 (ja) 圧電送受波器
JPS6117671Y2 (ja)
JPH05284599A (ja) 超音波振動子
JPH0519825Y2 (ja)
JP2985916B2 (ja) 電気音響変換素子
JPH0299041A (ja) 超音波プローブ
JPH0211078B2 (ja)