JPH01257916A - 光ビーム偏向器 - Google Patents
光ビーム偏向器Info
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- JPH01257916A JPH01257916A JP8699988A JP8699988A JPH01257916A JP H01257916 A JPH01257916 A JP H01257916A JP 8699988 A JP8699988 A JP 8699988A JP 8699988 A JP8699988 A JP 8699988A JP H01257916 A JPH01257916 A JP H01257916A
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(1)産業上の利用分野
本発明は、ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像
形成装置に最適な光ビーム偏向子に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向子に関する。
形成装置に最適な光ビーム偏向子に関し、特にレーザー
ビームによって感光体への書込みを行うのに適した光ビ
ーム偏向子に関する。
(2)発明の背景
ファクシミリ、複写機、プリンター等の画像形成装置と
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が用いられ
るようになってきている(特公昭60−57053号)
。
して、レーザービームによる感光体への書込みが行われ
るようになってきている。このような画像形成装置にお
いて、レーザービームを偏向する光偏向器には、従来よ
り、回転多面鏡やミラー振動子等が用いられている。近
時においては、小型化、低騒音化、低価格化等の要請か
ら、幾多の課題を解決しながらミラー振動子が用いられ
るようになってきている(特公昭60−57053号)
。
このようなミラー振動子には、第7図に示すようなミラ
ー振動子310が使用さ−れる。
ー振動子310が使用さ−れる。
第7図において、ミラー振動子310には、反則ミラー
312が形成され、この反射ミラー312と、フレーム
314Aとの間には、回転支持棒として機能するリガメ
ント313およびリガメント314が一体に形成されて
いる。ミラー振動子310は、駆動コイル311、反射
ミラー312、回転支持用のリガメン)313および3
14が一体として構成されたものである。
312が形成され、この反射ミラー312と、フレーム
314Aとの間には、回転支持棒として機能するリガメ
ント313およびリガメント314が一体に形成されて
いる。ミラー振動子310は、駆動コイル311、反射
ミラー312、回転支持用のリガメン)313および3
14が一体として構成されたものである。
ミラー振動子310としては、異方性エツチングが可能
な材料として水晶、シリコン等が使用され、0.1〜0
.5mm程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
な材料として水晶、シリコン等が使用され、0.1〜0
.5mm程度の薄い基板が用いられるのが一般的である
。
水晶板を加工してミラー振動子310を形成する場合、
その加工手段は、フォトリゾグラフィーとエツチング技
術が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工されたミラー扇動子3100表面は、銀メ
ツキが施される。
その加工手段は、フォトリゾグラフィーとエツチング技
術が応用され、これによって微細加工が可能になる。エ
ツチング加工されたミラー扇動子3100表面は、銀メ
ツキが施される。
また、特に光源として半導体レーザーを使用する場合、
反射ミラー312にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー312の表面の僅や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にSiO又は5i02等の保護膜をコーテ
ィングすることもてきる。
反射ミラー312にはその反射率を上げるために、金、
銅、又はアルミ等のメツキ処理が施される。さらに、反
射ミラー312の表面の僅や、酸化を防ぐため、メツキ
処理後の表面にSiO又は5i02等の保護膜をコーテ
ィングすることもてきる。
(3)発明が解決しようとする課顕
このようなミラー振動子310をレーザービームプリン
ターの光学系に応用することは、本出願人によって既に
提案されている(特願昭61−158559号)。
ターの光学系に応用することは、本出願人によって既に
提案されている(特願昭61−158559号)。
しかしながら、上述のごとく、ミラー振動子310は0
.1〜0.5mm程度の薄い水晶基板が用いられている
ことから壊れやすく、レーザービームプリンターの製造
や修理保全時の取り扱いを慎重にしなければならないと
いう問題点がある。
.1〜0.5mm程度の薄い水晶基板が用いられている
ことから壊れやすく、レーザービームプリンターの製造
や修理保全時の取り扱いを慎重にしなければならないと
いう問題点がある。
この点を、本出願人は、ミラー振動子31Oや永久磁石
等を含む光ビーム偏向器の全体を密封することで解消で
きることを、特願昭62−59243号で図示している
。
等を含む光ビーム偏向器の全体を密封することで解消で
きることを、特願昭62−59243号で図示している
。
