JPH01266865A - コロナ放電用針状電極およびその電極を用いたイオン発生器 - Google Patents
コロナ放電用針状電極およびその電極を用いたイオン発生器Info
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- JPH01266865A JPH01266865A JP9181088A JP9181088A JPH01266865A JP H01266865 A JPH01266865 A JP H01266865A JP 9181088 A JP9181088 A JP 9181088A JP 9181088 A JP9181088 A JP 9181088A JP H01266865 A JPH01266865 A JP H01266865A
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- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は空気中において、高電圧を印１１１１ Ｌ ７
こ電極によるコロナ１１１電によってイオンを発生させ
る針状電極およびその電極を用いたイオン発生器に関す
る。
こ電極によるコロナ１１１電によってイオンを発生させ
る針状電極およびその電極を用いたイオン発生器に関す
る。
［従来の技術］
低湿度環境（４０〜４５％Ｒ１＋＞下で、高抵抗の帯電
しやすいプラスチック、！ヘレー、パレットなどの容器
を用いて移送しながら、精密電子部品や高純度材料を製
造、加工、検査する場合に、静電気による短絡障害や歩
留りの低下等を引き起し問題となっている。これは静電
気により帯電した精密電子部品が絶縁破壊を起したり、
帯電した電位による反対電荷のダストを静電荷で吸引し
て微細な回路を短絡したり、高純度材料を汚したりする
ことを意味している。近年、精密電子部品の高密度化と
材料の高純度化が進むにつれて、その生産環境の超高度
清浄度化が必要とされると共に、精密電子部品の静電耐
性も低下するため、益々静電気による生産障害が問題と
なっている。
しやすいプラスチック、！ヘレー、パレットなどの容器
を用いて移送しながら、精密電子部品や高純度材料を製
造、加工、検査する場合に、静電気による短絡障害や歩
留りの低下等を引き起し問題となっている。これは静電
気により帯電した精密電子部品が絶縁破壊を起したり、
帯電した電位による反対電荷のダストを静電荷で吸引し
て微細な回路を短絡したり、高純度材料を汚したりする
ことを意味している。近年、精密電子部品の高密度化と
材料の高純度化が進むにつれて、その生産環境の超高度
清浄度化が必要とされると共に、精密電子部品の静電耐
性も低下するため、益々静電気による生産障害が問題と
なっている。
［発明が解決しようとする課題］
静電気対策としては、大別して、物体を接地し電荷を速
やかに漏洩させる方法と、イオンにより電荷を中和する
方法があるが、電子部品や材料の表面の電気抵抗が高い
場合は接地し電荷を速やかに漏洩させることは難かしい
。
やかに漏洩させる方法と、イオンにより電荷を中和する
方法があるが、電子部品や材料の表面の電気抵抗が高い
場合は接地し電荷を速やかに漏洩させることは難かしい
。
このような場合は、針状の金ＦＡ電極に直流又は交流の
高電圧を印加することにより針状の先端部にコ（コナ放
電を発生させ、電極周りの空気を正、ｆ１イオン化し、
室内の一様空気流によって搬送し、帯電体上の電荷をそ
の逆極性のイオンで中和する方法が用いられている。
高電圧を印加することにより針状の先端部にコ（コナ放
電を発生させ、電極周りの空気を正、ｆ１イオン化し、
室内の一様空気流によって搬送し、帯電体上の電荷をそ
の逆極性のイオンで中和する方法が用いられている。
しかしながら、このようなイオン発生器では、その金属
電極からコロナ放電によりイオンが発生すると同時に金
属の微粒子が空中に飛び出して来る。電極からの発ｇ量
はイオン発生器の構造と運転系ｆ↑によって異なるが、
例えば一般に用いられるタングステン電極を４０ｃｍ／
Ｓの気流中に配置して交流の１５ｋｖを印加した場合は
、該電極近傍の１［［３の空気中に直径００３μｍ以上
の塵がお・よそ２．６Ｘ １０’個の粒子が混入する。
電極からコロナ放電によりイオンが発生すると同時に金
属の微粒子が空中に飛び出して来る。電極からの発ｇ量
はイオン発生器の構造と運転系ｆ↑によって異なるが、
例えば一般に用いられるタングステン電極を４０ｃｍ／
Ｓの気流中に配置して交流の１５ｋｖを印加した場合は
、該電極近傍の１［［３の空気中に直径００３μｍ以上
の塵がお・よそ２．６Ｘ １０’個の粒子が混入する。
当然、これら金属微粒子はＭ密電子部品や高純度材料に
付着したり、混入したりすると、それらを不良品にして
しまう。
付着したり、混入したりすると、それらを不良品にして
しまう。
［課題を解決するための手段］
本発明は以上述べた従来のイオン発生器の欠どλを改良
し、金属微粒子の発生を伴わないクリーンイｆイオンを
発生する針状電極並びにその電極を用いたイオン発生器
を提供するものである。
し、金属微粒子の発生を伴わないクリーンイｆイオンを
発生する針状電極並びにその電極を用いたイオン発生器
