JPH0125229Y2 - - Google Patents
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- JPH0125229Y2 JPH0125229Y2 JP1983168415U JP16841583U JPH0125229Y2 JP H0125229 Y2 JPH0125229 Y2 JP H0125229Y2 JP 1983168415 U JP1983168415 U JP 1983168415U JP 16841583 U JP16841583 U JP 16841583U JP H0125229 Y2 JPH0125229 Y2 JP H0125229Y2
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- filter
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は半導体製造工場、病院などのクリーン
ルームなどに使用されるフイルター・ユニツトに
関するものである。[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to a filter unit used in clean rooms such as semiconductor manufacturing factories and hospitals.
フイルター・ユニツトは建屋の天井面或いは例
えばクリーンベンチなどの諸機器上部に据付けら
れ、清浄空気を上から下に垂直に吹出し、室内或
いは上記諸機器内の清浄度を保つために使用され
ている。従来のフイルター・ユニツトは第１図に
示す如く、除じんするためのフイルター２、フイ
ルターを介して空気を圧送するための送風装置４
及びこれらを収納するケーシングボツクス１から
構成され、ケーシングボツクス１には空気を取入
れる吸込口５、清浄空気をクリーンルームに吹出
す吹出口３を有し、ケーシングボツクス１内は送
風装置４から発生する騒音を減音するために消音
材６が内装されている。上記吸込口５は、接続ダ
クト９に接続され、除じんすべき空気が導かれ
る。７は吊り金具、８は天井用額縁である。 A filter unit is installed on the ceiling of a building or on top of various equipment such as a clean bench, and is used to blow clean air vertically from top to bottom to maintain cleanliness inside a room or the above-mentioned equipment. As shown in Fig. 1, a conventional filter unit includes a filter 2 for removing dust, and a blower device 4 for pumping air through the filter.
and a casing box 1 for housing these, and the casing box 1 has an inlet 5 for taking in air and an outlet 3 for blowing out clean air into the clean room. A sound deadening material 6 is installed inside to reduce noise. The suction port 5 is connected to a connecting duct 9, through which air to be removed is introduced. 7 is a hanging metal fitting, and 8 is a ceiling picture frame.
フイルター・ユニツトは天井面或いは、例えば
クリーンベンチなどの諸機器上部に設置される。
フイルター・ユニツトの高さが小さいフイルタ
ー・ユニツトが要望されている。これは、フイル
ター・ユニツトの高さが小であれば、天井面設置
の場合天井部空間の高さを低くすることが出来る
ので建屋の建設費を低減できるからである。ま
た、例えばクリーンベンチに設置する場合も、フ
イルター・ユニツトの高さが小であればクリーン
ベンチ全体の高さを低く出来る。床面から天井面
までの高さがクリーンベンチ全体の高さで制約を
受けている場合には、クリーンベンチ全体の高さ
が低くなる分だけ建屋の高さを低くできるので、
建屋の建設費の低減化をはかることができる。 The filter unit is installed on the ceiling or above various equipment such as a clean bench.
There is a need for a filter unit with a small height. This is because if the height of the filter unit is small, the height of the ceiling space can be lowered when it is installed on the ceiling, thereby reducing the construction cost of the building. Furthermore, when installing it on a clean bench, for example, if the height of the filter unit is small, the height of the entire clean bench can be reduced. If the height from the floor to the ceiling is restricted by the overall height of the clean bench, the height of the building can be reduced by the amount that reduces the overall height of the clean bench.
It is possible to reduce building construction costs.
従来フイルター・ユニツトの送風装置には多翼
送風機が用いられている。第２図に示す如く多翼
送風機のケーシング１１の外形寸法H′はその羽
根車１３の外径寸法D′より大きい。このため、
多翼送風機をフイルター・ユニツト内に収納する
ためにフイルター・ユニツトの高さ寸法を大きく
している（第１図においてH1＞H′＞D′である）。
このため建屋の高さが高くなる欠点があつた。１
２は吐出口、１６は電動機、１７はベースであ
る。 Conventionally, a multi-blade blower is used as a blower device for a filter unit. As shown in FIG. 2, the outer diameter H' of the casing 11 of the multi-blade blower is larger than the outer diameter D' of the impeller 13 thereof. For this reason,
In order to accommodate the multi-blade blower within the filter unit, the height of the filter unit is increased (H 1 >H'>D' in FIG. 1).
