JP7500403B2 - クライオポンプ - Google Patents

Description

本発明は、クライオポンプ、および、クライオポンプが備えるクライオポンプ用バッフルプレートに関する。

クライオポンプは、ポンプケースと、ポンプケース内に位置する熱シールドと、熱シールド内に位置する複数のクライオパネルと、熱シールドの開口に位置するバッフルとを備えている。熱シールドは、第１シールドと第２シールドとを備えている。第１シールドおよび第２シールドは、それぞれ筒状を有している。各シールドは中心軸が一致するようにポンプケース内に位置している。第２シールドは、第１シールドよりも外側に位置し、かつ、第１シールドは、第２シールドよりもポンプケースの開口寄りに位置している。第１シールドの基端は、第２シールドの先端よりも第２シールドの基端寄りに位置している。これにより、第１シールドの基端と第２シールドの先端との間に、流体の通路が形成されている（例えば、特許文献１を参照）。

特開２０１０－４８１３２号公報

上述したクライオポンプでは、バッフルから熱シールド内に流入した気体に加えて、第１シールドの基端と第２シールドの先端との間に形成された流路から第２シールド内に流入した気体もクライオパネルによって排気される観点では、クライオポンプの排気性能が高められる。一方で、熱シールドが１つの筒状部材から形成される場合に比べて、第１シールドの基端と第２シールドの先端によって形成される流路を介した入熱が大きくなる観点では、クライオポンプの排気性能が低くなる。そのため、クライオポンプの排気性能を高めることが可能な他の形態が求められている。

本発明は、排気性能を高めることを可能としたクライオポンプ、および、クライオポンプ用バッフルを提供することを目的とする。

上記課題を解決するためのクライオポンプは、冷凍機に接続されるクライオパネルと、前記クライオパネルを収容する本体と、前記本体の気体導入口に位置するバッフルプレートと、を備える。前記バッフルプレートは、前記バッフルプレートの中心を含み、前記バッフルプレートを貫通する第１孔が形成された第１部分と、前記バッフルプレートの縁を含み、前記バッフルプレートを貫通する第２孔が形成された第２部分と、から構成される。前記第２部分のコンダクタンスが、前記第１部分のコンダクタンスよりも大きい。

上記課題を解決するためのクライオポンプ用バッフルプレートは、冷凍機に接続されるクライオパネルを収容した本体の気体導入口に取り付けられる。前記クライオポンプ用バッフルプレートの中心を含み、前記クライオポンプ用バッフルプレートを貫通する第１孔が形成された第１部分と、前記クライオポンプ用バッフルプレートの縁を含み、前記クライオポンプ用バッフルプレートを貫通する第２孔が形成された第２部分と、から構成される。前記第２部分のコンダクタンスが、前記第１部分のコンダクタンスよりも大きい。

上記クライオポンプ、および、クライオポンプ用バッフルプレートによれば、第２部分のコンダクタンスが第１部分のコンダクタンスよりも大きいことによって、バッフルプレートの第２部分から本体内に気体が流入しやすくなる。これにより、バッフルプレートが広がる平面と対向する視点から見て、クライオパネルのうち、縁を含む部分でも凝縮気体の堆積が生じやすくなり、クライオパネルの中心を含む部分において凝縮気体の堆積が優先的に進むことが抑えられる。従って、クライオパネルにおいて凝縮気体の堆積量に偏りが生じることが抑えられる。これにより、クライオポンプの排気性能が高められる。

上記クライオポンプにおいて、前記第２部分の開口率が、前記第１部分の開口率よりも大きくてもよい。このクライオポンプによれば、バッフルプレートにおいて、第１部分の厚さと第２部分の厚さとを異ならせる場合に比べて、第２部分のコンダクタンスを第１部分のコンダクタンスよりも大きくすることが容易である。

上記クライオポンプにおいて、前記第１孔および前記第２孔は円形孔であり、前記第２孔の直径は、前記第１孔の直径よりも大きくてもよい。このクライオポンプによれば、第２孔の数を第１孔の数以下に抑えながら、第２部分のコンダクタンスを第１部分のコンダクタンスよりも大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレートの加工が容易である。