を提供するものである。
本発明の基本的原理は、従来のイオン発生器が用いて来
た金属針電極をセラミックス等の誘電体で覆い、金属電
極に交流の高電圧を印加し、誘電体を介してコロナ放電
を起さしめ、よって電極の周辺の空気をイオン化してイ
オンを発生させるものである。
た金属針電極をセラミックス等の誘電体で覆い、金属電
極に交流の高電圧を印加し、誘電体を介してコロナ放電
を起さしめ、よって電極の周辺の空気をイオン化してイ
オンを発生させるものである。
づなわち、本発明は高電圧を印加する導電体の先端にセ
ラミックス製中空錐体（誘電体）を密着させてコロナｔ
Ｉｉｉ用針状電極としたものであり、またこの電極を用
いたイオン発生器にかかるものである。セラミックス製
中空錐体は、先端部におけるセラミックスの厚みが２
ｍｍ以下、望ましくは０．１順程度とされている。この
中空錐体の中空部分に導電体く金属型ＶｉＡ）先端を嵌
着させ、或いは導電性接着剤を用いて密着させている。
ラミックス製中空錐体（誘電体）を密着させてコロナｔ
Ｉｉｉ用針状電極としたものであり、またこの電極を用
いたイオン発生器にかかるものである。セラミックス製
中空錐体は、先端部におけるセラミックスの厚みが２
ｍｍ以下、望ましくは０．１順程度とされている。この
中空錐体の中空部分に導電体く金属型ＶｉＡ）先端を嵌
着させ、或いは導電性接着剤を用いて密着させている。
また針状の導電体の先端に′ｆＪ雷体とほぼ同じ熱膨張
係数のガラスを加熱溶着したものである。
係数のガラスを加熱溶着したものである。
［実施例］
本発明の詳細な構成を図を用いて説明する。
第１図は本発明の１つの実施例の構成を示すものである
。図において、１は直径２順φの金属棒（導電体）で、
その先端ｉ ａ ＋、ｔ ！＋状に加工しである。従来
のイオン発生器の金属電極はお）よそこのような形状で
ある。２はセラミックス製中空円錐体で、透明石英管を
加工して中空円錐状とし、金属棒１の先端１ａにピッタ
リ接触するようにに内面を仕上げる。セラミックス製中
空円錐体２の先端部２ａの肉厚は他の部分よりもできる
だけ薄くし、少なくとも２ｓ以下、望ましくは０．１順
程度に仕上げる。金属棒の先端部１ａは特に中空円錐体
の先端部２ａの内側に接触することが必要である。
。図において、１は直径２順φの金属棒（導電体）で、
その先端ｉ ａ ＋、ｔ ！＋状に加工しである。従来
のイオン発生器の金属電極はお）よそこのような形状で
ある。２はセラミックス製中空円錐体で、透明石英管を
加工して中空円錐状とし、金属棒１の先端１ａにピッタ
リ接触するようにに内面を仕上げる。セラミックス製中
空円錐体２の先端部２ａの肉厚は他の部分よりもできる
だけ薄くし、少なくとも２ｓ以下、望ましくは０．１順
程度に仕上げる。金属棒の先端部１ａは特に中空円錐体
の先端部２ａの内側に接触することが必要である。
しかる後、金属棒１と石英錐である中空円錐体２を接着
剤３で固定する。実施例ではエポキシ樹脂系の接着剤を
用いた。金属棒１の外側は絶縁用ビニールチューブのご
とき絶縁チューブ４で覆い、石英錐との接着部はシリコ
ン接着シール材５で金属部分が露出しないように覆った
。
剤３で固定する。実施例ではエポキシ樹脂系の接着剤を
用いた。金属棒１の外側は絶縁用ビニールチューブのご
とき絶縁チューブ４で覆い、石英錐との接着部はシリコ
ン接着シール材５で金属部分が露出しないように覆った
。
金属棒の他の一端１ｂを図示しない高電圧発生装置に接
続し、交流の高電圧を印加すると石英鉗の先端からコロ
ナ放電が起り、イオンが発生する。
続し、交流の高電圧を印加すると石英鉗の先端からコロ
ナ放電が起り、イオンが発生する。
第２図は本実施例のイオン発生量を測定するのに使用し
た測定装置の構成を示したものである。
た測定装置の構成を示したものである。
２図において、イオン発生器６の石英電極部７に電源部
８によって発生させた交流高電圧を印加し、送風機１０
によって風をイオン発生器に吹きつけ、電極部７を通過
する風速が約１ＴＩＬ／Ｓになるようにし、電極部７の
風下にイオンカウンター９を電極部７から１ＴｒＬＩ！
！シて設置した。
８によって発生させた交流高電圧を印加し、送風機１０
によって風をイオン発生器に吹きつけ、電極部７を通過
する風速が約１ＴＩＬ／Ｓになるようにし、電極部７の
風下にイオンカウンター９を電極部７から１ＴｒＬＩ！
！シて設置した。
電極からの発塵量の測定には、発塵粒子の帯電を静電的
に中和する中和器と凝縮核型のパーティクルカウンター
を直列に接続して用いた。０．０３μｍ以上の粒径の粒
子を測定した測定結果は第１表に従来のイオン発生器と
比較して示した。なお、発塵量の測定は、クラス１のク
リーンルーム内で行なった。
に中和する中和器と凝縮核型のパーティクルカウンター
を直列に接続して用いた。０．０３μｍ以上の粒径の粒
子を測定した測定結果は第１表に従来のイオン発生器と
比較して示した。なお、発塵量の測定は、クラス１のク
リーンルーム内で行なった。
第１表
第１表から明らかなように、本発明のイオン発生器によ
れば、従来のイオン発生器とほぼ同等のイオン吊を発生
することができ、さらには発塵間は皆無である。
れば、従来のイオン発生器とほぼ同等のイオン吊を発生
