JPH01259169A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH01259169A JPH01259169A JP63087306A JP8730688A JPH01259169A JP H01259169 A JPH01259169 A JP H01259169A JP 63087306 A JP63087306 A JP 63087306A JP 8730688 A JP8730688 A JP 8730688A JP H01259169 A JPH01259169 A JP H01259169A
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- vapor deposition
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- vacuum chambers
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野コ
本発明は、プラスチックフィルム例えばポリエステル等
のフィルムにアルミニウム等の金属あるいはセラミック
ス等の非金属を蒸着する真空蒸着装置や、プラスチック
以外の各種の非金緘材料又は金属材料に金属材料又は非
金属材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。
のフィルムにアルミニウム等の金属あるいはセラミック
ス等の非金属を蒸着する真空蒸着装置や、プラスチック
以外の各種の非金緘材料又は金属材料に金属材料又は非
金属材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。
第２図に示すように、従来のグラスチックフィルムにア
ルミニウムを蒸着する真空蒸着装置は、隔板りで仕切ら
れた上室ｆと王室（蒸着室）ｇとからなる真空槽ａの中
で、コイル状に巻いたフィルムｂを巻出機Ｃで巻戻しな
がら、クーリングキャンシ部にて下室ｇのるっぽｊがら
蒸発されるアルミニウム蒸気を蒸着し、巻取機θで巻取
）、１コイルの蒸着が完了すると真空槽ａを大気に開放
し、新しいコイル状に巻いたフィルムｂを装着し替えた
後、再度ポンプに、 １で真空に排気して蒸着する作業
が行われるように構成されている。
ルミニウムを蒸着する真空蒸着装置は、隔板りで仕切ら
れた上室ｆと王室（蒸着室）ｇとからなる真空槽ａの中
で、コイル状に巻いたフィルムｂを巻出機Ｃで巻戻しな
がら、クーリングキャンシ部にて下室ｇのるっぽｊがら
蒸発されるアルミニウム蒸気を蒸着し、巻取機θで巻取
）、１コイルの蒸着が完了すると真空槽ａを大気に開放
し、新しいコイル状に巻いたフィルムｂを装着し替えた
後、再度ポンプに、 １で真空に排気して蒸着する作業
が行われるように構成されている。
なお、るつぼｊ内のアルミニウムは、１回に消費する量
が約１ゆ程度であり連続供給を行う必要はないが、大気
開放時には、るっぽｊの破損防止のため、その都度排出
し、るつぼｊ内の手入れを行った後、新しいアルミニウ
ムを装填するようにしている。
が約１ゆ程度であり連続供給を行う必要はないが、大気
開放時には、るっぽｊの破損防止のため、その都度排出
し、るつぼｊ内の手入れを行った後、新しいアルミニウ
ムを装填するようにしている。
〔発明が解決しようとする課題Ｊ
ところで、１回の運転で処理するゲラステックフィルム
の量を、例えば従来の６００倍もの大量にする場合、消
費するアルミニウムの量も１ゆの５００倍で６ｏｏｑ程
度となる。
の量を、例えば従来の６００倍もの大量にする場合、消
費するアルミニウムの量も１ゆの５００倍で６ｏｏｑ程
度となる。
これを実施する方策として、上記した従来の真空槽ａ内
にアルミニウムワイヤの連続供給装置を設け、真空槽ａ
内でアルミニウムの連続供給を行うようにすることが考
えられる。
にアルミニウムワイヤの連続供給装置を設け、真空槽ａ
内でアルミニウムの連続供給を行うようにすることが考
えられる。
しかし、この方策では、■真空槽が大型化する、■真空
槽内のアルミニウムワイヤ連続供給装置が故障した場合
には連続真空蒸着装置全体を停止しなければならない、
等の問題がある。
槽内のアルミニウムワイヤ連続供給装置が故障した場合
には連続真空蒸着装置全体を停止しなければならない、
等の問題がある。
本発明は、このような問題点を解決すべく、大気中から
真空槽内のるつぼに連続的にアルミニウムを供給する手
