JPH01143371A

JPH01143371A - 金属蒸気レーザ装置

Info

Publication number: JPH01143371A
Application number: JP29975487A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Nishio; 光弘西尾; Katsuyuki Kakizaki; 柿崎　克行
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1987-11-30
Filing date: 1987-11-30
Publication date: 1989-06-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は金属蒸気を放電で励起してレーザ光を得る金
属蒸気レーザ装置に関する。

（従来の技術）一般に、この種の金属蒸気レーザ装置は外套管内に挿通
された炉芯管内に金、銅などの活性媒質を入れ、これを
数ＴＯｒｒ〜数１０Ｔｏｒｒのバッファガスの中で放電
により加熱して金属蒸気を発生させ、この金属蒸気を放
電で励起し、レーザ光を得るようにしている。

ところで、従来の金属蒸気レーザ装置は第２図に示すよ
うに構成されている。つまり、図中１は外套管である。

この外套管１内には炉芯管２が挿通されている。上記外
套管１と炉芯管２との端部間には、この端部間の隙間を
閉塞する状態で一端にフランジ３が形成された端管４が
設けられている。また、上記外套管１と炉芯管２との間
の空間部５には上記炉芯管２を適正な温度に維持するた
めの断熱材６が充填されている。

また、上記外套管１の両端部にはそれぞれ態保持用金属
フランジ７がバッキング７ａを介して気密に取着されて
いる。これらフランジ７にはそれぞれ石英などからなる
窓材８が保持されている。

一方のフランジ７にはバッファガス供給部９が導管１１
によって接続され、他方のフランジ７にはガス排気装置
１２が導管１３によって接続されている。さらに、上記
一対の端管４内にはそれぞれ放電用電極１４が配設され
ている。上記において外套管１と炉芯管２と窓材８を取
着した７ランジおよびバッキング７ａとで２重構造の圧
力容器１５が形成されている。

そして、レーザ光を発振させる場合には、バッファガス
供給部９から炉芯管２内ヘバツフアガスを供給すると同
時に、排気装置１２によって放電管２内のガスを排気す
る。ついで、放電用電極１４にパルス電圧を印加し、バ
ッファガスにより放電を生じさせ、炉芯管２の内部をベ
ーキングする。そして、炉芯管２内の温度が上昇してそ
の内部に封入された活性媒質が所定の蒸気圧を示すと、
その蒸気が上記放電用電極１４で励起されてレーザ光が
出力されるようになっている。

ところで、このような金属蒸気レーザ装置において、上
記外套管１や炉芯管２は耐熱性を持たせるために、パイ
レックス管や石英管が用いられる。

しかしながら、大口径のパイレックス管や石英管は寸法
公差が大きい。そのため、上記空間部５の寸法もばらつ
きが大きくなるため、この空間部５に設けられる断熱材
６は固形状のものを用いることができず、通常セラミッ
クスファイバが用いられている。

また、炉芯管２の排気を行なう際、この炉芯管２に連通
する上記２空間部５の排気は上記端管４と外套管１およ
び炉芯管２との隙間から行われる。

その隙間は十分に大きくないから、上記空間部５の排気
を効率よく行なうことができないということが生じる。

しかも、べ〜キングの際には上記断熱材６からのアウト
ガスの排出を容易に行なえないということがある。

また、排気の際には、端管４と外套管１および炉芯管２
との隙間から断熱材６として用いられているセラミック
スファイバの細かいｍＮが炉芯管２内に流入し、放電発
振の妨げとなるということもある。

（発明が解決しようとする問題点）このように従来の金属蒸気レーザ装置は、外套管と炉芯
管との間の空間部の排気を迅速に行なうことができなか
ったり、排気の際に上記空間部に設けられた断熱材の一
部が炉芯管内に流入したり、さらにはベーキングの際に
断熱材から発生するアウトガスを迅速に排出することが
できないなどのことがあった。

