JPH01225182A - トルクセンサ - Google Patents

トルクセンサ

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Publication number
JPH01225182A
JPH01225182A JP63050819A JP5081988A JPH01225182A JP H01225182 A JPH01225182 A JP H01225182A JP 63050819 A JP63050819 A JP 63050819A JP 5081988 A JP5081988 A JP 5081988A JP H01225182 A JPH01225182 A JP H01225182A
Authority
JP
Japan
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less
measured
shaft
torque sensor
torque
Prior art date
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Pending
Application number
JP63050819A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Aoki
青木 博幸
Shinichiro Yahagi
慎一郎 矢萩
Takanobu Saitou
斉藤 貴伸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daido Steel Co Ltd
Nissan Motor Co Ltd
Original Assignee
Daido Steel Co Ltd
Nissan Motor Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Daido Steel Co Ltd, Nissan Motor Co Ltd filed Critical Daido Steel Co Ltd
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Priority to EP89103924A priority patent/EP0338227B1/en
Priority to US07/319,351 priority patent/US5107711A/en
Priority to DE68918978T priority patent/DE68918978T2/de
Publication of JPH01225182A publication Critical patent/JPH01225182A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】
(産業上の利用分野) 本発明は、被測定軸に加えられるトルクを検出するのに
利用される磁歪式のトルクセンサに関するものである。 (従来の技術) 従来より、この種の磁歪式のトルクセンサとしては1例
えば、第4図に示す構造のものがある。 第4図に示す磁歪式のトルクセンサ21は、磁気ひずみ
効果を持つ磁性体からなる被測定軸22の外周部に、当
該被測定軸22との間に間隙23をおいて、例えば、パ
ーマロイ等の高透磁率材料より形成されたヨーク24を
配設し、このヨーク24には、前記被測定軸22を磁路
の一部とする磁気回路を形成する励磁手段としての励磁
コイル25と、前記被測定軸22を通る磁歪成分を検出
する検出手段としての検出コイル26とを設けた構造を
なすものである。 このような構造をもつ磁歪式のトルクセンサ21は、励
磁コイル25に通電することにより、当該励磁コイル2
5から発せられた磁束が、被測定軸22→間隙23→ヨ
ーク24→間隙23→被測定軸22を通る磁気回路が形
成され、このとき、検出コイル26には、誘導起電力が
生じる。 前記誘導起電力が生じる状態において、被測定軸22に
ねじりトルクが加わると、この被測定軸22の磁気ひず
み効果によって、当該被測定軸22自体の透磁率が変化
するため、前記磁気回路を通る磁束密度に変化が生じ、
自己誘導により検出コイル26に発生する誘導起電力が
変化して、この誘導起電力の変化を検出することにより
、例えば第5図に示すようなトルク−出力特性が得られ
、前記被測定軸22に加えられたねじりトルクを検出す
ることができる。 (発明が解決しようとする課題) ところが、一般に使用されている動力伝達軸(例えば、
ドライブシャフト、コラムシャフトなど)に加えられる
ねじりトルクを検出しようとする場合、第4図に示した
構造の磁歪式のトルクセンサ21を使用して、動力伝達
軸そのものを被測定軸42として採用しようとしたとき
には、当該動力伝達軸は1通常の機械構造用鋼(JIS
  SC,SCr、SCM、SNCMなど)から製作さ
れていることが多いため、磁気ひずみ効果の検出量が小
さく、第5図に示す出力特性図において感度を示す角度
θが小さいことから、十分な検出感度を得ることができ
ないとともに、同じく第5図に示す出力特性図における
ヒステリシスを示す幅りが大きくなり、正確なトルクの
検出が行い難いという課題を残していた。 (発明の目的) 本発明は、上述した従来の問題点に着目してなされたも
ので、特に動力伝達軸のような比較的大きいトルクが負
荷される回転軸それ自体を被測定軸として用い、当該回
転軸に加えられるトルクを検出しようとする場合におい
て、動力伝達軸として要求される強度を十分確保したう
えで、トルクセンサの被測定軸として要求される検出感
度を大きくするとともにヒステリシスを小さくして、ト
ルクの検出を正確に行うことができるようにしたトルク
センサを提供することにより、上述した問題点を解決す
ることを目的としている。
【発明の構成】
(課題を解決するための手段) 本発明は、被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とす
る磁気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る
磁歪成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにお
いて、前記被測定軸の少なくとも一部、とくに前記磁路
を形成する部分、もしくは全体が、重量%で、C:0.
