JPH01240243A - 電極およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「発明の１」的］ 〔産業上の利用分野〕 本発明は電極およびその製造方法に係り、特に電極の吸
着面の平面度の精度を向上させた電極およびその製造方
法に関する。

〔従来の技術〕

ＬＳＩその他の各種半導体素子の製造に際しては、真空
蒸着装置やプラズマエツチング装置等の真空処理装置が
使用される。この真空処理装置においては、ウェハその
他の試料は真空容器内の試料台上に載置され、ガス冷却
あるいは試料台を介した放熱による温度制御の下で必要
な処理が試料に対して施される。試料台に対して試料を
固定する方法として試料台の電極の吸着面に試料を静電
的に吸着させる静電チャック方法か知られている。

静電チャックの電極を構成するために、従来は、導電性
金属シートの表面に接着剤を塗布して有機絶縁フィルム
を貼着したり、無機絶縁体のセラミックスを焼結あるい
は溶射法で導電性金属シートの表面に所定の厚さに形成
したり、あるいは、円盤状の導電性金属シートを回転さ
せ、その表面に液状のポリマーあるいはガラスをスピン
塗布して焼き固める方法などが実施されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしなから、上述した従来の静電チャックの電極製造
法によるときには、絶縁膜か真空中で部分的に***した
り、接着剤の塗りむらに起因して吸着面に凹凸か生じ易
く、吸着面の高精度の平面度か確保しにくくそのために
、静電吸着力か弱いという問題かあった。一方、絶縁膜
の厚さは、吸着力に影響をあたえ、絶縁膜の厚さの２乗
に反比例して低下するから、膜厚は薄い方かよいか、従
来技術によっては、口径の大きなウェハの表面に薄膜を
形成することができなかった。また、セラミックやポリ
マーのものは、多孔質かつ不純物か多いために、減圧雰
囲気内の絶縁性に劣り、また、スピン塗布法では接着面
の間にピンホールかできやすいという問題かあった。

そこで、本発明の目的は、高精度の平面度を有する吸着
面が得られ、接着面に空気が存在して熱の伝導を損なう
ことの無い電極およびその製造方法を提供することにあ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、本発明による製造方法は、
所定形状の導電性金属シートの両面に熱硬化性接着シー
トフィルムを重ね合せ、その上に耐熱性ポリマーフィル
ムをそれぞれ重ね合せ、それらを熱硬化性シートフィル
ムを介して試料台の上に載置し、高温高圧下で厚さ方向
に加圧成形するようにしたことを特徴とするものである
。

また、本発明による電極は、導電性金属シートの両面に
熱硬化性接着フィルムを介して耐熱性絶縁フィルムを重
ね合せ、これを試料台の上に熱硬化性接着シートフィル
ムを介して接着したことを特徴とするものである。

＝　　３　− 〔実施例〕 以下本発明による電極およびその製造方法の実施例を図
面を参照して説明する。

第１図は本発明によるの電極構造を示したものであり、
符号１は導電性の材料からなる試料台を示し、この試料
台１の上には静電チャック電極２か固定されている。静
電チャック電極２は、例えば銅箔からなる所定形状の導
電性金属シート３を有し、この導電性金属シートの両面
には上下の接着層４，５を介して上下の絶縁層６．７が
形成されている。上記接着層４，５はエポキシ樹脂系の
熱硬化性シートフィルムであり、一方、上記絶縁層６，
７は耐熱性ポリマー例えば、ポリイミドフィルムによっ
て構成されている。

なお、試料台１の内部には、温度制御機構の一部を構成
する媒体通路が形成されており、そこには、温度調整さ
れた冷却水等の媒体が導入または排出される。

また、上記絶縁層７は試料台１に対して接着層８を介し
て接合されている。

しかして、本発明によれば、前記静電チャック２を製造
する過程で積層された構成旧材シートに対して所定の圧
力でプレス加工される。プレス加工する態様には加圧板
で上下方向に抑圧加工してもよいし、あるいは、一対の
ロールの間に通過させる間に抑圧加工してもよい。

すなわち、第２図はプレス加工の例を示したものであり
、固定台盤９の上に、試料台１、接着シートフィルム８
、絶縁層７、接着シートフィルム５、導電性金属シート
３、接着シートフィルム４および絶縁層６を順次重ね合
せ、絶縁層６の上から可動板１０を所定の圧力で高圧プ
レス加工をする。このように高温高圧下でプレス加工す
ることにより、接着層の間に空気が混入することを効果
的に防止することかできる。また、熱硬化性の接着シー
トを使用しているために接着剤の塗りむらによる凹凸が
生じる余地かなく、吸着面の平面度を向上させることが
できた。

第３図は本発明の他の実施例を示したものであり、一対
の上部ロール１１と下部ロール１２の間に図の右の方か
ら左の方に向かって送る間に２つのロールによって抑圧
加工を施した例である。

なお、上記実施例においては、高温高圧下でプレス加工
したが、本発明はこれに限らず、常圧下でも可能であっ
て、熱硬化性シートフィルムに代えて熱融着性の接着シ
ートを使用しても同様な効果が期待できる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、導電
性金属シートの両面に熱硬化性の接着シートを介して絶
縁シートを重ね合せ、高温高圧下でプレス加工するよう
にしたから、接着層の間に空気か混入したり、ピンホー
ルの形成を確実に防ぐことができ、大口径の静電チャッ
クか製造できる。また、従来の接着剤を塗布することに
代えて、熱硬化性のシートフィルムを使用したたために
、吸着面の平面度を一層向上させることが可能となった
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による電極を示した縦断面図、第２図は
プレスによる加工の態様を示した説明図、第３図はロー
ルによる加工の態様を示した説明図である。 １・・・試料台、３・・・導電性金属シート、４．５・
・・接着層、６，７・・・絶縁層、８・・・接着層出願
人代理人　　佐　　藤　　−雄 Ｃ％Ｊｌ −３Ｆｔｌ　− 〜１ノ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、所定形状の導電性金属シートの両面に熱硬化性接着
   シートフィルムを重ね合せ、その上に耐熱性ポリマーフ
   ィルムをそれぞれ重ね合せ、それらを熱硬化性シートフ
   ィルムを介して試料台の上に載置し、高温高圧下で厚さ
   方向に加圧成形するようにしたことを特徴とする電極の
   製造方法。 ２、上記加圧成形行程を固定台と可動台からなるプレス
   によって加工するようにした請求項１に記載の電極の製
   造方法。 ３、上記加圧成型行程を一対のロールの間を通過させる
   事によって行うようにしたことを特徴とする請求項１に
   記載の電極の製造方法。 ４、導電性金属シートの両面に熱硬化性接着フィルムを
   介して耐熱性絶縁フィルムを重ね合せ、これを試料台の
   上に熱硬化性接着シートフィルムを介して接着したこと
   を特徴とする電極。