ところが、光ビーム偏向器の全体を密封したために大型
化してしまい、取り扱いが簡単にできなくなったり、光
ビーム偏向器の一部の部品(例えば永久磁石)を交換し
たい場合にも、光ビーム偏向器の全体を交換しなければ
ならないという不都合が生じてきた。
化してしまい、取り扱いが簡単にできなくなったり、光
ビーム偏向器の一部の部品(例えば永久磁石)を交換し
たい場合にも、光ビーム偏向器の全体を交換しなければ
ならないという不都合が生じてきた。
(4)課題を解決するための手段
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、ミラー振
動子の取り扱いを容易にして作業性の向上を図ることを
目的とし、この目的を達成するために、ミラーと駆動コ
イルとリガメントを一体に成型したミラー振動子を密封
する筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段
とを設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定するこ
とによって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するよ
うに構成されている。
動子の取り扱いを容易にして作業性の向上を図ることを
目的とし、この目的を達成するために、ミラーと駆動コ
イルとリガメントを一体に成型したミラー振動子を密封
する筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段
とを設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定するこ
とによって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するよ
うに構成されている。
(5)実施例
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第1図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図である。図中、第7図と同じ構成部分には同じ
参照番号を付して説明を省略する。
す斜視図である。図中、第7図と同じ構成部分には同じ
参照番号を付して説明を省略する。
第1図においてミラー振動子310は、ガラス、石英、
プラスチック等を素材とする密封カバー24によって覆
われている。半導体レーザー(図示せず)から出射され
たレーザービームは密封カバー24の一部に設けられて
いる透明窓24aを透過して反射ミラー312に照射さ
れ、反射ミラー312で反射されたレーザービームが透
明窓24aを介して外部に向けて照射される。
プラスチック等を素材とする密封カバー24によって覆
われている。半導体レーザー(図示せず)から出射され
たレーザービームは密封カバー24の一部に設けられて
いる透明窓24aを透過して反射ミラー312に照射さ
れ、反射ミラー312で反射されたレーザービームが透
明窓24aを介して外部に向けて照射される。
密封カバー24は、空気流や塵埃から保護するために、
また、製造や修理保全時の取り扱いを容易とするために
、ミラー振動子310を密封しており、内部にHe2
、H2、N2 、Ne、Ar等のガス29が100〜7
80mmHgの圧力で封入されている。ガス29を封入
する代りに、真空とすることも空気を封入することも可
能である。
また、製造や修理保全時の取り扱いを容易とするために
、ミラー振動子310を密封しており、内部にHe2
、H2、N2 、Ne、Ar等のガス29が100〜7
80mmHgの圧力で封入されている。ガス29を封入
する代りに、真空とすることも空気を封入することも可
能である。
密封カバー24の内部に設けられているミラー振動子3
10は、第7図で説明したミラー振動子310と同様に
構成され、反射ミラー312の大きさは、長軸が10m
m、短軸が8mm程度とされる。また、駆動コイル31
1の大きさは、長辺が25mm、短辺が12mm程度と
される。更に、第1図に示す光ビーム偏向子1の全体の
大きさは、径が16mm、高さが55mm、ミラー振動
子310の厚みが15071mm程度とされる。
10は、第7図で説明したミラー振動子310と同様に
構成され、反射ミラー312の大きさは、長軸が10m
m、短軸が8mm程度とされる。また、駆動コイル31
1の大きさは、長辺が25mm、短辺が12mm程度と
される。更に、第1図に示す光ビーム偏向子1の全体の
大きさは、径が16mm、高さが55mm、ミラー振動
子310の厚みが15071mm程度とされる。
ミラー娠動子310は、そのフレーム314Aが固定部
材25て固定された後に、保持部27によって固定支持
されている。また、駆動コイル311は、保持部27の
底部を介して、固定部材31に設けられたコイル端子2
8aおよびコイル端子28bと接続されている。このコ
イル端子28aおよびコイル端子28を介して、駆動回
路(図示せず)から駆動コイル311に駆動r、流が供
給される。
材25て固定された後に、保持部27によって固定支持
されている。また、駆動コイル311は、保持部27の
底部を介して、固定部材31に設けられたコイル端子2
8aおよびコイル端子28bと接続されている。このコ
イル端子28aおよびコイル端子28を介して、駆動回
路(図示せず)から駆動コイル311に駆動r、流が供
給される。
光ビーム偏向子lは、保持部27を固定部材31に載置
することによって、固定部材31に取り付けられる。固
定部材31は、はぼU字状を成し、その両端部内側に永
