JPH01118701A

JPH01118701A - 座標計測装置

Info

Publication number: JPH01118701A
Application number: JP62128502A
Authority: JP
Inventors: Mauro Zona; マウロ　ゾナ
Original assignee: DEA Digital Electronic Automation SpA
Current assignee: DEA Digital Electronic Automation SpA
Priority date: 1986-05-27
Filing date: 1987-05-27
Publication date: 1989-05-11
Also published as: IT8667436A0; GB2191000A; SE8702206D0; FR2599489A1; US4833789A; GB2191000B; GB8712213D0; FR2599489B1; SE8702206L; DE3717541A1; IT1190574B

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、測定されるべき被加工物もしくは機械的組立
体を支持する基台と、該被加工物の表面に接触するよう
に送られるようにされた感知器を支持するとともに１組
の３元直交軸の３方向に沿って基台に関して移動自在の
棒材とを備える座標計測装置に関する。

従来の技術棒材を支持し、かつ上記定義の３方向へ変位自在とすべ
く、略２種類のタイプの支持ＭＡ造が用いられている。

第１の構造において、棒材は第２の支持体上で第１の垂
直方向に軸方向移動自在の第１の支持体に固定され、ま
た、第２の支持体は、装置の基台により支持された略Ｕ
字状の閂の一部を形成するビーム上で第１の方向に直交
する第２の方向へ移動自在である。そして、この門は、
基台に設けた好適なガイド上で第１．第２の方向に直交
する第３の水平方向に移動自在である。

別の構造において、棒材はアーム上で第１の水平方向に
移動自在の支持体に固定され、また、アームは水平で、
かつ、基台により支持された柱状体上で第１の方向と直
交する第２の垂直方向に移動自在である。そして、柱状
体は、基台のガイド上で第１．第２の方向と直交する第
３の水平方向へ移動自在である。

以上略述したタイプの装置には種々の欠点がある。

第１に、非常に高い計測精度が得られず、また装置の全
ての作動態様において測定精度が一定しない。この欠点
は静的変形によるもので、当該変形は、感知器が固定さ
れる棒材を支持する支持体等の幾つかの可動部品の重石
に起因し、かつ幾つかの構成部品に作用する比較的大き
い負荷により当該構成部品内に生ずる。これら可動部品
の重石による合力の作用線は、通常、門もしくは柱状体
等の装置の主たる支持要素の中立面に関して偏心してお
り、従って、これら支持要素には力だけではなくモーメ
ントが作用するヵ結果として、幾つかの構成部品には屈
曲およびねじれが生じて変形し、この変形により装置の
測定精度に相当な制限が生まれる。

さらに、構成部品の変形によるその他の開側精度低下の
要因には、装置の支持体もしくはアームの移動中に生じ
る慣性力がある。斯かる慣性力は、これら部材の質量が
大きいと特に大きくなる。

従って、装置の可動部品の質量が相当大きい場合には、
これら部品の変位中の加速度を小さくして装置の支持構
造に大きな慣性力が伝わらないようにする。この結果、
感知器を−・作動位置から別の作動位置に送るのに要す
る変位時間が相当良くなる。

最後に、上述の装置の支持構造によれば、装置に異なる
作動条件をとらせるために配列形状を任意に変えること
ができない。実際、装置の基台の支持面の上方に配され
、かつ比較的寸法の小さい所定の容積内でのみ感知器を
移動可能である。従って、各装置によれば、装置の基台
上に配置された被加工物もしくは機械的組立体の表面に
接触するように送られる間だけ現場測定が可能であるに
過ぎない。これらの装置は、この機能以外での使用、も
しくは、工程ラインでの機械装置の試験。

基台支持面とは異なる支持面上に配された機械装置の試
験または非常に寸法が大きい機械装置についての試験に
は適合不能である。

発明が解決しようとする問題点本発明の目的は、上述の欠点を解消可能なタイプの座標
計測装置を提供することにあり、従って、任意の作動位
置に配された感知器による非常に高精度での計測が可能
で、装置の基台上に配された機械的組立体についての測
定、または、作業ラインに沿って移動し、あるいは、装
置自体が載置された支持面と同一の支持面上に配された
機械的組立体についての測定を行える座標計測装置を提
供することにある。

