JPH01239410A - 被検査物体の真直度測定方法 - Google Patents

被検査物体の真直度測定方法

Info

Publication number
JPH01239410A
JPH01239410A JP6543388A JP6543388A JPH01239410A JP H01239410 A JPH01239410 A JP H01239410A JP 6543388 A JP6543388 A JP 6543388A JP 6543388 A JP6543388 A JP 6543388A JP H01239410 A JPH01239410 A JP H01239410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive drum
inspected
sensor
sensors
straightness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6543388A
Other languages
English (en)
Inventor
Kimio Kurosawa
黒沢 貴美男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP6543388A priority Critical patent/JPH01239410A/ja
Publication of JPH01239410A publication Critical patent/JPH01239410A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば複写機等に組み込んで用いる感光ド
ラムを被検査物体に、該感光ドラムの外形の真直度を測
定する方法に関する。
〔従来の技術〕
周知のように頭記した感光ドラムは、円筒形ドラム本体
の周面に光NIA電層′、および保護膜をコーティング
して必要な光導電機能を与え、該感光ドラムを複写機等
に組み込んで回転操作することにより電子写真プロセス
を行うものである。
ところで、かかる感光ドラムを使用して適正な電子写真
プロセスを行うには、均一な光導電性機能とともに、均
一な外形精度が要求され、かつこの外形精度を表す項目
の一つとして感光ドラムの軸長方向における外形の真直
度が挙げられる。このために感光ドラムの製造工程では
コーティングされた製品に付いてその外形の真直度を検
査して品質を管理するようにしている。
一方、従来より一般に採用されている感光ドラムの真直
度の測定方法としては、第3図に示すように感光ドラム
1を定盤2の上に■ブロック3を介して横姿勢に搭載し
、ここでガイドレール4にガイド支持したダイアルゲー
ジ5を感光ドラム1の表面に当がった状態でダイアルゲ
ージ5を感光ドラム1の軸長方向に沿って矢印P方向へ
移動走査しながらダイアルゲージ5の変化量を読み取り
、この測定結果を基に感光ドラム1の真直度を良否判定
するようにしている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかして前記したダイアルゲージ5の移動操作による測
定方式では、ダイアルゲージの先端が感光ドラム1の表
面に直接触れるために、ドラム表面のコーティング層に
傷付き等の損傷を与えるおそれがある。しかも感光ドラ
ムの製品に傷付きが発生するとその製品は不良品扱いと
なって歩留りの低下を招く。
なお、前記したダイアルゲージのように被検査物体に直
接触れることなく、光学センサを利用して非接触式に真
直度を測定できるようにした測定装置が一部で市販され
ているが、この測定装置は極めて高価格であり、かつ被
測定物体のサイズ制約の他に操作性、および測定精度に
も問題がある。
この発明は上記の点にかんがみ成されたものであり、そ
の目的は被検査物体のサイズ制約を受けることな(、し
かも簡易な操作で高測定精度が得られるようにした非接
触方式による真直度の測定方法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記課題を解決するために、本発明の測定方法において
は、柱状の被ヰ★査物体と平行に高真直度の標準リニア
シャフトを並べ、かつ被検査物体および標準リニアシャ
フト毎にそれぞれの外形面が光路の一部を遮るように光
学センサを垂直方向に対向配置するとともに、前記光学
センサを被検査物体の軸長方向に沿って一括移動走査し
、この移動走査で得た各光学センサの検出信号を対比し
て被検査物体の真の真直度を求めるものとする。
〔作用〕
上記の測定方法において、各光学センサを移動走査する
ことにより、被検査物体に対向する光学センサでは、そ
の光量変化から被検査物体の軸長方向に沿った見掛は上
のうねり状態を検出する。
これに対して他方の標準リニアシャフトに対向する光学
センサでは、その光量変化からセンサ自身の移動走査に
伴う移動方向と垂直な方向の移動誤差°を検出する。し
たがって両光学センサの検出信号を対比し、ここで零位
法により前者の光学センサの検出信号を後者の光学セン
サのヰ★出信号で補正することにより、光学センサ自身
の移動誤差分を差引き補償して被検査物体の真の真直度
を求めることができる。
〔実施例〕
第1図、第2図は本発明の方法を実施するためる真直度
測定装置を示すものであり、第3図に対応する同一部材
には同じ符号が付しである。
まず図示により真直度測定装置の構成を説明すると、定
盤2上の一方側にはあらかじめ高真直度を持つように製
作した標準リニアシャフト6を垂直姿勢に起立固定され
ており、この標準リニアシャフト6と平行に被検査物体
である感光ドラム1が垂直姿勢に置かれる。また定盤2
上には垂直なガイドレール7に沿って矢印P方向に水平
姿勢のまま昇降移動操作されるコ字形を成す移動台8が
設置されており、かつ該移動台8の上には前記した感光
ドラム1および標準リニアシャフト6に対向してその外
形側面が光路の一部を遮るように、それぞれ半導体レー
ザ等の発光素子9と受光素子10とを対とした2&]1
の光学センサ11.12が搭載されている。なお13は
発光素子9から受光素子10に向けて出射される光束を
示し、光束13の一部は感光ドラム1.標準リニアシャ
フト6の側面に遮られている。また14は光学センサ1
2と13の検出信号を基に感光ドラム1の真直度を測定
する判定処理部である。
次に上記装置を用いて感光ドラム1に対する外形の真直
度測定方法に付いて説明すると、図示のように感光ドラ
ム1を標準リニアシャフト6ト平行に並べて定盤2の上
に垂直姿勢に置き、ここで移動台8を感光ドラム1の軸
長方向に沿って矢印P方向に移動して光学センサ11.
12で走査し、受光素子10を通じて得た検出信号を判
定処理部14に入力する。この場合に光学センサ11で
は、走査による受光量の変化から感光ドラム1の軸長方
向に沿った外形面の見掛は上でのうねり状態を検出する
。これに対して光学センサ12では、その受光量の変化
から標準リニアシャフト6の外形を基準に移動台8の移
動に伴う水平方向の振れ量、つまり移動誤差分をヰ食出
する。したがって判定処理部14で前記光学センサ11
と12の検出信号を対比し、ここで光学センサ11の受
光量変化分から光学センサ12の受光量変化分を差し引
くように補正することにより、移動台8の移動系に起因
する移動誤差分が除去され、かつこの光量を長さの量に
変換することにより感光ドラム1に対する真の真直度、
および製品としての良歪判定を求めることができる。
〔発明の効果〕
本発明の真直度測定方法は、以上説明したように行うの
で、次記の効果を奏する。
まず光学センサを用いることにより非接触式に真直度を
測定ができ、感光ドラム等の被検査物体に傷付等の損傷
を与えるおそれがない、また特に被検査物体のサイズの
制約を受けることがなく、かつその測定装置の機構が単
純で測定操作も簡易で行え、しかも標準リニアシャフト
を併用して零位法により光学センサ移動系の誤差分を補
償するようにしたので高測定精度が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本発明方法を実施するための真直度測
定装置の構成を示す平面図、および正面図、第3図は従
来における真直度測定方法の説明図である。各図におい
て、 1:被検査物体としての感光ドラム、6:標準リニアシ
ャフト、8:移動台、11.11光学センサ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)柱状の被検査物体と平行に高真直度の標準リニアシ
    ャフトを並べ、かつ被検査物体および標準リニアシャフ
    ト毎にそれぞれの外形面が光路の一部を遮るように光学
    センサを垂直方向に対向配置するとともに、前記光学セ
    ンサを被検査物体の軸長方向に沿って一括移動走査し、
    この移動走査で得た各光学センサの検出信号を対比して
    被検査物体の真の真直度を求めることを特徴とする被検
    査物体の真直度測定方法。
JP6543388A 1988-03-18 1988-03-18 被検査物体の真直度測定方法 Pending JPH01239410A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6543388A JPH01239410A (ja) 1988-03-18 1988-03-18 被検査物体の真直度測定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6543388A JPH01239410A (ja) 1988-03-18 1988-03-18 被検査物体の真直度測定方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01239410A true JPH01239410A (ja) 1989-09-25