25〜1.5%、Si:1.0%以下、Mn:2.0%
以下、およびNi:5.0%以下とCr:5.0%以下
のうちいずれか一方または両方を含み、さらに必要に応
じて、Pb:0.5%以下、Bi:0.5%以下、Si
0.5%以下、P:0.3%以下。 Te:0.5%以下、Se:0.5%以下。 Ca:0.05%以下のうちから選ばれる1種または2
種以上を含み、同じく必要に応じて。 Cu:1.0%以下、Mo:1.0%以下、Bi0.0
5%以下、W:0.5%以下、V:0.5%以下、Ti
:0.5%以下、Nb:0.5%以下、Ta:0.5%
以下、Zr:0.5%以下。 Hf:0.5%以下、AfL:0.1%以下、N:0.
1%以下のうちから選ばれる1種または2種以上を含み
、残部がFeおよび不純物からなる組成を有する鋼を素
材としている構成としたことにより、上述した従来の課
題を解決したものである。 本発明に係るトルクセンサは、上記のように。 被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁気回路
を構成する励磁手段と、前記被測定軸に発生ずる磁歪成
分を検出する検出手段を備えた構造をなすものであるが
、この場合、例えば、前記励磁手段と検出手段は、それ
ぞれ別個のコイルすなわち励磁コイルと検出コイルとか
ら構成させることができ、あるいは共通のコイルから形
成してコイルの透磁率変化によるインダクタンス変化を
検出するようにした構成とすることもできる。 さらに、被測定軸には、その軸心方向に対して所定の角
度をなす凹凸状部を形成して、形状的な磁気異方性を付
与するようになすことができるが、このような構造に限
定されることなくその他種々の構造のものを採用するこ
とが可能である。 本発明に係る磁歪式のトルクセンサでは、−被測定軸と
して、少なくともその一部、とくに磁路を形成する部分
、もしくは被測定軸の全体が、上述した特定成分を有す
る鋼を素材としたものを用いることを特徴とするもので
あり、以下にその成分組成(重量%)の限定理由につい
て説明する。 C:0.25〜1.5% Cは被測定軸、例えばドライブシャフトやコラムシャフ
トなどの動力伝達系その他の軸構造体として要求される
強度を確保するために必要な元素であり、このためには
0.25%以上含有させる。しかし、多過ぎるとかえっ
て靭性を低下させたり、冷間での塑性加工性に悪影響を
及ぼしたりするので1.5%以下とした。また、浸炭処
理を実施する場合は0.35%以下として、浸炭層中の
C含有量が1.5%以下となるようにするのがよい。 Si:1.0%以下 Siは製鋼時に脱酸剤として作用すると共に、強度を高
めるのに有効な元素であるが、多過ぎるとかえって靭性
を低下させるので1.0%以下とした。 Mn:2.0%以下 Mnは製鋼時に脱酸剤および脱硫剤として作用し、また
、鋼の焼入性を向上して強度を高めるのに有効な元素で
あるが、多すぎると加工性を低下させるので2.0%以
下とした。 Ni:5.0%以下 Cr:5.0%以下 Ni、Crは鋼の焼入性を改善したり、生地を強化した
りして強度を向上させるのに有効な元素である。 この場合、Niの含有量を多くすれば感度は向上する(
すなわち、第3図の角度θが大きくなる)が、ヒステリ
シスが増大する(すなわち、第3図の幅りが大きくなる
)ので、5.0%以下とする必要がある。また、Crの
含有量をある程度多くすればヒテリシスは減少する(す
なわち、第3図の幅りが小さくなる)傾向となるか、感
度が低下する(すなわち、第3図の角度θが小さくなる
)ようになり、Cr含有量が多すぎるとヒステリシスは