段ケ備えた真空蒸着装置を提案することを目的とするも
のである。
真空槽内のるつぼに連続的にアルミニウムを供給する手
段ケ備えた真空蒸着装置を提案することを目的とするも
のである。
本発明は、上記目的を、真空室と蒸着室とを有し、蒸着
基板を装置外部→真空室→蒸着室→真空室→装置外部へ
と走行させて蒸着を行う連続真空蒸着装置において、蒸
着金属を装置外部→真空室→蒸着室へと供給する手段を
備えてなることを特徴とする真空蒸着装置によシ達成す
るものでるる。
基板を装置外部→真空室→蒸着室→真空室→装置外部へ
と走行させて蒸着を行う連続真空蒸着装置において、蒸
着金属を装置外部→真空室→蒸着室へと供給する手段を
備えてなることを特徴とする真空蒸着装置によシ達成す
るものでるる。
本発明における蒸着金属の供給手段は、蒸着金属を真空
蒸着装置の外部から真空室を通して蒸着室内へ供給する
ものである。
蒸着装置の外部から真空室を通して蒸着室内へ供給する
ものである。
従って、供給されるべき蒸着金属は装置外部に置かれ、
しかも蒸着金属を蒸着室へ供給するための駆動部も装置
外部に配置され、装置内部に設置されるものは例えば蒸
着金属の案内手段（ガイドロールやガイド板等）等の構
成が単純で故障が生じ難いものに限られる。
しかも蒸着金属を蒸着室へ供給するための駆動部も装置
外部に配置され、装置内部に設置されるものは例えば蒸
着金属の案内手段（ガイドロールやガイド板等）等の構
成が単純で故障が生じ難いものに限られる。
これによシ、真空蒸着装置が大型化することはなく、ま
た蒸着金属供給用駆動部が停止しても装置全体を停止せ
ずに容易に修理できる。
た蒸着金属供給用駆動部が停止しても装置全体を停止せ
ずに容易に修理できる。
上記の本発明における蒸着金属の供給手段として、例え
ば、真空槽の中を複数の隔壁と１〜３本１組のシールロ
ールによって複数の真空室に支切υ、これら真空室を各
々に真空排気装置を設けて大気側から蒸着室まで順次圧
力が低くなるようにすると共に、上記複数の隔壁の各々
に直径数■の孔を明け、真空槽の外部におかれたワイヤ
状の蒸着金属をこれらの孔を順次通して蒸着室へ供給す
るようにしたものが挙げられる。
ば、真空槽の中を複数の隔壁と１〜３本１組のシールロ
ールによって複数の真空室に支切υ、これら真空室を各
々に真空排気装置を設けて大気側から蒸着室まで順次圧
力が低くなるようにすると共に、上記複数の隔壁の各々
に直径数■の孔を明け、真空槽の外部におかれたワイヤ
状の蒸着金属をこれらの孔を順次通して蒸着室へ供給す
るようにしたものが挙げられる。
この手段においては、上記複数の隔壁とシールロールの
間、及ヒシールロールとシールロールの間に適当な隙間
を設けて互いに接触してシールロールに庇が付くのを防
止する。また、隔壁に明けた孔とこの孔を通るワイヤ状
の蒸着金属の間の隙間を、上記のシールロール周辺の隙
間面積に比し極く僅か（１／ １００以下程度）なもの
とすれば、この隙間による圧力上昇は殆んど無視可能な
範囲となシ、蒸着金属を真空蒸着操作を続行したまま連
続供給することができる。
間、及ヒシールロールとシールロールの間に適当な隙間
を設けて互いに接触してシールロールに庇が付くのを防
止する。また、隔壁に明けた孔とこの孔を通るワイヤ状
の蒸着金属の間の隙間を、上記のシールロール周辺の隙
間面積に比し極く僅か（１／ １００以下程度）なもの
とすれば、この隙間による圧力上昇は殆んど無視可能な
範囲となシ、蒸着金属を真空蒸着操作を続行したまま連
続供給することができる。
第１図は本発明装置の実施例會示す説明図で、本例では
プラスチックフィルムを蒸着基板とし、これにアルミニ
ウムを真空蒸着する場合を示す。
プラスチックフィルムを蒸着基板とし、これにアルミニ
ウムを真空蒸着する場合を示す。
これに限らず、他の非金属あるいは金属材料を蒸着基板
とし、これらにアルミニウム、その他の金属あるいは非
金属を蒸着する場合も、本例とほぼ同様である。
とし、これらにアルミニウム、その他の金属あるいは非
金属を蒸着する場合も、本例とほぼ同様である。
第１図において、連続真空蒸着装置は、コイル状のフィ
ルムを払い出すだめの装置（図示せず）から払い出され
たプラスチックフィルム１が、真空室ａ−ｅからなる連
続真空シール装置Ａの入口のシールロール２，２′の間
を通９第１段目の真空室ａに入υ、続いて第２段目の入
口のシールロール３，３′の間を通Ｃ１ｆＰ！、２段目
の真空室すに入シ、以後、順次シールロール４，４′→
