JP7506985B2 - 液処理装置及び液処理方法 - Google Patents
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Description
図1及び図2は、本開示の一実施形態に係る液処理装置1の概略断面図及び斜視図である。液処理装置1は、基板であるウエハWの裏面中央部を吸着して水平に保持する基板保持部であるスピンチャック2を備えている。このスピンチャック2は、駆動軸21を介して駆動機構22により、ウエハWを保持した状態で鉛直軸回りに回転自在及び昇降自在に構成されており、その回転軸上にウエハWの中心が位置するように設定されている。スピンチャック2の周囲にはスピンチャック2上のウエハWを囲むようにして、上方側が開口したカップ3が設けられており、カップ3の側周面上端側は内側に傾斜した傾斜部を形成している。
塗布ノズル41が本開示のノズルに相当するものであり、以降、塗布ノズル41及び溶剤ノズル42をノズル41、42と記載する場合がある。ノズル41、42は、例えばフッ素樹脂により構成されており、より具体的には例えばPFA(パーフルオロアルコキシアルカン)により構成されている。
その後、バルブV53を開放してノズル収容部51内の溶剤を排出した後、溶剤供給路57を通して溶剤がノズル41の先端に向けて供給される。その状態でサックバックバルブによりノズル41の流路46内を吸引することで流路46内のレジスト液の液層Lとガス層Gとを引き上げると共に、ノズル41の吐出口47に向けて供給された溶剤をノズル41の先端の流路46内に取り込むことで、流路46内のガス層Gの下に溶剤層Sが形成される(図5(d))。
1 液処理装置
2 スピンチャック
3 カップ
4 ノズルユニット
5 待機ユニット
6 移動機構
Claims (8)
- 処理液供給路に接続されたノズルから基板に対して処理液を供給する処理を行う液処理において、
前記ノズルを収容室に収容する工程と、
前記ノズルの先端内部の流路に、前記処理液供給路側から順に処理液層とガス層と溶剤層とを形成する工程と、を含み、
前記ガス層の形成は、水分および酸素および溶剤のうちの少なくともいずれかの濃度が調整された調整ガスを前記収容室内における前記ノズルの先端周囲に供給し、前記流路内に取り込むことを含み、
前記液処理は、前記ノズルの流路内に前記処理液層とガス層と溶剤層が形成された状態で前記ノズルを基板へ処理液を供給するための処理位置に位置させて、前記ノズルから前記基板に対して前記溶剤層の溶剤と前記処理液層の処理液を供給する、液処理方法。 - 前記調整ガスは、前記液処理を行う空間の雰囲気よりも低湿度のガスである、請求項1に記載の液処理方法。
- 前記調整ガスは、前記液処理を行う空間の雰囲気よりも溶剤濃度が高いガスである、請求項1または2のいずれか一項に記載の液処理方法。
- 前記溶剤濃度が高いガスは、前記収容室内の一部に前記溶剤が貯留された状態で前記収容室外からの所定のガスを、前記貯留された溶剤に接触するように前記収容室内に供給することで生成される、請求項3に記載の液処理方法。
- 前記調整ガスは、前記液処理を行う空間の雰囲気よりも酸素濃度が低いガスである、請求項1~4のいずれか一項に記載の液処理方法。
- 前記酸素濃度が低いガスは、前記収容室内に不活性ガスを供給することで生成される、請求項5に記載の液処理方法。
- 前記液処理は、前記ノズルから前記基板に対して前記溶剤層の溶剤と前記処理液層の処理液を供給する前に、前記溶剤層の溶剤と同じ溶剤を前記基板へ供給することを更に含み、
前記ノズルから前記基板に対して前記溶剤層の溶剤と前記処理液層の処理液とを供給するときに、前記ノズルから吐出される溶剤層の溶剤が既に前記基板へ供給されている溶剤に当たるように供給される、請求項1~6のいずれか一項に記載の液処理方法。 - 処理液供給路に接続されたノズルから基板に対して処理液を供給する液処理を行う液処理装置において、
前記ノズルを内部に収容する収容部と、
前記収容部内に溶剤を供給する溶剤供給部と、
前記収容部内に水分または溶剤の濃度が調整されたガスを供給するガス供給部と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記ノズルと少なくとも前記溶剤供給部または前記ガス供給部のいずれかを制御して前記収容部内に水分および酸素および溶剤のうちの少なくともいずれかの濃度を調整した調整ガスの雰囲気を形成したのちに、前記ノズルの先端部の流路内の処理液の液層の下に、前記調整ガスで構成されるガス層を形成し、次いで、前記ガス層の下に溶剤層を形成し、
前記液処理は、前記ノズルの流路内に前記処理液の液層とガス層と溶剤層が形成された状態で前記ノズルを基板へ処理液を供給するための処理位置に位置させて、前記ノズルから前記基板に対して前記溶剤層の溶剤と前記処理液の液層の処理液を供給する、液処理装置。
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