This had the disadvantage of increasing the height of the building. 1
2 is a discharge port, 16 is an electric motor, and 17 is a base.
本考案は従来のものの上記の欠点を除き、高さ
の低いフイルター・ユニツトを提供することを目
的とする。 The object of the present invention is to eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art and to provide a filter unit with a low height.
本考案は、ケーシングボツクスの下部にフイル
ターを有し、フイルターにより除塵される清浄空
気を圧送するための送風装置として、軸流れ送風
機を複数台収納するフイルター・ユニツトにおい
て、前記軸流れ送風機の軸方向を水平となるよう
に配置し、該軸方向に直角方向にフイルター・ユ
ニツトの吸込口３６を形成すると共に、前記軸流
れ送風機３１の吸込口にはこの吸込口を結ぶ仕切
板３７を設けたことを特徴とするフイルター・ユ
ニツトである。 The present invention provides a filter unit that has a filter at the bottom of a casing box and houses a plurality of axial flow blowers as a blower device for forcefully feeding clean air from which dust is removed by the filter. are arranged horizontally, and a suction port 36 of the filter unit is formed in a direction perpendicular to the axial direction, and a partition plate 37 is provided at the suction port of the axial flow blower 31 to connect the suction port. This filter unit is characterized by:
ここで軸流れ送風機とは、軸方向から気体を吸
込み軸方向に吐出する軸流型或いは斜流型送風機
をいう。 Here, the axial flow blower refers to an axial flow type or mixed flow type blower that sucks gas in an axial direction and discharges it in an axial direction.
本考案の実施例を図面を用いて説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
第３図は軸流れ送風機を示し、羽根車２１の外
径Ｄとケーシング２２の外径D0はあまり差がな
い。２３は静翼、２４は電動機である。軸流れ送
風機の配置は同一平面上に配置する。 FIG. 3 shows an axial flow blower, and there is not much difference between the outer diameter D of the impeller 21 and the outer diameter D 0 of the casing 22. 23 is a stator blade, and 24 is an electric motor. The axial flow blowers are arranged on the same plane.
第４図は、軸流れ送風機を直列２台を並列に４
組、合計８合の場合である。 Figure 4 shows two axial flow blowers in series and four in parallel.
This is a case of 8 pairs in total.
３１は軸流れ送風機、３２はフイルタ、３３は
ケーシングボツクス、３４，３５は消音材、３６
は吸込口、３７は仕切板、３８は吹出口、３９は
天井用額縁、４０は吊り金具である。 31 is an axial flow blower, 32 is a filter, 33 is a casing box, 34 and 35 are sound deadening materials, 36
37 is a suction port, 37 is a partition plate, 38 is an air outlet, 39 is a ceiling frame, and 40 is a hanging metal fitting.
第５図は並列４台の配列であるが２台をフイル
ターの右側、残りの２台をフイルターの左側に配
置の場合である。第４，５図の如く軸流れ送風機
は同一平面上に配置するのが望ましく、上下に配
置するとフイルター・ユニツトの高さ寸法H1，
H2が大となる。同一平面上であればＷ，Ｌ寸法
は大となるがH1，H2寸法は小となる。 FIG. 5 shows an arrangement of four filters in parallel, with two filters placed on the right side of the filter and the remaining two filters placed on the left side of the filter. As shown in Figures 4 and 5, it is desirable to arrange the axial flow blowers on the same plane, and if they are arranged one above the other, the height dimension of the filter unit H 1 ,
H 2 becomes large. If they are on the same plane, the W and L dimensions will be large, but the H 1 and H 2 dimensions will be small.
フイルター・ユニツトにおいては前述の如く
Ｗ，Ｌ寸法より高さ寸法H1の小のフイルター・
ユニツトが要求されており、本実施例により建屋
の建設費の低減がはかれる。 In the filter unit, as mentioned above, a filter whose height dimension H1 is smaller than the W and L dimensions is used.
unit is required, and this embodiment can reduce the construction cost of the building.