５，５′→６，６′→７，７′の間を通り第６〜第５段
目の真空室ｃ −ｅを経て、蒸着室ｆに導かれ、蒸着ロ
ール８の下部で、るつぼ９で溶融されたアルミニウム１
０の蒸気が蒸着された後、再度上記の連続真空シール装
置Ａに導かれ、上記の入側とは逆にシールロールを７’
、 ７’→６′。
ルムを払い出すだめの装置（図示せず）から払い出され
たプラスチックフィルム１が、真空室ａ−ｅからなる連
続真空シール装置Ａの入口のシールロール２，２′の間
を通９第１段目の真空室ａに入υ、続いて第２段目の入
口のシールロール３，３′の間を通Ｃ１ｆＰ！、２段目
の真空室すに入シ、以後、順次シールロール４，４′→
５，５′→６，６′→７，７′の間を通り第６〜第５段
目の真空室ｃ −ｅを経て、蒸着室ｆに導かれ、蒸着ロ
ール８の下部で、るつぼ９で溶融されたアルミニウム１
０の蒸気が蒸着された後、再度上記の連続真空シール装
置Ａに導かれ、上記の入側とは逆にシールロールを７’
、 ７’→６′。
６′→５’、 ５’→４’、 ４’→３’、 ３’→２
′、 ２＃の順で通り第５〜第１段目真空室θ〜ａを経
て大気中に搬出され、図示しない巻取装置によって巻取
られる構成となっている。
′、 ２＃の順で通り第５〜第１段目真空室θ〜ａを経
て大気中に搬出され、図示しない巻取装置によって巻取
られる構成となっている。
なお、１巻のフィルムの蒸着が終了したならば、フィル
ムは払い出し部と巻取部に設けた図示しない連続取替装
置によって取替えられ、中断することなく次々と蒸着さ
れ、３００時間以上連続運転される。
ムは払い出し部と巻取部に設けた図示しない連続取替装
置によって取替えられ、中断することなく次々と蒸着さ
れ、３００時間以上連続運転される。
ここで、上記の連続真空シール装置Ａは、複数の隔壁２
ｍ、 ３′＃、 ４ｒｐｒ、 ５ｍ、 ６ｎ′、Ｔ
／／ とシールロール２．２’、 ２’、 ３．３’
、 ３’、 ４．４’、 ４’、 ５゜５’、 ５’
、 ６ 、 ６’、 ６’、 ７ 、 ７’、
７’ＫＫよって支切られた真空室ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ
、蒸着室ｆ１及び各真空室ａ−ｅ及び蒸着室ｆを排気す
るための真空ポンプｉ 、 ｉｉ 、 １ｉｉ、 １
ｖ、■、■１から構成すしておす、シールロールとシー
ルロール、シールロールと隔壁の間の隙間から流入する
空気を連続的に排気し、各室ａ −ｆの圧力を以下の実
施データの一例に示すように大気から蒸着室に向い順次
高真空となるように運転されている。
ｍ、 ３′＃、 ４ｒｐｒ、 ５ｍ、 ６ｎ′、Ｔ
／／ とシールロール２．２’、 ２’、 ３．３’
、 ３’、 ４．４’、 ４’、 ５゜５’、 ５’
、 ６ 、 ６’、 ６’、 ７ 、 ７’、
７’ＫＫよって支切られた真空室ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ
、蒸着室ｆ１及び各真空室ａ−ｅ及び蒸着室ｆを排気す
るための真空ポンプｉ 、 ｉｉ 、 １ｉｉ、 １
ｖ、■、■１から構成すしておす、シールロールとシー
ルロール、シールロールと隔壁の間の隙間から流入する
空気を連続的に排気し、各室ａ −ｆの圧力を以下の実
施データの一例に示すように大気から蒸着室に向い順次
高真空となるように運転されている。
第１段目真空室ａ ： ４ Ｄ ＯＴｏｒｒ第２段第２
空目真空室ｂ１５０ Ｔｏｒｒ第６段第６空目真空室ｃ
５０ Ｔｏｒｒ第４段第４空目真空室ｄ ５ Ｔｏｒ
ｒ第５段第５空目真空室ｅＩ Ｘ １０−２ＴＯｒｒ蒸
着室ｆ 二１ Ｘ １０ ’ Ｔｏｒｒまた、
上記の蒸着ロール８の下方には上記したようにアルミニ
ウム１ｏを溶隔蒸発させるためのるつぼ９があシ、この
るつぼ９は例えば高周波誘導加熱装置等の加熱手段（図
示せずうによって加熱される。
空目真空室ｂ１５０ Ｔｏｒｒ第６段第６空目真空室ｃ
５０ Ｔｏｒｒ第４段第４空目真空室ｄ ５ Ｔｏｒ
ｒ第５段第５空目真空室ｅＩ Ｘ １０−２ＴＯｒｒ蒸
着室ｆ 二１ Ｘ １０ ’ Ｔｏｒｒまた、
上記の蒸着ロール８の下方には上記したようにアルミニ
ウム１ｏを溶隔蒸発させるためのるつぼ９があシ、この
るつぼ９は例えば高周波誘導加熱装置等の加熱手段（図
示せずうによって加熱される。
ところで、通常、アルミニウムの消費量は１に＆／ｈ程
度であり、るつぼのアルミ保有量は約１０ゆ程度である
。従って、アルミニウムをるつぼへ１回装填すると、約
８〜９時間は補給なしで運転可能であるが、それ以上と
なると、例えば次のように構成される本発明のアルミニ