再び増大する傾向となるので、5.0%以下とする必要
がある。 Pb:0.5%以下、Bi:0.5%以下。 Si0.5%以下、P:0.3%以下、Te:0.5%
以下、Se:0.5%以下、Ca:0.05%以下のう
ちから選ばれる1種または2種以上 これらの元素は鋼素材の快削性を向上させ、被測定軸(
その他動力伝達軸などを当然含む)に仕上げする場合の
加工特性を向上させる。 Cu:1.0%以下 Mo:1.0%以下 Cu 、 M oはともに鋼の基地を強化して強度の向
上をはかるのに有効な元素であるので、必要に応じて添
加するのもよい、しかし、Cu量が多すぎると熱間加工
性が低下し、Mo量が多すぎると靭性が低下するので、
添加するとしてもCuは1.0%以下、Moも1.0%
とするのがよい。 そのほか、鋼の焼入性を向上させるために、Bを0.0
5%以下添加したり、結晶粒の微細化や析出硬化によっ
て強度の向上をはかるために、Wを0.5%以下、■を
0.5%以下、Tiを0.5%以下、Nbを0.5%以
下、Taを0.5%以下、Zrを0.5%以下、Hfを
0.5%以下、A文を0.1%以下、Nを0.1%以下
の範囲でこれらの1種または2種以上を添加することも
できる。 本発明に係るトルクセンサに用いる被測定軸は、上記の
組成を有す゛る鋼を素材としているものであるが、必要
に応じて、ヒステリシスをさらに低くし、また個々の被
測定軸ごとの出力感度やヒステリシスのばらつきを少な
くするために、また表面の耐摩耗性や疲労強度を増大さ
せるために、通常の焼入れ・焼もどし処理のほかに、例
えば浸炭拳焼入れ処理や、浸炭・焼入れ会規もどし処理
や、浸炭・窒化処理や、窒化処理や、高周波焼入れ・焼
もどし処理などを施すことも必要に応じて望ましい、こ
の場合、浸炭層のC量が1.5%以下となっているよう
にしておくことも必要に応じて望ましい。 (実施例) 第1図は本発明の実施例におけるトルクセンサを示して
いる。 図に示すトルクセンサ1は、その全体が後出の第1表に
示す組成の鋼からなる被測定軸2を用いており、この被
測定軸2の表面には、当該被測定軸2の軸心方向に対し
所定の角度をなす凹状部3 a * 3 bと凸状部4
a、4bとが適宜なる間隔をもって当該被測定軸2と一
体に形成してあり。 これら凹状部3 a + 3 bおよび凸状部4a 、
 4bによって形状磁気異方性を持つようにしである。 この場合、前記一方の凹状部3aおよび凸状部4aと、
他方の凹状部3bおよび凸状部4bとは、軸心方向に対
し同じ傾斜角度(例えば、この実施例では45°)でか
つ互いに反対方向に傾斜した状態で一対をなすものとし
て設けである。 また、このトルクセンサ1は、前記被測定軸2のほかに
、当該被測定軸2に形成した一方の凹状部3aおよび凸
状部4aと、他方の凹状部3bおよび凸状部4bに対向
して配置させた一対のコイル5a、5bを有しており、
前記コイル5a。 5bの外側に、かつ被測定軸2との間で間隙6をおいて
、高透磁率材料よりなる円筒状のヨーク7を設けた構造
をなすものである。この場合、コイル5a、5bは、被
測定軸2を磁路の一部とする磁気回路を構成する励磁手
段と、前記被測定軸2を通る磁歪成分を検出する検出手
段とに共通して使用されるものとなっている。 このような構造のトルクセンサ1において、コイル5 
a + 5 bは、第2図に例示するように、抵抗器1
1.12と組合わされてブリッジ回路を構成し、このブ
リッジ回路にバランス用の可変抵抗器13を設けると共
に、ブリッジ回路の接続点A、C間には励磁用発振器1
4を接続して励磁方向を同一方向に合わせ、接続点B、
B’間には差動増幅器15を接続して、出力端子16.