以上の実施例では軸流れ送風機を複数台同一平
面上に並列配列或いは直列配列或いは両者組合せ
て使用するのでフイルター・ユニツトの高さ寸法
を従来の方法より約0.5〜0.8小とすることができ
る。すなわち、軸流れ送風機の場合、第３図羽根
車外径寸法Ｄとケーシング外径寸法D0とほぼ同
一であり、斜流形の軸流れ送風機の場合羽根車外
径寸法が多翼送風機のそれと同一であれば多翼送
風機の昇圧に近い昇圧を得られることから要求さ
れる昇圧が同じであれば軸流れ送風機を使用する
ことでフイルター・ユニツトの高さは小となる。 In the embodiments described above, a plurality of axial flow blowers are arranged in parallel or in series on the same plane, or a combination of the two is used, so that the height of the filter unit can be made approximately 0.5 to 0.8 smaller than in the conventional method. That is, in the case of an axial flow blower, the impeller outer diameter dimension D and the casing outer diameter dimension D0 in Figure 3 are almost the same, and in the case of a mixed flow type axial flow blower, the impeller outer diameter dimension is the same as that of a multi-blade blower. If the required pressure rise is the same, the height of the filter unit can be reduced by using an axial flow blower, since it is possible to obtain a pressure increase close to that of a multi-blade blower.
さらに、本考案では軸流れ送風機を複数台並列
或いは直列或いは両者の組合せ運転するので１台
当りの要求される風量、昇圧は少なくなり、送風
機外形寸法はより小型なものとなる。 Furthermore, in the present invention, since a plurality of axial flow blowers are operated in parallel or in series, or a combination of both, the required air volume and pressure increase per unit are reduced, and the external dimensions of the blower are made smaller.
フイルター・ユニツトの吸込口３６の位置は軸
流れ送風機３１の軸方向に対して直角方向の位置
に設けることにより、軸流れ送風機３１の発生騒
音が吸込口３６側ダクトに伝播する騒音レベルを
低減することができる。 By arranging the suction port 36 of the filter unit at a position perpendicular to the axial direction of the axial blower 31, the noise level at which the noise generated by the axial blower 31 propagates to the duct on the side of the suction port 36 is reduced. be able to.
これは、ケーシングボツクス３３内は消音材３
４，３５（例えばグラスウール）が内装されてお
り、吸込口３６を第４図のｂ位置に設置するのに
対してａ位置に設置する場合は、曲部を有するた
め消音効果が増大するためである。 This means that inside the casing box 33 there is a sound deadening material 3.
4 and 35 (for example, glass wool), and the suction port 36 is installed at position b in Fig. 4, whereas when installed at position a, the silencing effect increases due to the curved part. be.
第６図は軸流れ送風機直列配列の場合の性能特
性曲線であり、図中の記号は次のものを示す。 FIG. 6 is a performance characteristic curve for a series arrangement of axial flow blowers, and the symbols in the figure indicate the following.
Ｄ：初期の運転点（２台直列の場合）
Ａ：初期の運転点（単列）
Ｂ：抵抗Ｒ２のときの運転点（単列）
Ｃ：抵抗Ｒ２のときの運転点（２台直列）
A′，B′，C′，D′：上記に対する軸動力点
Ｒ１：初期の抵抗曲線
Ｒ２：初期の２倍の通気抵抗の場合の抵抗曲線
フイルター・ユニツトに使用しているフイルタ
ー３２は運転経過とともに目づまりを生ずる。通
常は、フイルター３２の圧損（通気抵抗）が初期
に比してほぼ２倍に達するとフイルター３２を交
換している。フイルター３２の圧損が増大する
と、第６図の如く、フイルター・ユニツト吹出し
風量はQ1からQ2に減少する。風量の減少により
クリーンルーム内の清浄度は悪くなるので従来は
フイルター・ユニツトの送風装置の能力に余裕を
有する送風機を１ユニツトに１台設置している。
従つて、運転当初ではフイルターの圧損が少な
く、必要以上の吹出し風量であり、余分な動力を
消費している。 D: Initial operating point (in case of 2 units in series) A: Initial operating point (single series) B: Operating point when resistance R2 (single series) C: Operating point when resistance R2 (2 units in series) A', B', C', D': Shaft power points for the above R1: Initial resistance curve R2: Resistance curve when the ventilation resistance is twice the initial value The filter 32 used in the filter unit has been operated for a long time. This also causes clogging. Normally, the filter 32 is replaced when the pressure loss (ventilation resistance) of the filter 32 reaches approximately twice the initial value. As the pressure drop of the filter 32 increases, the air volume blown from the filter unit decreases from Q1 to Q2 , as shown in FIG. Since the cleanliness inside the clean room deteriorates due to a decrease in air volume, conventionally, one blower with sufficient capacity for the blower of the filter unit is installed in each unit.
Therefore, at the beginning of operation, the pressure loss of the filter is small, the amount of air blown out is more than necessary, and extra power is consumed.
