JP7511423B2 - プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及び電源システム - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 64
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 69
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 17
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32091—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being capacitively coupled to the plasma
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- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
- H01J37/32146—Amplitude modulation, includes pulsing
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- チャンバと、
下部電極及び該下部電極上に設けられた静電チャックを有し、前記チャンバ内で、その上に載置される基板を支持するように構成された基板支持器と、
前記チャンバ内のガスからプラズマを生成するために供給される高周波電力を発生するように構成された高周波電源と、
前記下部電極に電気的に接続されており、周期的にパルス状の負極性の直流電圧を前記下部電極に印加するように構成されたバイアス電源と、
前記高周波電源を制御するように構成された制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記高周波電源の負荷からの反射波のパワーレベルを低減するために、前記下部電極に対する前記バイアス電源からの前記パルス状の負極性の直流電圧の印加の周期内でその周波数が変化する前記高周波電力を供給するように前記高周波電源を制御し、
前記周期内の第1の部分期間内の少なくとも一部の期間において前記高周波電力を供給し、前記周期内の第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルを、前記第1の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルから減少されたパワーレベルに設定するように前記高周波電源を制御し、
前記第1の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記下部電極に印加されない期間であり、
前記第2の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記下部電極に印加される期間である、
プラズマ処理装置。 - 前記制御部は、前記周期内での反射波のパワーレベルを低減するため、前記周期内における位相に応じて前記高周波電力の前記周波数を変化させるように前記高周波電源を制御する、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記制御部は、前記第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルをゼロに設定する、請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記制御部は、前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において前記高周波電力のパワーレベルを一回以上変更するように前記高周波電源を制御する、請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力のパワーレベルが増大する期間において前記高周波電力の周波数が低下し、前記高周波電力のパワーレベルが低下する期間において前記高周波電力の周波数が増大する、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力の周波数が、前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において一回以上変更される、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力の周波数は、前記高周波電力のパワーレベルが高いほど低い、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- プラズマ処理装置を用いるプラズマ処理方法であって、
該プラズマ処理装置は、
チャンバと、
下部電極及び該下部電極上に設けられた静電チャックを有し、前記チャンバ内で、その上に載置される基板を支持するように構成された基板支持器と、
前記チャンバ内のガスからプラズマを生成するために供給される高周波電力を発生するように構成された高周波電源と、
前記下部電極に電気的に接続されたバイアス電源と、
を備え、
該プラズマ処理方法は、前記静電チャック上に基板が載置されている状態で該基板にプラズマ処理を行うために実行され、
前記バイアス電源から前記下部電極に周期的にパルス状の負極性の直流電圧を印加する工程と、
前記高周波電源の負荷からの反射波のパワーレベルを低減するために、前記下部電極に対する前記バイアス電源からの前記パルス状の負極性の直流電圧の印加の周期内でその周波数が変化する前記高周波電力を供給する工程と、
を含み、
前記周期内の第1の部分期間内の少なくとも一部の期間において前記高周波電力が供給され、
前記周期内の第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルが、前記第1の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルから減少されたパワーレベルに設定され、
前記第1の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記下部電極に印加されない期間であり、
前記第2の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記下部電極に印加される期間である、
プラズマ処理方法。 - 前記周期内での反射波のパワーレベルを低減するため、前記高周波電力の前記周波数が前記周期内における位相に応じて変更される、請求項8に記載されたプラズマ処理方法。
- 前記第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルをゼロに設定する、請求項8又は9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において前記高周波電力のパワーレベルを一回以上変更するように前記高周波電源を制御する、請求項8又は9に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力のパワーレベルが増大する期間において前記高周波電力の周波数が低下し、前記高周波電力のパワーレベルが低下する期間において前記高周波電力の周波数が増大する、請求項11に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力の周波数が、前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において一回以上変更される、請求項11に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力の周波数は、前記高周波電力のパワーレベルが高いほど低い、請求項11に記載のプラズマ処理方法。
- プラズマ処理装置のチャンバ内のガスからプラズマを生成するために供給される高周波電力を発生するように構成された高周波電源と、