久磁石30aおよび永久磁石30bが取り付けられてい
る。永久磁石30aおよび永久磁石30bは、はぼ四角
錐台状を成し、その先端部は第2図で説明する四部24
bに挿入されている。これは、永久磁石30aおよび永
久磁石30bを接近することで駆動コイル311を強磁
界中に置くためである。
することによって、固定部材31に取り付けられる。固
定部材31は、はぼU字状を成し、その両端部内側に永
久磁石30aおよび永久磁石30bが取り付けられてい
る。永久磁石30aおよび永久磁石30bは、はぼ四角
錐台状を成し、その先端部は第2図で説明する四部24
bに挿入されている。これは、永久磁石30aおよび永
久磁石30bを接近することで駆動コイル311を強磁
界中に置くためである。
第2図は、第1図に示す光ビーム偏向子1を単独で取−
り出して示す斜視図である。
り出して示す斜視図である。
第2図に示すように、光ビーム偏向子10両側部には四
部24bが形成されており、この四部24bの中心と駆
動コイル311の真横を示すための位置決め突起32が
保持部27の一部として設けられている。
部24bが形成されており、この四部24bの中心と駆
動コイル311の真横を示すための位置決め突起32が
保持部27の一部として設けられている。
第3図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第1図〜第2図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
示す斜視図である。図中、第1図〜第2図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
この実施例では、第1図における固定部材31が省略さ
れ、円形に形成された永久磁石30が密封カバー24の
透明窓24aに挿入固定されることで、密封カバー24
と永久磁石30とが一体化されている。その他の点ては
、上述した第1図および第2図で示した実施例と同様で
ある。
れ、円形に形成された永久磁石30が密封カバー24の
透明窓24aに挿入固定されることで、密封カバー24
と永久磁石30とが一体化されている。その他の点ては
、上述した第1図および第2図で示した実施例と同様で
ある。
第4図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第1図〜第3図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
示す斜視図である。図中、第1図〜第3図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
この実施例では、永久磁石30がC字状に形成され、断
面U字状の固定部材31の上に載置されている。永久磁
石30の切り欠き部に密封カバー24が固定されること
で、密封カバー24と永久磁石30とが固定部材31を
介して一体化されている。第1図における凹部24bは
省略され、代りに固定部材31に位置決め溝31aが設
けられている。位置決め満31aは、保持部27を摺仙
案内して密封カバー24を永久磁石30の切り欠き部に
位置させる。なお、この実施例では、密封カバー24の
全体が透明に構成されている。その他の点では、上述し
た第1図〜第3図で示した実施例と同様である。
面U字状の固定部材31の上に載置されている。永久磁
石30の切り欠き部に密封カバー24が固定されること
で、密封カバー24と永久磁石30とが固定部材31を
介して一体化されている。第1図における凹部24bは
省略され、代りに固定部材31に位置決め溝31aが設
けられている。位置決め満31aは、保持部27を摺仙
案内して密封カバー24を永久磁石30の切り欠き部に
位置させる。なお、この実施例では、密封カバー24の
全体が透明に構成されている。その他の点では、上述し
た第1図〜第3図で示した実施例と同様である。
第5図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図である。図中、第1図〜第4図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
示す斜視図である。図中、第1図〜第4図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
この実施例では、密封カバー24が円柱状を成し、保持
部27は真鍮等の金属で雄ネジを構成している。固定部
材31も円柱状を成し、その上部に永久磁石30aおよ
び永久磁石30bが載置されている。固定部材31の中
央部には真鍮等の金属で雌ネジが形成され、保持部27
の雄ネジと固定部材31の雌ネジとで、密封カバー24
を固定部材31に固定すると共に、駆動コイル311に
駆動回路33からコイル端子28aおよびコイル端子2
8bを介して駆動′ri流を供給するようにしている。
部27は真鍮等の金属で雄ネジを構成している。固定部
材31も円柱状を成し、その上部に永久磁石30aおよ
び永久磁石30bが載置されている。固定部材31の中
央部には真鍮等の金属で雌ネジが形成され、保持部27
の雄ネジと固定部材31の雌ネジとで、密封カバー24
を固定部材31に固定すると共に、駆動コイル311に
駆動回路33からコイル端子28aおよびコイル端子2
8bを介して駆動′ri流を供給するようにしている。
なお、この実施例でも、密封カバー24の全体が透明に
構成されている。その他の点では、上述した第1図〜第
4図で示した実施例と同様である。
構成されている。その他の点では、上述した第1図〜第