上記クライオポンプにおいて、前記第２孔は、大孔と、前記大孔よりも小さい中間孔とを備え、前記第２部分は、前記縁を含み前記大孔が形成された外周部分と、前記外周部分と前記第１部分との間に位置し、前記中間孔が形成された中間部分とを備えてもよい。

上記クライオパネルによれば、バッフルプレートのコンダクタンスを、第１部分、中間部分、外周部分の順に大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレートが、第２部分の全体において一様なコンダクタンスを有する場合に比べて、クライオパネルの径方向において、凝縮気体の堆積量に差が生じることが抑えられる。

上記クライオポンプにおいて、前記第２孔は、大孔と、前記大孔よりも小さい中間孔とを備え、前記第２部分は、前記縁を含み前記大孔が形成された外周部分と、前記外周部分と前記第１部分との間に位置し、前記中間孔が形成された中間部分とを備え、前記バッフルプレートと対向する視点から見て、前記第１部分および前記中間部分とから構成される領域内に前記クライオパネルが位置してもよい。

上記クライオポンプによれば、バッフルプレートのコンダクタンスを第１部分、中間部分、外周部分の順に大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレートが、第２部分の全体において一様なコンダクタンスを有する場合に比べて、クライオパネルの径方向において、凝縮気体の堆積量に差が生じることが抑えられる。しかも、外周部分がクライオパネルと対向しないから、外周部分が有する大孔に起因したクライオパネルへの入熱を抑えることも可能である。

上記クライオポンプにおいて、前記バッフルプレートと対向する視点から見て、前記第１部分と前記クライオパネルとが重なり、前記第２部分と前記クライオパネルとが重ならなくてもよい。

上記クライオポンプによれば、クライオパネルの縁よりも外側から本体内に供給される気体の流量を大きくすることによって、クライオパネルの縁を含む部分における凝縮気体の堆積量が、クライオパネルの中心を含む部分における凝縮気体の堆積量に対して小さくなることが抑えられる。

一実施形態におけるクライオポンプの構造を示す断面図。 バッフルプレートが広がる平面と対向する視点から見たバッフルプレートの形状を示す平面図。 バッフルプレートが広がる平面と対向する視点から見たクライオポンプの構造を示す平面図。

図１から図３を参照して、クライオポンプ、および、クライオポンプ用バッフルプレートの一実施形態を説明する。なお、図１では、クライオポンプが備える本体の断面構造、および、冷凍機およびクライオパネルの端面構造が示されている。また、図１では、図示の便宜上、冷凍機の一部のみが示されている。

［クライオポンプ］
図１が示すように、クライオポンプ１０は、冷凍機１１、クライオパネル１２、本体１３、および、バッフルプレート１４を備えている。クライオパネル１２は、冷凍機１１に接続されている。本体１３は、クライオパネル１２を収容している。本体１３は、気体導入口１３Ａを有している。バッフルプレート１４は、本体１３の気体導入口１３Ａに位置している。

本体１３は、ポンプケース１３Ｂと、熱シールド１３Ｃとを備えている。ポンプケース１３Ｂは、クライオポンプ１０の内部を外部から隔てるための真空容器である。ポンプケース１３Ｂは、熱シールド１３Ｃを収容する第１収容部１３Ｂ１と、冷凍機１１を収容する第２収容部１３Ｂ２とを備えている。第１収容部１３Ｂ１は筒状を有している。第１収容部１３Ｂ１において、一方の端部が底部によって塞がれ、かつ、他方の端部には開口１３ＢＡが位置している。

熱シールド１３Ｃは、ポンプケース１３Ｂからの輻射熱からクライオパネル１２を保護する。熱シールド１３Ｃは、ポンプケース１３Ｂとクライオパネル１２との間に位置している。熱シールド１３Ｃは、筒状を有している。熱シールド１３Ｃにおいて、一方の端部が底部によって塞がれ、かつ、他方の端部には開口１３ＣＡが位置している。熱シールド１３Ｃは、クライオパネル１２を収容している。熱シールド１３Ｃの開口１３ＣＡは、ポンプケース１３Ｂの開口１３ＢＡに囲まれている。熱シールド１３Ｃの開口１３ＣＡと、ポンプケース１３Ｂの開口１３ＢＡとが気体導入口１３Ａを形成している。

