JP7496486B2 - 静電チャック - Google Patents
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Description
本発明の実施形態に係る静電チャックについて図1および図2を参照して、説明する。図1は、本発明の実施形態に係る静電チャックの一例を示した部分断面図である。また、図2は、本発明の静電チャックの電極パターンの一例を示した模式図である。静電チャック100は、セラミックス基台10と、絶縁層20と、電極30と、を備えている。セラミックス基台10は、アルミナ、窒化アルミニウム等のセラミックス焼結体により略平板状に形成されている。セラミックス基台10は略円板状のほか、多角形板状又は楕円板状などのさまざまな形状であってもよい。
本発明の静電チャックは、従前に知られたセラミック静電チャックの製法(グリーンシート積層法、粉末ホットプレス焼成法等)が適用できるが、とりわけグリーンシート積層法が好適である。以下では、グリーンシート積層法による製造方法を説明する。図3(a)~(d)は、それぞれ本発明の静電チャックの製造方法の一例を示した模式的な断面図である。なお、図3(a)~(d)は、それぞれ下面が静電チャックの吸着面である。
純度92.0%、平均粒子径0.5μmのアルミナ粉末に有機バインダー、可塑剤、分散剤、溶剤を混合してスラリーを調製した。次に、ドクターブレード法により厚み0.65mmのグリーンシートを成形した。グリーンシートは適宜裁断後、所定のシートにタングステンペーストを印刷し、その後積層および必要な加工を施した後、還元雰囲気で焼成した。焼成後、絶縁層の厚みを調整し、端子を設けて、実施例および比較例の静電チャックを完成させた。電極パターンは特定のシートに所定のパターンをスクリーン印刷により形成した。電極パターンは図2を参照して、電極幅、電極間隔を各々設定したものを実施例、比較例とした。したがって、実施例および比較例の電極パターンの電極幅、電極間隔、および電極の本数は、図2とは異なる場合がある。
(1)耐電圧評価
真空チャンバ(真空度1Pa以下)内で、実施例および比較例の静電チャックの電極間に5.0kV印加し、放電または絶縁破壊の有無を調べた。
(2)静電吸着力評価
大気中で無アルカリガラス基板(φ300mm、厚み0.7mm)を、実施例または比較例の静電チャックの表面に載置し、電極間に±2.0kVを印加した。20秒経過後にガラス基板側面にプッシュプルゲージを押し当て、ガラス基板が動き出したときのゲージの値を吸着力とした。評価は、1.0kgf以上で良好とし、3.0kgfでも動き出さなかったものを特に良好とした。
20 絶縁層
22 吸着面
30、30a、30b 電極
32 電極層
100 静電チャック
Claims (2)
- 少なくとも被吸着面が絶縁体で形成された絶縁性基板を吸着する絶縁性基板吸着用静電チャックであって、
セラミックス基台と、
前記セラミックス基台の一方の主面に形成され、前記絶縁性基板を吸着する吸着面を有する絶縁層と、
前記セラミックス基台と前記絶縁層との間に形成される一対の電極と、を備え、
前記絶縁層は、前記セラミックス基台と同一のセラミックス焼結体であり、
前記絶縁層の厚みDは、0.001mm以上0.09mm以下であり、
前記一対の電極の電極間の距離Gは、0.3mm以上1.5mm以下であり、
前記一対の電極の電極幅Wは、0.1mm以上0.9mm以下であることを特徴とする絶縁性基板吸着用静電チャック。 - 前記絶縁層の吸着面の最大寸法が290mm以上であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁性基板吸着用静電チャック。
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