JPH01130103A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH01130103A JPH01130103A JP62288746A JP28874687A JPH01130103A JP H01130103 A JPH01130103 A JP H01130103A JP 62288746 A JP62288746 A JP 62288746A JP 28874687 A JP28874687 A JP 28874687A JP H01130103 A JPH01130103 A JP H01130103A
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- Pending
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 29
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 4
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 4
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 4
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 4
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 235000010777 Arachis hypogaea Nutrition 0.000 description 1
- 244000105624 Arachis hypogaea Species 0.000 description 1
- 201000004569 Blindness Diseases 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 210000000349 chromosome Anatomy 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M thionine Chemical compound [Cl-].C1=CC(N)=CC2=[S+]C3=CC(N)=CC=C3N=C21 ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、固体撮像素子用のカラーフィルターのｗＪ
造方法に関する。
造方法に関する。
従来、固体撮像素子用のカラーフィルターの製造は、生
産効率を高めるために一枚の基板上に多数のカラーフィ
ルターを形成し、その後にダイシングソー等を用いて切
断することにより個々のフィルターの分割を行なってい
る。通常、カラーフィルターは製品保護のためにその表
面にオーバーコートを施しているが、ざらに、切断時の
（盲やゴミの付着を防ぐために樹脂を基板全面に塗布し
て保護層を設け、切断後に保護層のみを除去する方法を
とっている。
産効率を高めるために一枚の基板上に多数のカラーフィ
ルターを形成し、その後にダイシングソー等を用いて切
断することにより個々のフィルターの分割を行なってい
る。通常、カラーフィルターは製品保護のためにその表
面にオーバーコートを施しているが、ざらに、切断時の
（盲やゴミの付着を防ぐために樹脂を基板全面に塗布し
て保護層を設け、切断後に保護層のみを除去する方法を
とっている。
多数のフィルターを形成した基板を個々のフィルターに
分割する際には、前述のように、スクライブラインにお
いてダイシングソーを用いて切断するのであるが、保ｒ
！ｉ層を全面に塗布した場合にはスクライブライン上に
も保護層が存在し、ダイシングソーは基板と共に・保護
層も切断しなければならない。このためダイシングソー
のブレードにかかる負担は大きく、ブレードの寿命を縮
める原因となる。
分割する際には、前述のように、スクライブラインにお
いてダイシングソーを用いて切断するのであるが、保ｒ
！ｉ層を全面に塗布した場合にはスクライブライン上に
も保護層が存在し、ダイシングソーは基板と共に・保護
層も切断しなければならない。このためダイシングソー
のブレードにかかる負担は大きく、ブレードの寿命を縮
める原因となる。
また、カラーフィルター上に形成された。グーバーコー
ドと保護層との接着力がオーバーコートと基板との接着
力よりも強いために、ダイシングソーによる切断時に保
護層にかかる力によって、保護層と共にオーバーコート
が基板から剥離するという問題が生じる。基板からオー
バーコートが剥離することにより、そこから剥離したオ
ーバーコート自身や切断時の切粉、あるいは後の工程に