問題点を解決するための手段上記目的を解決するため、本発明の座標測定装置は、測
定されるべき被加工物もしくは機械的組立体を支持する
ための基台と、前記被加工物の表面に接触するように送
られる感知器を支持するように作動し、かつ、前記基台
に関して１組の３元直交軸の３方向に移動自在の棒材と
、筒状に形成され、その内部で柱状体が前記３方向のう
ちの第１の方向に軸方向移動自在である支持要素と、前
記３方向のうちの第２の方向に前記基台に関して移動自
在の第１の支持体と、該第１の支持体に前記支持要素を
回動自在に”ｔＡ５ｍするためのもので、前記第２の方
向と平行な第１の軸に関する実質上９０’に亘る前記支
持要素の回転を許容するように作動する枢支手段と、一
端が前記柱状体の一端に固定されかつ軸が前記３方向の
うらの第３の方向に配されたアームと、前記アーム上で
前記第３の方向に移動自在の第２の支持体と、前記第２
の支持体に設けられた前記棒材用の装着手段と、前記柱
状体および前記第１．第２の支持体の第１゜第２および
第３の方向へのそれぞれの変位を制御すると共に、前記
第１の軸に関する前記支持要素の回転を制御するように
作動する作動手段とを備え、前記第１の軸の回りでの前
記支持要素の９０゛に亘る回転により、前記柱状体の軸
が垂直でかつ前記アームの軸が水平である第１の配列形
状から前記柱状体の軸が水平でかつ前記アームが垂直で
ある第２の配列形状へ移動自在である。

作　　用座標計測装置が第１の配列形状をとるとき、３元直交軸
の３方向へ感知器が変位可能で、基台上方で被加工物等
の測定が行われる。次に、支持要素を実質上９０°に亘
り回転させて計測装置に第２の配列形状をとらしめる。

この配列形状においても感知器の３方向への変位が担保
され、基台の横方向で測定が行われる。

実施例以下、添付図面を参照して、本発明の計測装置の実施例
を説明する。

本発明の装置は基台１を備え、計測されるべき被加工物
また機械的組立体（図示省略）を該基台１の上面２に支
持可能になっている。また、本装置は、感知器４を支持
可能な棒材３を備え、該感知器４は被加工物の表面と接
触自在に支持されている。そして、棒材３は基台１に関
し１組の３元直交軸の３方向に沿って移動自在にされる
と共に鎖＃ｊ！５により画成される略平行筒体の容積内
で変位自在にされている。

そして、本装置は筒状の支持要素６を備え、該支持要素
６内には柱状体７が第１の高さ方向に軸方向移動自在に
配されている。第１の支持体８は基台１に関し第１の方
向と直交する第２の方向に移動自在にされ、また、支持
要素６は枢支手段９により第１の支持体８に枢支され、
該枢支手段９は支持要素６をして上述のように定義され
る第２の方向に平行な軸に関して略９０°に亘り回転自
在とされ、該支持要素６をして第１図に示す第１の配列
形状から第３図に示す第２の配列形状をとらしめる。

さらに、本装置は、アーム１２を備え、該アーム１２の
軸は先の２つの方向に対して直交する第３の方向に配さ
れ、アーム１２の一端は柱状体７の上端に固着されてい
る。そしで、必須ではないが、好ましくは、該一端と上
端間には別の枢支手段１３が配され、先に定義した第１
の方向と平行でかつ柱状体７の垂直軸に略合致する軸に
関しアーム１２を回転０■能にしている。

また、本装置は、アーム１２上を上記定義の第３の方向
に移動自在の第２の支持体１４を含み、該支持体１４に
は棒材３の長手方向軸を先に定義の第１の方向と平行に
維持するように作動する棒材３用の固定手段１５が設け
られている。

さらに、図示しない作動手段が設けられ、該作動手段は
、柱状体７．第１の支持体８および第２の支持体１４の
第１．第２および第３の方向へのそれぞれの変位を制御
し、また、枢支手段９の軸に関する支持要素６の回転を
制御するように作動する。そして、柱状体７の軸に関す
るアーム１２の回転を許容するように作動する枢支手段
１３が設けられる場合、本装置は斯かる回転を制御する
ための作動手段をも含む。

