JPH01124759A - イオンセンサまたは膜の評価装置 - Google Patents
イオンセンサまたは膜の評価装置Info
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- JPH01124759A JPH01124759A JP62283417A JP28341787A JPH01124759A JP H01124759 A JPH01124759 A JP H01124759A JP 62283417 A JP62283417 A JP 62283417A JP 28341787 A JP28341787 A JP 28341787A JP H01124759 A JPH01124759 A JP H01124759A
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- Japan
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- ion
- ion sensor
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- membrane
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Landscapes
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
- Air Humidification (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はイオンセンサまたは膜の評価装置に関するもの
である。
である。
イオンセンサの特性評価、あるいはこのイオン感応部に
膜（３機膜、有機膜、酵素膜等いわゆる機能性膜）を形
成し、このイオンセンサを用いて膜の特性評価を行う場
合、従来、イオンセンサをチップごとに切断し、これに
リード線等をつけ、測定可能な形に成形した後、１つず
つイオンセンサあるいは膜の特性評価を行ったり、ウェ
ハ上のイオン感応部のみに水滴を落とし、プローバを用
いて特性評価を行っていた。
膜（３機膜、有機膜、酵素膜等いわゆる機能性膜）を形
成し、このイオンセンサを用いて膜の特性評価を行う場
合、従来、イオンセンサをチップごとに切断し、これに
リード線等をつけ、測定可能な形に成形した後、１つず
つイオンセンサあるいは膜の特性評価を行ったり、ウェ
ハ上のイオン感応部のみに水滴を落とし、プローバを用
いて特性評価を行っていた。
以上述べた方法では、イオンセンサあるいは膜の特性評
価に多大な時間を要し、切断してしまったイオンセンサ
を再利用できなかった。即ち、特性評価後の膜をイオン
感応部から剥離し、別の種類あるいは組成の膜を形成し
、この評価を行うことができなかった。
価に多大な時間を要し、切断してしまったイオンセンサ
を再利用できなかった。即ち、特性評価後の膜をイオン
感応部から剥離し、別の種類あるいは組成の膜を形成し
、この評価を行うことができなかった。
本発明の目的はこのような従来の欠点を克服し、迅速に
かつ再利用可能なイオンセンサ評価用ウェハを用いる新
規なイオンセンサまたは膜の評価装置を提供することに
ある。
かつ再利用可能なイオンセンサ評価用ウェハを用いる新
規なイオンセンサまたは膜の評価装置を提供することに
ある。
本発明のイオンセンサまたは膜の評価装置は、少なくと
も１つのイオンセンサとして作動する素子を備え、該素
子のイオン感応部に膜を形成したイオンセンサ評価用ウ
ェハの素子部を囲み、その空間内に、流体を通過させる
流路を形成させるイオンセンサまたは膜評価用治具と、
該流路に流体を流すポンプと、素子を動作させるアンプ
および電極と、データを記録、処理および保存するコン
ピュータとを有することを特徴とするものである。
も１つのイオンセンサとして作動する素子を備え、該素
子のイオン感応部に膜を形成したイオンセンサ評価用ウ
ェハの素子部を囲み、その空間内に、流体を通過させる
流路を形成させるイオンセンサまたは膜評価用治具と、
該流路に流体を流すポンプと、素子を動作させるアンプ
および電極と、データを記録、処理および保存するコン
ピュータとを有することを特徴とするものである。
本発明においては、素子の外部との電気的接続部がウェ
ハの一端に位置することにより、この−端のみを液体か
ら出した状態で素子の特性評価を行うことができる。即
ち、素子を切断することなく、ウェハ状態での評価が可
能になる。従って、膜の形成、剥離の繰返しによって１
つのウェハで何回もの膜の評価が可能になる。また、素
子部に流路を形成させるイオンセンサまたは膜評価用治
具と、ポンプ、容器、アンプおよび電極によりフロ一方
式による連続測定ができる。さらに、コン理および保存