17より検出出力を取り出すことができるようにしであ
る。 次に、#記第1図に示したトルクセンサ1を第2図に示
した電気回路に接続した場合の動作について説明する。 まず、作動に際しては、励磁用発振器14より、コイル
5a、5bに一定振幅(V)および周波数(f)の交流
を通電する。この通電によって、被測定軸2→間隙6→
ヨーク7→間隙6→被測定軸2を磁路とする磁力線が、
コイル5a。 5bを取り囲むように発生する。 ところで1通電する交流の周波数(f)を高くすると、
被測定軸2にはうず電流が増加する。 そして、うず電流の分布は被測定M2の中心に近いほど
強く、表面では零となる。そのため。 表面での磁化は外部磁場の変化に追従できても。 内側になると磁化の変化は妨げられるようになる。 したがって、前記の磁力線は被測定軸2の表面部分を流
れ、被測定軸2には凹状部3a、3bが、当該被測定軸
2の軸心方向と所定の角度をなすように形成しであるた
め、これが磁気抵抗となり、凸状部4a、4bを主体に
流れることになる。それゆえ、前記凹状部3a、3bお
よび凸状部4 a + 4 bによる形状磁気異方性の
効果が現われる。 上記凹状部3a13bおよび凸状部4a 、 4bの軸
心方向に対する角度は、一方の凹状部3aおよび凸状部
4aと他方の凹状部3bおよび凸状部4bとが互いに逆
方向でかつ等しい角度を有するものとしているが、前記
角度が最も望ましいのは、被測定軸2にトルクが印加さ
れた場合の主応力方向、すなわち、右45°方向および
左45゜方向をなすようにすることである。この理由は
、前記磁力線は主応力方向を主体に流れ、かつ凸状部4
a、4bは被測定軸2の最表面部であるから最もひずみ
が大きいところであり、このひずみによる磁性体の透磁
率変化を最も効果的にひき出すことができるためである
。 そして、被測定軸2に対して第1図に示すT方向にトル
クが印加されると、一方の凸状部4aは右45°方向に
形成されているため、最大引張応力+σが作用し、反対
に、他方の凸状部4bは左45°方向に形成されている
ため、最大圧縮応力−σが作用する。 ここで、被測定軸2が正の磁気ひずみ効果を有していれ
ば、一方の凸状部4aの透磁率はトルク零のときに比べ
て増大し、逆に、他方の凸状部4bの透磁率はトルク零
のときに比べて減少する。 したがって、一方のコイル5aのインダクタンスは増大
し、他方のコイル5bのインダクタンスは減少するので
、第2図に示したブリッジ回路のバランスがくずれ、出
力端子16.17間にトルクに対応した出力が生じる。 また、トルクが逆方向に印加された場合には、前述した
のと逆の作用により、一方のコイル5aのインダクタン
スは減少し、他方のコイル5bのインダクタンスは増大
するので、第2図に示したブリッジ回路のバランスがく
ずれ、出力端子16.17間にトルクに対応した出力が
生じる。 これをさらに具体的に説明すれば、コイル5a、5bの
インダクタンスをそれぞれ”1+L2とし、抵抗11.