Family

ID=13286971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6543388A Pending JPH01239410A (ja) 1988-03-18 1988-03-18 被検査物体の真直度測定方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01239410A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304046A (ja) * 1995-05-10 1996-11-22 Osaka Denshi Kikai Kk 曲り測定装置
JP2010185763A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Mitsubishi Plastics Inc フィルムの平面性検査装置および平面性検査方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08304046A (ja) * 1995-05-10 1996-11-22 Osaka Denshi Kikai Kk 曲り測定装置
JP2010185763A (ja) * 2009-02-12 2010-08-26 Mitsubishi Plastics Inc フィルムの平面性検査装置および平面性検査方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3885875A (en) Noncontact surface profilometer
EP0047250B1 (en) Dimension measuring apparatus
JPS6127682B2 (ja)
JP2000258153A (ja) 平面平坦度測定装置
US4168437A (en) Optoelectric multi-sensor measuring apparatus and a method for measuring surface flatness therewith
US5558692A (en) Optical waveguide preform measurement during manufacture
US4836031A (en) Method and apparatus for measuring deformations of test samples in testing machines
CN109655015B (zh) 一种非接触式样品加工表面倾角及厚度微小变化测量方法
EP0672901A1 (en) Differential phase contrast inspection system
US4359282A (en) Optical measuring method and apparatus
JPH01239410A (ja) 被検査物体の真直度測定方法
JP2002148026A (ja) 3次元形状測定装置、3次元情報計測方法及び薄膜評価測定方法
US3779647A (en) Interferometric device for indicating displacement along one dimension during motion along another dimension
JPS60186707A (ja) 表面プロフイ−ルの測定方法
JPH01221605A (ja) 厚み測定装置
JP2003254747A (ja) 真直度測定法
JPS5763408A (en) Flatness detector
JP3027880B2 (ja) 円筒状物体の外形の真直度測定装置
JPH04268433A (ja) 非球面レンズ偏心測定装置
JPH0933237A (ja) 測定プローブ
JPS614911A (ja) 核燃料ペレツトの寸法測定方法及びその装置
JP2953742B2 (ja) 表面粗さ評価方法
Sawabe et al. Development of the vacuum interferometric comparator for calibrating fine linear encorders and scales
JPH06174451A (ja) ニュートンゲージによる測定方法
JPH04319614A (ja) 薄板の厚さ測定装置