JPH01208449A - ダブルチャンバ真空成膜装置 - Google Patents
ダブルチャンバ真空成膜装置Info
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- JPH01208449A JPH01208449A JP3111088A JP3111088A JPH01208449A JP H01208449 A JPH01208449 A JP H01208449A JP 3111088 A JP3111088 A JP 3111088A JP 3111088 A JP3111088 A JP 3111088A JP H01208449 A JPH01208449 A JP H01208449A
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Links
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、各種の対象物に対し真空雰囲気下で被膜をコ
ーティングする真空成膜装置において、対象物にコーテ
ィングされなかった被膜物質粒子が作業用チャンバ内面
に付着することによって生じるトラブルを解決するため
の提案に関する。
ーティングする真空成膜装置において、対象物にコーテ
ィングされなかった被膜物質粒子が作業用チャンバ内面
に付着することによって生じるトラブルを解決するため
の提案に関する。
(従来の技術)
アークイオンブレーティング手段、スパッタ蒸着手段、
あるいは真空蒸着手段等による真空成膜装置においては
、その作業は何れも密閉された真空雰囲気(不活性ガス
雰囲気等をも含むものとする)下のチャンバ内において
行なわれるのであり、例えば特公昭58−3033号公
報に開示されたアークイオンブレーティング手段におい
ても見られる通りである。即ち第5図において示すよう
に、ビーム銃100、陽極101、陰極102等から成
る被覆物質生成供給源(ターゲット)と、被覆物質の被
着される対象物103は何れもチャンバ104内に配設
され、アーク放電により粒子ビームを射出して、対象物
103の表面上にコーティングするのである。
あるいは真空蒸着手段等による真空成膜装置においては
、その作業は何れも密閉された真空雰囲気(不活性ガス
雰囲気等をも含むものとする)下のチャンバ内において
行なわれるのであり、例えば特公昭58−3033号公
報に開示されたアークイオンブレーティング手段におい
ても見られる通りである。即ち第5図において示すよう
に、ビーム銃100、陽極101、陰極102等から成
る被覆物質生成供給源(ターゲット)と、被覆物質の被
着される対象物103は何れもチャンバ104内に配設
され、アーク放電により粒子ビームを射出して、対象物
103の表面上にコーティングするのである。
このさい前記ターゲットからのコーテイング物質の内、
対象物に付着されなかった粒子は、真空雰囲気下の空間
を構成しているチャンバ104の内壁面にことごとく付
着する。このためチャンバ104の内壁面は定期的に清
掃する必要が生じるのである。この清掃には多大の労力
と時間とを必要とするのみならず、清掃中は運転停止と
なるので、生産性を低下する。このため最近は第6.7
図に例示するような対策が用いられている。即ち両図に
示されるように、チャンバ104の内壁面と平行してラ
イナー状にシールドプレート105の複数枚を、内壁面
の略全面をカバーするように配設し、同プレート105
0面上に対象物103を外れた被覆物質粒子を付着させ
、チャンバ104の内壁面に粒子が直接付着を防ぐよう
にしたものである。このさいコーティング中の発熱によ
る過熱防止、更にはコーティングプロセス終了後の対象
物103の冷却等のために、シールドプレート105自
体に鋼管等をろう付けした冷却水管106を設置し、矢
印で示すようにそれぞれの冷却水管にチャンバ104外
から冷却水を供給し、冷却することも行なわれている。
対象物に付着されなかった粒子は、真空雰囲気下の空間
を構成しているチャンバ104の内壁面にことごとく付
着する。このためチャンバ104の内壁面は定期的に清
掃する必要が生じるのである。この清掃には多大の労力
と時間とを必要とするのみならず、清掃中は運転停止と
なるので、生産性を低下する。このため最近は第6.7
図に例示するような対策が用いられている。即ち両図に
示されるように、チャンバ104の内壁面と平行してラ
イナー状にシールドプレート105の複数枚を、内壁面
の略全面をカバーするように配設し、同プレート105
0面上に対象物103を外れた被覆物質粒子を付着させ
、チャンバ104の内壁面に粒子が直接付着を防ぐよう
にしたものである。このさいコーティング中の発熱によ