12の抵抗値をRとし、励磁用発振器14の電圧を71
周波数をfとしだときに、ブリッジ回路A−B−Cを流
れる電流を11、回路A−B’−Cを流れる電流を12
とすると、 となり。 B点の電位v1は、 v、=t、*I’tB′点ノ電位
V2は、V2=i2*R となる。 そこで、B−B′の電位差1*lV+  V21により
トルクの検出を行う。 この実施例におけるトルクセンサ1では、凹状部3a、
3bおよび凸状部4a 、4bをその傾きが反対である
一対のものとし、それぞれにコイル5a、5bを対向さ
せて、前記凹状部3a、3bおよび凸状部4a 、4b
における磁性変化の差をブリッジ回路により検出するよ
うにしているので、被測定軸2の透磁率が温度によって
変化したとしても、出力の零点は動かないものとするこ
とができ、トルクの検出精度の高いものとすることが可
能である。 この実施例におけるトルクセンサ1において、被測定軸
2は第1表に示す化学成分の鋼を素材としている。そし
て、第1表に示す鋼を50Kgずつ真空誘導炉中でそれ
ぞれ溶製したのち鋳造し、直径20mmの丸棒を作製し
た。 上記各丸棒は、第1図に示す被測定軸2を形成するため
に使用するもので、軸心方向に所定の角度(実施例では
45°)を有する幅2mm、深さ1mmの凹状部3a、
3bおよび凸状部4a。 4bを一体に形成することによって被測定軸2としであ
る。 そして、本発明例N0. lNN0. l lならびに
比較例N0.12の被測定軸2に対しては同じく第1表
に示す条件で熱処理を行った。 次に、上述した各被測定軸2を用いたトルクセンサ1に
おいて、励磁発振器14より、コイル5a、5bに対し
て周波数30kHz、電流30mAの交流を供給するこ
とによって、被測定軸2→間隙6→ヨーク7→間隙6→
被測定軸2を磁路とする磁気回路を形成させておき、こ
の状態で左右回転方向にそれぞれ20kgfIImのト
ルクを印加した際の前記被測定軸2の透磁率変化をコイ
ル5a、5bにおいてインダクタンス変化として第2図
に示した交流ブリッジにより検出すると、このときの各
トルクセンサ1の出力は第3図のようになり、このとき
の出力感度(第3図の角度θ)およびヒステリシス(第
3図の幅h)を調べた。これらの結果を同じく第1表に
示す。 第1表に示す結果より明らかなように、本発明の条件を
満足する本発明倒動、1〜11の被測定軸2を用いた場
合には、感度およびヒステリシスがともに良好な値を示
している。 これに対して、本発明の条件を満足しない比較例N0.
12の被測定軸2を用いた場合には、感度は良好である
もののヒステリシスが著しく大きな値を示した。 なお、上記実施例では、コイル5a、5bが励磁手段用
のコイルと検出手段用のコイルとに共通使用されたトル
クセンサ1を例にとって説明したが、そのほか、第4図
に例示したトルクセンサ21のように、被測定軸22の
外周部に、当該被測定軸22との間に間隙23をおいて
、高透磁率材料からなるヨーク24を配設し、このヨー
ク24には、励磁手段としての励磁コイル25と検出手
段としての検出コイル26とを設けた構造をなすものと
することもでき、特に限定されない。
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明は、被測定軸と、前記
被測定軸を磁路の一部とする磁気回路を形成する励磁手
段と、前記被測定軸を通る磁歪成分を検出する検出手段
を備えたトルクセンサにおいて、前記被測定軸の少なく
とも一部が1重量%で、C:0.25〜1.5%、Si
:1.0%以下、M n : 2 、0%以下、および
Ni:5.0%以下とCr:5.0%以下のうちいずれ
か一方または両方を含み、さらに必要に応じて、Pb:
0.5%以下、Bi :0.5%以下、Si0.5%以
下、P:0.3%以下、Te:0.5%以下、Se:0
.5%以下、Ca:0.05%以下のうちから選ばれる
1種または2種以上を含み、同じく必要に応じて、Cu
:1.0%以下。 Mo:1.0%以下、Bi0.05%以下、W:0.5
%以下、V:0.5%以下、Ti:0.5%以下、Nb
:0.5%以下、Ta:0.5%以下、Zr:0.5%
以下、Hf:0.5%以下。 AfL:0.1%以下、N:0.1%以下のうちから選
ばれる1種または2種以上を含み、残部がFeおよび不
純物からなる組成を有する鋼を素材としているものであ
るから、被測定軸の強度を十分確保したうえで、トルク
の検出に必要な十分な出力感度を確保するとともに、ヒ
ステリシスを小さなものにすることが可能であり、トル
クの検出を正確に実施することができるようになる。 そして、特に動力伝達軸のような負荷の大きい回転軸そ
れ自体を被測定軸として当該回転軸に加えられるトルク
を検出する場合において、回転軸の強度を十分に確保し
たうえで、トルクの検出感度を大きなものにすることが
できると同時に、ヒステリシスを小さなものにすること
ができ、回転軸のみならず静止軸に加えられたトルクの
検出を正確に行うことができるようになるという非常に
優れた効果がもたらされる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明が適用されるトルクセンサの構造例を示
す軸方向断面説明図、第2図は第1図のトルクセンサに
接続する電気回路の構成を例示する説明図、第3図は第
1図のトルクセンサの出力特性を示すグラフ、第4図(
a)(b)はトルクセンサの他の構造例を示す各々軸方