ウム供給手段によりアルミニウムを補給する必要がある
。
度であり、るつぼのアルミ保有量は約１０ゆ程度である
。従って、アルミニウムをるつぼへ１回装填すると、約
８〜９時間は補給なしで運転可能であるが、それ以上と
なると、例えば次のように構成される本発明のアルミニ
ウム供給手段によりアルミニウムを補給する必要がある
。
すなわち、上記の各真空室ａ −ｅ ｋ支切る隔壁２ｍ
、 ｙ ４．ｍ、 ５ｍ、 ６ｎｐ、 Ｔ／／
にアルミニウムワイヤ１１を通すだめの孔イ２２ロ、ハ
二、ホ。
、 ｙ ４．ｍ、 ５ｍ、 ６ｎｐ、 Ｔ／／
にアルミニウムワイヤ１１を通すだめの孔イ２２ロ、ハ
二、ホ。
へを設け、グラスチックフィルムの通板方向と同一の方
向でアルミニウムワイヤ１１を通し、大気中に設けられ
たアルミニウムワイヤ１１の連続供給装置１１′、ガイ
ドロール１２及び図示しない駆動装置によって駆動され
る送りロール１３によってるつぼ９にアルミワイヤ１１
を供給するように構成する。ここで、上記のアルミニウ
ムワイヤ１１と孔イ〜への隙間は敷部以下となるように
設定し、この隙間から漏れ込む空気の量を充分無視でき
る量とする。
向でアルミニウムワイヤ１１を通し、大気中に設けられ
たアルミニウムワイヤ１１の連続供給装置１１′、ガイ
ドロール１２及び図示しない駆動装置によって駆動され
る送りロール１３によってるつぼ９にアルミワイヤ１１
を供給するように構成する。ここで、上記のアルミニウ
ムワイヤ１１と孔イ〜への隙間は敷部以下となるように
設定し、この隙間から漏れ込む空気の量を充分無視でき
る量とする。
なお、本発明でＩ′ｉ第１図に示すように、蒸着室ｆの
内部にもアルミニウムワイヤ１１のガイドロール１２′
、ガイド板１２′を設けることもできる。
内部にもアルミニウムワイヤ１１のガイドロール１２′
、ガイド板１２′を設けることもできる。
上記の本発明におけるアルミニウム供給手段は、列えば
上記のように約８〜９時間毎に＠続的に運転され、運転
停止期間中はアルミニウムワイヤ１１はその先端が溶融
アルミニウム１゜表面近傍の上方に位置し、他の部分（
先端以外の部分）は第１図に示すようにガイド板１２′
、ガイドロール１２′、孔へ〜イの内部に位置した状態
となる。この運転停止期間中の状態にあっても、上記の
ように孔イ〜への隙間は充分小さく、ここから漏れ込む
空気量は無視することができ、真空蒸着を良好に続行す
ることができる。
上記のように約８〜９時間毎に＠続的に運転され、運転
停止期間中はアルミニウムワイヤ１１はその先端が溶融
アルミニウム１゜表面近傍の上方に位置し、他の部分（
先端以外の部分）は第１図に示すようにガイド板１２′
、ガイドロール１２′、孔へ〜イの内部に位置した状態
となる。この運転停止期間中の状態にあっても、上記の
ように孔イ〜への隙間は充分小さく、ここから漏れ込む
空気量は無視することができ、真空蒸着を良好に続行す
ることができる。
本発明装置によれば、従来装置によるよりも、けるかに
大量（例えば、従来の６００倍も）の蒸着基板に連続し
て金属蒸着を施すことができる。
大量（例えば、従来の６００倍も）の蒸着基板に連続し
て金属蒸着を施すことができる。
また、実施例に示す本発明装置の＃着金属供給手段によ
れば、真空室内のシールロール間及びシールロールと隔
壁の間の隙間面積に比べ、アルミニウム等の蒸着金属ワ
イヤと孔との隙間面積は約１／１００程度となるため、
空気の漏れ込み量は充分無視でき、真空槽内の圧力は真
空蒸着可能な圧力範囲を維持する。従って、真空蒸着続
行中にアルミニウム等の蒸着金属の連続供給が０丁能と
なり、長時間連続して真空蒸着を行うことができる。
れば、真空室内のシールロール間及びシールロールと隔
壁の間の隙間面積に比べ、アルミニウム等の蒸着金属ワ
イヤと孔との隙間面積は約１／１００程度となるため、
空気の漏れ込み量は充分無視でき、真空槽内の圧力は真
空蒸着可能な圧力範囲を維持する。従って、真空蒸着続
行中にアルミニウム等の蒸着金属の連続供給が０丁能と
なり、長時間連続して真空蒸着を行うことができる。
第１図は本発明装置の一実施例の側断面図、第２図は従
来装置を示す図である。 １ニゲラスチツクフイルム、Ａ：連続真空シー＃装［，
１１ニアルミニウムワイヤ、１１′ニアルミニウムワイ
ヤ連続供給装置、２〜７，２′〜７’、 ２’〜７＃：
シールロール、２″′〜７ ｍ 、隔壁、イ２２ロ、ハ
二、ホ、へニアルミ冊ウムワイヤを通すだめの孔、９；
るつぼ、１０：溶融アルミ、１２．１２’ニアルミニウ
