JP7511325B2 - 垂直プローブと垂直プローブ用治具 - Google Patents
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Description
第一に、前記の湾曲部119は幅Bを有するため、隣接するコブラとの干渉を避けるために狭ピッチの限界がある。第二に、図12(d)で示したように、形状が複雑なために離接コブラとの干渉が生じて、狭ピッチの場合、組立が困難となる。
図13で示すように、コブラにおいては、オーバードライブと接触力の関係は、比較的良好な直線性を有している。
第一の困難性は、前記の上側ホールプレートの貫通穴138、中間ホールプレートの貫通穴140、および下側ホールプレートの貫通穴142の、3つの穴に前記の真直ピン136を通さなければならないが、前記真直ピン136の真直度が不十分であると、通すことが困難である。実用的には、前記の真直ピン136と前記貫通穴138、140、および142との直径隙間は数ミクロン以下を要求されており、前記真直ピン136の真直度は、10mmあたり2ミクロン以下の真直度誤差を要求される。そのため、前記真直ピン136の歩留まりは低い。
(1)絶縁コーティングが落下防止のためのストッパーとしても機能させているため、絶縁コーティングの厚みが、狭ピッチ化を阻害している。
(2)垂直プローブの形状が複雑のため、狭ピッチ化すると隣接プローブと干渉して組立困難となる。
(3)真直度精度の厳しい垂直ピンが必要とされる。
(4)充分なオーバーストロークを確保できない。
(1)狭ピッチへの対応を容易にする。
本発明による垂直プローブは、落下防止用の絶縁コーティングは不要であるので、膜厚の大きい絶縁コーティング膜によって、狭ピッチ対応を阻害されることはない。また、治具に挿入される前のプローブは真直形状のピンであり、狭ピッチの場合でも楽に挿入できる。また、治具の内部でプローブの形状を塑性変形によって変える場合も、すべての隣接プローブが同じ形状に変形されるため隣接プローブの干渉は生じない。
垂直プローブの素材は真直ピンであり、垂直プローブへの変形も治具の内部で行うため、コスト引き下げと納期短縮が可能である。
本発明による垂直プローブは、可撓部が弓型形状をしている。この形状は前記した垂直プローブコブラの形状に類似しており、接触力とオーバードライブの関係は直線性がよく、十分なオーバードライブが確保できる。
本発明に基づく一実施例を〔図1〕~〔図10〕に従って説明する。
第一に、狭ピッチへの対応を容易にする。本発明による垂直プローブは、下側ホールプレート上面に前記の垂直プローブの塑性加工による屈折点を有しており、この屈折点によって、落下防止用の絶縁コーティングは不要となるので、膜厚の大きい絶縁コーティング膜によって、狭ピッチ対応を阻害されることはない。また、治具に挿入される前のプローブは真直形状のピンであり、狭ピッチの場合でも楽に挿入できる。また、治具の内部でプローブの形状を塑性変形によって変える場合も、すべての隣接プローブが同じ形状に変形されるため隣接プローブの干渉は生じない。
2 弓型形状の中央部
3 上側直線部
4 下側直線部
5 上側ホールプレート
6 貫通穴
7 下側ホールプレート
8 貫通穴
9 プリント基板
10 検査電極
11 電子デバイス
12 検査電極
13 連結部材
14 連結部材
15 連結部材
16 中空円盤状のスペーサ
17 ボルト
18 ナット
19 位置決めピン
(20~22:欠番)
23 上側ホールプレート5の下面
24 塑性変形による屈折点
25 下側ホールプレート7の上面
26 塑性変形による屈折点
27 上部吸着プレート
28 保持部材
29 位置決めピン
30 ボルト
31 円環上の吸着溝
32 排気穴
33 位置決めピン
34 円盤状の下部吸着プレート
35 支持板
36 位置決めピン
37 ボルト
38 円環上の吸着溝
39 排気穴
40 位置決めピン
41 XYZテーブル
42 ボルト
43 真直ピン
44 矢印
45 貫通穴
46 貫通穴
47 窪み部底面
48 矢印
49 プローブ抑え部材
50 ボルト
51 プローブ抑え部材49の下面
52 矢印
53 矢印
54 曲線
55 矢印
56 矢印
57 曲線
58 曲線
59 矢印
60 矢印
61 連結部材
62a 左側連結部材
62b 右側連結部材
63 中央連結部材
64 (欠番)
65 円盤状の形状を有するスペーサ
66 ネジ穴
67 治具セット
68 保護キャップ
69 保護キャップ
70 取り付けフランジ
71 ボルト
72 位置決めピン
73 配線穴
74 ボルト取り付け穴
75 位置決めピン用穴
Claims (3)
- 電気導通検査に供せられる複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造装置であって、
前記複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットは、
上側ホールプレートと、
下側ホールプレートと、
前記上側ホールプレートと前記下側ホールプレートを連結する連結部材と、
複数の真直ピンを弓形形状に加工した複数本の垂直プローブと、