が可能になる。
ハの一端に位置することにより、この−端のみを液体か
ら出した状態で素子の特性評価を行うことができる。即
ち、素子を切断することなく、ウェハ状態での評価が可
能になる。従って、膜の形成、剥離の繰返しによって１
つのウェハで何回もの膜の評価が可能になる。また、素
子部に流路を形成させるイオンセンサまたは膜評価用治
具と、ポンプ、容器、アンプおよび電極によりフロ一方
式による連続測定ができる。さらに、コン理および保存
が可能になる。
次に図を参照して本発明の実施例について説明する。
第２図はイオンセンサまたは膜評価用ウェハの一実施例
を示す平面図である。図において、サファイア基板２１
上に島状に形成されたシリコンによって１４個のイオン
感受性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦ［ＥＴ） ２２
が形成されている。このｌ５ＦＥＴ ２２のイオン感応
部には酵素膜２５が形成され、ウェハの一端にＩＳＩ”
［ＥＴ ２２のソース２３、ドレイン２４の電極が集め
られている。従って、このソース２３．ドレイン２４の
電極部だけを液体から出しておきさえすれば、ｌ５ＦＥ
７２２によって酵素膜２５の特性評価が可能になり、切
断する必要がない。さらに、−度測定した酵素膜２５を
硝酸中煮沸、剥離し、再度酵素膜を形成し、その評価を
行うことが容易に可能である。
を示す平面図である。図において、サファイア基板２１
上に島状に形成されたシリコンによって１４個のイオン
感受性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦ［ＥＴ） ２２
が形成されている。このｌ５ＦＥＴ ２２のイオン感応
部には酵素膜２５が形成され、ウェハの一端にＩＳＩ”
［ＥＴ ２２のソース２３、ドレイン２４の電極が集め
られている。従って、このソース２３．ドレイン２４の
電極部だけを液体から出しておきさえすれば、ｌ５ＦＥ
７２２によって酵素膜２５の特性評価が可能になり、切
断する必要がない。さらに、−度測定した酵素膜２５を
硝酸中煮沸、剥離し、再度酵素膜を形成し、その評価を
行うことが容易に可能である。
第３図（ａ）、 （ｂ）はイオンセンサまたは膜評価用
治具の一実施例を示す図である。第３図（ａ）において
、アルミ板３１上にイオンセンサまたは膜評価用ウェハ
３２を置き、このウェハ３２上のｌ５ＦＥ７２２のイオ
ン感応部のみに流体を通過させる一つの溝３３を形成し
たシリコーンバッキング３４をアクリルのブローセル３
５で挟み込む。フローセル３５はシリコーンバッキング
３４の溝３３へ流体を送り込む流入孔３６と送り出す流
出孔３７とを有する。被測定液はポンプ４６によって流
入孔：３６からシリコーンバッキング３４の溝３３へ送
り込まれて、イオンセンサまたは膜評価用ウェハ３２上
のｌ５ＦＥＴ ２２によって測定される。測定廃液は流
出孔３７から送り出される。ｌ５ＦＥＴ ２２の測定は
、第３図（ｂ）に示すように膜評価用ウェハ３２上の一
端に集められたソース・ドレイン電極にプローブカード
３８の針状突起を接触させて行う。
治具の一実施例を示す図である。第３図（ａ）において
、アルミ板３１上にイオンセンサまたは膜評価用ウェハ
３２を置き、このウェハ３２上のｌ５ＦＥ７２２のイオ
ン感応部のみに流体を通過させる一つの溝３３を形成し
たシリコーンバッキング３４をアクリルのブローセル３
５で挟み込む。フローセル３５はシリコーンバッキング
３４の溝３３へ流体を送り込む流入孔３６と送り出す流
出孔３７とを有する。被測定液はポンプ４６によって流
入孔：３６からシリコーンバッキング３４の溝３３へ送
り込まれて、イオンセンサまたは膜評価用ウェハ３２上
のｌ５ＦＥＴ ２２によって測定される。測定廃液は流
出孔３７から送り出される。ｌ５ＦＥＴ ２２の測定は
、第３図（ｂ）に示すように膜評価用ウェハ３２上の一
端に集められたソース・ドレイン電極にプローブカード
３８の針状突起を接触させて行う。
第１図にコンピュータを用いた本発明の測定システムの
概略図を示す。
概略図を示す。
図において、イオンセンサまたは膜評価用治具３０のプ
ローブカード３８より取り出されるフロータイブ参照電
極４１に対するｌ５ＦＥＴ出力信号はｌ５ＦＥＴアンプ
４２を介し、マルチプレキサ−４３、デジタルボルトメ
ータ４４を経てコンζ°ユータシステム４５によって記
録、処理および保存される。
ローブカード３８より取り出されるフロータイブ参照電
極４１に対するｌ５ＦＥＴ出力信号はｌ５ＦＥＴアンプ
４２を介し、マルチプレキサ−４３、デジタルボルトメ
ータ４４を経てコンζ°ユータシステム４５によって記
録、処理および保存される。
評価用治具３０のフローセル３５への被測定液の流入は
べりスタポンプ４６を用いて行い、電磁弁４７によって