することができ、さらには発塵間は皆無である。
次に他の実施例を図により説明する。
第３図に本発明の他の実施例の構成を示す。
中空石英鉗（中空円錐体）２の形状は先に述べた実施例
１と同様である。石英錐２の内側に導電性接着剤１１を
塗布した後、金属棒１を挿入して固定する。この場合、
金属棒は先端を針状に加工しなくても良い。導電性接着
剤１１は、例えば銀糸のフィラーとエポキシ樹脂をバイ
ンダーとするものを用いるか、あるいは水をベースとし
たコロイド状黒鉛の濃縮体を用いても良い。電極の他の
部分は実施例１と同様に構成する。このように構成され
た電極を用いたイオン発生器は実施例１と同様のイオン
発生量が得られ、発塵量も皆無である。 ン上記実施
例ではセラミックスとして石英を用いたが、ガラスまた
はアルミナ磁器、またはアルミナシリカｔａ器でも同様
の効果を有する。
１と同様である。石英錐２の内側に導電性接着剤１１を
塗布した後、金属棒１を挿入して固定する。この場合、
金属棒は先端を針状に加工しなくても良い。導電性接着
剤１１は、例えば銀糸のフィラーとエポキシ樹脂をバイ
ンダーとするものを用いるか、あるいは水をベースとし
たコロイド状黒鉛の濃縮体を用いても良い。電極の他の
部分は実施例１と同様に構成する。このように構成され
た電極を用いたイオン発生器は実施例１と同様のイオン
発生量が得られ、発塵量も皆無である。 ン上記実施
例ではセラミックスとして石英を用いたが、ガラスまた
はアルミナ磁器、またはアルミナシリカｔａ器でも同様
の効果を有する。
また、上記実施例では石英の中空円錐を用いたが、中空
角錐でもよく、また一般的な金属の錐体にセラミックス
をコーティングする方法も用いることができる。すなわ
ち、金属棒を針状に加工した後、金属棒の線膨張係数と
ほぼ同じ線膨張係数を持つ硝子を金属部分に加熱溶着さ
せる方法でガラスコーティングした電極を用いることが
できる。
角錐でもよく、また一般的な金属の錐体にセラミックス
をコーティングする方法も用いることができる。すなわ
ち、金属棒を針状に加工した後、金属棒の線膨張係数と
ほぼ同じ線膨張係数を持つ硝子を金属部分に加熱溶着さ
せる方法でガラスコーティングした電極を用いることが
できる。
さらにまた針状加工した金属棒を酸化処理して表面に酸
化膜を形成した後、ガラスを溶着させる方法でガラスコ
ーティングした電極を用いることもできる。
化膜を形成した後、ガラスを溶着させる方法でガラスコ
ーティングした電極を用いることもできる。
［発明の効果］
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば
、コロナ放電のすぐれた剣状電極とすることができ、ま
たこの電極を用いて発塵の無いイオン発生器を提供する
ことができる。
、コロナ放電のすぐれた剣状電極とすることができ、ま
たこの電極を用いて発塵の無いイオン発生器を提供する
ことができる。
第１図は本発明の１実施例の構成を示す説明図、第２図
は本発明の効果を測定した実施例の構成を示す説明図、
第３図は本発明の他の実施例の構成を示ず説明図である
。 １・・・導電体（金属棒）、１ａ・・・先端、１ｂ・・
・他端。 ２・・・ビラミックス製中空錐体（石英錐）。 ２ａ・・・先端部、３・・・接着剤、４・・・絶縁デユ
ープ。 ５・・・接着シール材、１１・・・導電性接着剤。 出願人 高砂熱学工業株式会社 同 日本オゾン株式会社
は本発明の効果を測定した実施例の構成を示す説明図、
第３図は本発明の他の実施例の構成を示ず説明図である
。 １・・・導電体（金属棒）、１ａ・・・先端、１ｂ・・
・他端。 ２・・・ビラミックス製中空錐体（石英錐）。 ２ａ・・・先端部、３・・・接着剤、４・・・絶縁デユ
ープ。 ５・・・接着シール材、１１・・・導電性接着剤。 出願人 高砂熱学工業株式会社 同 日本オゾン株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 気中に設置した針状の電極に直流又は交流の高電圧
を印加し、コロナ放電により該電極周辺の気体をイオン
化するイオン発生器において、高電圧を印加する導電体
の先端にセラミックス製中空錐体を密着させたことを特
徴とするコロナ放電用針状電極。 ２ セラミックス製中空錐体の中空部分に導電体先端を
嵌着させたことを特徴とする請求項１記載のコロナ放電
用針状電極。 ３ セラミックス製中空錐体の中空部分において、導電
体を導電性接着剤で接着したことを特徴とする請求項１
または２記載のコロナ放電用針状電極。 ４ セラミックス製中空錐体の先端部におけるセラミッ
クスの厚みが２ｍｍ以下、望ましくは０．１ｍｍ程度に
することを特徴とする請求項１、２または３記載のコロ
ナ放電用針状電極。 ５ 中空錐体が透明石英であることを特徴とする請求項
１、２または３記載のコロナ放電用電極。 ６ 気中に設置した針状の電極に直流又は交流の高電圧
を印加し、コロナ放電により該電極周辺の気体をイオン
化するイオン発生器において、針状の金属電極の熱膨張
係数とほぼ同じ熱膨張係数を右するガラスを該金属電極
の針状部に加熱溶着したことを特徴とするコロナ放電用
針状電極。 ７ 請求項１〜６記載のコロナ放電用針状電極を帯電物
上部に対向して配置し、セラミックス製中空錐体の先端