第２図に明示のように、アーム１２は第２図にＰで示す
垂直面に関して対称で、柱状体７は略円筒状をなし、柱
状体７の軸は面Ｐ内にある。同様に、第２の支持体１４
は、第２図に示すように面Ｐに関して対称をなす。この
対称性を担持すべく、アーム１２の断面は略Ｔ字状にさ
れ、一対の水平フィン１６とこれらに直交する中央コア
１７とを有している。そして、第２の支持体１４は、第
２図に示すように、略Ｃ字状断面で、フィン１６により
ガイドされてアーム１２に関して長手方向に変位する。

また、第２の支持体１４はアーム１２の下方に配された
第１の装着板１８を備え、該装着板１８には棒材３の固
定手段１５が結合されている。第２の装着板１９がアー
ム１２の上方に配され、この装着板１９にも棒材３用の
固定手段１５が設けられ、好ましくは、両側壁２０に結
合されている。両該側壁２０は装着板１９と共に、第２
の支持体１４に結合された門状要素を形成している。イ
して、第１の支持体８は、基台１に固定されたガイド板
２３上で先に定義した第２の方向に移動自在で、かつ、
第１図および第３図に示すように略Ｃ字状断面を有して
いる。好ましくは、この支持体８を極めて正確にガイド
しかつ該支持体８とガイド板２３とを極めて小さい摩擦
を伴って相対移動させるために、空気支持式シューの第
１の対２４および第２の対２５が、夫々２組、平行面と
対向面とにそれぞれ配されると共に、空気支持式シュー
の第３の対２６および対２７が第１および第２の面に直
交する第３および第４の面にそれぞれ配されている。そ
して、先に定義した第２の方向に変位する間、ガイド板
２３に関して支持体８を空気作用で支持するために、上
記シューはガイド板２３の対応する面に対向して配され
ている。

同様に、第２の支持体１４をガイドするために、好まし
くは、空気支持式シューの第１の対２８および第２の対
２９が少なくとも２組設けられ、これらシューは支持体
１４の対応する平行面上に配され、また、空気支持式シ
ューの第３の対３０および第４の対３１が上記のものに
対して直交する面上に配されている。そして、これらの
シューは、アーム１２のフィン１６の対応する面に対向
して配され、第２のものに関して第１のものが先に定義
した第３の方向に沿って変位中に、第２の支持体１４を
アーム１２に関して９気作用で支持する。

支持要素６に対する柱状体７の変位中に該柱状体７をガ
イドすべく、２組の空気支持式シュー３２．３３が設け
られ、これらシューは柱状体７の対応する面と協働して
柱状体７を支持要素６に関して空気作用で支持する。好
ましくは、柱状体７の軸方向における２組のシュー３２
．３３間距離は、アーム１２の自由長の３分の１より大
きい。

本発明の実施例によれば、第２の支持体１４゜第２の板
１９．支持体１４に１２ｉ１着された両側壁２０および
アーム１２は、柱状体７．支持要素６および第１の支持
体８の比重よりも比重が小さい材料で構成されている。

好ましくは、これら部品の構成にあたり、比重が充分に
小さい材料、好ましくはカーボンファイバが選択され、
アーム１２゜第２の支持体１４およびこれに結合される
その他の部品により成る組立体の重心が支持要素６内に
入る垂直線上にくるようにされる。

さらに、本装置は調整装置を含み、該調整装置は、アー
ム１２に関する第２の支持体１４の変位中におけるアー
ム１２の弾性変形に起因するアーム３の端の変位を補償
すべく、本装置が第１図の配列形状にされるとき、第１
の支持体８に関する支持要素６の角度位置を自動的に調
整するものである。

第１図に参照符号３４で一般的に示したこの調整装置は
、支持体８に関して支持要素６を強制回転させるように
作動し、かつ、例えばスクリュ・ナツト装置で構成され
た任意の好適なタイプの作助手段を備え、該スクリュ・
ナツト装置の要素は一方では支持要素６の壁３５により
、他方では支持体８の壁３６によりそれぞれ支持されて
いる。

さらに、この調整Ｖｉ置３４は、アーム１２上における
第２の支持体１４の位置を検出するセンサ手段（図示省
略）を含み、該センサ手段はこの位置を表す電気信号を
発生して検出位置に依存する時間に亘り作動手段を作動
するようにする。