この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、空間部の排気を容易に行なえるとと
もに、その際に上記空間部に充填された断熱材が炉芯管
内に流入することがないようにした金属蒸気レーザ装置
を提供することにある。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、外套管と、この外套管内に
挿通された炉芯管と、上記外套管の端部に連設して圧力
容器を形成する窓材と、上記外套管と炉芯管との端部間
にこの端部間の隙間を閉塞する状態で設けられた一端に
フランジを有する端管と、上記外套管の内周面と上記炉
芯管の外周面との間の空間部に充填された断熱材と、上
記空間部の上記端管の一端部と他端部との箇所に設けら
れた長ｆｌＡＮファイバと、上記端管の７ランジに穿設
され上記空間部の断熱材が充填された部分に上記長繊維
ファイバを介して連通する通気孔とを具備する。そして
、上記空間部の排気は上記通気孔によって容易に行なう
ことができるようにし、その際に上記長繊維ファイバに
よって空間部から細かい断熱材が流出するのを防止する
ようにしたものである。

（実施例）以下、この発明の一実施例を第１図を参照して説明する
。なお、第２図に示す部分と同一の部分には同一記号を
付して説明を省略する。すなわち、この発明は外套管１
と炉芯管２との端部間の隙間を閉塞する端管４の一端に
形成されたフランジ３に周方向に所定間隔で複数の通気
孔２１を穿設するとともに、上記フランジ３の内面側に
はアルミナファイバなどの長さが１０リミ以上の長繊維
ファイバ２２を層状に充填する。また、端管４の他端に
対向する上記炉芯管２の外周面には断面り字状の押え管
２３を外嵌する。そして、この押え管２３と上記炉芯管
２の外周面とがなす隙間に上述したと同様に長繊維ファ
イバ２２を充填するとともに、その隙間に上記端管４の
端部を挿入する。

このように構成された金属蒸気レーザ装置によれば、炉
芯管２内にバッファガスを充填すると同時に排気を行な
うと、その炉芯管２に連通する炉芯管２と外套管１との
間の空間部５の排気は端管４のフランジ３に形成された
通気孔２１から行われることになる。この通気孔２１は
十分な通気性を有する大きさとすることができるから、
断熱材６が充填された上記空間部５の排気を迅速かつ容
易に行なうことができる。

また、上記端管４のフランジ３の内面側には長繊維ファ
イバ２２が設けられ、これによって上記通気孔２１が通
気性を有する状態で閉塞されている。そのため、排気の
際に空間部５の断熱材６に吸引力が作用しても、この断
熱材６の細かな繊維が上記通気孔２１から炉芯管２内へ
流れるのが阻止されるから、炉芯管２内に繊維が飛散し
て放電発振が不安定になるということがない。また、上
記端管４の他端部にも長繊維ファイバ２２が設けられて
いるから、この端管４の端部と炉芯管２との接合部分か
ら断熱材６が流出するのも阻止される。

さらに、ベーキングの際には、上記空間部５の断熱材６
から発生するアウトガスを上記通気孔２１から容易に排
気することもできる。

［発明の効果コ以上述べたようにこの発明は、外套管と炉芯管との端部
間の隙間を閉塞する状態で一端にフランジを有する端管
を設け、この端管の両端部に長繊維ファイバを設けると
ともに、上記フランジに通気孔を穿設した。したがって
、排気の際に外套管と炉芯管との間の空間部に設けられ
た断熱材の細かい繊維が炉芯管内へ流れるのを上記長１
！ｉ雑ファイバによって防止することができ、またフラ
ンジに穿設された通気孔によって炉芯管に連通ずる上記
断熱材が設けられた空間部の排気を容易かつ迅速に行な
うことができ、しかも上記長繊維ファイバによって上記
通気孔から断熱材が流出するのを防止することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す外套管と炉芯管との
一端部分の断面図、第２図は従来の金属蒸気レーザ装置
の概略的構成の断面図である。１・・・外套管、２・・・炉芯管、３・・・フランジ、
４・・・端管、５・・・空間部、６・・・断熱材、１５
・・・圧力容器、２１・・・通気孔、２２・・・長繊維
ファイバ。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦

Claims

【特許請求の範囲】

外套管と、この外套管内に挿通された炉芯管と、上記外
套管の端部に連設して圧力容器を形成する窓材と、上記
外套管と炉芯管との端部間にこの端部間の隙間を閉塞す
る状態で設けられた一端にフランジを有する端管と、上
記外套管の内周面と上記炉芯管の外周面との間の空間部
に充填された断熱材と、上記空間部の上記端管の一端部
と他端部との箇所に設けられた長繊維フアイバと、上記
端管のフランジに穿設され上記空間部の断熱材が充填さ
れた部分に上記長繊維フアイバを介して連通する通気孔
とを具備したことを特徴とする金属蒸気レーザ装置。