向説明図および軸直角方向説明図、第5図は第4図のト
ルクセンサの出力特性を示すグラフである。 1.21・・・トルクセンサ、2,22・・・被測定軸
、5a、5b・・・コイル(励磁手段および検出手段)
、25・・・励磁コイル(励磁手段)、26・・・検出
コイル(検出手段)。 特許出願人    日産自動車株式会社同出願人   
  大同特殊鋼株式会社代理人弁理士   小  塩 
 豐

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁
    気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る磁歪
    成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにおいて
    、前記被測定軸の少なくとも一部が、重量%で、C:0
    .25〜1.5%、Si:1.0%以下、Mn:2.0
    %以下、およびNi:5.0%以下とCr:5.0%以
    下のうちいずれか一方または両方を含み、残部がFeお
    よび不純物からなる組成を有する鋼を素材としているこ
    とを特徴とするトルクセンサ。
  2. (2)被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁
    気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る磁歪
    成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにおいて
    、前記被測定軸の少なくとも一部が、重量%で、C:0
    .25〜1.5%、Si:1.0%以下、Mn:2.0
    %以下、およびNi:5.0%以下とCr:5.0%以
    下のうちいずれか一方または両方を含み、さらに、Pb
    :0.5%以下、Bi:0.5%以下Si0.5%以下
    、P:0.3%以下、Te:0.5%以下、Se:0.
    5%以下、Ca:0.05%以下のうちから選ばれる1
    種または2種以上を含み、残部がFeおよび不純物から
    なる組成を有する鋼を素材としていることを特徴とする
    トルクセンサ。
  3. (3)被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁
    気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る磁歪
    成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにおいて
    、前記被測定軸の少なくとも一部が、重量%で、C:0
    .25〜1.5%、Si:1.0%以下、Mn:2.0
    %以下、およびNi:5.0%以下とCr:5.0%以
    下のうちいずれか一方または一方を含み、さらに、Cu
    :1.0%以下、Mo:1.0%以下、Bi0.05%
    以下、W:0.5%以下、V:0.5%以下、Ti:0
    .5%以下、Nb:0.5%以下、Ta:0.5%以下
    、Zr:0.5%以下、Hf:0.5%以下、Al:0
    .1%以下、N:0.1%以下のうちから選ばれる1種
    または2種以上を含み、残部がFeおよび不純物からな
    る組成を有する鋼を素材としていることを特徴とするト
    ルクセンサ。
  4. (4)被測定軸と、前記被測定軸を磁路の一部とする磁
    気回路を形成する励磁手段と、前記被測定軸を通る磁歪
    成分を検出する検出手段を備えたトルクセンサにおいて
    、前記被測定軸の少なくとも一部が、重量%で、C:0
    .25〜1.5%、Si:1.0%以下、Mn:2.0
    %以下、およびNi:5.0%以下とCr:5.0%以
    下のうちいずれか一方または両方を含み、さらに、Pb
    :0.5%以下、Bi:0.5%以下、Si0.5%以
    下、P:0.3%以下、Te:0.5%以下、Se:0
    .5%以下、Ca:0.05%以下のうちから選ばれる
    1種または2種以上を含み、さらに、Cu:1.0%以
    下、Mo:1.0%以下、B:0.05%以下、W:0
    .5%以下、V:0.5%以下、Ti:0.5%以下、
    Nb:0.5%以下、Ta:0.5%以下、Zr:0.
    5%以下、Hf:0.5%以下、Al:0.1%以下、
    N:0.1%以下のうちから選ばれる1種または2種以
    上を含み、残部がFeおよび不純物からなる組成を有す
    る鋼を素材としていることを特徴とするトルクセンサ。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5364798A (en) * 1976-11-19 1978-06-09 Shingijutsu Kaihatsu Jigyodan Electric magntostrictive convertor
JPS60213071A (ja) * 1984-04-09 1985-10-25 Nippon Denso Co Ltd トルクセンサ及びその製造方法

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