前記チャンバ内でその上に載置される基板を支持するように構成された基板支持器に電気的に接続されており、周期的にパルス状の負極性の直流電圧を前記基板支持器に印加するように構成されたバイアス電源と、
を備え、
前記高周波電源は、
該高周波電源の負荷からの反射波のパワーレベルを低減するために、前記基板支持器に対する前記バイアス電源からの前記パルス状の負極性の直流電圧の印加の周期内でその周波数が変化する前記高周波電力を供給し、
前記周期内の第1の部分期間内の少なくとも一部の期間において前記高周波電力を供給し、前記周期内の第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルを、前記第1の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルから減少されたパワーレベルに設定し、
前記第1の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記基板支持器に印加されない期間であり、
前記第2の部分期間は、前記パルス状の負極性の直流電圧が前記基板支持器に印加される期間である、
電源システム。 - 前記高周波電源は、前記周期内での反射波のパワーレベルを低減するため、前記周期内における位相に応じて前記高周波電力の前記周波数を変化させる、請求項15に記載の電源システム。
- 前記高周波電源は、前記第2の部分期間における前記高周波電力のパワーレベルをゼロに設定する、請求項15又は16に記載の電源システム。
- 前記高周波電源は、前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において前記高周波電力のパワーレベルを一回以上変更する、請求項15又は16に記載の電源システム。
- 前記高周波電力のパワーレベルが増大する期間において前記高周波電力の周波数が低下し、前記高周波電力のパワーレベルが低下する期間において前記高周波電力の周波数が増大する、請求項18に記載の電源システム。
- 前記高周波電力の周波数が、前記第1の部分期間及び前記第2の部分期間の少なくとも一方において一回以上変更される、請求項18に記載の電源システム。
- 前記高周波電力の周波数は、前記高周波電力のパワーレベルが高いほど低い、請求項18に記載の電源システム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW109142560A TW202127964A (zh) | 2019-12-17 | 2020-12-03 | 電漿處理裝置及電漿處理方法 |
KR1020200168349A KR20210077597A (ko) | 2019-12-17 | 2020-12-04 | 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 |
CN202011450996.8A CN113078040A (zh) | 2019-12-17 | 2020-12-09 | 等离子体处理装置及等离子体处理方法 |
US17/123,130 US20210183622A1 (en) | 2019-12-17 | 2020-12-16 | Plasma processing apparatus and plasma processing method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019227670 | 2019-12-17 | ||
JP2019227670 | 2019-12-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021097033A JP2021097033A (ja) | 2021-06-24 |
JP7511423B2 true JP7511423B2 (ja) | 2024-07-05 |
Family
ID=76431540
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020157535A Active JP7511423B2 (ja) | 2019-12-17 | 2020-09-18 | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、及び電源システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7511423B2 (ja) |
KR (1) | KR20210077597A (ja) |
CN (1) | CN113078040A (ja) |
TW (1) | TW202127964A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230056219A (ko) * | 2021-10-20 | 2023-04-27 | (주)아이씨디 | Dc 펄스 플라즈마 기판 처리 장치 |
WO2024004766A1 (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-04 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
WO2024024681A1 (ja) * | 2022-07-27 | 2024-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びソース高周波電力のソース周波数を制御する方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009071133A (ja) | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2013535074A (ja) | 2010-06-11 | 2013-09-09 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 基板プラズマ処理技術 |
-
2020
- 2020-09-18 JP JP2020157535A patent/JP7511423B2/ja active Active
- 2020-12-03 TW TW109142560A patent/TW202127964A/zh unknown
- 2020-12-04 KR KR1020200168349A patent/KR20210077597A/ko active Search and Examination
- 2020-12-09 CN CN202011450996.8A patent/CN113078040A/zh active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009071133A (ja) | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP2013535074A (ja) | 2010-06-11 | 2013-09-09 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | 基板プラズマ処理技術 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113078040A (zh) | 2021-07-06 |
TW202127964A (zh) | 2021-07-16 |
JP2021097033A (ja) | 2021-06-24 |
KR20210077597A (ko) | 2021-06-25 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230517 |
|
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|
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|
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