本実施例では、軸流れ送風機を直列に配列して
いる。例えば第４図の如く２台直列に配列した場
合は同一風量において全体としては２倍の昇圧と
なる。各々の軸流れ送風機が各々に軸流型或いは
斜流型の羽根車と羽根車を駆動する電動機を有す
る場合には運転当初においてフイルター圧損が小
のときは直列配列中の１台のみを運転し、フイル
ター圧損が増大してきたときは第６図の破線の抵
抗となるので直列配列中の残りの１台も追加運転
し、２台直列運転とすることで吹出し風量の低下
を防ぐことができるとともに、フイルター圧損小
のとき運転台数を減らせるので余分な動力を消費
することなく省エネルギーとなる。 In this embodiment, axial flow blowers are arranged in series. For example, if two units are arranged in series as shown in Fig. 4, the overall pressure will be doubled for the same air volume. If each axial flow blower has an axial flow type or mixed flow type impeller and an electric motor that drives the impeller, only one unit in the series arrangement should be operated if the filter pressure drop is small at the beginning of operation. When the filter pressure loss increases, the resistance shown by the broken line in Figure 6 will occur, so the remaining one in the series arrangement will be additionally operated, and by operating two filters in series, it will be possible to prevent a decrease in the blowout air volume. When the filter pressure drop is small, the number of units in operation can be reduced, resulting in energy savings without consuming excess power.
クリーンルームにおいてはフイルター・ユニツ
トを通常複数台設置する。これはクリーンルーム
全体の清浄度を高めるためには、清浄空気をクリ
ーンルーム全体に一様に送気する必要があるため
である。例えば病院の手術室に使用するクリーン
ルームにおいては、手術時には高度の清浄度が要
求されるが、手術を行なわない期間は手術室内の
清浄度は高度でなくてよい。このようにクリーン
ルーム内の要求される清浄度が変化する場合にお
いてはクリーンルームに送風する清浄空気量（換
気回数）を必要に応じて変えることにより省エネ
ルギーをはかることができる。 In a clean room, multiple filter units are usually installed. This is because clean air needs to be uniformly supplied throughout the clean room in order to improve the cleanliness of the entire clean room. For example, in a clean room used in a hospital operating room, a high level of cleanliness is required during surgery, but the cleanliness inside the operating room does not need to be at a high level during periods when surgery is not performed. In this way, when the required cleanliness inside the clean room changes, energy saving can be achieved by changing the amount of clean air (the number of ventilations) blown into the clean room as necessary.
従来のフイルター・ユニツトでは送風装置がフ
イルター・ユニツト１台につき１台であるので、
フイルター・ユニツトごとの台数制御となる。 Conventional filter units only have one blower per filter unit, so
The number of filter units is controlled by each filter unit.
第７図はクリーンルームに４台のフイルター・
ユニツトを設置した例である。 Figure 7 shows four filters in a clean room.
This is an example of installing a unit.
４１はクリーンルーム、４２は床面、４３は天
井面、４４はフイルター・ユニツト、４５は空調
器、４６は天井、４７は吊り金具、４８は天井部
空間である。 41 is a clean room, 42 is a floor surface, 43 is a ceiling surface, 44 is a filter unit, 45 is an air conditioner, 46 is a ceiling, 47 is a hanging fitting, and 48 is a ceiling space.
従来のフイルター・ユニツトの場合には、清浄
度が低くてもよいときに例えばNo.１，No.４号機の
み運転し、残りは停止する操業が考えられる。こ
のとき、クリーンルーム４１への換気回数が半減
する分の動力の節約ができる。しかし、この場
合、クリーンルーム４１内の清浄空気の流れの分
布が片寄り第８図の斜線部の清浄度は保たれる
が、残りの部分の清浄度の低下が激しく所要の清
浄度が得られず問題がある。 In the case of conventional filter units, it is conceivable to operate only No. 1 and No. 4 units, for example, when the cleanliness level may be low, and shut down the rest. At this time, the frequency of ventilation to the clean room 41 is halved, and power can be saved. However, in this case, the distribution of the flow of clean air in the clean room 41 is uneven, and while the cleanliness in the shaded area in Figure 8 is maintained, the cleanliness in the remaining areas is severely reduced and the required cleanliness cannot be obtained. There is a problem.