4図で示した実施例と同様である。
第6図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す側面図である。図中、第1図〜第5図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
示す側面図である。図中、第1図〜第5図および第7図
と同じ構成部分には同じ参照番号を付して説明を省略す
る。
この実施例では、密封カバー24が円柱状を成し、第2
図に示す密封カバー24と同様に構成されているが、四
部24bは省略されている。はぼ円柱状に形成された固
定部材31の中央上端部に永久磁石30aおよび永久磁
石30bが埋め込まれている。密封カバー24は、第1
図と同様に固定部材31に固定され、固定部材31を介
して一体となった密封カバー24と永久磁石30とを、
更に固定部材31をビス35によって光学ベース34に
ネジ止め固定するようにしている。光学ヘース34は、
半導体レーザーやシリンドリカルレンズ等の光学部品が
載置されている固定基盤である。一体となった密封カバ
ー24と永久磁石30を、他の光学部品と共通の固定基
盤上に載置して位置出しすることで、光学精度を容易に
高めることができる。
図に示す密封カバー24と同様に構成されているが、四
部24bは省略されている。はぼ円柱状に形成された固
定部材31の中央上端部に永久磁石30aおよび永久磁
石30bが埋め込まれている。密封カバー24は、第1
図と同様に固定部材31に固定され、固定部材31を介
して一体となった密封カバー24と永久磁石30とを、
更に固定部材31をビス35によって光学ベース34に
ネジ止め固定するようにしている。光学ヘース34は、
半導体レーザーやシリンドリカルレンズ等の光学部品が
載置されている固定基盤である。一体となった密封カバ
ー24と永久磁石30を、他の光学部品と共通の固定基
盤上に載置して位置出しすることで、光学精度を容易に
高めることができる。
その他の点ては、上述した第1図〜第5図で示した実施
例と同様である。
例と同様である。
(6)発明の効果
以上で説明したように、本発明は、ミラーと駆動コイル
とリガメントを一体に成型したミラー撮動子を密封する
筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段とを
設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定することに
よって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するように
構成したので、ミラー振動子の取り扱いを容易にして作
業性の向上を図ることが可能となる。
とリガメントを一体に成型したミラー撮動子を密封する
筐体と、駆動コイルに静磁界を与える磁界発生手段とを
設け、筐体と磁界発生手段とを取り付け固定することに
よって、筐体と前記磁界発生手段とを一体化するように
構成したので、ミラー振動子の取り扱いを容易にして作
業性の向上を図ることが可能となる。
第1図は、本発明による光ビーム偏向器の一実施例を示
す斜視図、 第2図は、第1図に示す光ビーム偏向子1を説明する斜
視図、 第3図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第4図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第5図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第6図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第7図は、従来の光ビーム偏向子を示す正面図である。 1 ・・・・光ビーム偏向子 24・・・・密封カバー 24a・・透明窓 24b φ・凹部 27・・・・保持部 30・・・・永久磁石 30a ・・永久磁石 30b ・・永久磁石 31 ・・・・固定部材 31a ・・位置決め満 32・・・・位置決め突起 33・・・・駆動回路 34・・・・光学ベース 310 ・・ミラー振動子 311 ・・駆動コイル 312・・反射ミラー 313 ・・リガメント 314 ・・リガメント
す斜視図、 第2図は、第1図に示す光ビーム偏向子1を説明する斜
視図、 第3図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第4図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第5図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第6図は、本発明による光ビーム偏向器の他の実施例を
示す斜視図、 第7図は、従来の光ビーム偏向子を示す正面図である。 1 ・・・・光ビーム偏向子 24・・・・密封カバー 24a・・透明窓 24b φ・凹部 27・・・・保持部 30・・・・永久磁石 30a ・・永久磁石 30b ・・永久磁石 31 ・・・・固定部材 31a ・・位置決め満 32・・・・位置決め突起 33・・・・駆動回路 34・・・・光学ベース 310 ・・ミラー振動子 311 ・・駆動コイル 312・・反射ミラー 313 ・・リガメント 314 ・・リガメント
Claims (3)
- (1)ミラーと駆動コイルとリガメントを一体に成型し
たミラー振動子を密封する筺体と、前記駆動コイルに静
磁界を与える磁界発生手段とを有し、前記筐体と前記磁
界発生手段とを取り付け固定することによって、前記筐
体と前記磁界発生手段とを一体化することを特徴とする