る過熱防止、更にはコーティングプロセス終了後の対象
物103の冷却等のために、シールドプレート105自
体に鋼管等をろう付けした冷却水管106を設置し、矢
印で示すようにそれぞれの冷却水管にチャンバ104外
から冷却水を供給し、冷却することも行なわれている。
(発明が解決しようとする課題)
上記したシールドプレート方式には、次の点において問
題点がある。即ちチャンバ104を箱形の6面体とした
場合、冷却水のフィードスルーは4個/1面×6面=2
4個 のように多数となるため、シールドプレート10
5の着脱に長時間を要するのみならず、設置後における
例えばシール用0リングの損傷等によって、フィードス
ルーからの冷却水リークの発生確率も高(、またかかる
シールドプレートの清掃に当っては、表面から付着物を
除去するのは、グラスビードブラスト手段等を用いるの
であり、個々に分割されたプレート体ではプレート自体
の変形や歪みを起生じ易いのである。
題点がある。即ちチャンバ104を箱形の6面体とした
場合、冷却水のフィードスルーは4個/1面×6面=2
4個 のように多数となるため、シールドプレート10
5の着脱に長時間を要するのみならず、設置後における
例えばシール用0リングの損傷等によって、フィードス
ルーからの冷却水リークの発生確率も高(、またかかる
シールドプレートの清掃に当っては、表面から付着物を
除去するのは、グラスビードブラスト手段等を用いるの
であり、個々に分割されたプレート体ではプレート自体
の変形や歪みを起生じ易いのである。
(課題を解決するための手段)
本発明では上記問題点を解決するために、かかる真空成
膜装置における作業用チャンバをダブルチャンバ、即ち
内外二重のチャンバ方式とし、内部チャンバを外部チャ
ンバに出入可能とし、内部チャンバを作業チャンバとす
るとともに、かつこれをシールドチャンバとして兼用す
るようにしたものであり、具体的には、一面が開閉可能
な気密ドアとされかつ真空雰囲気生成可能とされた箱形
の外部チャンバと、該チャンバ内に出入可能に内装され
る箱形で真空雰囲気生成可能とされるとともに、前記気
密ドアと対面する一面に開閉自在なドア用シールド板を
有し、かつ冷却手段を具備した内部チャンバとを備え、
内部チャンバ内に、被膜付着用対象物の載置部材を設け
、載置部材の対象物に対する被膜物質の生成供給源が備
えられている点にあり、また、外部チャンバに真空吸気
口が設けられるとともに内部チャンバに同連道口が設け
られる点にあり、また、内部チャンバの冷却手段として
、内部チャンバの箱形外周面を囲繞して冷却水管が付設
され、該水管の給排両端が外部チャンバ外に出される点
にあり、また、被膜付着対象物の載置部材が縦軸心回り
で可回動に設けられる点にある。
膜装置における作業用チャンバをダブルチャンバ、即ち
内外二重のチャンバ方式とし、内部チャンバを外部チャ
ンバに出入可能とし、内部チャンバを作業チャンバとす
るとともに、かつこれをシールドチャンバとして兼用す
るようにしたものであり、具体的には、一面が開閉可能
な気密ドアとされかつ真空雰囲気生成可能とされた箱形
の外部チャンバと、該チャンバ内に出入可能に内装され
る箱形で真空雰囲気生成可能とされるとともに、前記気
密ドアと対面する一面に開閉自在なドア用シールド板を
有し、かつ冷却手段を具備した内部チャンバとを備え、
内部チャンバ内に、被膜付着用対象物の載置部材を設け
、載置部材の対象物に対する被膜物質の生成供給源が備
えられている点にあり、また、外部チャンバに真空吸気
口が設けられるとともに内部チャンバに同連道口が設け
られる点にあり、また、内部チャンバの冷却手段として
、内部チャンバの箱形外周面を囲繞して冷却水管が付設
され、該水管の給排両端が外部チャンバ外に出される点
にあり、また、被膜付着対象物の載置部材が縦軸心回り
で可回動に設けられる点にある。
(作 用)
本発明の上記した技術的手段によれば、作業用チャンバ
を外部チャンバと内部チャンバとの両者によって構成し
、内部チャンバを外部チャンバにおける開閉可能な気密
ドアを介して出入可能とするとともに、内部チャンバ内
に真空成膜を行なうために必要な被膜物質、の生成供給
源(ターゲット)と、被膜付着用の対象物を載置部材を
介して配設可能としたことにより、内部チャンバ内でコ
ーティング作業が可能であるとともに、そのさい対象物
に被着されない被膜粒子は内部チャンバの内壁面に付着
される。従ってコーティング終了後、外部チャンバの気
密ドアおよび内部チャンバのドア用シールド板を開くこ
とにより、対象物の取出し後に、内部チャンバ全体を外
部チャンバ外に引出し、新しい内部チャンバを外部チャ
ンバ内に新規に装入し、対象物を載置部材にセットし、