おける他の異物が原因となってフィルターに傷がつく。
ドと保護層との接着力がオーバーコートと基板との接着
力よりも強いために、ダイシングソーによる切断時に保
護層にかかる力によって、保護層と共にオーバーコート
が基板から剥離するという問題が生じる。基板からオー
バーコートが剥離することにより、そこから剥離したオ
ーバーコート自身や切断時の切粉、あるいは後の工程に
おける他の異物が原因となってフィルターに傷がつく。
。
この発明は、上記事情に鑑み、基板切断時に伴うオーバ
ーコートの剥離を防ぎ、ダイシングソーのブレードにか
かる負担を軽減する固体撮像素子用のカラーフィルター
の製造方法を提供する。
ーコートの剥離を防ぎ、ダイシングソーのブレードにか
かる負担を軽減する固体撮像素子用のカラーフィルター
の製造方法を提供する。
この発明のカラーフィルターの製造方法では、基板断裁
時の保護層の材料としてフォトリソグラフィ等によって
パターン形成が容易なものを用い、スクライブライン上
の保護層を除いた状態でダイシングソーにより各カラー
フィルター毎に切断することを特徴とする。例えば、保
護層の材料にＡ ２１３５０等の感光性樹脂を用いて基
板全面に塗布し、フォトリソグラフィによってスクライ
ブラインおよびその近傍の樹脂を除去するという方法を
とることができる。
時の保護層の材料としてフォトリソグラフィ等によって
パターン形成が容易なものを用い、スクライブライン上
の保護層を除いた状態でダイシングソーにより各カラー
フィルター毎に切断することを特徴とする。例えば、保
護層の材料にＡ ２１３５０等の感光性樹脂を用いて基
板全面に塗布し、フォトリソグラフィによってスクライ
ブラインおよびその近傍の樹脂を除去するという方法を
とることができる。
保［を除去された部分は、スクライブライン上のオーバ
ーコートを底とする溝となるが、場合によっては、この
底部のオーバーコート層をも除去してもよい。
ーコートを底とする溝となるが、場合によっては、この
底部のオーバーコート層をも除去してもよい。
なお、必要があれば、スクライブライン上のみならずそ
の近傍の保護層を除去するようにしてもよい。
の近傍の保護層を除去するようにしてもよい。
上述の方法によって、゛スクライブライン上およびその
近傍で保ｒａ層が除去された基板においては、ダイシン
グソーは基板とオーバーコートのみを切断することにな
る。基板とオーバーコートとの接着力は一般に良好なの
で、ダイシングソーの力によって基板とオーバーコート
が剥離する恐れはなく、また、切断面の厚みが小さいた
めにダイシングソーのブレードにかかる・負担も減少す
る。
近傍で保ｒａ層が除去された基板においては、ダイシン
グソーは基板とオーバーコートのみを切断することにな
る。基板とオーバーコートとの接着力は一般に良好なの
で、ダイシングソーの力によって基板とオーバーコート
が剥離する恐れはなく、また、切断面の厚みが小さいた
めにダイシングソーのブレードにかかる・負担も減少す
る。
以下、この発明に係わる一実施例について図を用いて詳
細に説明する。 ・ まず第１図に示すように、ガラス基板１上に被染色体と
しての感光性ゼラチンを塗布し、フォトリソグラフィを
用いて所望のパターンを形成した後、染料として奉カヤ
ノールミーリングレッドＲ３（日本化薬（株）製）を用
いてゼラチン層の染色を行ない、さらに、同様のゼラチ
ン層のパターン化とスミノールミーリングブリリアント
グリーン５Ｇ（住友化学（株）製）およびカヤノール・
サイアニンＧ（日本化薬（株）製）を用いた染色を繰返
し、レッド、グリーンおよびブルーの着色パターンを有
するカラーフィルター２を形成した。カラーフィルター
２を形成した後、ＦＶＲ（富士薬品（株）製）を基板全
面に塗布し、オーバーコート３を形成した。
細に説明する。 ・ まず第１図に示すように、ガラス基板１上に被染色体と
しての感光性ゼラチンを塗布し、フォトリソグラフィを
用いて所望のパターンを形成した後、染料として奉カヤ
ノールミーリングレッドＲ３（日本化薬（株）製）を用
いてゼラチン層の染色を行ない、さらに、同様のゼラチ
ン層のパターン化とスミノールミーリングブリリアント
グリーン５Ｇ（住友化学（株）製）およびカヤノール・
サイアニンＧ（日本化薬（株）製）を用いた染色を繰返
し、レッド、グリーンおよびブルーの着色パターンを有
するカラーフィルター２を形成した。カラーフィルター
２を形成した後、ＦＶＲ（富士薬品（株）製）を基板全
面に塗布し、オーバーコート３を形成した。
次に第２図に示すように、感光性樹脂であるＡＺ−１３
５０（米国シラブレー社製）を基板全面に塗布して切断
時の保護層４を形成し、さらに、フォトマスクを用いた
フォトリソグラフィを行ない、現像して未硬化の樹脂を
