JP7504983B2 - Ledアレイ - Google Patents
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Description
半導体層は、LED構造のすべてに対する共通電気的コンタクトを与え得る。
Claims (20)
- 発光ダイオード(LED)アレイを製造する方法であって、III族窒化物材料の半導体層を形成するステップと、前記半導体層を覆う誘電マスク層を形成するステップであって、前記誘電マスク層は、前記半導体層の区域を各々が露出させる、前記誘電マスク層を貫通する孔のアレイを有する、形成するステップと、前記孔の各々の中でLED構造を成長させるステップと、を含み、孔の前記アレイは、第1の断面積を各々が有する第1のセットの孔と、前記第1の断面積とは異なる第2の断面積を各々が有する第2のセットの孔とを含み、
前記孔の各々の中で前記LED構造を前記成長させるステップは、前記半導体層が露出された前記区域の上方にn型層を成長させ、前記n型層の上方に少なくとも1つの活性層を成長させ、および前記少なくとも1つの活性層の上方にp型層を成長させ、
前記少なくとも1つの活性層の上側の上面は、前記誘電マスク層の上面より下である、方法。 - 前記第1の断面積は、前記第2の断面積より少なくとも1%大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記LED構造の各々は、前記LED構造が、第1の断面積を各々が有する第1のセットのLED構造と、前記第1の断面積とは異なる第2の断面積を各々が有する第2のセットのLED構造とを含むように前記各々がその中で成長させられる前記孔を充塞する、請求項1または2に記載の方法。
- 前記第1のセットのLED構造は、第1のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成され、前記第2のセットのLED構造は、前記第1のピーク波長とは異なる第2のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成される、請求項3に記載の方法。
- 孔の前記アレイは、前記第1および第2の断面積とは異なる第3の断面積を各々が有する第3のセットの孔をさらに含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- LED構造の前記アレイは、前記第1および第2の断面積とは異なる第3の断面積を各々が有する第3のセットの孔をさらに含み、
前記第3のセットの孔の中で成長させられる第3のセットのLED構造を含み、前記第3のセットのLED構造は、前記第1および第2のピーク波長とは異なる第3のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成される、請求項4に記載の方法。 - 前記LED構造は、複数の群をなして配置構成され、前記方法は、複数のコンタクトを形成するステップであって、前記コンタクトの各々は、LED構造の前記群のうちのそれぞれの1つに接続され、以て、LED構造の前記群の各々は、LED構造の他の群から独立にアクティブ化され得る、形成するステップをさらに含む、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記LED構造は、複数の群をなして配置構成され、前記方法は、複数のコンタクトを形成するステップであって、前記コンタクトの各々は、LED構造の前記群のうちのそれぞれの1つに接続され、以て、LED構造の前記群の各々は、LED構造の他の群から独立にアクティブ化され得る、形成するステップをさらに含み、
LED構造の前記群の各々は、LED構造の前記セットの各々からの少なくとも1つのLED構造を含む、請求項3または5に記載の方法。 - 前記LED構造は、複数の群をなして配置構成され、前記方法は、複数のコンタクトを形成するステップであって、前記コンタクトの各々は、LED構造の前記群のうちのそれぞれの1つに接続され、以て、LED構造の前記群の各々は、LED構造の他の群から独立にアクティブ化され得る、形成するステップをさらに含み、
LED構造の前記群の各々は、LED構造の前記セットのうちの1つからのLED構造のみを含む、請求項3または5に記載の方法。 - 孔の前記セットの各々は、規則的なアレイをなして配置構成される、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 半導体層と、誘電層であって、前記半導体層の上方に広がり、前記誘電層を貫通して延びるLED構造のアレイを有する、誘電層と、を含むLEDアレイであって、前記LED構造は、第1の断面積を各々が有する第1のセットのLED構造と、前記第1の断面積とは異なる第2の断面積を各々が有する第2のセットのLED構造とを含み、
前記LED構造の各々は、前記誘電層を貫通するそれぞれの孔の中で形成され、
前記LED構造の各々は、前記それぞれの孔の中において、前記半導体層の上方に形成されたn型層、前記n型層の上方に形成された少なくとも1つの活性層、および前記少なくとも1つの活性層の上方に形成されたp型層を有し、
前記少なくとも1つの活性層の上側の上面は、前記誘電層の上面より下である、LEDアレイ。 - 前記第2の断面積は、前記第1の断面積より少なくとも1%大きい、請求項11に記載のLEDアレイ。
- 前記孔は、第1の断面積を各々が有する第1のセットの孔と、前記第1の断面積とは異なる第2の断面積を各々が有する第2のセットの孔とを含む、請求項11または12に記載のLEDアレイ。
- 前記第1のセットのLED構造は、第1のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成され、前記第2のセットのLED構造は、前記第1のピーク波長とは異なる第2のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成される、請求項11から13のいずれか一項に記載のLEDアレイ。
- 前記LED構造は、前記第1および第2の断面積とは異なる第3の断面積を各々が有する第3のセットのLED構造をさらに含む、請求項11から14のいずれか一項に記載のLEDアレイ。
- 前記LED構造は、前記第1および第2の断面積とは異なる第3の断面積を各々が有する第3のセットのLED構造をさらに含み、
前記第3のセットのLED構造は、前記第1および第2のピーク波長とは異なる第3のピーク波長を有する光を発光するように各々が配置構成される、請求項14に記載のLEDアレイ。 - 前記LED構造は、複数の群をなして配置構成され、前記アレイは、複数のコンタクトをさらに含み、前記コンタクトの各々は、LED構造の前記群のうちのそれぞれの1つに接続され、以て、LED構造の前記群の各々は、LED構造の他の群から独立にアクティブ化され得る、請求項11から16のいずれか一項に記載のLEDアレイ。
- LED構造の前記群の各々は、LED構造の前記セットの各々からの少なくとも1つのLED構造を含む、請求項17に記載のLEDアレイ。
- LED構造の前記群の各々は、LED構造の前記セットのうちの1つからのLED構造のみを含む、請求項17に記載のLEDアレイ。
- LED構造の各々のセットは、規則的なアレイをなして配置構成される、請求項11から19のいずれか一項に記載のLEDアレイ。
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