気密ドアおよびドア用シールド板を閉鎖することにより
、次のコーティング作業を即時再開できるのであり、こ
の間に先に取出した被膜粒子が付着している内部チャン
バを清掃工程に回すことによって、連続生産が可能であ
る。このさい内外チャンバの真空雰囲気(特定ガス雰囲
気を包含する)の形成に当っては、外部チャンバに設け
た真空吸気口および内部チャンバに設けた連通口によっ
て、容易に処理できるのである。
を外部チャンバと内部チャンバとの両者によって構成し
、内部チャンバを外部チャンバにおける開閉可能な気密
ドアを介して出入可能とするとともに、内部チャンバ内
に真空成膜を行なうために必要な被膜物質、の生成供給
源(ターゲット)と、被膜付着用の対象物を載置部材を
介して配設可能としたことにより、内部チャンバ内でコ
ーティング作業が可能であるとともに、そのさい対象物
に被着されない被膜粒子は内部チャンバの内壁面に付着
される。従ってコーティング終了後、外部チャンバの気
密ドアおよび内部チャンバのドア用シールド板を開くこ
とにより、対象物の取出し後に、内部チャンバ全体を外
部チャンバ外に引出し、新しい内部チャンバを外部チャ
ンバ内に新規に装入し、対象物を載置部材にセットし、
気密ドアおよびドア用シールド板を閉鎖することにより
、次のコーティング作業を即時再開できるのであり、こ
の間に先に取出した被膜粒子が付着している内部チャン
バを清掃工程に回すことによって、連続生産が可能であ
る。このさい内外チャンバの真空雰囲気(特定ガス雰囲
気を包含する)の形成に当っては、外部チャンバに設け
た真空吸気口および内部チャンバに設けた連通口によっ
て、容易に処理できるのである。
また内部チャンバの箱形外周面に冷却水管を囲繞させ、
同水管の給排両端を外部チャンバ外に出すことにより、
単一の冷却水管によって容易に有効な冷却作用が得られ
る。また、載置部材を縦軸回りに回動可能に設けること
によって、これに載置された立体的な対象物の全体に対
する被膜コーティングも容易に行なえるばかりでなく、
回収した内部チャンバも箱形の構成体であるため、剛性
大で、清掃作業において用いるグラスビードブラスト手
段の実施に当っても、歪みや変形を生じることなく、内
部チャンバ内面の付着物の充分な除去ができるし、内部
チャンバの耐用性の向上が得られるのである。
同水管の給排両端を外部チャンバ外に出すことにより、
単一の冷却水管によって容易に有効な冷却作用が得られ
る。また、載置部材を縦軸回りに回動可能に設けること
によって、これに載置された立体的な対象物の全体に対
する被膜コーティングも容易に行なえるばかりでなく、
回収した内部チャンバも箱形の構成体であるため、剛性
大で、清掃作業において用いるグラスビードブラスト手
段の実施に当っても、歪みや変形を生じることなく、内
部チャンバ内面の付着物の充分な除去ができるし、内部
チャンバの耐用性の向上が得られるのである。
・(実施例)
第1図および第2図について、本発明装置の第1実施例
を詳述する。両図に示す第1実施例において、外部チャ
ンバ1は6面体である箱形のものとされ、その一面がシ
ール用0リング12を介して開閉可能に取付けられる気
密ドア3とされる。また外部チャンバ1の反ドア側の一
面には真空吸気口(不活性ガス等の特定ガス雰囲気の場
合はガス置換口である)14とされ、同吸気口14は真
空ポンプ乃至ガス置換装置側と連結される(図示省略)
。内部チャンバ2は第1図および第2図に例示するよう
に、同じく6面体の箱形とされるとともに、外部チャン
バ1内に出入可能であるように全体サイズを小さくし、
かつ6面体の一面側は第1図で示すように、前記気密ド
ア3と平行なプレート体でかつ本実施例では支持具3A
を介して気密ドア3に保持されて同行開閉可能なドア用
シールド板4とされるのである。内部チャンバ2の反シ
ールド板側の一面には前記吸気口14と対応する連通孔
15が開設されることによって、両チャンバ1.2の同
一雰囲気生成は容易に得られる。
を詳述する。両図に示す第1実施例において、外部チャ
ンバ1は6面体である箱形のものとされ、その一面がシ
ール用0リング12を介して開閉可能に取付けられる気
密ドア3とされる。また外部チャンバ1の反ドア側の一
面には真空吸気口(不活性ガス等の特定ガス雰囲気の場
合はガス置換口である)14とされ、同吸気口14は真
空ポンプ乃至ガス置換装置側と連結される(図示省略)
。内部チャンバ2は第1図および第2図に例示するよう
に、同じく6面体の箱形とされるとともに、外部チャン
バ1内に出入可能であるように全体サイズを小さくし、
かつ6面体の一面側は第1図で示すように、前記気密ド
ア3と平行なプレート体でかつ本実施例では支持具3A
を介して気密ドア3に保持されて同行開閉可能なドア用