本実施例によれば、１台のフイルターユニツト
４４に複数の送風装置を並列に設置しているの
で、フイルター・ユニツト内の送風装置の台数制
御を行なうことにより、必要に応じて清浄空気の
送風量を調節できる。 According to this embodiment, since a plurality of blowers are installed in parallel in one filter unit 44, by controlling the number of blowers in the filter unit, clean air can be blown as needed. Air volume can be adjusted.
例えば第７図の如く複数台フイルター・ユニツ
ト４４が設置されているクリーンルーム４１にお
いては、全数のフイルター・ユニツト４４のそれ
ぞれの送風装置を台数制御することで、クリーン
ルーム４１内の清浄空気の流れ分布を一様に保ち
つつ送風量を調節できる。即ち、クリーンルーム
４１内の清浄度を一様に必要に応じて調節でき、
かつ省エネルギーとなる。 For example, in a clean room 41 in which a plurality of filter units 44 are installed as shown in FIG. You can adjust the amount of air flow while keeping it uniform. In other words, the cleanliness inside the clean room 41 can be uniformly adjusted as necessary;
It also saves energy.
軸流れ送風機を複数台並列に設置する場合には
第４図の如く仕切板３７を設けることが望まし
い。仕切板３７が無い場合には、軸流れ送風機吸
込口３６に第９図の如く下流側からの気流の流れ
ａがあり、ベルマウス形状が小さいときには第９
図のＡ部に渦を生じ軸流れ送風機の性能低下を生
じる。さらに軸流れ送風機の設置間隔が小さいと
各々の軸流れ送風機に発生する上記流れａが相互
に干渉するため、吸込口での流れは不安定とな
り、性能はより低下する。仕切板３７を設けるこ
とにより上記流れａは発生しないので軸流れ送風
機の性能低下を生ずることなく、軸流れ送風機の
設置間隔を小さくすることができる。したがつて
ケーシングボツクス３３のＷ寸法が小さくなりフ
イルター・ユニツトを小型化できる。 When a plurality of axial flow blowers are installed in parallel, it is desirable to provide a partition plate 37 as shown in FIG. When there is no partition plate 37, there is an airflow a from the downstream side at the axial blower suction port 36 as shown in FIG.
A vortex is generated in the A section of the figure, resulting in a decrease in the performance of the axial flow blower. Furthermore, if the installation interval of the axial flow blowers is small, the flows a generated in the respective axial flow blowers will interfere with each other, so the flow at the suction port will become unstable and the performance will further deteriorate. By providing the partition plate 37, the flow a is not generated, so that the installation interval of the axial blowers can be reduced without deteriorating the performance of the axial blowers. Therefore, the W dimension of the casing box 33 is reduced, allowing the filter unit to be made smaller.
本考案は、軸流れ送風機の軸方向を水平となる
ように配置し、該軸方向に直角方向にフイルタ
ー・ユニツトの吸込口３６を形成すると共に、前
記軸流れ送風機３１の吸込口にはこの吸込口を結
ぶ仕切板３７を設けたことにより、軸流れ送風機
の軸方向を水平にして横形に用いたので、高さ方
向を大幅に小さくでき、薄いタイプのフイルタ
ー・ユニツトとし、フイルター・ユニツトの吸込
口は軸流れ送風機の軸方向に直角方向の位置に設
けられているので、軸流れ送風機の発生騒音が吸
込口ダクトに伝播する騒音レベルを低減でき、消
音効果が大であると共に、送風機の吸込口は仕切
板で固定してあるので仕切板により送風機の性能
低下を防止でき、送風機の設置間隔をも小さくで
き、小形化したフイルター・ユニツトを提供する
ことができ、設置スペースの縮少、建屋の小型
化、建設費の低減をもたらし、実用上極めて大な
る効果を奏する。 In the present invention, the axial blower is arranged so that its axial direction is horizontal, and the suction port 36 of the filter unit is formed perpendicularly to the axial direction. By providing the partition plate 37 that connects the mouth, the axial direction of the axial flow blower is set horizontally and used horizontally, so the height can be significantly reduced, the filter unit is thin, and the suction of the filter unit is Since the opening is located perpendicular to the axial direction of the axial flow blower, it is possible to reduce the noise level generated by the axial flow blower and propagated to the suction duct. Since the opening is fixed with a partition plate, the partition plate prevents the performance of the blower from deteriorating, and the installation interval of the blowers can also be reduced, making it possible to provide a smaller filter unit, reducing the installation space, and reducing the space required for the building. It brings about miniaturization and reduction of construction costs, and has an extremely large practical effect.