からなり、
前記製造装置は、
前記上側ホールプレートと前記下側ホールプレートを位置決めする手段と、
前記上側ホールプレートの複数の貫通穴と前記下側ホールプレートの複数の貫通穴を貫通して配置された複数の真直ピンを上下方向に拘束する手段と、
前記上側ホールプレートの貫通穴と前記下側ホールプレートの貫通穴のアライメント精度を確保できるように移動位置決めし、かつ、前記真直ピンに塑性変形を与え塑性変形後の残留応力を解放するために前記真直ピンの軸方向に移動する、XYZテーブルと、
を備え、
前記治具セットの製造プロセスとして、
a.垂直プローブの素材としての複数の真直ピンの上下端を、前記上側ホールプレート及び前記下側ホールプレートに設けられた貫通穴にそれぞれ通し、
b.XYZテーブルにより、前記上側ホールプレートの貫通穴と前記下側ホールプレートの貫通穴のアライメント精度を確保できるように移動位置決めし、
c.前記上側ホールプレートの複数の貫通穴と前記下側ホールプレートの複数の貫通穴を貫通して配置された前記複数の真直ピンを上下方向に拘束する手段により、上下方向に拘束し、
d.XYZテーブルを、左右方向にごくわずかな量だけシフトさせ、
e.XYZテーブルを、前記真直ピンの軸方向に移動させて、前記複数の真直ピンを軸方向に圧縮して座屈変形させて塑性変形させて、前記複数の真直ピンの前記上側ホールプレート及び前記下側ホールプレートの間にある部分を、整然と並んで同じ方向に向いた弓形形状とし、かつ前記上側ホールプレートの下側面近傍と、前記下側ホールプレートの上面近傍において、塑性変形による屈折点を有するようにし、
f.XYZテーブルを、前記真直ピンの軸方向であって上記e.で移動させたのとは逆方向に移動させて、前記複数の垂直ピンを上記e.で生じた残留応力を解放させかつ残留変形を残した形状とし、
g.前記上側ホールプレートと前記下側ホールプレートとを連結部材で連結し、
というaないしgの工程をaからgに向けて順番に行うよう構成されていること、
を特徴とする、複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造装置。 - 請求項1に記載の複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造装置で製造された、複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットであって、
上側ホールプレートと、
下側ホールプレートと、
前記上側ホールプレートと前記下側ホールプレートを連結する連結部材と、
複数の真直ピンを弓形形状に加工した複数本の垂直プローブであって、
前記複数の真直ピンの前記上側ホールプレート及び前記下側ホールプレートの間にある部分を、整然と並んで同じ方向に変形された弓形形状とし、
かつ前記複数の真直ピンを前記上側ホールプレートの下側面近傍と、前記下側ホールプレートの上面近傍において、塑性変形による屈折点を有するようにし、
かつ前記複数の垂直ピンを残留応力を解放させかつ残留変形を残した形状とした、
複数の真直ピンを弓形形状に加工した複数本の垂直プローブと、
からなる、
複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セット。 - 請求項1に記載の複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造装置を用いた、複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造方法であって、
前記治具セットの製造プロセスとして、
a.垂直プローブの素材としての複数の真直ピンの上下端を、前記上側ホールプレート及び前記下側ホールプレートに設けられた貫通穴にそれぞれ通し、
b.XYZテーブルにより、前記上側ホールプレートの貫通穴と前記下側ホールプレートの貫通穴のアライメント精度を確保できるように移動位置決めし、
c.前記上側ホールプレートの複数の貫通穴と前記下側ホールプレートの複数の貫通穴を貫通して配置された前記複数の真直ピンを上下方向に拘束する手段により、上下方向に拘束し、
d.XYZテーブルを、左右方向にごくわずかな量だけシフトさせ、
e.XYZテーブルを、前記真直ピンの軸方向に移動させて、前記複数の真直ピンを軸方向に圧縮して座屈変形させて塑性変形させて、前記複数の真直ピンの前記上側ホールプレート及び前記下側ホールプレートの間にある部分を、整然と並んで同じ方向に向いた弓形形状とし、かつ前記上側ホールプレートの下側面近傍と、前記下側ホールプレートの上面近傍において、塑性変形による屈折点を有するようにし、
f.XYZテーブルを、前記真直ピンの軸方向であって上記e.で移動させたのとは逆方向に移動させて、前記複数の垂直ピンを残留応力を解放させかつ残留変形を残した形状とし、
g.前記上側ホールプレートと前記下側ホールプレートとを連結部材で連結し、
というaないしgの工程をaからgに向けて順番に行う、
複数本の垂直プローブを治具で支えた治具セットの製造方法。
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