シールド板4とされるのである。内部チャンバ2の反シ
ールド板側の一面には前記吸気口14と対応する連通孔
15が開設されることによって、両チャンバ1.2の同
一雰囲気生成は容易に得られる。
また内部チャンバ2の底面には出入操作を容易とするた
めの車輪11が適宜軸架機構を介して装設されると共に
、内部チャンバ2の冷却を行なうために単一の冷却水管
5を用いる。同水管5は第2図に例示するようにドア用
シールド板4を除くチャンバ2の外周面を囲繞して周回
状にかつろう付は等により固定され、その給水端5aお
よび排水端5bは共に外部チャンバ1外にシール機構1
3,13を介して出され、図示省略するが給水端5aお
よび排水端5bは適宜給、排水元管、ポンプ等の冷却水
給排機構に、着脱可能なジヨイント構造を介して接続さ
れることになる。
めの車輪11が適宜軸架機構を介して装設されると共に
、内部チャンバ2の冷却を行なうために単一の冷却水管
5を用いる。同水管5は第2図に例示するようにドア用
シールド板4を除くチャンバ2の外周面を囲繞して周回
状にかつろう付は等により固定され、その給水端5aお
よび排水端5bは共に外部チャンバ1外にシール機構1
3,13を介して出され、図示省略するが給水端5aお
よび排水端5bは適宜給、排水元管、ポンプ等の冷却水
給排機構に、着脱可能なジヨイント構造を介して接続さ
れることになる。
また前記外部チャンバ1における気密ドア3および内部
チャンバ2におけるドア用シールド板4に亘ってシール
機構13および支持軸16等を介して、例えばアークイ
オンブレーティング手段、スパッタ手段、真空蒸着手段
における被膜物質の生成供給源6が取付は保持され、か
つ同供給源(ターゲット)6はドア用シールド板4を介
して内部チャンバ2内の所定位置に配設されるようにす
るのである。また、被膜物質の生成供給源(ターゲット
)6と対応して外部チャンバ1側には、軸受シール機構
9を介して、実施例では回転駆動源10によって可回動
かつ昇降可能な駆動保持軸17が内部チャンバ2内に挿
出され、同支持軸17の上端にテーブル状の載置部材8
が縦軸心回りに可回動でしかも、着脱可能に設けられる
ことによって、被膜付着用の目的対象物7がセットされ
るようにしたものである。
チャンバ2におけるドア用シールド板4に亘ってシール
機構13および支持軸16等を介して、例えばアークイ
オンブレーティング手段、スパッタ手段、真空蒸着手段
における被膜物質の生成供給源6が取付は保持され、か
つ同供給源(ターゲット)6はドア用シールド板4を介
して内部チャンバ2内の所定位置に配設されるようにす
るのである。また、被膜物質の生成供給源(ターゲット
)6と対応して外部チャンバ1側には、軸受シール機構
9を介して、実施例では回転駆動源10によって可回動
かつ昇降可能な駆動保持軸17が内部チャンバ2内に挿
出され、同支持軸17の上端にテーブル状の載置部材8
が縦軸心回りに可回動でしかも、着脱可能に設けられる
ことによって、被膜付着用の目的対象物7がセットされ
るようにしたものである。
この第1実施例によれば、第1図はコーティング作業状
態を示しているが、外部チャンバ1および内部チャンバ
2は、吸気口14および連通口15によって全体が真空
雰囲気に維持され、載置部材8上の対象物7に対し、生
成供給源6からの被膜物質のコーティングが行なわれ、
また内部チャンバ2は冷却水管5によって適切に冷却さ
れることになり、載置部材8を回転駆動源10および駆
動支持軸17を介して回動させれば、対象物7の全表に
対しコーティングが可能である。コーティング終了後は
、雰囲気解除、冷却停止の後、気密ドア3を開くことに
より、ドア用シールド板4も同行して内部チャンバ2も
開放される。従って対象物7を取出し、載置部材8を取
外し、駆動支持軸17を下降させることによって、その
内壁面に前記対象物7に付着されなかった物質粒子が被
着した内部チャンバ2を車輪11を介して引出し、同チ
ャンバ2を直ちに清掃工程に回すとともに、予じめ準備
し°てあった新しい内部チャンバ2を外部チャンバ1内
に装入し、内部チャンバ2の冷却水管5を外部チャンバ
1外に挿出させて、給排元管側に連結し、駆動支持軸1
7を所定位置に上昇させて!!!置装材8を取付けてこ
れに新しい対象物7をセットし、しかる後気密ドア3、
ドア用シールド板4を閉鎖し、外部チャンバ1、内部チ
ャンバ2を真空雰囲気とすることにより、被膜物質の生
成供給源6によって次のコーティング作業を直ちに施行
できることになるのである。また清掃工程に回った内部
チャンバ2は一端開口の箱形であるため、その剛性も高
く、内壁面に付着した被膜物質をグラスビードブラスト
等で除去するに際しても歪み、変形を生じるおそれなく