部でコロナを発生せさることを特徴とするイオン発生器
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091810A JP2689334B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | コロナ放電用針状電極およびその電極を用いたイオン発生器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63091810A JP2689334B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | コロナ放電用針状電極およびその電極を用いたイオン発生器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01266865A true JPH01266865A (ja) | 1989-10-24 |
| JP2689334B2 JP2689334B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=14036983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63091810A Expired - Lifetime JP2689334B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | コロナ放電用針状電極およびその電極を用いたイオン発生器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2689334B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05205850A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-13 | Tokyo Tekko Kk | 除電装置用放電電極とその製造方法 |
| JPH06140127A (ja) * | 1992-10-28 | 1994-05-20 | Tokyo Tekko Co Ltd | イオナイザー用放電電極 |
| JP2007205712A (ja) * | 2000-12-27 | 2007-08-16 | Sharp Corp | 貯蔵庫 |
| JP2008055404A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 空気処理装置 |
| JP2008166279A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 電界放出型ランプ及びその製造方法 |
| JP2014120225A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Sharp Corp | イオン発生装置およびそれを用いた電気機器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311906U (ja) * | 1976-07-12 | 1978-01-31 |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP63091810A patent/JP2689334B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311906U (ja) * | 1976-07-12 | 1978-01-31 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05205850A (ja) * | 1992-01-27 | 1993-08-13 | Tokyo Tekko Kk | 除電装置用放電電極とその製造方法 |
| JPH06140127A (ja) * | 1992-10-28 | 1994-05-20 | Tokyo Tekko Co Ltd | イオナイザー用放電電極 |
| JP2007205712A (ja) * | 2000-12-27 | 2007-08-16 | Sharp Corp | 貯蔵庫 |
| JP2008055404A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-03-13 | Mitsubishi Electric Corp | 空気処理装置 |
| JP2008166279A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 電界放出型ランプ及びその製造方法 |
| US7986084B2 (en) | 2006-12-27 | 2011-07-26 | Tsinghua University | Field emission lamp |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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