上述の装置の使用における作動および作用は、下記のと
おりである。本装置が第１図に示ず第１の配列形状にあ
り、柱状体７の軸が垂直であるとき、本装置は、基台１
の上方の容積５内で測定を行うようにされ、本装置は、
正常の現場測定を行うために予めこの配列形状にされる
。そして、シュー２４．２５，２６．２７．２８．２９
．３０゜３１．３２５よび３３によって提供される空気
支持作用により、アーム１２に関する第２の支持体１４
の変位、支持型Ｎ６に関する柱状体７の変位およびガイ
ド板２３に関する支持要素６の変位を極めて小さい摩擦
を伴って測定可能である。特に、支持体８，１４の断面
を略Ｃ字状としかつシューを配したことにより、極めて
正確にガイドされる。

支持要素６に関する柱状体７のガイドについても、２連
のシュー３２．３３により同一の結果が得られる。２連
のシュー間の距離が相当大きいので、極めて小さい値の
２組の力が各組のシューに柱状体７の軸に垂直に作用す
る。そして、この好適結果が得られる要因は、支持体１
４とこれにＢＱ迎づる部品とアーム１２とにより構成さ
れる組立体の重置が極めて小さく、また、この組立体の
合成用量の作用線と柱状体７の軸との距離が小さいこと
にもおる。シュー３２．３３と柱状体７の表面間に作用
する力が小さいことから、これらシ」−によるガイドは
極めて正確に行われる。

そして、構成部品全ての変形が極めて小さいので、本装
置による測定は極めて正確である。アーム１２は、第２
図に明示の断面形状を有するので、屈曲に対する剛性が
高い。更に、支持体１４およびこれにＶＡ運する部品の
重量が極めて小さく、従って、この重ωに起因するアー
ム自体の屈曲変形は相当低減可能である。柱状体７およ
び支持要素６により構成される組立体の変形は、これら
要素の形状および極めて大きい剛性に起因して略無視で
きる。さらに、アーム１２および支持体１４ならびにこ
れに関連する部品が垂直面Ｐに関して完全に対称であり
、また、柱状体７の軸がこの面Ｐ内に配されているので
、支持体１４とこれに関連する部品によりアーム１２に
印加される合成力ならびにこのアーム１２から柱状体７
に、また、支持型Ｎ６に伝達する力は、先に定義した面
Ｐ内にあり、アーム１２に引張り力を加えかつ柱状体組
立体７と支持要素６に屈曲力を加える要因となるモーメ
ントの発生が回避される利点がある。

ざらに、支持体１４の形状とその材料の双方に起因して
該支持体１４の質量が極めて小さいので、支持体１４の
変位中に生じる慣性力も糧めて小さく、この結果、相当
早い変位速度においてもこの変位を制御可能である。

また、スライド８に関して支持要素６を実質上９０°に
亘り回転すると共に柱状体７の軸に関してアーム１２を
１８０９回転させることにより、本ＶｔＷ１を第３図に
示す配列形状に至らしめることか可能である。この配列
形状において、先に定義した３つの直交方向に沿う感知
器４０３つの基本的変位が依然許容され、該感知器４は
、作動位置に送られて基台１の横方向に配された容積３
７内において被加工物もしくは機械的組立体を計測する
ようにされる。この容積３７は、工程ラインに沿って移
動する機械的組立体が占める容積に相当づるもので良く
、従って、この配列形状にＪ３いて、本装置により斯か
る工程ライン上で測定を直接行える。この測定のための
本装置の早備としで、棒材３が第１の装着板１８の固定
手段１５から離脱され、アーム１２の反対側面ヒに配置
された第２の装着板１９の固定手段１５に結合される。

一方、この棒材が第１の装着板１８に固定された場合、
基台１の他方の側にかつ基台１に対しである高さに配置
された容積３日内に含まれる被加工物もしくは機械的組
立体に係る測定を本装置により行うことができる。

最後に、第１図の配列形状からアーム１２を柱状体７の
垂直軸に関して１８０゛に亘り回転させた場合、柱状体
７に関して、容積５とは反対側の容積３９内での測定を
行うことが可能である。なお、容積３９内に配された機
械的組立体は適宜器具で支持可能なことは明らかである
。