、強力な清掃手段にもよ(耐えることになり、反復使用
が可能となる。従って一台の外部チャンバ1に対し、最
低2個の内部チャンバ2を準備することによって、連続
的な被膜コーティング作業が高能率下に実施することが
可能となる。
態を示しているが、外部チャンバ1および内部チャンバ
2は、吸気口14および連通口15によって全体が真空
雰囲気に維持され、載置部材8上の対象物7に対し、生
成供給源6からの被膜物質のコーティングが行なわれ、
また内部チャンバ2は冷却水管5によって適切に冷却さ
れることになり、載置部材8を回転駆動源10および駆
動支持軸17を介して回動させれば、対象物7の全表に
対しコーティングが可能である。コーティング終了後は
、雰囲気解除、冷却停止の後、気密ドア3を開くことに
より、ドア用シールド板4も同行して内部チャンバ2も
開放される。従って対象物7を取出し、載置部材8を取
外し、駆動支持軸17を下降させることによって、その
内壁面に前記対象物7に付着されなかった物質粒子が被
着した内部チャンバ2を車輪11を介して引出し、同チ
ャンバ2を直ちに清掃工程に回すとともに、予じめ準備
し°てあった新しい内部チャンバ2を外部チャンバ1内
に装入し、内部チャンバ2の冷却水管5を外部チャンバ
1外に挿出させて、給排元管側に連結し、駆動支持軸1
7を所定位置に上昇させて!!!置装材8を取付けてこ
れに新しい対象物7をセットし、しかる後気密ドア3、
ドア用シールド板4を閉鎖し、外部チャンバ1、内部チ
ャンバ2を真空雰囲気とすることにより、被膜物質の生
成供給源6によって次のコーティング作業を直ちに施行
できることになるのである。また清掃工程に回った内部
チャンバ2は一端開口の箱形であるため、その剛性も高
く、内壁面に付着した被膜物質をグラスビードブラスト
等で除去するに際しても歪み、変形を生じるおそれなく
、強力な清掃手段にもよ(耐えることになり、反復使用
が可能となる。従って一台の外部チャンバ1に対し、最
低2個の内部チャンバ2を準備することによって、連続
的な被膜コーティング作業が高能率下に実施することが
可能となる。
第3図および第4図は、本発明の第2実施例を示し、前
述した第1実施例(第1図、第2図)と基本的には同じ
構成と作用をし、従って、共通部分は共通符号で示し、
以下相違する点のみを説明する。
述した第1実施例(第1図、第2図)と基本的には同じ
構成と作用をし、従って、共通部分は共通符号で示し、
以下相違する点のみを説明する。
第3図、第4図において、被膜物質の生成供給源6は内
部チャンバ2の外部でかつ外部チャンバ1の内部に配置
されており、該生成供給源6と対応して内部チャンバ2
には通孔2Aが形成され、ここに、通孔2Aを介して載
置部材B上の対象物7に被膜物質をコーティング可能と
している。
部チャンバ2の外部でかつ外部チャンバ1の内部に配置
されており、該生成供給源6と対応して内部チャンバ2
には通孔2Aが形成され、ここに、通孔2Aを介して載
置部材B上の対象物7に被膜物質をコーティング可能と
している。
また、連通口15には内部チャンバ2側に、ステー15
Aを介してカバー15Bが取付けられ吸気口14を介し
ての真空ポンプ等の故障発生をおさえるようにされてい
る。なおりバー15Bと内部チャンバ2との間にはステ
ー15Aを介しての連通部を有し、カバー15Bを設け
ても内部チャンバ2の真空雰囲気生成は保証されている
。
Aを介してカバー15Bが取付けられ吸気口14を介し
ての真空ポンプ等の故障発生をおさえるようにされてい
る。なおりバー15Bと内部チャンバ2との間にはステ
ー15Aを介しての連通部を有し、カバー15Bを設け
ても内部チャンバ2の真空雰囲気生成は保証されている
。
更に、外部チャンバ1の底内面には、レール11Aを有
し、このレールIIAを介して内部チャンバ2が外部チ
ャンバ1に対して出入可能とされている。
し、このレールIIAを介して内部チャンバ2が外部チ
ャンバ1に対して出入可能とされている。
なお、上述した第1.2実施例では、載置部材8は支持
軸17を介して外部チャンバ1に支持しているが、載置
部材8は内部チャンバ2に支持させることもできる。ま
た、ドア用シールド板4はドア3に支持するのが最も有
効であるものの、内部チャンバ2又は外部チャンバ1に
支持させてもよい。
軸17を介して外部チャンバ1に支持しているが、載置
部材8は内部チャンバ2に支持させることもできる。ま
た、ドア用シールド板4はドア3に支持するのが最も有
効であるものの、内部チャンバ2又は外部チャンバ1に
支持させてもよい。
(発明の効果)
本発明の真空成膜装置によれば、外部チャンバに対し、
出入可能な内部チャンバを用い、同チャンバを作業用チ