第１図は従来のフイルター・ユニツトの図で、
ａは正面図、ｂは正面図、第２図は従来の送風機
の断面図、第３図〜第９図は本考案の実施例に関
するもので、第３図は軸流れ送風機の断面図、第
４図はフイルター・ユニツトのａは正面図、ｂは
平面図、第５図はフイルター・ユニツトの平面
図、第６図は性能特性曲線、第７図はクリーンル
ームの断面図、第８図はフイルター・ユニツトの
配置図、第９図は軸流れ送風機の断面図である。
１……ケーシングボツクス、２……フイルタ、
３……吹出口、４……送風装置、５……吸込口、
６……消音材、７……吊り金具、８……天井用額
縁、９……接続ダクト、１１……ケーシング、１
２……吐出口、１３……羽根車、１６……電動
機、１７……ベース、２１……羽根車、２２……
ケーシング、２３……静翼、２４……電動機、３
１……軸流れ送風機、３２……フイルタ、３３…
…ケーシングボツクス、３４，３５……消音材、
３６……吸込口、３７……仕切板、３８……吹出
口、３９……天井用額縁、４０……吊り金具、４
１……クリーンルーム、４２……床面、４３……
天井面、４４……フイルター・ユニツト、４５…
…空調器、４６……天井、４７……吊り金具、４
８……天井部空間。
Figure 1 is a diagram of a conventional filter unit.
a is a front view, b is a front view, FIG. 2 is a sectional view of a conventional blower, FIGS. 3 to 9 relate to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a sectional view of an axial flow blower, Figure 4 is a front view of the filter unit, b is a plan view, Figure 5 is a plan view of the filter unit, Figure 6 is a performance characteristic curve, Figure 7 is a sectional view of the clean room, and Figure 8 is the filter unit.・Unit layout diagram, Figure 9 is a sectional view of the axial flow blower. 1... Casing box, 2... Filter,
3...Air outlet, 4...Blower device, 5...Suction port,
6... Sound deadening material, 7... Hanging fittings, 8... Ceiling frame, 9... Connection duct, 11... Casing, 1
2... Discharge port, 13... Impeller, 16... Electric motor, 17... Base, 21... Impeller, 22...
Casing, 23... Stationary blade, 24... Electric motor, 3
1... Axial flow blower, 32... Filter, 33...
...Casing box, 34, 35...Sound deadening material,
36... Suction port, 37... Partition plate, 38... Air outlet, 39... Ceiling frame, 40... Hanging metal fittings, 4
1...Clean room, 42...Floor surface, 43...
Ceiling surface, 44...Filter unit, 45...
...Air conditioner, 46...Ceiling, 47...Hanging metal fittings, 4
8...Ceiling space.
Claims (1)
有し、このフイルタ２により除塵される清浄空気
を圧送するための送風装置として、軸流れ送風機
３１を複数台備えたフイルター・ユニツトにおい
て、前記軸流れ送風機の軸方向を水平となるよう
に配置し、該軸方向に直角方向にフイルター・ユ
ニツトの吸込口３６を形成すると共に、前記軸流
れ送風機３１の吸込口にはこの吸込口を結ぶ仕切
板３７を設けたことを特徴とするフイルター・ユ
ニツト。 In a filter unit which has a filter 2 at the lower part of the casing box 1 and is equipped with a plurality of axial flow blowers 31 as a blowing device for forcefully feeding clean air from which dust is removed by the filter 2, the shaft of the axial flow blower is The suction port 36 of the filter unit is formed in a direction perpendicular to the axial direction, and a partition plate 37 is provided at the suction port of the axial flow blower 31 to connect the suction port. A filter unit characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16841583U JPS6082140U (en) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16841583U JPS6082140U (en) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | filter unit |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6082140U JPS6082140U (en) | 1985-06-07 |
| JPH0125229Y2 true JPH0125229Y2 (en) | 1989-07-28 |
Family
ID=30368189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16841583U Granted JPS6082140U (en) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | filter unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6082140U (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2540275Y2 (en) * | 1991-10-22 | 1997-07-02 | 株式会社竹中工務店 | Clean ceiling equipment |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5237174U (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-16 | ||
| JPS565707U (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-19 |
-
1983
- 1983-11-01 JP JP16841583U patent/JPS6082140U/en active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5237174U (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-16 | ||
| JPS565707U (en) * | 1979-06-26 | 1981-01-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6082140U (en) | 1985-06-07 |
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