除去することにより、第３図に示すようなスクライブラ
インを中心とした幅１５０ｇＩＬの満５を形成した。
５０（米国シラブレー社製）を基板全面に塗布して切断
時の保護層４を形成し、さらに、フォトマスクを用いた
フォトリソグラフィを行ない、現像して未硬化の樹脂を
除去することにより、第３図に示すようなスクライブラ
インを中心とした幅１５０ｇＩＬの満５を形成した。
個々のカラーフィルターへの分割は、このｉｇ５の部分
をダイシングソーを用いて切断することにより行ない、
切断後に保護層４を除去した。
をダイシングソーを用いて切断することにより行ない、
切断後に保護層４を除去した。
この発明の方法によって、基板からのオーバーコートの
剥離は見られなくなり、また、ダイシングソーのブレー
ドの寿命が２ないし５倍に延びた。
剥離は見られなくなり、また、ダイシングソーのブレー
ドの寿命が２ないし５倍に延びた。
〔発明の効果〕 ・
以上述べたように、この発明の製造方法によると、カラ
ーフィルターを複数形成した塞板を個々のカラーフィル
ターに分割する際に起こるオーバーコートの剥離を防ぎ
、ダイシングソーのブレードにかかる負担を軽減してブ
レードの寿命を延ば４、図面の説明 第１図は、この発明のカラーフィルターの製造方法にお
いて、ガラス基板上にカラーフィルターを形成した状態
を示す断面図であり、第２図は保護層を第１図に示す基
板全面に形成した状態を示す断面図であり、第３図はフ
ォトリングラフィによって第２図に示す保護層の一部を
除去した状態を示す断面図である。
ーフィルターを複数形成した塞板を個々のカラーフィル
ターに分割する際に起こるオーバーコートの剥離を防ぎ
、ダイシングソーのブレードにかかる負担を軽減してブ
レードの寿命を延ば４、図面の説明 第１図は、この発明のカラーフィルターの製造方法にお
いて、ガラス基板上にカラーフィルターを形成した状態
を示す断面図であり、第２図は保護層を第１図に示す基
板全面に形成した状態を示す断面図であり、第３図はフ
ォトリングラフィによって第２図に示す保護層の一部を
除去した状態を示す断面図である。
１・・・ガラス基板、２・・・カラーフィルター、３・
・・オーバーコート、４・・・保護層、５・・・溝。
・・オーバーコート、４・・・保護層、５・・・溝。
出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
第１図
第２図
第３図
Claims (2)
- （１）基板上に多面付でカラーフィルターを形成したの
ち、断裁用保護層を該カラーフィルター上に形成してダ
イシングソーにて切断する工程において、上記保護層を
形成したのちスクライブライン上の保護層を除去し、そ
の後ダイシンソーを用いてスクライブラインに沿つて切
断して各々のカラーフィルターに分割することを特徴と
する固体撮像素子用カラーフィルターの製造方法。 - （２）断裁用保護層の材料に感光性樹脂を用い、フォト
リソグラフィによつてスクライブライン上の保護層を除
去することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288746A JPH01130103A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288746A JPH01130103A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130103A true JPH01130103A (ja) | 1989-05-23 |
Family
ID=17734162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62288746A Pending JPH01130103A (ja) | 1987-11-16 | 1987-11-16 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130103A (ja) |
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| WO2010108835A1 (en) | 2009-03-23 | 2010-09-30 | Basf Se | Photoresist composition |
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-
1987
- 1987-11-16 JP JP62288746A patent/JPH01130103A/ja active Pending
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