ャンバおよびシールド用チャンバとして機能させること
により、従来の単一チャンバ方式に対し、きわめて高能
率のコーティングプロセスが可能であり、運転休止、被
膜物質の生成供給源の搬出入等を不用とし、作業全般を
簡単かつ容易化できる。またチャンバ内に多数のかつ個
々に冷却手段を施したシールドプレートを配設するもの
に対し、内部チャンバの出入によって、その作業内容は
著しく短縮かつ省力化されるのみならず、冷却水管も単
一体で足りるため、冷却水のフィードスルーもきわめて
少なく、冷却水リーク発生確率も大幅に低減でき、かつ
内部チャンバは剛性の高い箱形の一体物であるため、反
復する清掃作業にもよく耐え、その耐用性も著しく向上
できる点において優れ、この種真空成膜装置において、
対象物に被着されない被膜物質が大量を占め、その後処
理に対して著大な時間と労力を消費することを考えれば
、これを合理的に解決できるものとして利点大である。
出入可能な内部チャンバを用い、同チャンバを作業用チ
ャンバおよびシールド用チャンバとして機能させること
により、従来の単一チャンバ方式に対し、きわめて高能
率のコーティングプロセスが可能であり、運転休止、被
膜物質の生成供給源の搬出入等を不用とし、作業全般を
簡単かつ容易化できる。またチャンバ内に多数のかつ個
々に冷却手段を施したシールドプレートを配設するもの
に対し、内部チャンバの出入によって、その作業内容は
著しく短縮かつ省力化されるのみならず、冷却水管も単
一体で足りるため、冷却水のフィードスルーもきわめて
少なく、冷却水リーク発生確率も大幅に低減でき、かつ
内部チャンバは剛性の高い箱形の一体物であるため、反
復する清掃作業にもよく耐え、その耐用性も著しく向上
できる点において優れ、この種真空成膜装置において、
対象物に被着されない被膜物質が大量を占め、その後処
理に対して著大な時間と労力を消費することを考えれば
、これを合理的に解決できるものとして利点大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置第1実施例の縦断正面図、第2図は
同内部チャンバの斜面図、第3図は第2実施例の縦断正
面図、第4図は第3図B−B断面図、第5図は従来の真
空成膜装置1例の縦断正面図、第6図は同シールドプレ
ート方式例の縦断正面図、第7図は同第6図A−A線矢
視図である。 1・・・外部チャンバ、2・・・内部チャンバ、3・・
・気密ドア、4・・・ドア用シールド板、5・・・冷却
水管、6・・・被膜物質の生成供給源、7・・・対象物
、8・・・載置部材、9・・・軸受シール機構、IO・
・・回転駆動源、11・・・車輪、12・・・シール用
Oリング、13・・・シール機構、17・・・駆動支持
軸。 特 許 出 願 人 株式会社神戸!!鋼所第1図 第5図 第6図 第7図 第3図 第4図
同内部チャンバの斜面図、第3図は第2実施例の縦断正
面図、第4図は第3図B−B断面図、第5図は従来の真
空成膜装置1例の縦断正面図、第6図は同シールドプレ
ート方式例の縦断正面図、第7図は同第6図A−A線矢
視図である。 1・・・外部チャンバ、2・・・内部チャンバ、3・・
・気密ドア、4・・・ドア用シールド板、5・・・冷却
水管、6・・・被膜物質の生成供給源、7・・・対象物
、8・・・載置部材、9・・・軸受シール機構、IO・
・・回転駆動源、11・・・車輪、12・・・シール用
Oリング、13・・・シール機構、17・・・駆動支持
軸。 特 許 出 願 人 株式会社神戸!!鋼所第1図 第5図 第6図 第7図 第3図 第4図
Claims (4)
- (1)一面が開閉可能な気密ドアとされかつ真空雰囲気
生成可能とされた箱形の外部チャンバと、該チャンバ内
に出入可能に内装される箱形で真空雰囲気生成可能とさ
れるとともに、前記気密ドアと対面する一面に開閉可能
なドア用シールド板を有し、かつ冷却手段を具備した内
部チャンバとを備え、内部チャンバ内に被膜付着用対象
物の載置部材を設け、載置部材の対象物に対する被膜物
質の生成供給源が備えられていることを特徴とするダブ
ルチャンバ真空成膜装置。 - (2)外部チャンバに真空吸気口が設けられるとともに
内部チャンバに同連通口が設けられる請求項1記載のダ
ブルチャンバ真空成膜装置。 - (3)冷却手段として、内部チャンバの箱形外周面を囲
繞して冷却水管が付設され、該水管の給排両端が外部チ
ャンバ外に出される請求項1、2記載のダブルチャンバ
真空成膜装置。 - (4)被膜付着対象物の載置部材が縦軸心回りで可回動
に設けられている請求項1、2、3記載のダブルチャン
