JP7500309B2 - 管理装置、インプリント装置、及び管理方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一側面としてのインプリント装置100の構成を示す概略図である。インプリント装置100は、物品としての半導体デバイスなどのデバイスの製造に使用され、型を用いて基板上にインプリント材(組成物とも称する)のパターンを形成するインプリント処理を行うリソグラフィ装置である。
図3は、本実施形態に係る管理装置21を用いてクリーニングに起因する型3の消耗度を管理し、型3の交換が必要であるか否かを決定するためのフローチャートである。フローチャートの各ステップは、制御部20がインプリント装置100を含む各部を統括的に制御することで行われる。
次に、型の分割領域の管理について説明する。図4は、型の領域を一定間隔の矩形に分割して管理する例である。図4(a)は、型の領域を設定するための設定画面である。図4(b)は、図4(a)で設定した分割領域を反映させた型3のパターン面3aを示す図である。図4(a)の設定画面や、図4(b)の分割領域表示は、表示装置10に表示されても良い。図4(a)で示す白の矩形は、その右側に記載された動作を行うことが設定されていない状態を示し、黒の矩形は、その右側に記載された管理を行うことが設定された状態を示している。ユーザは矩形を選択することで、他の分割方法に設定を変更することができる。
次に、型3の消耗度の設定について、図7を用いて詳細に説明していく。図7は、型3の消耗度を管理する例である。図7(a)は、型3の消耗度を管理する方法を設定するための設定画面である。図7(a)の設定画面は、表示装置10に表示されても良い。図4(a)、図5(a)、図6(a)と同様に、図7(a)で示す白の矩形は、その右側に記載された動作を行うことが設定されていない状態を示し、黒の矩形は、その右側に記載された管理を行うことが設定された状態を示している。ユーザは矩形を選択することで、他の消耗度を管理する方法に設定を変更することができる。尚、図7(a)での矩形の選択は図4(a)、図5(a)、図6(a)とは異なり、複数選択することも可能である。矩形を複数選択し場合には、選択した条件を加味して算出部24が型3の消耗度を算出することができる。
次に、上述したインプリント装置100を用いた物品(電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等)の製造方法を説明する。インプリント装置100によって形成された硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に用いられる。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
本発明は、上述の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサがプログラムを読み出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
5 内部クリーニング部
6 外部クリーニング部
7 基板
20 制御部
21 管理装置
22 取得部
23 記憶部
25 決定部
Claims (19)
- 組成物を成形するインプリント装置に用いられる型のメンテナンス処理を管理する管理装置であって、
前記型の領域を複数に分割した所定領域毎に、前記型のクリーニングに起因する前記型の消耗度を取得する取得部と、
前記消耗度に基づいて前記型のメンテナンス処理を決定する決定部と、を有することを特徴とする管理装置。 - 前記決定部は、前記消耗度に基づいて前記型の交換タイミングを決定することを特徴とする請求項1に記載の管理装置。
- 前記決定部は、前記所定領域のうち少なくとも1つの領域において、前記消耗度が所定の閾値よりも大きい場合に、前記型を交換することを決定することを特徴とする請求項1又は2に記載の管理装置。
- 前記所定の閾値は、前記型の情報に基づいて、前記所定領域毎に変更可能であることを特徴とする請求項3に記載の管理装置。
- 前記所定の閾値は、ユーザの入力に基づいて、前記所定領域毎に変更可能であることを特徴とする請求項3に記載の管理装置。
- 前記消耗度に基づいて前記型の情報を表示装置へ表示することを制御する表示制御部を更に有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記消耗度に基づいて前記型の情報を表示装置へ表示することを制御する表示制御部を更に有し、
前記表示制御部は、前記消耗度が前記所定の閾値よりも大きい場合に、前記型の交換を促す画面を前記表示装置へ表示することを制御する請求項3乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。 - 前記消耗度に基づいて前記型の情報を音声出力装置へ出力することを制御する音声制御部を更に有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記消耗度に基づいて音声を発する音声出力装置を制御する音声制御部を更に有し、
前記音声制御部は、前記消耗度が前記所定の閾値よりも大きい場合に、前記型の交換を促す音声を前記音声出力装置が発することを制御することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。 - 前記消耗度に基づいて前記型を交換するように型交換装置を制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記消耗度が前記所定の閾値よりも大きい場合に、前記型を交換するように型交換装置を制御することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記消耗度は、洗浄液を用いたウェット洗浄による前記型の消耗度であり、前記洗浄液の種類、濃度、吐出量、洗浄回数、及び洗浄時間の少なくとも1つに基づくことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記消耗度は、プラズマを用いたドライ洗浄による前記型の消耗度であり、前記プラズマの照射回数、照射量、及び照射時間の少なくとも1つに基づくことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の管理装置。
- 前記プラズマは、大気圧中で発生させる大気圧プラズマであることを特徴とする請求項13に記載の管理装置。
- 前記決定部は、前記所定領域のうち、基板との位置合わせに用いるためのマークを含む領域と、前記マークを含まない領域とで、前記型を交換することを決定するための閾値を変更することを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の管理装置。
- 型を用いて基板上に組成物のパターンを形成するインプリント装置であって、
請求項1乃至15のいずれか1項に記載の管理装置を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 組成物を成形する型のメンテナンス処理を管理する管理方法であって、
前記型の領域を複数に分割した所定領域毎に、前記型のクリーニングに起因する前記型の消耗度を取得する取得工程と、
前記消耗度に基づいて前記型のメンテナンス処理を決定する決定工程と、を含むことを特徴とする管理方法。 - 組成物を成形するインプリント装置に用いられる型のメンテナンス処理を管理する管理方法を実行させるためのプログラムであって、
コンピュータに、
前記型の領域を複数に分割した所定領域毎にクリーニングに起因する前記型の消耗度を取得する取得工程と、
前記消耗度に基づいて前記型のメンテナンス処理を決定する決定工程と、を実行させるためのプログラム。 - 請求項17に記載の管理方法を用いて、インプリント装置の型のメンテナンス処理を管理する管理工程と、
前記インプリント装置を用いて、基板上に組成物のパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程でパターンが形成された前記基板の処理を行う処理工程と、を含み
前記処理工程で処理された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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