上述した本装置の種々の部品の形状および配列を本発明
の範囲内で種々に変形可能であることは明らかである。

特に、基台１を省略した実施例を案出することが可能で
、この場合、測定対象としての機械装置を装置自体が載
置されている支持面により直接支持可能である。

アーム１２についても上述のものとは異なる構造にでき
、特に、アーム１２の断面を異なる形状たとえば両面Ｔ
形にできる。

Ｒ後に、先に定義した第２の方向に平行な軸の回りでの
支持体８に関する支持要素６の回転を許容する枢支手段
９につき異なる構成を案出可能である。先に定義した第
１の方向と平行な垂直軸の回りに支持要素６を回転可能
とすべく、この枢支手段９を自明な方法で実際に変形可
能である。この構成によれば、第３図と同様な配列形状
を得ることができるが、しかし、棒材の軸は、第３図に
おいて当該軸が配される水平面内に含まれる任意の方向
に向けられる。

発明の効果本発明の座標測定装置によば、３元直交軸の第１の方向
に移動自在の柱状体を収容する支持要素を、第１の支持
体が移動する第２の方向と平行な第１の軸に関し回転可
能に枢支すると共に、柱状体に固定されかつ第３の方向
に配されたアーム上で該第３の方向へ移動自在の第２の
支持体に感知器を支持する棒材用の装着手段を設けたの
で、感知器の任意の三次元作動位置において非常に高精
度でのｔ１測が可能で、第１の支持体に対して支持要素
が９０”回転することにより、基台上に配された被加工
物等についての、または、作業ラインに沿って移動し、
あるいは、本装置自体が載置された支持面と同一の支持
面上に配された被加工物等について、さまざまな位置で
の測定を行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は、第１の作動形状にある本発明の測定装置を示
す一部断面概略側面図、第２図は、第１図のＩ［−Ｉ線
に沿う本発明装置の拡大断面図、および第３図は、第２
の作動形状にある本発明装置の概略側面図である。１・・・基台、３・・・棒材、４・・・感知器、６・・
・支持要素、７・・・柱状体、８・・・第１の支持体、
９・・・枢支手段、１２・・・アーム、１４・・・第２
の支持体、１５・・・装着手段、１６・・・フィン、１
７・・・中央コア、１８．１９・・・装着板、２０・・
・門状要素、２３・・・ガイド板、２４〜３３・・・シ
ュー１３４・・・調整装置。特許出願人　　デー、ニー、デー　デジタルエレクトロ
ニック　オートメーション　Ｊス、ビー、デー □′