ムワイヤのガイドロール、１２′ニアルミニウムワイヤ
のガイド板、１６：アノ（・ミニウム送リロール
来装置を示す図である。 １ニゲラスチツクフイルム、Ａ：連続真空シー＃装［，
１１ニアルミニウムワイヤ、１１′ニアルミニウムワイ
ヤ連続供給装置、２〜７，２′〜７’、 ２’〜７＃：
シールロール、２″′〜７ ｍ 、隔壁、イ２２ロ、ハ
二、ホ、へニアルミ冊ウムワイヤを通すだめの孔、９；
るつぼ、１０：溶融アルミ、１２．１２’ニアルミニウ
ムワイヤのガイドロール、１２′ニアルミニウムワイヤ
のガイド板、１６：アノ（・ミニウム送リロール
Claims (1)
- 真空室と蒸着室とを有し、蒸着基板を装置外部→真空室
→蒸着室→真空室→装置外部へと走行させて蒸着を行う
連続真空蒸着装置において、蒸着金属を装置外部→真空
室→蒸着室へと供給する手段を備えてなることを特徴と
する真空蒸着装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730688A JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
| KR1019890004722A KR920003591B1 (ko) | 1988-04-11 | 1989-04-10 | 연속진공증착장치 |
| DE89106353T DE68909988T2 (de) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Vorrichtung zur kontinuierlichen Vacuumbeschichtung. |
| US07/336,349 US5000114A (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition system having reduced pressure sub-chambers separated by seal devices |
| EP89106353A EP0337369B1 (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730688A JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01259169A true JPH01259169A (ja) | 1989-10-16 |
| JPH0733577B2 JPH0733577B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=13911145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8730688A Expired - Fee Related JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733577B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6696096B2 (en) | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Apparatus for and method of vacuum vapor deposition and organic electroluminescent device |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP8730688A patent/JPH0733577B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6696096B2 (en) | 2000-06-22 | 2004-02-24 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Apparatus for and method of vacuum vapor deposition and organic electroluminescent device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733577B2 (ja) | 1995-04-12 |
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