光ビーム偏向器。 - (2)前記筺体が位置決め手段を有し、前記筐体と前記
磁界発生手段とを一体化する際の位置規制を行なうこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光ビーム偏向
器。 - (3)前記筺体と前記磁界発生手段とを取り付け固定す
る固定部材と、該固定部材に設けられた位置決め手段を
有し、前記筺体と前記磁界発生手段とを一体化する際の
位置規制を行なうことを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の光ビーム偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8699988A JPH01257916A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 光ビーム偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8699988A JPH01257916A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 光ビーム偏向器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH01257916A true JPH01257916A (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=13902572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8699988A Pending JPH01257916A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 光ビーム偏向器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01257916A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995017698A1 (fr) * | 1993-12-20 | 1995-06-29 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir plan pour galvanometre et son procede de production |
WO1995020774A1 (fr) * | 1994-01-31 | 1995-08-03 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir galvanoplastique de type plan presentant une fonction de detection et procede de production de celui-ci |
US7325736B2 (en) | 2003-11-27 | 2008-02-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanner and image forming apparatus having the same |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP8699988A patent/JPH01257916A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1995017698A1 (fr) * | 1993-12-20 | 1995-06-29 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir plan pour galvanometre et son procede de production |
US5606447A (en) * | 1993-12-20 | 1997-02-25 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Planar type mirror galvanometer and method of manufacture |
WO1995020774A1 (fr) * | 1994-01-31 | 1995-08-03 | The Nippon Signal Co., Ltd. | Miroir galvanoplastique de type plan presentant une fonction de detection et procede de production de celui-ci |
US5767666A (en) * | 1994-01-31 | 1998-06-16 | The Nippon Signal Co., Ltd | Planar type mirror galvanometer incorpotating a displacement detection function |
US7325736B2 (en) | 2003-11-27 | 2008-02-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanner and image forming apparatus having the same |
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