冷凍機１１は、例えばギフォード・マクマホン式冷凍機である。冷凍機１１は、第１シリンダー１１Ａ１、第１ステージ１１Ａ２、第２シリンダー１１Ｂ１、および、第２ステージ１１Ｂ２を備えている。第１シリンダー１１Ａ１は、第２シリンダー１１Ｂ１に直列に接続されている。第１シリンダー１１Ａ１内には図示されない第１ディスプレーサーが位置し、かつ、第２シリンダー１１Ｂ１内には図示されない第２ディスプレーサーが位置している。

第１シリンダー１１Ａ１は、ポンプケース１３Ｂの第２収容部１３Ｂ２内に位置している。第１ステージ１１Ａ２は、第１シリンダー１１Ａ１の端部であって、第２シリンダー１１Ｂ１に接続される端部に固定されている。第１ステージ１１Ａ２は、熱シールド１３Ｃに接触し、これによって、第１ステージ１１Ａ２は、熱シールド１３Ｃに熱的に接続されている。

第２シリンダー１１Ｂ１は、熱シールド１３Ｃによって画定される空間内に位置している。第２シリンダー１１Ｂ１のうち、第１シリンダー１１Ａ１に接続される端部とは反対側の端部に第２ステージ１１Ｂ２が固定されている。第２ステージ１１Ｂ２には、冷凍機１１に対してクライオパネル１２を接続するための取付部材１１Ｃが接続されている。

熱シールド１３Ｃによって画定される空間内には、複数のクライオパネル１２が位置している。各クライオパネル１２は、取付部材１１Ｃに取り付けられている。これにより、各クライオパネル１２は、第２ステージ１１Ｂ２に熱的に接続されている。各クライオパネル１２は、板部材によって形成されている。各クライオパネル１２は、円錐台状に成型されている。各クライオパネル１２は、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する平面視において、各クライオパネル１２の中心が同一の中心軸上に位置するように取付部材１１Ｃに取り付けられている。

冷凍機１１は、第１ステージ１１Ａ２を例えば８０Ｋ以上１００Ｋ以下の範囲に含まれる所定の第１温度に冷却し、かつ、第２ステージ１１Ｂ２を例えば１０Ｋ以上２０Ｋ以下の範囲に含まれる所定の第２温度に冷却する。上述したように、熱シールド１３Ｃは第１ステージ１１Ａ２に熱的に接続されるから、熱シールド１３Ｃは第１ステージ１１Ａ２と同等の温度に冷却される。クライオパネル１２は取付部材１１Ｃを介して第２ステージ１１Ｂ２に接続されるから、クライオパネル１２は第２ステージ１１Ｂ２と同等の温度に冷却される。

クライオポンプ１０では、第１温度において凝縮する気体であって、蒸気圧が相対的に低い気体が、バッフルプレート１４および熱シールド１３Ｃによって捕捉され、これによって、当該気体は、クライオポンプ１０が接続された真空槽内から排気される。また、クライオポンプ１０では、第２温度において凝縮する気体であって、蒸気圧が相対的に高い気体が、クライオパネル１２によって捕捉され、これによって、当該気体は、クライオポンプ１０が接続された真空槽内から排気される。

図２は、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見たバッフルプレート１４の平面構造を示している。
図２が示すように、バッフルプレート１４は、第１部分１４Ａと第２部分１４Ｂとから構成される。第１部分１４Ａは、バッフルプレート１４の中心１４Ｃを含む。第１部分１４Ａには、バッフルプレート１４を貫通する第１孔１４ＡＨが形成されている。第１孔１４ＡＨは、バッフルプレート１４の厚さ方向に沿ってバッフルプレート１４を貫通する。第２部分１４Ｂは、バッフルプレート１４の縁１４Ｅを含む。第２部分１４Ｂには、バッフルプレート１４を貫通する第２孔１４ＢＨが形成されている。第２部分１４Ｂのコンダクタンスが、第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きい。