バ真空成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3111088A JPH01208449A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | ダブルチャンバ真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3111088A JPH01208449A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | ダブルチャンバ真空成膜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01208449A true JPH01208449A (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=12322263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3111088A Pending JPH01208449A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | ダブルチャンバ真空成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01208449A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5404017A (en) * | 1992-07-06 | 1995-04-04 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Ion implantation apparatus |
US5730847A (en) * | 1993-03-15 | 1998-03-24 | Kabushiki Kaisha Kobeseikosho | Arc ion plating device and arc ion plating system |
US6815365B2 (en) * | 1995-03-16 | 2004-11-09 | Hitachi, Ltd. | Plasma etching apparatus and plasma etching method |
WO2007026479A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Shinmaywa Industries, Ltd. | 真空処理用チャンバ |
CN106282930A (zh) * | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 佳能特机株式会社 | 蒸镀装置 |
-
1988
- 1988-02-13 JP JP3111088A patent/JPH01208449A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5404017A (en) * | 1992-07-06 | 1995-04-04 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Ion implantation apparatus |
US5730847A (en) * | 1993-03-15 | 1998-03-24 | Kabushiki Kaisha Kobeseikosho | Arc ion plating device and arc ion plating system |
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US7208422B2 (en) | 1995-03-16 | 2007-04-24 | Hitachi, Ltd. | Plasma processing method |
US7565879B2 (en) | 1995-03-16 | 2009-07-28 | Hitachi, Ltd | Plasma processing apparatus |
WO2007026479A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Shinmaywa Industries, Ltd. | 真空処理用チャンバ |
CN106282930A (zh) * | 2015-06-26 | 2017-01-04 | 佳能特机株式会社 | 蒸镀装置 |
CN106282930B (zh) * | 2015-06-26 | 2020-05-01 | 佳能特机株式会社 | 蒸镀装置 |
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