Claims

【特許請求の範囲】

（１）測定されるべき被加工物もしくは機械的組立体を
支持するための基台（１）と、前記被加工物の表面に接
触するように送られる感知器（４）を支持するための前
記基台に関して１組の３元直交軸の３方向に移動自在の
棒状（３）と、筒状に形成され、その内部で柱状体（７
）が前記３方向のうちの第１の方向に軸方向に移動自在
である支持要素（６）と、前記３方向のうちの第２の方
向に前記基台に関して移動自在の第１の支持体（８）と
、該第１の支持体に前記支持要素を回動自在に装着する
ためのもので、前記第２の方向と平行な第１の軸に関す
る実質上９０°に亘る前記支持要素の回転を許容するよ
うに作動する枢支手段（９）と、一端が前記柱状体の一
端に固定されかつ軸が前記３方向のうちの第３の方向に
配されたアーム（１２）と、前記アーム上で前記第３の
方向に移動自在の第２の支持体（１４）と、前記第２の
支持体に設けられた前記棒材用の装着手段（１５）と、
前記柱状体および前記第１、第２の支持体の第１、第２
および第３の方向へのそれぞれの変位を制御すると共に
、前記第１の軸に関する前記支持要素の回転を制御する
ように作動する作動手段とを備え、前記第１の軸の回り
での前記支持要素の９０°に亘る回転により、前記柱状
体の軸が垂直でかつ前記アームの軸が水平である第１の
形状配列から前記柱状体の軸が水平でかつ前記アームが
垂直である第２の形状配列へ移動自在である座標計測装
置。
（２）前記アームの前記端が枢支手段（１３）により前
記柱状体に枢支されて前記アームが前記第１の方向に平
行な第２の軸に関して実質上１８０°に亘り回転可能に
され、また、前記第２の軸に関する前記アームの回転を
制御する作動手段が設けられてる特許請求の範囲第１項
記載の座標計測装置。
（３）前記アームは第１の垂直面に関して対称であり、
また、前記柱状体は略円筒状をなし、該柱状体の軸は前
記第１の面内に含まれる特許請求の範囲第１項または第
２項記載の座標計測装置。
（４）前記第２の支持体は第１の垂直面に関して対称で
ある特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の
座標計測装置。
（５）前記アーム及び前記第２の支持体は、前記柱状体
、前記支持要素および前記第１の支持体の比重よりも比
重が小さい材料よりなる特許請求の範囲第１項乃至第４
項のいずれかに記載の座標計測装置。
（６）前記アーム、前記第２の支持体および前記棒材に
より構成される組立体の重心が前記支持要素内に入る垂
直線上に配されるように、前記材料の比重を選択した特
許請求の範囲第５項記載の座標計測装置。
（７）前記アーム及び第２の支持体の材料がカーボンフ
ァイバである特許請求の範囲第１項乃至第６項のいずれ
かに記載の座標計測装置。
（８）前記基台に固定されて前記第１の支持体のための
ガイドを構成するガイド板（２３）を含み、前記第１の
支持体は、それぞれ第１、第２の平行面上に配された空
気支持式のシューの第１の対（２４）および第２の対（
２５）を少なくとも２組づつ有すると共にそれぞれ前記
平行面に直交する第３、第４の面上に配された空気支持
式のシューの第３の対（２６）および第４の対（２７）
を有し、前記シューは、前記ガイド板の対応する面に対
向して配されて前記第２の方向への変位中に前記第１の
支持体を前記ガイド板に関して空気作用で支持するもの
である特許請求の範囲第１項乃至第７項のいずれかに記
載の座標計測装置。
（９）前記支持要素は、２連の空気支持されたシュー（
３２、３３）を備え、該シューは前記柱状体の対応する
面と協働して前記柱状体の前記第１方向への変位中に前
記柱状体を前記支持要素に関して空気作用で支持し、ま
た、前記２連のシュー間の距離は、前記第１の方向に計
測したとき前記アームの自由長の３分の１よりも大きい
ものである特許請求の範囲第１項乃至第８項のいずれか
に記載の座標計測装置。
（１０）前記アームは、略Ｔ字状断面にされ、略水平の
一対のフィン（１６）と前記フィンに対し直交する中央
コア（１７）とを有し、前記第２の支持体は前記フィン
により支持される特許請求の範囲第１項乃至第９項のい
ずれかに記載の座標計測装置。
（１１）前記第２の支持体は、略第１、第２の平行面上
に配された空気支持式のシューの第１の対（２８）およ
び第２の対（２９）を少なくとも２組づつ有すると共に
前記平行面に直交する第３、第４の面上にそれぞれ配さ
れた空気作用により支持された第３の対（３０）および
第４の対（３１）を有し、前記シューは、前記フィンの
対応する面に対向して配されて前記第３の方向への変位
中前記第２の支持体を前記アームに関して空気作用で支
持するものである特許請求の範囲第１０項記載の座標計
測装置。
（１２）前記第２の支持体は、前記棒材のための第１、
第２の装着板（１８、１９）を有し、両前記装着板は、
座標計測装置が前記第１の配列形状にされたとき、前記
アームの下方および上方にそれぞれ配され、前記第２の
装着板は前記第２の支持体に固定された門状要素（２０
）の一部をなすものである特許請求の範囲第１項乃至第
１１項のいずれかに記載の座標計測装置。
（１３）座標計測装置が前記第１の配列形状にされたと
き、前記アーム上で前記第２の支持体が変位する間の前
記アームの弾性変形に起因する前記アームの端の変位を
補償するために、前記支持要素の前記第１の支持体に関
する角度位置を自動的に調整するための調整装置（３４
）を有する特許請求の範囲第１項乃至第１２項のいずれ
かに記載の座標計測装置。
（１４）前記調整装置は作動手段と前記アーム上での前
記第２の支持体の位置を検出するためのセンサ手段とを
含み、前記作動手段は前記支持要素を前記第１の支持体
に関して回転させるように作動し、また、前記センサ手
段は前記位置を表す電気信号を発生するように作動して
前記作動手段を前記検出位置に依存する時間に亘り作動
する特許請求の範囲第１３項記載の座標計測装置。