第２部分１４Ｂのコンダクタンスが第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きいことによって、バッフルプレート１４の第２部分１４Ｂから本体１３内に気体が流入しやすくなる。これにより、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、クライオパネル１２のうち、縁を含む部分でも凝縮気体の堆積が生じやすくなり、クライオパネル１２の中心を含む部分において凝縮気体の堆積が優先的に進むことが抑えられる。従って、クライオパネル１２において凝縮気体の堆積量に偏りが生じることが抑えられる。これにより、本体１３によって画定される領域において、凝縮気体を堆積させることが可能な領域が拡張されるから、クライオポンプ１０の排気性能を高めることが可能である。

なお、コンダクタンスは、流路における気体の流れやすさの指標である。流路によって接続される２つの空間での圧力差が同一である場合には、流路のコンダクタンスが大きいほど、流路を流れる気体の流量が大きくなる。コンダクタンスは、流路の太さ、長さ、流路を流れる気体の種類、および、温度などに依存する値である。

本実施形態では、第２部分１４Ｂの開口率が、第１部分１４Ａの開口率よりも大きい。これによって、第２部分１４Ｂのコンダクタンスが、第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きい。こうしたクライオポンプ１０によれば、バッフルプレート１４において、第１部分１４Ａの厚さと第２部分１４Ｂの厚さとを異ならせる場合に比べて、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きくすることが容易である。また、バッフルプレート１４の厚さが厚くなることが抑えられるため、本体１３の容積がバッフルプレート１４の厚さに起因して小さくなることが抑えられる。

本実施形態では、第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨは円形孔である。すなわち、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨは、円形状を有する。第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨの各々では、円形状の断面がバッフルプレート１４の厚さ方向に沿って連なっている。第２孔１４ＢＨの直径は、第１孔１４ＡＨの直径よりも大きい。

これにより、第２孔１４ＢＨの数を第１孔１４ＡＨの数以下に抑えながら、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレート１４の加工が容易である。

本実施形態では、第２孔１４ＢＨは、大孔１４ＢＨ１と、中間孔１４ＢＨ２とを備えている。中間孔１４ＢＨ２は、大孔１４ＢＨ１よりも小さい。第２部分１４Ｂは、外周部分１４Ｂ１と中間部分１４Ｂ２とを備えている。外周部分１４Ｂ１は、バッフルプレート１４の縁１４Ｅを含み、かつ、外周部分１４Ｂ１には大孔１４ＢＨ１が形成されている。中間部分１４Ｂ２は、外周部分１４Ｂ１と第１部分１４Ａとの間に位置し、かつ、中間部分１４Ｂ２には、中間孔１４ＢＨ２が形成されている。

これにより、バッフルプレート１４のコンダクタンスを、第１部分１４Ａ、中間部分１４Ｂ２、外周部分１４Ｂ１の順に大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレート１４が、第２部分１４Ｂの全体において一様なコンダクタンスを有する場合に比べて、クライオパネル１２の径方向において、凝縮気体の堆積量に差が生じることが抑えられる。

図２が示すように、第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨが円形孔である場合には、中間孔１４ＢＨ２の直径は、大孔１４ＢＨ１の直径よりも小さい。第２孔１４ＢＨの直径は、第１孔１４ＡＨの１倍よりも大きく３倍以下であることが好ましい。外周部分１４Ｂ１に形成された第２孔１４ＢＨの全てが大孔１４ＢＨ１である。図２が示す例では、中間部分１４Ｂ２に形成された第２孔１４ＢＨの全てが中間孔１４ＢＨ２である。

バッフルプレート１４において、第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨを含む全ての貫通孔は、格子状に並んでいる。図２が示す例において、貫通孔は、正方格子が備える格子点上に１つずつ位置している。

図３は、気体導入口１３Ａと対向する視点から見たクライオポンプ１０の平面構造を示している。
図３が示すように、バッフルプレート１４と対向する視点から見て、第１部分１４Ａおよび中間部分１４Ｂ２とから構成される領域内にクライオパネル１２が位置している。そのため、外周部分１４Ｂ１がクライオパネル１２と対向しないから、外周部分１４Ｂ１が有する大孔１４ＢＨ１に起因したクライオパネル１２への入熱を抑えながら、凝縮気体の分布における偏りを抑えることが可能である。