被測定液を交換する。たとえばｌ５ＦＥＴイオン感応部
に酵ｉ１４膜としてグルコースオキシダーゼ膜を形成し
た場合には、 ｐＨ７，ｏ ＨＥＰＥＳ緩衝液４８から
ｌＯＯ■ｌｄグルコース溶液４９へと測定液を交換し、
グルコースに対するｌ５ＦＥＴの出力変化からグルコー
スオキシダーゼ膜を評価する。
べりスタポンプ４６を用いて行い、電磁弁４７によって
被測定液を交換する。たとえばｌ５ＦＥＴイオン感応部
に酵ｉ１４膜としてグルコースオキシダーゼ膜を形成し
た場合には、 ｐＨ７，ｏ ＨＥＰＥＳ緩衝液４８から
ｌＯＯ■ｌｄグルコース溶液４９へと測定液を交換し、
グルコースに対するｌ５ＦＥＴの出力変化からグルコー
スオキシダーゼ膜を評価する。
〔発明の効果〕
以上のように本発明のイオンセンサまたは膜評価用ウェ
ハとその治具を用いることにより、イオンセンサをチッ
プに切断することなく、ウェハ状態でフロ一方式により
膜の連続評価を行うことができる。また膜の形成・剥離
を繰り返すことによって何回もの膜評価が可能になる。
ハとその治具を用いることにより、イオンセンサをチッ
プに切断することなく、ウェハ状態でフロ一方式により
膜の連続評価を行うことができる。また膜の形成・剥離
を繰り返すことによって何回もの膜評価が可能になる。
さらにコンピュータを用いることによりデータの記録、
処理および保存が容易に行うことができる。
処理および保存が容易に行うことができる。
第１図は本発明の一実施例を示すイオンセンサ／膜評価
測定システムの概略図、第２図はその評価用ウェハの平
面図、第３図（ａ）は測定用治具の概略図、（ｂ）は（
ａ）のＢ部拡大図である。
測定システムの概略図、第２図はその評価用ウェハの平
面図、第３図（ａ）は測定用治具の概略図、（ｂ）は（
ａ）のＢ部拡大図である。
Claims (1)
- （１）少なくとも１つのイオンセンサとして作動する素
子を備え、該素子のイオン感応部に膜を形成したイオン
センサ評価用ウェハの素子部を囲み、その空間内に、流
体を通過させる流路を形成させるイオンセンサまたは膜
評価用治具と、該流路に流体を流すポンプと、素子を動
作させるアンプおよび電極と、データを記録、処理およ
び保存するコンピュータとを有することを特徴とするイ
オンセンサまたは膜の評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62283417A JPH01124759A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | イオンセンサまたは膜の評価装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62283417A JPH01124759A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | イオンセンサまたは膜の評価装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124759A true JPH01124759A (ja) | 1989-05-17 |
| JPH0543990B2 JPH0543990B2 (ja) | 1993-07-05 |
Family
ID=17665260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62283417A Granted JPH01124759A (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | イオンセンサまたは膜の評価装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01124759A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111912049A (zh) * | 2015-10-30 | 2020-11-10 | Lg电子株式会社 | 加湿净化装置 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62283417A patent/JPH01124759A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111912049A (zh) * | 2015-10-30 | 2020-11-10 | Lg电子株式会社 | 加湿净化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0543990B2 (ja) | 1993-07-05 |
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