複数のクライオパネル１２において、バッフルプレート１４からの距離が最も小さいクライオパネル１２（以下、第１クライオパネル）の直径が、他のクライオパネル１２（以下、第２クライオパネル）の直径よりも小さい。バッフルプレート１４が広がる平面と対向する始点から見て、クライオパネル１２は円錐台状を有している。バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、第２クライオパネルの斜面は、第１クライオパネルから露出している。バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、複数の中間孔１４ＢＨ２の一部が、第２クライオパネルの斜面に重なっている。

［試験例］
直径が１８３ｍｍ以上１８９ｍｍ以下であり、かつ、厚さが２ｍｍである円板に対して、格子状に並ぶ複数の貫通孔を設定した。これによって、試験例１から試験例５のバッフルプレートを得た。なお、以下の表１および表２に記載のように、各試験例のバッフルプレートにおいて、貫通孔の数および大きさを設定した。各試験例のバッフルプレートを適用したクライオポンプについて、熱シールドによって画定される領域であって、第１クライオパネルの上部に積層される凝縮Ａｒガスの容積と、クライオパネル群の側面に積層される凝縮Ａｒガスの厚さとをシミュレーションによって算出した。また、各試験例のバッフルプレートを適用したクライオポンプについて、第１クライオパネルの上部に積層される凝縮Ａｒガスの分布もシミュレーションによって算出した。なお、試験例１および試験例５のバッフルプレートでは、縁を含む外周部に第２孔が位置せず、かつ、円環状を有した隙間を設定した。

表１および表２が示すように、凝縮Ａｒガスの容積は、１８００Ｌ以上であり、第１クライオパネルの上部の空間に対して７０％以上の凝縮Ａｒガスが堆積することが認められた。また、クライオパネル群の側面に堆積する凝縮Ａｒガスの厚さが、８．３３ｍｍ以上であることが認められた。

なお、試験例４のバッフルプレートに対して、試験例５および試験例１において、第１クライオパネルの上部に堆積する凝縮Ａｒガスの均一性が高められることが認められた。そのため、第２孔の直径は、第１孔の直径に対して１倍よりも大きく３倍以下であることが好ましいと言える。また、試験例２および試験例３のバッフルプレートでは、第１クライオパネルの上部に堆積する凝縮Ａｒガスが略均一であることが認められた。

以上説明したように、クライオポンプ、および、クライオポンプ用バッフルプレートの一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
（１）第２部分１４Ｂのコンダクタンスが第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きいことによって、バッフルプレート１４の第２部分１４Ｂから本体１３内に気体が流入しやすくなる。これにより、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、クライオパネル１２のうち、縁を含む部分でも凝縮気体の堆積が生じやすくなり、クライオパネル１２の中心を含む部分において凝縮気体の堆積が優先的に進むことが抑えられる。従って、クライオパネル１２において凝縮気体の堆積量に偏りが生じることが抑えられる。これにより、本体１３によって画定される領域において、凝縮気体を堆積させることが可能な領域が拡張されるから、クライオポンプ１０の排気性能を高めることが可能である。

（２）バッフルプレート１４において、第１部分１４Ａの厚さと第２部分１４Ｂの厚さとを異ならせる場合に比べて、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きくすることが容易である。

（３）第２孔１４ＢＨの数を第１孔１４ＡＨの数以下に抑えながら、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレート１４の加工が容易である。

（４）バッフルプレート１４のコンダクタンスを、第１部分１４Ａ、中間部分１４Ｂ２、外周部分１４Ｂ１の順に大きくすることが可能である。そのため、バッフルプレート１４が、第２部分１４Ｂの全体において一様なコンダクタンスを有する場合に比べて、クライオパネル１２の径方向において、凝縮気体の堆積量に差が生じることが抑えられる。

（５）外周部分１４Ｂ１がクライオパネル１２と対向しないから、外周部分１４Ｂ１が有する大孔１４ＢＨ１に起因したクライオパネル１２への入熱を抑えながら、凝縮気体の分布における偏りを抑えることが可能である。

なお、上述した実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
［クライオパネル］
・バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、外周部分１４Ｂ１とクライオパネル１２とが重なってもよい。この場合であっても、第２部分１４Ｂのコンダクタンスが第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きいことによって、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

・バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、第１部分１４Ａとクライオパネル１２とが重なり、第２部分１４Ｂとクライオパネル１２とが重ならなくてもよい。この場合には、以下に記載の効果を得ることができる。

（６）クライオパネル１２の縁よりも外側から本体１３内に供給される気体の流量を大きくすることによって、クライオパネル１２の縁を含む部分における凝縮気体の堆積量が、クライオパネル１２の中心を含む部分における凝縮気体の堆積量に対して小さくなることが抑えられる。

［バッフルプレート］
・第２部分１４Ｂは、外周部分１４Ｂ１と中間部分１４Ｂ２とを有しなくてもよい。すなわち、第２部分１４Ｂには、同一の直径を有した複数の第２孔１４ＢＨが第２部分１４Ｂの全体において形成されていてもよい。この場合であっても、第２部分１４Ｂのコンダクタンスが第１部分のコンダクタンスよりも大きいことによって、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

・第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨの少なくとも一方が、円形孔でなくてもよい。この場合には、バッフルプレート１４が広がる平面と対向する視点から見て、円形孔ではない貫通孔は、例えば多角形状を有してもよい。この場合であっても、第２部分１４Ｂのコンダクタンスが第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きいことによって、上述した（１）に準じた効果を得ることはできる。

・第１孔１４ＡＨおよび第２孔１４ＢＨが円形孔である場合には、第２孔１４ＢＨの直径が、第１孔１４ＡＨの直径以下であってもよい。この場合には、例えば、第２部分１４Ｂにおける第２孔１４ＢＨの密度を第１部分１４Ａにおける第１孔１４ＡＨの密度よりも高くすることによって、第２部分１４Ｂの開口率を第１部分１４Ａの開口率よりも大きくすることができる。すなわち、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも大きくすることが可能である。

・第２部分１４Ｂの開口率は、第１部分１４Ａの開口率以下であってもよい。この場合には、例えば、第２部分１４Ｂの厚さを第１部分１４Ａの厚さよりも薄くすることによって、第２部分１４Ｂのコンダクタンスを第１部分１４Ａのコンダクタンスよりも小さくすることが可能である。

・バッフルプレート１４において、第１孔１４ＡＨと第２孔１４ＢＨとを含む貫通孔は、格子状に並んでいなくてもよい。この場合には、例えば、複数の貫通孔は、バッフルプレート１４において設定された同心円状の複数の円環上に配置されてもよい。あるいは、複数の貫通孔は、バッフルプレート１４においてランダムに配置されてもよい。

１０…クライオポンプ
１１…冷凍機
１２…クライオパネル
１３…本体
１４…バッフルプレート
１４Ａ…第１部分
１４ＡＨ…第１孔
１４Ｂ…第２部分
１４Ｂ１…外周部分
１４Ｂ２…中間部分
１４ＢＨ…第２孔
１４ＢＨ１…大孔
１４ＢＨ２…中間孔

Claims (3)

1. 冷凍機に接続されるクライオパネルと、
   前記クライオパネルを収容する本体と、
   前記本体の気体導入口に位置するバッフルプレートと、
   を備えたクライオポンプであって、
   前記バッフルプレートは、
   前記バッフルプレートの中心を含み、前記バッフルプレートを貫通する第１孔が形成された第１部分と、
   前記バッフルプレートの縁を含み、前記バッフルプレートを貫通する第２孔が形成された第２部分と、から構成され、
   前記第２部分のコンダクタンスが、前記第１部分のコンダクタンスよりも大きく、
   前記第２孔は、大孔と、前記大孔よりも小さい中間孔とを備え、
   前記第２部分は、前記縁を含み前記大孔が形成された外周部分と、前記外周部分と前記第１部分との間に位置し、前記中間孔が形成された中間部分とを備え、
   前記バッフルプレートと対向する視点から見て、前記第１部分および前記中間部分とから構成される領域内に前記クライオパネルが位置する
   クライオポンプ。
2. 前記第２部分の開口率が、前記第１部分の開口率よりも大きい
   請求項１に記載のクライオポンプ。
3. 前記第１孔および前記第２孔は円形孔であり、
   前記第２孔の直径は、前記第１孔の直径よりも大きい
   請求項１または２に記載のクライオポンプ。